技術(shù)編號(hào)：2699683
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光刻機(jī)的柔性支撐裝置及柔性支撐件。所述柔性支撐件包括與物鏡相連的頂塊、柔性連接機(jī)構(gòu)和與主基板相連的底塊，所述柔性連接機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)柔性連接件，柔性連接件設(shè)在頂塊和底塊之間，構(gòu)成人字型或倒T字型柔性支撐件，所述柔性連接件為設(shè)有內(nèi)部梁的框結(jié)構(gòu)或者設(shè)有柔性鉸鏈的梁結(jié)構(gòu)。所述柔性支撐裝置包括三個(gè)柔性支撐件、第二柔性支撐件和第三柔性支撐件，三者分布在等腰三角形的三個(gè)交點(diǎn)，物鏡設(shè)置在三角形中心位置。本發(fā)明提供技術(shù)方案通過所采用的柔性支撐件及其位置排布實(shí)現(xiàn)了物鏡...
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