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精密測長機及其光量干涉排除方法和裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2803639

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本發(fā)明涉及液晶顯示器制造領(lǐng)域,尤其涉及一種TFT-1XD精密測長機及其光量干涉排除方法和裝置。背景技術(shù)TTP (Total Pitch,長寸)測長機是 TFT (Thin Film Transistor Liquid,薄膜晶體管)-1XD (Liquid Crystal Display,液晶顯示器)制程重要的光學(xué)量測設(shè)備,主要用于測量制作玻璃基板第一層像素圖案時曝光機曝光精度長寸的量測,其量測結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對位,以及最終對組貼合的精度。同...
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