專利名稱：精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)及其光量干涉排除方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器制造領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT-1XD精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)及其光量干涉排除方法和裝置。
背景技術(shù)：
TTP (Total Pitch,長(zhǎng)寸)測(cè)長(zhǎng)機(jī)是 TFT (Thin Film Transistor Liquid,薄膜晶體管)-1XD (Liquid Crystal Display,液晶顯示器)制程重要的光學(xué)量測(cè)設(shè)備,主要用于測(cè)量制作玻璃基板第一層像素圖案時(shí)曝光機(jī)曝光精度長(zhǎng)寸的量測(cè)，其量測(cè)結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對(duì)位，以及最終對(duì)組貼合的精度。同時(shí)，該設(shè)備亦常用于線寬量測(cè)。TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)又稱為精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)。TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)的光學(xué)量測(cè)需要使用透射光和反射光兩種光源配合使用。為了保證量測(cè)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，要求整面玻璃基板上各個(gè)位置的量測(cè)均能設(shè)定成相同的輸出光量。因?yàn)門TP測(cè)長(zhǎng)機(jī)機(jī)臺(tái)對(duì)玻璃基板放置的平整度要求極高，且玻璃必須靜置于機(jī)臺(tái)面上不可移動(dòng)，所以將機(jī)臺(tái)面設(shè)計(jì)制作成透明玻璃材質(zhì)平臺(tái)面，且高度可調(diào)，以保證透射光的輸出。為了支撐起機(jī)臺(tái)面、保證整個(gè)機(jī)臺(tái)面的平整度，還設(shè)計(jì)了機(jī)臺(tái)架來(lái)承載機(jī)臺(tái)面，而機(jī)臺(tái)架一般使用不銹鋼制作，且較為密集，因此導(dǎo)致這些區(qū)域無(wú)法進(jìn)行透射光量測(cè)。同時(shí)TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)機(jī)臺(tái)中的氣流管路、升降銷孔、拼接縫等固有機(jī)構(gòu)也會(huì)對(duì)光源造成干涉，導(dǎo)致光量不均勻，比正常區(qū)域偏高或偏低。有些光學(xué)量測(cè)設(shè)備一般是采用玻璃基板和機(jī)臺(tái)面相對(duì)移動(dòng)的方式，以保證所有區(qū)域均可在移動(dòng)前或移動(dòng)后能避開干涉。但這種方式無(wú)法應(yīng)用TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)機(jī)臺(tái)，因?yàn)門TP測(cè)長(zhǎng)機(jī)機(jī)臺(tái)要求玻璃基板與機(jī)臺(tái)面相對(duì)位置恒定，且機(jī)臺(tái)面與機(jī)臺(tái)架為固定連接裝置，不可能相對(duì)移動(dòng)。目前，TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)機(jī)臺(tái)通常采用以下方式來(lái)消除干涉:1)研發(fā)人員設(shè)計(jì)光罩時(shí)，調(diào)整光罩的造型，盡量使輸出避開干涉區(qū)域。但一方面由于干涉區(qū)域較多，不同TTP機(jī)臺(tái)之間也會(huì)有位置機(jī)差，設(shè)計(jì)后的實(shí)作產(chǎn)品很難完全避開干涉；另一方面由于某些產(chǎn)品的版面布局設(shè)計(jì)上的限制，導(dǎo)致在測(cè)量時(shí)很難避開干涉，例如一塊2200mm*2500mm的玻璃基板，其版面布局設(shè)計(jì)可以劃分為18塊32吋的小面板，也劃分為8塊48吋的小面板，由于不同尺寸產(chǎn)品存在不同版面布局設(shè)計(jì)，不可能使所有版面布局都能避開機(jī)臺(tái)的鋼架干涉區(qū)，因此研發(fā)設(shè)計(jì)人員設(shè)計(jì)時(shí)也只能在一定范圍內(nèi)(比如± IOmm)調(diào)整量測(cè)位置，這是很難完全避開干涉的。而且，這種方式亦會(huì)造成研發(fā)設(shè)計(jì)人員的工作量增加。2)設(shè)定點(diǎn)位recipe量測(cè)參數(shù)(recipe在半導(dǎo)體領(lǐng)域中通常用于表示產(chǎn)品各種參數(shù)的集合)時(shí)進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整，但是這種手動(dòng)調(diào)整完全根據(jù)操作人員的工作經(jīng)驗(yàn)，可靠性因人而異，而且增大了操作人員的工作負(fù)擔(dān)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種TFT-LCD精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)及其光量干涉排除方法和裝置，可消除使用精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)時(shí)因機(jī)臺(tái)架等固有機(jī)構(gòu)而產(chǎn)生的干涉，提高了測(cè)量精確度。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法，包括在量測(cè)前執(zhí)行以下步驟:調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等；將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中和/或調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等；將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。其中，所述調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值的步驟具體包括:將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零；測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量；若測(cè)得的反射輸出光量大于所述目標(biāo)反射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光亮值；若測(cè)得的反射輸出光量小于所述目標(biāo)反射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光量值。其中，所述調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值的步驟具體包括:將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零；測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量；若測(cè)得的透射輸出光量大于所述目標(biāo)透射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光亮值；若測(cè)得的透射輸出光量小于所述目標(biāo)透射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光量值。其中，所述反射輸入光量由反射光源亮度值表示，所述透射輸入光量由透射光源亮度值表示，所述反射輸出光量由反射圖像灰階值表示，所述透射輸出光量由透射圖像灰階值表示。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置，包括:反射補(bǔ)正模塊，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等；透射補(bǔ)正模塊，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等；參數(shù)設(shè)置模塊，用于將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值和補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。其中，所述反射補(bǔ)正模塊包括:反射測(cè)量初始化模塊，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零；反射輸出光量測(cè)量模塊，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量；反射調(diào)節(jié)模塊，用于當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量大于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光亮值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值；當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量小于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。其中，所述透射補(bǔ)正模塊包括:透射測(cè)量初始化模塊，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零；透射輸出光量測(cè)量模塊，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量；透射調(diào)節(jié)模塊，用于當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量大于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光亮值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值；當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量小于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。其中，所述反射輸入光量由反射光源亮度值表示，所述透射輸入光量由透射光源亮度值表示，所述反射輸出光量由反射圖像灰階值表示，所述透射輸出光量由透射圖像灰階值表示。另外，本發(fā)明還提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)，包括上述光量干涉排除裝置。其中，所述精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)還包括用于支撐玻璃基板的機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)包括與所述玻璃基板面接觸的機(jī)臺(tái)面和用于支撐所述機(jī)臺(tái)面的機(jī)臺(tái)架，所述機(jī)臺(tái)架由具有高穿透率、高硬度、高耐應(yīng)力性和強(qiáng)耐溫性透明材質(zhì)材料制成。實(shí)施本發(fā)明精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)及其光量干涉排除方法和裝置的實(shí)施例，具有如下有益效果:通過(guò)自動(dòng)補(bǔ)正各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的輸入光量，使各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的輸出光量一致，可以消除測(cè)量時(shí)因機(jī)臺(tái)架、氣流管路、升降銷孔、拼接縫等固有機(jī)構(gòu)對(duì)光源造成的干涉，提高了測(cè)量精確度和可靠度，而且不會(huì)給操作人員增加操作負(fù)擔(dān)。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法的流程圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的反射光量補(bǔ)正方法的流程圖；圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的透射光量補(bǔ)正方法的流程圖；圖4是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的反射補(bǔ)正模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的透射補(bǔ)正模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。在半導(dǎo)體器件領(lǐng)域中，通常用recipe表示機(jī)臺(tái)參數(shù)的集合,對(duì)于TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)來(lái)說(shuō)，recipe中包含了產(chǎn)品量測(cè)時(shí)的量測(cè)點(diǎn)位、亮度、量測(cè)基準(zhǔn)等量測(cè)參數(shù)，因此本文中所指的量測(cè)參數(shù)集合通常是指recipe。量測(cè)點(diǎn)位指的是量測(cè)時(shí)的坐標(biāo)點(diǎn)集合,對(duì)于一個(gè)產(chǎn)品，按照版面布局設(shè)計(jì)的不同，分別規(guī)劃了不同的量測(cè)坐標(biāo)點(diǎn)，一般有20 60個(gè)量測(cè)點(diǎn)位坐標(biāo)，以便獲取這些位置的特性值(⑶(critical dimension,線幅寬度)、膜厚等)。CO)(Charge-coupled Device,電荷稱合元件)鏡頭根據(jù)設(shè)定的量測(cè)點(diǎn)位坐標(biāo)和順序，依次移到各個(gè)坐標(biāo)點(diǎn)進(jìn)行量測(cè)，量測(cè)時(shí)，自動(dòng)調(diào)整到recipe中設(shè)定的輸入光量等量測(cè)參數(shù)，進(jìn)行畫面截取、轉(zhuǎn)換、計(jì)算，從而得到所需的量測(cè)值。在某個(gè)量測(cè)點(diǎn)位進(jìn)行量測(cè)時(shí)，需要將透射光和反射光配合使用，即需要使用透射光源和反射光源，它們的照射光量分別稱為透射輸入光量和反射輸入光量，CCD鏡頭在當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位接收到的光量分別稱為透射輸出光量和反射輸出光量，由于機(jī)構(gòu)原因，光源和CCD鏡頭之間存在機(jī)臺(tái)面、鋼架、氣管等介質(zhì),導(dǎo)致雖然輸入光量一樣，但不同區(qū)域CCD鏡頭接收到的輸出光量卻不一樣。而輸出光量(即CCD接收到的光量)不一致，會(huì)導(dǎo)致CCD鏡頭拍攝到的畫面圖案的亮度不一致，從而導(dǎo)致圖案灰階值出現(xiàn)差異，因此，圖案線幅寬度、位置值這些量測(cè)值也會(huì)出現(xiàn)誤差(偏大或偏小)，降低了量測(cè)的準(zhǔn)確性。量測(cè)的基本原則就是要保持量測(cè)環(huán)境和條件的統(tǒng)一，不能因條件不一而出現(xiàn)量測(cè)誤差，因此，需要對(duì)輸入光量進(jìn)行補(bǔ)正。請(qǐng)參見圖1，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法的流程圖，該方法包括在量測(cè)前執(zhí)行以下步驟:S100、調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等。S101、調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等。S102、將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值和補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。在利用測(cè)長(zhǎng)機(jī)進(jìn)行量測(cè)時(shí)，測(cè)長(zhǎng)機(jī)根據(jù)recipe中保存的各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值設(shè)置該量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量，根據(jù)recipe中保存的各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正透射輸入光量值設(shè)置該量測(cè)單位的透射輸入光量。在實(shí)際實(shí)施例中，利用圖1所示的方法分別對(duì)每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的反射光量和透射光量進(jìn)行補(bǔ)正，使各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的輸出光量一致，可以消除精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)在測(cè)量時(shí)因機(jī)臺(tái)架、氣流管路、升降銷孔、拼接縫等固有機(jī)構(gòu)對(duì)光源造成的干涉，提高了測(cè)量精確度和可靠度，而且不會(huì)給操作人員增加操作負(fù)擔(dān)。雖然圖1所示的實(shí)施例中，進(jìn)行補(bǔ)正時(shí)，先補(bǔ)正反射光量，再補(bǔ)正透射光量，但是這僅僅是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，并不用于限制本發(fā)明。在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，還可以先補(bǔ)正透射光量，再補(bǔ)正反射光量，或者僅補(bǔ)正透射光量或僅補(bǔ)正反射光量。下面將參考圖2和圖3分別對(duì)反射光量補(bǔ)正方法和透射光量補(bǔ)正方法進(jìn)行舉例說(shuō)明。請(qǐng)參見圖2，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的反射光量補(bǔ)正方法的流程圖，該方法包括:S200、將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零。具體地，首先確定初始反射輸入光量值和目標(biāo)反射輸出光量值，通?？梢杂梅瓷涔庠戳炼戎祦?lái)表示反射輸入光量，其范圍為0%-100%，可以用灰階值來(lái)表示反射輸出光量，其范圍為0-255(0為最黑/暗，255為最白/亮)。初始反射輸入光量值可以是用戶通過(guò)實(shí)際使用和測(cè)試得到的經(jīng)驗(yàn)值，即正常區(qū)域得到目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)所需的反射光源亮度值。例如，量測(cè)時(shí)所需的反射灰階值(即目標(biāo)反射輸出光量值)為80(通常指沒有玻璃基板干擾的情形)，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，正常區(qū)域中對(duì)應(yīng)的反射光源亮度值為50%，因此，可以將初始反射光源亮度值設(shè)置為50%。S201、測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量。具體地，利用CCD(Charge-coupledDevice,電荷耦合元件)鏡頭在當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位拍攝反射圖像，計(jì)算所拍攝的反射圖像的灰階值(例如反射圖像中所有像素的灰階平均值)，將該灰階值作為測(cè)得的當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量。若步驟S201測(cè)得的反射輸出光量大于目標(biāo)反射輸出光量值，則執(zhí)行步驟S202。
5202、以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量。例如，以1%為預(yù)設(shè)差值逐步減小反射光源亮度。接下來(lái)返回步驟S201。若步驟S201測(cè)得的反射輸出光量小于目標(biāo)反射輸出光量值，則執(zhí)行步驟S203。
5203、以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量。例如，以1%為預(yù)設(shè)差值逐步增加反射光源亮度。接下來(lái)返回步驟S201。若步驟S201測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，則本方法流程結(jié)束。請(qǐng)參見圖3，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的透射光量補(bǔ)正方法的流程圖，該方法包括:S300、將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零。具體地，首先確定初始透射輸入光量值和目標(biāo)透射輸出光量值，通常可以用透射光源亮度值來(lái)表示透射輸入光量，其范圍為0%-100%，可以用灰階值來(lái)表示透射輸出光量，其范圍為0-255 (O為最黑/暗，255為最白/亮)。初始透射輸入光量值可以是用戶通過(guò)實(shí)際使用和測(cè)試得到的經(jīng)驗(yàn)值，即正常區(qū)域得到目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)所需的透射光源亮度值。例如，量測(cè)時(shí)所需的透射灰階值(即目標(biāo)透射輸出光量值)為120，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，正常區(qū)域中對(duì)應(yīng)的透射光源亮度值為80%，因此，可以將初始透射光源亮度值設(shè)置為80%。S301、測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量。具體地，利用CCD( Charge-coup ledDevice,電荷耦合元件)鏡頭在當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位拍攝透射圖像，計(jì)算所拍攝的透射圖像的灰階值(例如透射圖像中所有像素的灰階平均值)，將該灰階值作為測(cè)得的當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量。若步驟S301測(cè)得的透射輸出光量大于目標(biāo)透射輸出光量值，則執(zhí)行步驟S302。
5302、以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量。例如，以1%為預(yù)設(shè)差值逐步減小透射光源亮度。接下來(lái)返回步驟S301。若步驟S301測(cè)得的透射輸出光量小于目標(biāo)透射輸出光量值，則執(zhí)行步驟S303。
5303、以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量。例如，以1%為預(yù)設(shè)差值逐步增加透射光源亮度。接下來(lái)返回步驟S301。若步驟S301測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，則本方法流程結(jié)束。在圖2和圖3所不的實(shí)施例中，設(shè)置了初始反射輸入光量值和初始透射輸入光量值，各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的這兩種初始值一般是相同的。通過(guò)這種方式，可以利用使用經(jīng)驗(yàn)給各量測(cè)點(diǎn)位賦予較為接近目標(biāo)的起始值，提高自動(dòng)補(bǔ)正速度。但是，本發(fā)明并不受限于此，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的這兩種初始值可以不同，還可以不預(yù)先設(shè)置這兩種初始值，而是在對(duì)每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位進(jìn)行補(bǔ)正時(shí)，隨機(jī)生成初始值。另外，在圖2和圖3所不的實(shí)施例中，補(bǔ)正反射光量時(shí)，將透射輸入光量設(shè)置為O,補(bǔ)正透射光量時(shí)，將反射輸入光量設(shè)置為0，這是因?yàn)榉瓷涔夂屯干涔鈺?huì)進(jìn)行混合從而對(duì)補(bǔ)正結(jié)果產(chǎn)生影響，因此必須將反射和透射分開進(jìn)行補(bǔ)正。在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，步驟S201和步驟S301中獲取灰階值之前，本方法還包括:拍攝反射圖像或透射圖像后，通過(guò)膨脹過(guò)濾和收縮過(guò)濾消除所拍攝的圖像中的噪點(diǎn)干擾。具體地，在畫面灰階值的獲取時(shí)，通常會(huì)遇到噪點(diǎn)的干擾(比如機(jī)臺(tái)面臟污、有異物等)，導(dǎo)致畫面存在黑干擾或白干擾，給畫面灰階平均值計(jì)算帶來(lái)誤差。例如，若圖像中存在黑色干擾，則將圖像膨脹(放大)一定比例直至黑色干擾完全消除，然后再將膨脹處理后的圖像收縮回原始大小。又例如，若圖像中存在白色干擾，則將圖像收縮(縮小)一定比例直至白色干擾完全消除，然后再將收縮處理后的圖像膨脹回原始大小。在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，可能因?yàn)楣庠串惓?、機(jī)構(gòu)異常、信號(hào)異常等狀況，導(dǎo)致亮度值補(bǔ)到100%或0%仍未能匹配目標(biāo)灰階值，為防止因此造成軟件呆死，在圖2和圖3所示的實(shí)施例中，本方法還可以包括:當(dāng)反射輸入光量(反射光源亮度值)或透射輸入光量(透射光源亮度值)調(diào)節(jié)到100%或0%時(shí)，不再返回執(zhí)行步驟S202、S203或S302、S303，即中斷補(bǔ)正，并且報(bào)警提示，提醒用戶進(jìn)行異常確認(rèn)處理。請(qǐng)參見圖4，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的光量干涉排除裝置400的結(jié)構(gòu)示意圖，光量干涉排除裝置400包括:反射補(bǔ)正模塊410，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等。透射補(bǔ)正模塊420，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等。參數(shù)設(shè)置模塊430，用于將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值和補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。在利用測(cè)長(zhǎng)機(jī)進(jìn)行量測(cè)時(shí)，測(cè)長(zhǎng)機(jī)根據(jù)recipe中保存的各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值設(shè)置該量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量，根據(jù)recipe中保存的各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正透射輸入光量值設(shè)置該量測(cè)單位的透射輸入光量。在實(shí)際實(shí)施例中，測(cè)長(zhǎng)機(jī)利用圖4所示的光量干涉排除裝置400分別對(duì)每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的反射光量和透射光量進(jìn)行補(bǔ)正，使各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的輸出光量一致，可以消除精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)在測(cè)量時(shí)因機(jī)臺(tái)架、氣流管路、升降銷孔、拼接縫等固有機(jī)構(gòu)對(duì)光源造成的干涉，提高了測(cè)量精確度和可靠度,而且不會(huì)給操作人員增加操作負(fù)擔(dān)。雖然圖4所示的實(shí)施例中同時(shí)示出了反射補(bǔ)正模塊410和透射補(bǔ)正模塊420，但在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，光量干涉排除裝置400可以僅包括反射補(bǔ)正模塊410或者透射補(bǔ)正模塊420。請(qǐng)參見圖5，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的反射補(bǔ)正模塊410的結(jié)構(gòu)示意圖，反射補(bǔ)正模塊410包括:反射測(cè)量初始化模塊411，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零。具體地，反射測(cè)量初始化模塊411接收用戶輸入的初始反射輸入光量值和目標(biāo)反射輸出光量值，通?？梢杂梅瓷涔庠戳炼戎祦?lái)表不反射輸入光量，其范圍為0%-100%，可以用灰階值來(lái)表不反射輸出光量,其范圍為0-255(0為最黑/暗，255為最白/亮)。初始反射輸入光量值可以是用戶通過(guò)實(shí)際使用和測(cè)試得到的經(jīng)驗(yàn)值，即正常區(qū)域得到目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)所需的反射光源亮度值。例如，量測(cè)時(shí)所需的反射灰階值(即目標(biāo)反射輸出光量值)為80 (通常指沒有玻璃基板干擾的情形)，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，正常區(qū)域中對(duì)應(yīng)的反射光源亮度值為50%，因此，可以將初始反射光源亮度值設(shè)置為50%。反射輸出光量測(cè)量模塊412，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量。具體地，反射輸出光量測(cè)量模塊412利用CCD鏡頭在當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位拍攝反射圖像，計(jì)算所拍攝的反射圖像的灰階值(例如反射圖像中所有像素的灰階平均值)，將該灰階值作為測(cè)得的當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量。反射調(diào)節(jié)模塊413，用于當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量大于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光亮值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值；當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量小于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。其中，預(yù)設(shè)差值可以是1%。請(qǐng)參見圖6，是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的透射補(bǔ)正模塊420的結(jié)構(gòu)示意圖，透射補(bǔ)正模塊420包括:透射測(cè)量初始化模塊421，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零。具體地，透射測(cè)量初始化模塊421可以接收用戶輸入的初始透射輸入光量值和目標(biāo)透射輸出光量值，通?？梢杂猛干涔庠戳炼戎祦?lái)表示透射輸入光量，其范圍為0%_100%，可以用灰階值來(lái)表示透射輸出光量，其范圍為0-255 (O為最黑/暗，255為最白/亮)。初始透射輸入光量值可以是用戶通過(guò)實(shí)際使用和測(cè)試得到的經(jīng)驗(yàn)值，即正常區(qū)域得到目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)所需的透射光源亮度值。例如，量測(cè)時(shí)所需的透射灰階值(即目標(biāo)透射輸出光量值)為120，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，正常區(qū)域中對(duì)應(yīng)的透射光源亮度值為80%，因此，可以將初始透射光源亮度值設(shè)置為80%。
透射輸出光量測(cè)量模塊422，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量。具體地，透射輸出光量測(cè)量模塊422可以利用CXD鏡頭在當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位拍攝透射圖像，計(jì)算所拍攝的透射圖像的灰階值(例如透射圖像中所有像素的灰階平均值)，將該灰階值作為測(cè)得的當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量。透射調(diào)節(jié)模塊423，用于當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量大于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光亮值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值；當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量小于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。其中，預(yù)設(shè)差值可以是1%。在圖5和圖6所不的實(shí)施例中，設(shè)置了初始反射輸入光量值和初始透射輸入光量值，各個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的這兩種初始值一般是相同的。通過(guò)這種方式，可以利用使用經(jīng)驗(yàn)給各量測(cè)點(diǎn)位賦予較為接近目標(biāo)的起始值，提高自動(dòng)補(bǔ)正速度。但是，本發(fā)明并不受限于此，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位的這兩種初始值可以不同，還可以不設(shè)置這兩種初始值，而是在對(duì)每個(gè)量測(cè)點(diǎn)位進(jìn)行補(bǔ)正時(shí)，由反射測(cè)量初始化模塊411和透射測(cè)量初始化模塊421隨機(jī)生成初始值。另外，在圖5和圖6所示的實(shí)施例中，補(bǔ)正反射光量時(shí)，反射測(cè)量初始化模塊411將透射輸入光量設(shè)置為0，補(bǔ)正透射光量時(shí)，透射測(cè)量初始化模塊421將反射輸入光量設(shè)置為0，這是因?yàn)榉瓷涔夂屯干涔鈺?huì)進(jìn)行混合從而對(duì)補(bǔ)正結(jié)果產(chǎn)生影響，因此必須將反射和透射分開進(jìn)行補(bǔ)正。在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，光量干涉排除裝置400還包括:噪點(diǎn)干擾消除模塊，用于在拍攝反射圖像或透射圖像后，通過(guò)膨脹過(guò)濾和收縮過(guò)濾消除所拍攝的圖像中的噪點(diǎn)干擾。具體地，在畫面灰階值的獲取時(shí)，通常會(huì)遇到噪點(diǎn)的干擾(比如機(jī)臺(tái)面臟污、有異物等)，導(dǎo)致畫面存在黑干擾或白干擾，給畫面灰階平均值計(jì)算帶來(lái)誤差。例如，若圖像中存在黑色干擾，則將圖像膨脹(放大)一定比例直至黑色干擾完全消除，然后再將膨脹處理后的圖像收縮回原始大小。又例如，若圖像中存在白色干擾，則將圖像收縮(縮小)一定比例直至白色干擾完全消除，然后再將收縮處理后的圖像膨脹回原始大小。在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，可能因?yàn)楣庠串惓?、機(jī)構(gòu)異常、信號(hào)異常等狀況，導(dǎo)致亮度值補(bǔ)到100%或0%仍未能匹配目標(biāo)灰階值，為防止因此造成軟件呆死，在圖5和圖6所示的實(shí)施例中，光量干涉排除裝置400還可以包括:報(bào)警模塊，用于當(dāng)反射輸入光量(反射光源亮度值)或透射輸入光量(透射光源亮度值)調(diào)節(jié)到100%或0%時(shí)，中斷反射調(diào)節(jié)模塊413和透射調(diào)節(jié)模塊423進(jìn)行補(bǔ)正，并且報(bào)警提示，提醒用戶進(jìn)行異常確認(rèn)處理。如圖4所示的光量干涉排除裝置400可以集成在精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)中，這樣精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)在進(jìn)行量測(cè)時(shí)就可以保證各個(gè)量測(cè)點(diǎn)的輸出光量大致相等，避免干涉，從而提高量測(cè)準(zhǔn)確度和可靠度。本發(fā)明提供的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)(又稱為TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī))，除了包括光量干涉排除裝置400以外，還包括用于支撐玻璃基板的機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)包括與所述玻璃基板面接觸的機(jī)臺(tái)面和用于支撐所述機(jī)臺(tái)面的機(jī)臺(tái)架，通常，機(jī)臺(tái)面都是由玻璃材料制成。但是，在市場(chǎng)上現(xiàn)有的TTP測(cè)長(zhǎng)機(jī)中，機(jī)臺(tái)架都是由鋼架制成的，由于鋼架基本上不透光，因此在機(jī)臺(tái)架區(qū)域，輸出光量很微弱，即使利用光量干涉排除裝置400進(jìn)行補(bǔ)正，也很難保證機(jī)臺(tái)架區(qū)域的輸出光量達(dá)到目標(biāo)輸出光量，因此，在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，選用具有高穿透率、高硬度、高耐應(yīng)力性和強(qiáng)耐溫性透明材質(zhì)材料制成機(jī)臺(tái)架。其中，高穿透率可以盡量減少輸出光量與輸入光量之間的光量衰減；高硬度和耐應(yīng)力性可以保證機(jī)臺(tái)架能夠支撐整個(gè)機(jī)臺(tái)面而不發(fā)生形變；強(qiáng)耐溫性可以保證機(jī)臺(tái)架不易產(chǎn)生熱脹冷縮效應(yīng)而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)面移位。因此，可以選用防彈玻璃、航空航天材料等來(lái)制作機(jī)臺(tái)架，例如，可以選用以下材料或復(fù)合物:1、聚碳酸酯樹脂:具有高沖擊強(qiáng)度和硬度(可制作防彈玻璃夾層)；高純度均一性、高的透光性(86-92%)和低霧化值；高熱阻性和尺寸穩(wěn)定性，使得該產(chǎn)品在經(jīng)歷多次加熱和干燥周期后，仍能保持較小的尺寸偏差，最高使用溫度可達(dá)133°C，持續(xù)使用溫度為85°C;可成形性強(qiáng):可真空成形、模切成形、打凸、對(duì)模成形、液壓成形、熱成形等，還適合加工成大深度的三維部件；抗水、抗老化、抗紫外線、抗火焰。2、氮氧化鋁(AlON):透明高硬度防彈鋁材料；硬度是石英玻璃的4倍，是藍(lán)寶石的85% ;耐高溫，在1200攝氏度下仍處于穩(wěn)定狀態(tài)。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例方法中的全部或部分流程，是可以通過(guò)計(jì)算機(jī)程序來(lái)指令相關(guān)的硬件來(lái)完成，所述的程序可存儲(chǔ)于一計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中，該程序在執(zhí)行時(shí)，可包括如上述各方法的實(shí)施例的流程。其中，所述的存儲(chǔ)介質(zhì)可為磁碟、光盤、只讀存儲(chǔ)記憶體(Read-Only Memory, ROM)或隨機(jī)存儲(chǔ)記憶體(Random AccessMemory, RAM)等。以上所揭露的僅為本發(fā)明一種較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的全部或部分流程，并依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法，其特征在于，在量測(cè)前執(zhí)行以下步驟: 調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等；將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中； 和/或調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等；將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。
2.如權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值的步驟具體包括: 將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零； 測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量； 若測(cè)得的反射輸出光量大于所述目標(biāo)反射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光亮值； 若測(cè)得的反射輸出光量小于所述目標(biāo)反射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光量值。
3.如權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè) 得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值的步驟具體包括: 將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零； 測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量； 若測(cè)得的透射輸出光量大于所述目標(biāo)透射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光亮值； 若測(cè)得的透射輸出光量小于所述目標(biāo)透射輸出光量值，則以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光量值。
4.如權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除方法，其特征在于，所述反射輸入光量由反射光源亮度值表示，所述透射輸入光量由透射光源亮度值表示，所述反射輸出光量由反射圖像灰階值表示，所述透射輸出光量由透射圖像灰階值表示。
5.一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置，其特征在于，包括: 反射補(bǔ)正模塊，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等；和/或透射補(bǔ)正模塊，用于調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等； 參數(shù)設(shè)置模塊，用于將所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值和/或補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。
6.如權(quán)利要求5所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置，其特征在于，所述反射補(bǔ)正模塊包括: 反射測(cè)量初始化模塊，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量設(shè)置為初始反射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量值設(shè)置為零； 反射輸出光量測(cè)量模塊，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸出光量； 反射調(diào)節(jié)模塊，用于當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量大于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光亮值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值；當(dāng)所述反射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的反射輸出光量小于所述目標(biāo)反射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述反射輸入光量，直至測(cè)得的反射輸出光量等于所述目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。
7.如權(quán)利要求5所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置，其特征在于，所述透射補(bǔ)正模塊包括: 透射測(cè)量初始化模塊，用于將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量設(shè)置為初始透射輸入光量值，將當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量值設(shè)置為零； 透射輸出光量測(cè)量模塊，用于測(cè)量所述當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸出光量； 透射調(diào)節(jié)模塊，用于當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量大于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步減小所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光亮值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值；當(dāng)所述透射輸出光量測(cè)量模塊測(cè)得的透射輸出光量小于所述目標(biāo)透射輸出光量值時(shí)，以預(yù)設(shè)差值逐步增加所述透射輸入光量，直至測(cè)得的透射輸出光量等于所述目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值。
8.如權(quán)利要求5所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)光量干涉排除裝置，其特征在于，所述反射輸入光量由反射光源亮度值表示，所述透射輸入光量由透射光源亮度值表示，所述反射輸出光量由反射圖像灰階值表 示，所述透射輸出光量由透射圖像灰階值表示。
9.一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求5-8中任一項(xiàng)所述的光量干涉排除>j-U ρ α裝直。
10.如權(quán)利要求9所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)，其特征在于，所述精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)還包括用于支撐玻璃基板的機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)包括與所述玻璃基板面接觸的機(jī)臺(tái)面和用于支撐所述機(jī)臺(tái)面的機(jī)臺(tái)架，所述機(jī)臺(tái)架由具有高穿透率、高硬度、高耐應(yīng)力性和強(qiáng)耐溫性透明材質(zhì)材料制成。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)及其光量干涉排除方法和裝置。在量測(cè)前，光量干涉排除裝置調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的反射輸入光量直至測(cè)得的反射輸出光量等于目標(biāo)反射輸出光量值，得到補(bǔ)正反射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)反射輸出光量值均相等；和/或調(diào)節(jié)當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的透射輸入光量直至測(cè)得的透射輸出光量等于目標(biāo)透射輸出光量值，得到補(bǔ)正透射輸入光量值，其中所有量測(cè)點(diǎn)位的目標(biāo)透射輸出光量值均相等。然后，光量干涉排除裝置將得到的當(dāng)前量測(cè)點(diǎn)位的補(bǔ)正反射輸入光量值和/或補(bǔ)正透射輸入光量值保存在量測(cè)參數(shù)集合中。
文檔編號(hào)G02F1/13GK103217107SQ201310106348
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月29日
發(fā)明者黃文德, 張?jiān)厘? 朱厚毅 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司