專利名稱：一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置及其光路調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本發(fā)明涉及一種高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換裝置，具體涉及一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置。
背景技術(shù)：
:光路引導(dǎo)與檢測裝置用于高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中在有限的空間內(nèi)完成取樣光路的引導(dǎo)與光束能量、波形的檢測，同時完成光學(xué)取樣模塊和光路調(diào)整與檢測模塊之間真空隔離，并且實現(xiàn)屏蔽衰減組件的快速在線更換，使得光束檢測裝置在系統(tǒng)運行過程中免受損壞。目前尚無成熟的裝置實現(xiàn)高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測的裝置
發(fā)明內(nèi)容
:本發(fā)明的目的是為了實現(xiàn)高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中光路引導(dǎo)與檢測問題，進(jìn)而提供一種高通量大口徑光學(xué)光路引導(dǎo)與檢測裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，包括裝置殼體，裝置殼體為一空心具有若干法蘭口的薄板組成的殼體，裝置殼體下端法蘭連接取樣法蘭組件，取樣法蘭組件的取樣法蘭為一直角三菱形殼體，直角邊有法蘭連接裝置殼體，直角邊法蘭內(nèi)連接真空隔離窗口及窗口壓板，取樣法蘭的直角三菱形殼體的斜邊有法蘭口 ；裝置殼體連接取樣法蘭組件的法蘭上面有與該法蘭平行的上下兩個滑道，滑道內(nèi)安裝有屏蔽衰減組件，裝置殼體的一個側(cè)板在兩個滑道之間開有長方形孔，屏蔽衰減組件通過鎖緊螺母及擋塊與裝置殼體固定，屏蔽衰減組件由框體和框體內(nèi)固定的衰減片和框體外側(cè)的拉手組成；在屏蔽衰減組件外側(cè)，裝置殼體連接光束測量組件的光電管座，光電管座中心連接有光電管，光電管座尾部通過屏蔽罩調(diào)整螺栓連接屏蔽罩，裝置殼體頂部有方形法蘭連接光束能量測量組件的卡計罩，卡計罩內(nèi)固定有長方體形能量卡計；裝置殼體內(nèi)腔體中部兩側(cè)板通過半透射鏡軸承連接半透射鏡組件的半透射鏡，裝置殼體內(nèi)腔的底板和后面板上的軸承座通過反射鏡軸承連接反射鏡組件的反射鏡，反射鏡平面與取樣法蘭組件的真空隔離窗口平面形成夾角b，反射鏡平面與半透射鏡平面形成夾角a，衰減屏蔽組件的衰減片平面與光電管座主體截面呈夾角C，能量卡計平面與半透射鏡平面平行。上述方案中，反射鏡為不透明的鏡面體，半透射鏡為半透明鏡面體。上述方案中，半透射組件的半透射鏡的上下端面與俯仰調(diào)整螺栓接觸，俯仰調(diào)整螺栓與裝置殼體螺紋連接，俯仰調(diào)整螺栓與裝置殼體之間有鎖緊螺母。上述方案中，反射鏡組件的反射鏡左右兩側(cè)中心位置的背面與兩個偏擺調(diào)整螺栓接觸，偏擺調(diào)整螺栓與裝置殼體螺紋連接，偏擺調(diào)整螺栓與裝置殼體之間有鎖緊螺母。上述方案中，夾角a的角度是95°，夾角b的角度是45°，夾角c的角度是10°。

上述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其光路調(diào)整方法為:
松開俯仰調(diào)整螺栓的鎖緊螺母，調(diào)整俯上下兩個仰調(diào)整螺栓至指定位置，鎖緊俯仰調(diào)整螺栓的鎖緊螺母；松開左右兩個偏擺調(diào)整螺栓的鎖緊螺母，調(diào)整左右兩個偏擺調(diào)整螺栓至指定位置，鎖緊偏擺調(diào)整螺栓的鎖緊螺母。本發(fā)明具有如下有益效果:在高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中，對取樣光束的測量分別通過能量卡計、光電管實現(xiàn)對取樣光束的能量和波形的測量，由于光學(xué)聚焦頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中存在大量的物理診斷設(shè)備，因重力負(fù)荷引起的變形的可預(yù)測性較低，力口上抽真空變形的影響，安裝精度是一個無法確定的影響因素，只能通過現(xiàn)場試安裝后的實際測試對取樣光路進(jìn)行修正，確保能量卡計迎光面的面積在可控范圍內(nèi)，同時光電管能夠?qū)θ庸馐M(jìn)行采樣分析。


:附圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2是本發(fā)明的沒安裝件I的透視軸測圖；附圖3是本發(fā)明的外觀軸測圖；附圖4是本發(fā)明件6的軸測圖。圖中1，取樣法蘭組件；11，取樣法蘭；12，真空隔離窗口 ；13，窗口壓板；2，光束測量組件；21，屏蔽罩；22，光電管；23，屏蔽罩調(diào)整螺栓；24，光電管座；3，光束能量測量組件；31，能量卡計；32，卡計罩；4，半透射鏡組件；41，半透射鏡軸承；42，半透射鏡；43，俯仰調(diào)整螺栓；5，反射鏡組件；51反射鏡軸承；52反射鏡；53，偏擺調(diào)整螺栓；6，屏蔽衰減組件；61，鎖緊螺母及擋塊；62，拉手；63，框體；64，衰減片；7，裝置殼體；8，夾角a ;9，夾角b ;10，夾角
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具體實施方式
:下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明:由圖1結(jié)合圖2、圖3和圖4所示，一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，包括裝置殼體7，裝置殼體7為一空心具有若干法蘭口的薄板組成的殼體，裝置殼體7下端法蘭連接取樣法蘭組件I，取樣法蘭組件I的取樣法蘭11為一直角三菱形殼體，直角邊有法蘭連接裝置殼體7，直角邊法蘭內(nèi)連接真空隔離窗口 12及窗口壓板13，取樣法蘭11的直角三菱形殼體的斜邊有法蘭口 ；裝置殼體7連接取樣法蘭組件I的法蘭上面有與該法蘭平行的上下兩個滑道，滑道內(nèi)安裝有屏蔽衰減組件6，裝置殼體7的一個側(cè)板在兩個滑道之間開有長方形孔，屏蔽衰減組件6通過鎖緊螺母及擋塊61與裝置殼體7固定，屏蔽衰減組件可以通過鎖緊螺母及擋塊61和裝置殼體上的滑道進(jìn)行快速安裝與更換，屏蔽衰減組件6由框體63和框體63內(nèi)固定的衰減片64和框體63外側(cè)的拉手62組成，衰減片64可以將進(jìn)入的光線衰減，避免損壞光電管22，屏蔽衰減組件6還可以防止損壞的光學(xué)元件進(jìn)入光束測量組件，保護光電管22 ；在屏蔽衰減組件6外側(cè)，裝置殼體7連接光束測量組件2的光電管座24，光電管座24中心連接有光電管22，光電管座24尾部通過屏蔽罩調(diào)整螺栓23連接屏蔽罩21，裝置殼體7頂部有方形法蘭連接光束能量測量組件3的卡計罩32，卡計罩32內(nèi)固定有長方體形能量卡計31 ；裝置殼體7內(nèi)腔體中部兩側(cè)板通過半透射鏡軸承41連接半透射鏡組件4的半透射鏡42，裝置殼體7內(nèi)腔的底板和后面板上的軸承座通過反射鏡軸承51連接反射鏡組件5的反射鏡52，反射鏡52平面與取樣法蘭組件I的真空隔離窗口 12平面形成夾角b9，反射鏡52平面與半透射鏡42平面形成夾角a8，衰減屏蔽組件6的衰減片64平面與光電管座24主體截面呈夾角clO，能量卡計31平面與半透射鏡42平面平行，使得投射到能量卡計31的光能達(dá)到最大值。上述方案中的反射鏡52為不透明的鏡面體，半透射鏡42為半透明鏡面體，反射鏡52將取樣光路的光全部反射到半透視鏡42的鏡面上，投射到半透視鏡42的光，一部分透射進(jìn)入能量卡計31，一部分反射通過衰減片64進(jìn)入光電管22。上述方案中，半透射組件4的半透射鏡42的上下端面與俯仰調(diào)整螺栓43接觸，俯仰調(diào)整螺栓43與裝置殼體7螺紋連接，俯仰調(diào)整螺栓43與裝置殼體7之間有鎖緊螺母。上述方案中，反射鏡組件5的反射鏡52左右兩側(cè)中心位置的背面與兩個偏擺調(diào)整螺栓53接觸，偏擺調(diào)整螺栓53與裝置殼體7螺紋連接，偏擺調(diào)整螺栓53與裝置殼體7之間有鎖緊螺母。上述方案中，夾角a8的角度是95°，夾角b9的角度是45°，夾角clO的角度是10。。上述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其光路調(diào)整方法為:松開俯仰調(diào)整螺栓43的鎖緊螺母，調(diào)整上下兩個俯仰調(diào)整螺栓43至指定位置，調(diào)整反射鏡52與半透視鏡42之間的夾角，鎖緊俯仰調(diào)整螺栓43的鎖緊螺母；松開左右兩個偏擺調(diào)整螺栓53的鎖緊螺母，調(diào)整左右兩個偏擺調(diào)整螺栓53至指定位置，調(diào)整反射鏡52的·左右偏擺，使得取樣光路可以通過反射鏡52反射到半透視鏡42的表面，鎖緊偏擺調(diào)整螺栓53的鎖緊螺母。上述的實施方案，僅用于方便說明本發(fā)明而不是對本發(fā)明的權(quán)利的限制，因此依本發(fā)明申請范圍所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，包括裝置殼體(7)，裝置殼體(7)為一空心具有若干法蘭口的薄板組成的殼體，裝置殼體(7)下端法蘭連接取樣法蘭組件(1)，取樣法蘭組件(I)的取樣法蘭(11)為一直角三菱形殼體，直角邊有法蘭連接裝置殼體(7)，直角邊法蘭內(nèi)連接真空隔離窗口(12)及窗口壓板(13)，取樣法蘭(11)的直角三菱形殼體的斜邊有法蘭口 ；裝置殼體(7)連接取樣法蘭組件(I)的法蘭上面有與該法蘭平行的上下兩個滑道，滑道內(nèi)安裝有屏蔽衰減組件(6)，裝置殼體(7)的一個側(cè)板在兩個滑道之間開有長方形孔，屏蔽衰減組件(6)通過鎖緊螺母及擋塊(61)與裝置殼體(7)固定，屏蔽衰減組件(6)由框體(63)和框體(63)內(nèi)固定的衰減片(64)和框體(63)外側(cè)的拉手(62)組成； 在屏蔽衰減組件(6)外側(cè)，裝置殼體(7)連接光束測量組件(2)的光電管座(24)，光電管座(24)中心連接有光電管(22)，光電管座(24)尾部通過屏蔽罩調(diào)整螺栓(23)連接屏蔽罩(21)，裝置殼體(7)頂部有方形法蘭連接光束能量測量組件(3)的卡計罩(32)，卡計罩(32)內(nèi)固定有長方體形能量卡計(31)； 裝置殼體(7)內(nèi)腔體中部兩側(cè)板通過半透射鏡軸承(41)連接半透射鏡組件(4)的半透射鏡(42)，裝置殼體(7)內(nèi)腔的底板和后面板上的軸承座通過反射鏡軸承(51)連接反射鏡組件(5)的反射鏡(52)，反射鏡(52)平面與取樣法蘭組件⑴的真空隔離窗口(12)平面形成夾角b (9)，反射鏡(52)平面與半透射鏡(42)平面形成夾角a (8)，衰減屏蔽組件(6)的衰減片(64)平面與光電管座(24)主體截面呈夾角c (10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其特征在于:半透射組件(4)的半透射鏡(42)的上下端面與俯仰調(diào)整螺栓(43)接觸，俯仰調(diào)整螺栓(43)與裝置殼體(7)螺紋連接，俯仰調(diào)整螺栓(43)與裝置殼體(7)之間有鎖緊螺母。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其特征在于:反射鏡組件(5)的反射鏡(52)左右兩側(cè)中心位置的背面與兩個偏擺調(diào)整螺栓(53)接觸，偏擺調(diào)整螺栓(53)與裝置殼體(7)螺紋連接，偏擺調(diào)整螺栓(53)與裝置殼體(7)之間有鎖緊螺母。`
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其特征在于:夾角a(8)的角度是95°，夾角b(9)的角度是45°，夾角c(10)的角度是10°，能量卡計(31)平面與半透射鏡(42)平面平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其特征在于:反射鏡(52)為不透明的鏡面體，半透射鏡(42)為半透明鏡面體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置，其特征在于:其光路調(diào)整方法為: 松開俯仰調(diào)整螺栓(43)的鎖緊螺母，調(diào)整上下兩個俯仰調(diào)整螺栓(43)至指定位置，鎖緊俯仰調(diào)整螺栓(43)的鎖緊螺母； 松開左右兩個偏擺調(diào)整螺栓(53)的鎖緊螺母，調(diào)整左右兩個偏擺調(diào)整螺栓(53)至指定位置，鎖緊偏擺調(diào)整螺栓(53)的鎖緊螺母。
全文摘要
一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置及其光路調(diào)整方法。本發(fā)明的目的是為了實現(xiàn)高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中光路引導(dǎo)與檢測問題。該一種高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置主要由取樣法蘭組件、光束波形測量組件、光束能量測量組件、半透射鏡組件、反射鏡組件和屏蔽衰減組件組成，調(diào)整兩個偏擺調(diào)整螺栓和兩個俯仰調(diào)整螺栓以調(diào)整反射鏡和半透視鏡的位置，確保取樣光路的正確。本發(fā)明的有益效果是該高通量大口徑光學(xué)引導(dǎo)與檢測裝置及其光路，能夠在有限空間內(nèi)通過現(xiàn)場試安裝后的實際測試對取樣光路進(jìn)行修正，確保能量卡計迎光面的面積在可控范圍內(nèi)，同時光電管能夠?qū)θ庸馐M(jìn)行采樣分析。
文檔編號G02B7/00GK103235388SQ20131015675
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者梁迎春, 郭永博, 于福利, 盧禮華, 張慶春 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)