光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件。所述柔性支撐件包括與物鏡相連的頂塊、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板相連的底塊，所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)柔性連接件，柔性連接件設(shè)在頂塊和底塊之間，構(gòu)成人字型或倒T字型柔性支撐件，所述柔性連接件為設(shè)有內(nèi)部梁的框結(jié)構(gòu)或者設(shè)有柔性鉸鏈的梁結(jié)構(gòu)。所述柔性支撐裝置包括三個(gè)柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件，三者分布在等腰三角形的三個(gè)交點(diǎn)，物鏡設(shè)置在三角形中心位置。本發(fā)明提供技術(shù)方案通過所采用的柔性支撐件及其位置排布實(shí)現(xiàn)了物鏡與主基板裝配體整體模態(tài)小于30Hz。柔性支撐件具有超低剛性，足夠的支撐強(qiáng)度同時(shí)避免了應(yīng)力集中。
【專利說明】光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明屬于光刻機(jī)設(shè)備，具體涉及光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻機(jī)主要是工件臺攜帶硅片或玻璃基板等在物鏡下隨掩模臺保持同步運(yùn)動，并完成精確的曝光工作。
[0003]光刻機(jī)系統(tǒng)在工作過程中，工件臺和掩模臺分別以投影物鏡的兩面一軸(物面、焦面和光軸)為基準(zhǔn)，在控制系統(tǒng)的驅(qū)動下，按要求的精度實(shí)現(xiàn)工件臺與掩模臺之間的相對位置，以及兩者相對物鏡的位置。由于光刻機(jī)高定位精度、高同步運(yùn)動精度的特點(diǎn)，任何外界振動的傳入和內(nèi)部振動的干擾，都會引起兩者之間或者兩者相對物鏡位置的短暫錯(cuò)位，這將會嚴(yán)重影響光刻質(zhì)量。引起系統(tǒng)內(nèi)部微振動并引發(fā)錯(cuò)位的主要因素有地基振動的傳入，步進(jìn)或者掃描過程中產(chǎn)生的反作用力和力矩，以及內(nèi)部世界(氣液管路和氣膜的振動)和外部世界的隨機(jī)噪音等。為了消除各種振動因素對光刻機(jī)曝光質(zhì)量的影響，就要對整機(jī)系統(tǒng)采取有效的隔振和減振措施。
[0004]隨著大規(guī)模集成電路器件集成度的提高，光刻工作分辨力要求愈來愈高，即要求光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的穩(wěn)定性、測量系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和運(yùn)動平臺的精度也得愈來愈高(目前定位精度高于10nm)，同時(shí)工作波長也愈來愈短。進(jìn)入納米精度后，光刻分辨率對振動的影響已相當(dāng)敏感。投影物鏡作為光刻機(jī)中最精密部件及基準(zhǔn)，對環(huán)境振動的要求非常苛刻，通過減振器實(shí)現(xiàn)的單級減振已不能滿足其性能需求。如圖1所示，需要兩極隔振系統(tǒng)，其中第一級采用主動減振器101，該主動減振器101將架設(shè)物鏡100的主基板102和基礎(chǔ)框架103隔離開來，用于各類基礎(chǔ)框架103上的低頻振動，第二級采用柔性支撐裝置，用于隔離基物鏡100及主基板102，用于基礎(chǔ)框架103上的殘余振動加速度，具體結(jié)構(gòu)見圖1。
[0005]柔性支撐裝置內(nèi)支撐件104支撐幾百到上千公斤的物鏡100質(zhì)量，需保證最大應(yīng)力在材料許用應(yīng)力安全范圍，另外其各向剛度的大小決定能夠隔離基礎(chǔ)框架103振動的水平，因此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有一定的挑戰(zhàn)性?，F(xiàn)有以下幾種支撐件的設(shè)計(jì)方案。
[0006]方案一:如圖2 Ca)所示，采用Soft Mount柔性機(jī)構(gòu)裝置(30Hz)，倒T型支撐件，用于隔離主基板上的殘余振動加速度，該結(jié)構(gòu)易產(chǎn)生應(yīng)力集中，導(dǎo)致材料斷裂和疲勞失效，并且這種梁結(jié)構(gòu)的X、Y、Z三向柔性較差，隔振不足。
[0007]方案二:如圖2 (b)所示，采用切口和載重的薄片結(jié)合使得頂部相對于底部在二維平面內(nèi)的可移動，從而實(shí)現(xiàn)減振效果，但該結(jié)構(gòu)垂向剛度小，承載力小。
[0008]方案三:如圖2 (c)所示，支撐件為兩條支腿組成的人字形支撐結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)整體固有頻率高，頻率比小，隔振效果不理想。
[0009]以上方案的柔性支撐裝置的整體前六階模態(tài)頻率過高，對較高頻率的干擾信號隔離不足。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0010]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是柔性支撐件無法兼顧良好的支撐力和超低的剛性，對較高頻率的干擾信號隔離不足，為了克服以上不足，提供了一種光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件。
[0011]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:所述柔性支撐件包括與物鏡相連的頂塊、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板相連的底塊，所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)柔性連接件，柔性連接件設(shè)在頂塊和底塊之間，構(gòu)成人字型或倒T字型柔性支撐件，所述柔性連接件為設(shè)有內(nèi)部梁的框結(jié)構(gòu)或者設(shè)有柔性鉸鏈的梁結(jié)構(gòu)?？蚪Y(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)各向柔性，但易產(chǎn)生應(yīng)力集中，內(nèi)部梁用于加強(qiáng)框結(jié)構(gòu)中的應(yīng)力集中部位，梁結(jié)構(gòu)提供柔性連接件剛性，柔性鉸鏈可以實(shí)現(xiàn)梁機(jī)構(gòu)的X、Y、Z三向柔性。
[0012]進(jìn)一步，所述人字型柔性支撐件的兩柔性連接件之間的夾角為90°~120°。
[0013]進(jìn)一步，所述人字型柔性支撐件的柔性連接件為框結(jié)構(gòu)，所述框結(jié)構(gòu)還包括收縮段，將框結(jié)構(gòu)分為上框和下框，收縮段外側(cè)夾角為90°~130°，框結(jié)構(gòu)的厚度為2mnT8mm，壁厚為lmnT4mm。收縮段進(jìn)一步增加了框結(jié)構(gòu)的各向柔性，降低固有頻率。
[0014]進(jìn)一步，所述內(nèi)部梁包括交叉梁和/或一字梁。
[0015]進(jìn)一步，所述倒T字型柔性支撐件的柔性連接件為梁結(jié)構(gòu)，所述梁結(jié)構(gòu)包括豎直的方型梁和水平的H型梁，所述方型梁由上橫梁、下橫梁、連接上橫梁和下橫梁的左豎梁和右豎梁構(gòu)成，所述H型字梁包括連接梁、連接梁一端的左橫梁和連接梁另一端的右橫梁，所述下橫梁設(shè)置在連接梁上。
[0016]進(jìn)一步，所述方 型梁的的左豎梁和右豎梁的長度5mnT40mm,寬度3mnTl0mm,高度50mnTl50mm，左豎梁和右豎梁之間的間距為5~80mm，所述H型梁的連接梁的長度80mm^l80mm,寬度5mm~40mm,高度5mm~20mm,左橫梁和右橫梁的長度30mnTl80mm,寬度5mm~20mm,高度 5mm~40mmo
[0017]進(jìn)一步，所述柔性鉸鏈為圓弧型柔性鉸鏈，其包括設(shè)在所述方型梁四個(gè)頂角的第一柔性鉸鏈、設(shè)在左豎梁和右豎梁上的第二柔性鉸鏈和設(shè)在H型梁四個(gè)拐角的第三柔性鉸鏈。通過調(diào)節(jié)單個(gè)運(yùn)動副的尺寸只會對單個(gè)方向上的剛度進(jìn)行調(diào)節(jié)，不影響其他方向的剛度，實(shí)現(xiàn)了各向剛度解耦，適應(yīng)多種剛度或載荷條件下的性能需求。
[0018]進(jìn)一步，所述第一柔性鉸鏈的圓弧直徑為2mnTl0mm，所述第二柔性鉸鏈和第三柔性鉸鏈的的圓弧直徑為5~20mm。
[0019]進(jìn)一步，所述柔性支撐件的總長度為80mnT210mm,總寬度為10mnT200mm,總高度為 50mm~200mm。
[0020]進(jìn)一步，所述柔性支撐件的主體外形由機(jī)床加工成型，柔性連接件采用線切割成型。
[0021 ] 進(jìn)一步，所述柔性支撐件采用彈簧鋼或殷鋼。
[0022]進(jìn)一步，所述柔性支撐件在Z向剛度為2000N/mnT8000N/mm，X和Y向剛度為200N/mm~3000N/mm。
[0023]本發(fā)明還提供了一種柔性支撐裝置，所述柔性支撐裝置包括第一柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件，三者分布在等腰三角形的三個(gè)交點(diǎn)，第一柔性支撐件位于頂點(diǎn)，第二柔性支撐件和第三柔性支撐件位于兩個(gè)底點(diǎn)，物鏡設(shè)置在三角形中心位置。
[0024]所述中心是指三角形三條高的交點(diǎn)。[0025]進(jìn)一步，所述第一柔性支撐件橫向或縱向設(shè)置，所述第二柔性支撐件和第三柔性支撐件以頂點(diǎn)的中線為軸鏡像設(shè)置。柔性支撐件在XY面的投影為一字型，在XY面上，一字與X軸之間的夾角為0°時(shí)為橫向，夾角為90°時(shí)為縱向。排列方式應(yīng)保證第一柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件的X向剛度之和與Y向剛度之和近似相等，即Kxl+Kx2+Kx3~Kyl+Ky2+Ky3，其中
[0026]進(jìn)一步，所述柔性支撐裝置還包括設(shè)置在主基板和物鏡之間的限位塊，所述限位塊用于當(dāng)使用過程中因未知外力引起的柔性支撐件的破損時(shí)，支撐物鏡。
[0027]進(jìn)一步，所述柔性支撐裝置還包括阻尼器，所述阻尼器用于防止當(dāng)柔性支撐件的固有頻率與震源頻。
[0028]所述柔性支撐裝置與物鏡裝配后，X向模態(tài)頻率值fx、Y向模態(tài)頻率值fy、Z向模態(tài)頻率值fz、Rx向模態(tài)頻率值fa、Ry向模態(tài)頻率值fe和Rz向模態(tài)頻率值fY可由下式(I)~(VI)估算:
[0035]其中kx為柔性支撐件X向的剛度，ky為柔性支撐件Y向的剛度，kz為柔性支撐件Z向的剛度，m為物鏡質(zhì)量，ax為柔性支撐件距物鏡中心軸的X向距離，ay為柔性支撐件距物鏡中心軸的Y向距離，az為柔性支撐件距物鏡中心軸的Z向距離，P X為物鏡繞X軸轉(zhuǎn)動慣量，P y為物鏡繞Y軸轉(zhuǎn)動慣量，P z為物鏡繞Z軸轉(zhuǎn)動慣量，Σ是指三組柔性支撐件的數(shù)據(jù)求和。
[0036]本發(fā)明提供的柔性支撐裝置通過所采用的柔性支撐件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及位置布置實(shí)現(xiàn)了物鏡與主基板裝 配體的6自由度模態(tài)均小于30Hz，隔離了框架的振動。本發(fā)明提供的柔性支撐件結(jié)構(gòu)具有超低剛性，但同時(shí)又能夠保證支撐強(qiáng)度，規(guī)避了結(jié)構(gòu)中的應(yīng)力集中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]圖1是光刻機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中支撐件的結(jié)構(gòu)示意圖，其中(a)為方案一，(b)為方案二，(C)為方案二。
[0039]圖3是實(shí)施例1柔性支撐件排布示意圖。
[0040]圖4是實(shí)施例1柔性支撐裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0041]圖5是實(shí)施例1柔性支撐件的結(jié)構(gòu)示意圖，其中(a)為主視圖，(b)為主視圖的K向視圖。
[0042]圖6是實(shí)施例2柔性支撐件排布示意圖。
[0043]圖7是實(shí)施例2柔性連接件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0044]圖8是實(shí)施例3柔性支撐件排布示意圖，其中(a)為第一柔性支撐件橫向設(shè)置，(b)為第一柔性支撐件豎向設(shè)置。
[0045]圖9是實(shí)施例3柔性支撐件的結(jié)構(gòu)示意圖，其中(a)為柔性支撐件的主視圖，(b)為柔性支撐件的右視圖，(C)為柔性支撐件的俯視圖。
[0046]圖中所示:100-物鏡，101-主動減震器，102-主基板，103-基礎(chǔ)框架，104-支撐件；
[0047]11-第一柔性支撐件，12-第二柔性支撐件，13-第三柔性支撐件，14-中線，15-限位塊，16-阻尼器；
[0048]21-頂塊，22-第一底塊，23-第二底塊，24-第一柔性連接件，25-第二柔性連接件；
[0049]241-X型收縮段，242-上框，243-第一交叉梁，244-下框，245-第二交叉梁，246-第一一字梁，247-第二一字梁，248-沙漏狀收縮段，249-第三一字梁；
[0050]31-第一底塊組，32-第二底塊組，33-第三柔性連接件，34-第四柔性連接件；
[0051]311-前底塊，312-后底塊；
[0052]331-連接梁，332-左橫梁，333-右橫梁，334-第三柔性鉸鏈；
[0053]341-上橫梁，342-下橫梁，343-左豎梁，344-右豎梁，345-第一柔性鉸鏈，346-第
二柔性鉸鏈。
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)描述:
[0055]實(shí)施例1
[0056]如圖3所示，本發(fā)明所述柔性支撐裝置包括第一柔性支撐件11、第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13，三者分布在等腰三角形的三個(gè)交點(diǎn)，第一柔性支撐件11位于頂點(diǎn)，第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13位于兩個(gè)底點(diǎn)，物鏡100的中心與三角形中心重合。
[0057]所述第一柔性支撐件11橫向設(shè)置，所述第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13與第一柔性支撐件11之間的夾角為60°，第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13以頂點(diǎn)的中線14為軸鏡像設(shè)置。
[0058]如圖4所示，所述柔性支撐裝置還包括與第一柔性支撐件11、第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13 —一對應(yīng)的限位塊15和阻尼器16，柔性支撐件、阻尼器16和限位塊15由內(nèi)向外依次設(shè)置在物鏡100和主基板102之間。
[0059]需要指出的是阻尼器16還可以設(shè)置在物鏡100上。[0060]如圖5所示，所述第一柔性支撐件11、第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13的結(jié)構(gòu)相同，以第一柔性支撐件11為例，其包括與物鏡100相連的頂塊21、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板102相連的第一底塊22和第二底塊23。所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括第一柔性連接件24和第二柔性連接件25，所述第一柔性連接件24的頂端與頂塊21相連，低端與第一底塊22相連，第二柔性連接件25的頂端與頂塊21相連，低端與第二底塊23相連，第一柔性連接件24和第二柔性連接件25之間的夾角為100°，第一柔性支撐件11整體呈人字型，總長度為210mm,總寬度為30mm,總高度為120_。
[0061]所述第一柔性連接件24和第二柔性連接件25的結(jié)構(gòu)相同，均為框結(jié)構(gòu)，以第一柔性連接件24為例，所述第一柔性連接件24包括X型收縮段241、X型收縮段241以上的上框242、設(shè)置在上框242內(nèi)的第一交叉梁243、X型收縮段241以下的下框244和設(shè)置在下框244內(nèi)的第二交叉梁245，X型收縮段241外側(cè)夾角為120°，第一柔性連接件24的厚度為6mm,壁厚為1.5mm。
[0062]材料采用60Si2Mn。
[0063]所述第一柔性支撐件11的主體外形由機(jī)床加工成型,第一柔性連接件24和第二柔性連接件25采用線切割成型。第一柔性支撐件11的自身固有頻率大于400Hz，在X、Y、Z以及RX、RY和RZ6個(gè)自由度上可以在材料允許的彈性范圍內(nèi)變形，在Z方向剛度范圍2000N/mm 至 8000N/mm，X 和 Y 方向剛度范圍 200N/mm 至 3000N/mm。
[0064]將柔性支撐裝置與物鏡100和主基板102裝配完成，采用單點(diǎn)測量，多點(diǎn)錘擊的方式進(jìn)行模態(tài)測試。數(shù)據(jù)采集儀器為Spectrum Dynamics公司的siglab測試系統(tǒng)；傳感器為PCB公司的356A17型三軸加速度傳感器。測試完成后，采用StarModal軟件對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行辨識，從而得到模態(tài)參數(shù)。經(jīng)測試物鏡與柔性塊裝配后整體前六自由度模態(tài)頻率小于30Hz，可達(dá)到隔振效果。
[0065]m為物鏡質(zhì)量600kg，通過式(I)?(VI)估算六自由度模態(tài)頻率小于30Hz。
[0066]實(shí)施例2
[0067]除以下區(qū)別外，其余均參考實(shí)施例1。
[0068]如圖6所示，所述第一柔性支撐件11豎向設(shè)置，所述第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13與第一柔性支撐件11平行。
[0069]如圖7所示，所述第一柔性連接件24和第二柔性連接件25內(nèi)的第——字梁246替換第一交叉梁243，第二一字梁247替換第二交叉梁245，并且沙漏狀收縮段248替換了X型收縮段241，在沙漏狀收縮段248的最窄處設(shè)有第三一字梁249。
[0070]實(shí)施例3
[0071]除以下區(qū)別外，其余均參考實(shí)施例1。
[0072]如圖8所示，所述第一柔性支撐件11橫向或豎向設(shè)置，所述第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13與第一柔性支撐件11垂直。所述柔性支撐裝置不包括限位塊15和阻尼器16。
[0073]如圖9所示，所述第一柔性支撐件11、第二柔性支撐件12和第三柔性支撐件13的結(jié)構(gòu)相同，以第一柔性支撐件11為例，其包括物鏡100相連的頂塊21、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板102相連的第一底塊組31和第二底塊組32。
[0074]所述第一底塊組31和第二底塊組32結(jié)構(gòu)相同，以第一底塊組31為例，其包括前底塊311和后底塊312。
[0075]所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括H型第三柔性連接件33和方型第四柔性連接件34，第三柔性連接件33和第四柔性連接件34為設(shè)有柔性鉸鏈的梁結(jié)構(gòu)。
[0076]所述第三柔性連接件33包括連接梁331、連接梁331 —端的左橫梁332和連接梁311另一端的右橫梁333，所述連接梁331的長度120mm，寬度20mm，高度10mm，左橫梁332和右橫梁333尺寸相同，其長度100mm，寬度15mm，高度25mm。
[0077]所述第四柔性連接件34包括上橫梁341、下橫梁342、連接上橫梁341和下橫梁342的左豎梁343和右豎梁344。左豎梁343和右豎梁344的尺寸相同，其長度20mm，寬度7mm,高度75mm，左豎梁343和右豎梁344之間的間距為20_。
[0078]所述左橫梁332的前后兩端分別與第一底塊組31的前底塊311和后底塊312相連，右橫梁333與第二底塊組32類似方式相連，所述上橫梁341與頂塊21相連，下橫梁342設(shè)置在連接梁331的中部且下橫342與左橫梁332或右橫梁333垂直，當(dāng)然也可以平行設(shè)置。
[0079]自此第一柔性支撐件11整體呈倒T型，總長度為170mm，總寬度為100mm，總高度為 115mm。
[0080]所述第四柔性連接件34還包括第一柔性鉸鏈345和第二柔性鉸鏈346，所述第一柔性鉸鏈345由設(shè)在方型梁的四個(gè)頂角，結(jié)構(gòu)相同的四對圓弧構(gòu)成，該圓弧的直徑為4_，通過調(diào)節(jié)第一柔性鉸鏈345的參數(shù)可實(shí)現(xiàn)X向剛度調(diào)節(jié)。所述第二柔性鉸鏈346由設(shè)在左豎梁343和右豎梁344上的四對圓弧構(gòu)成，該圓弧的直徑為14mm，通過調(diào)節(jié)第二柔性鉸鏈346的參數(shù)可實(shí)現(xiàn)Y向剛度調(diào)節(jié)。
[0081]所述第三柔性連接件33還包括第三柔性鉸鏈334，其由設(shè)在H型梁四個(gè)拐角的兩對圓弧構(gòu)成，該圓弧的直徑為14_，通過調(diào)節(jié)第三柔性鉸鏈334的參數(shù)可實(shí)現(xiàn)Z向剛度的調(diào)節(jié)。從而實(shí)現(xiàn)各向剛度解耦，適應(yīng)多種剛度或載荷條件下的性能需求。
[0082]所述第一柔性支撐件11的主體外形由機(jī)床加工成型,第三柔性連接件33和第四柔性連接件34采用線切割成型。
[0083]將柔性支撐裝置與物鏡100和主基板102裝配完成，采用單點(diǎn)測量，多點(diǎn)錘擊的方式進(jìn)行模態(tài)測試。數(shù)據(jù)采集儀器為Spectrum Dynamics公司的siglab測試系統(tǒng)；傳感器為PCB公司的356A17型三軸加速度傳感器。測試完成后，采用StarModal軟件對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行辨識，從而得到模態(tài)參數(shù)。經(jīng)測試物鏡與柔性塊裝配后整體前六自由度模態(tài)頻率小于30Hz，可達(dá)到隔振效果。
[0084]m為物鏡質(zhì)量600kg，通過式(I)?(VI)估算六自由度模態(tài)頻率小于30Hz。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其包括與物鏡相連的頂塊、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板相連的底塊，其特征在于，所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)柔性連接件，柔性連接件設(shè)在頂塊和底塊之間，構(gòu)成人字型或倒T字型柔性支撐件，所述柔性連接件為設(shè)有內(nèi)部梁的框結(jié)構(gòu)或者設(shè)有柔性鉸鏈的梁結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述人字型柔性支撐件的兩柔性連接件之間的夾角為90°~120°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述人字型柔性支撐件的柔性連接件為框結(jié)構(gòu)，所述框結(jié)構(gòu)還包括收縮段，將框結(jié)構(gòu)分為上框和下框，收縮段外側(cè)夾角為90°~130° ,框結(jié)構(gòu)的厚度為2mnT8mm,壁厚為lmnT4mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3任一項(xiàng)所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述內(nèi)部梁包括交叉梁和/或一字梁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述倒T字型柔性支撐件的柔性連接件為梁結(jié)構(gòu)，所述梁結(jié)構(gòu)包括豎直的方型梁和水平的H型梁，所述方型梁由上橫梁、下橫梁、連接上橫梁和下橫梁的左豎梁和右豎梁構(gòu)成，所述H型字梁包括連接梁、連接梁一端的左橫梁和連接梁另一端的右橫梁，所述下橫梁設(shè)置在連接梁上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述方型梁的的左豎梁和右豎梁的長度5mnT40mm,寬度3mnTl0mm,高度50mnTl50mm,左豎梁和右豎梁之間的間距為5~80mm,所述H型梁的連接梁的長度80mnTl80mm,寬度5mnT40mm,高度5mnT20mm,左橫梁和右橫梁的長度30mnTl80mm,寬度5mm~20mm,高度5mm~40mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述柔性鉸鏈為圓弧型柔性鉸鏈，其包括設(shè)在所述方型梁四個(gè)頂角的第一柔性鉸鏈、設(shè)在左豎梁和右豎梁上的第二柔性鉸鏈和設(shè)在H型梁四個(gè)拐角的第三柔性鉸鏈。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述第一柔性鉸鏈的圓弧直徑為2mnTl0mm，所述第二柔性鉸鏈和第三柔性鉸鏈的的圓弧直徑為5~20mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述柔性支撐件的總長度為80mm~2IOmm,總寬度為IOmm~200mm,總高度為50mm~200mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述柔性支撐件的主體外形由機(jī)床加工成型，柔性連接件采用線切割成型。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述柔性支撐件采用彈簧鋼或殷鋼。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，其特征在于，所述柔性支撐件在Z向剛度為 2000N/mnT8000N/mm，X 和 Y 向剛度為 200N/mnT3000N/mm。
13.—種柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性支撐裝置包括第一柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件，所述第一柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件選自權(quán)利要求廣12任一項(xiàng)所述一種光刻機(jī)的柔性支撐件，三者分布在等腰三角形的三個(gè)交點(diǎn)，第一柔性支撐件位于頂點(diǎn)，第二柔性支撐件和第三柔性支撐件位于兩個(gè)底點(diǎn)，物鏡設(shè)置在三角形中心位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述一種柔性支撐裝置，其特征在于，所述第一柔性支撐件橫向或縱向設(shè)置，所述第二柔性支撐件和第三柔性支撐件以頂點(diǎn)的中線為軸鏡像設(shè)置。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述一種柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性支撐裝置還包括設(shè)置在主基板和物鏡之 間的限位塊。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述一種柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性支撐裝置還包括阻尼器。
【文檔編號】G03F7/20GK103982587SQ201310049276
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2013年2月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月7日
【發(fā)明者】王茜, 王璟, 秦磊 申請人:上海微電子裝備有限公司