專利名稱：一種換位機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光學(xué)檢測、光學(xué)記錄、激光系統(tǒng)等技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于光學(xué)系統(tǒng)檢測的換位機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型能夠應(yīng)用于光學(xué)零件面形檢測、光學(xué)系統(tǒng)像差測量、激光輸出波前實(shí)時測試等，尤其適用于光刻設(shè)備中的光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)器件的檢測。
背景技術(shù)：
在光學(xué)系統(tǒng)或設(shè)備中，能經(jīng)常需要對光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)設(shè)備或其所包括的光學(xué)器件進(jìn)行各種參數(shù)的檢測，例如像差檢測等。以光刻機(jī)為例，其核心是一套高精度的投影成像系統(tǒng)。而由于波像差的存在會影響投影成像的精確度，從而影響光刻加工的質(zhì)量。目前，光刻機(jī)的像差檢測的基本原理是利用待測光刻機(jī)投影物鏡系統(tǒng)對某種特殊設(shè)計的專用掩模標(biāo)記(其作為光學(xué)檢測樣品)進(jìn)行曝光，將待測系統(tǒng)波像差包含到掩模標(biāo)記的成像信息中；再通過某種方法從包含了系統(tǒng)像差的成像信息中反推出系統(tǒng)像差的大小。通常，需要一組(若干個)掩模光柵標(biāo)記的成像信息才能檢測和反算出像差。因此就需要專門的機(jī)構(gòu)對不同的掩膜光柵標(biāo)記進(jìn)行切換，從而得到不同的成像信息。圖1所示為用于雙模式像差檢測的掩模光柵標(biāo)記的示意圖。如圖1所示，在該雙模式像差檢測過程中需要四個掩膜光柵標(biāo)記，可分為兩組，圖1中的a圖和b圖示意地表示了快速檢測模式所用標(biāo)記，a圖為橫向光柵標(biāo)記，b圖為縱向光柵標(biāo)記,需聯(lián)立二者的成像信息才能反算出像差。c圖和d圖示意地表示了精確檢測模式下的橫向光柵和縱向光柵，二者與前兩者的區(qū)別在于光柵較密，其檢測精度較高。所述四個掩模光柵標(biāo)記統(tǒng)一集成在一塊掩模板上。針對四個不同的檢測標(biāo)記，檢測系統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)應(yīng)能實(shí)現(xiàn)4個位置的精確定位，對于光刻機(jī)的投影物鏡的檢測系統(tǒng)中多米用一維宏動直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)多個掩模標(biāo)記之間的切換，實(shí)際上一維宏動直線電機(jī)主要功能是驅(qū)動掩模上光刻圖案的移動調(diào)整。且掩模臺子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相當(dāng)復(fù)雜，零部件相當(dāng)繁多，所占體積空間也較大，不宜專門用于投影系統(tǒng)像差等參數(shù)的檢測，而對于投影物鏡的專用檢測系統(tǒng)尚無精簡的機(jī)構(gòu)?？梢?，在現(xiàn)有技術(shù)中，掩模光柵標(biāo)記的換位常常被復(fù)合在調(diào)整掩模板的一維宏動直線電機(jī)上，實(shí)際上屬于掩模臺直線電機(jī)的一個附加功能，而并未有針對光學(xué)投影元件檢測的專用機(jī)構(gòu)，此外還需要配備有一套測量系統(tǒng)，整個機(jī)構(gòu)相復(fù)雜。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提出一種專用于光學(xué)系統(tǒng)檢測的換位機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有的換位機(jī)構(gòu)不具備獨(dú)立的換位定位機(jī)構(gòu)，而使換位機(jī)構(gòu)附加于驅(qū)動電機(jī)時機(jī)構(gòu)復(fù)雜的缺點(diǎn)。( 二 )技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種換位機(jī)構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測樣品的載物臺和定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中，所述載物臺在X方向上的運(yùn)動被限制，在Y方向上能夠自由移動，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)；所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽；所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，所述定位塊的定位部呈圓臺體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺孔形。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動電機(jī)，該驅(qū)動電機(jī)用于驅(qū)動定位塊在X方向上水平移動。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機(jī)均具有多個，且每個定位槽件對應(yīng)一個定位塊，其中所述每個定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個定位槽件在Y方向上相互錯開特定的距離，所述多個定位塊在Y方向上位于同一位置。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
,所述多個定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺固定連接。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，與所述多個定位塊連接的多個驅(qū)動電機(jī)固定在電機(jī)框架上，該電機(jī)框架被固定以至在Y方向上的運(yùn)動被限制。本實(shí)用新型還提出一種光學(xué)檢測樣品平臺，其包括上述換位機(jī)構(gòu)，并且，所述光學(xué)檢測樣品平臺還包括基架，所述基架上安裝所述電機(jī)框架；所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，所述載物臺能夠相對于基架在Y方向上進(jìn)行平行滑動。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
，在所述載物臺上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測樣品的支承臺。(三)有益效果本實(shí)用新型的換位機(jī)構(gòu)能過定位槽件和定位塊的配合，結(jié)構(gòu)精簡,成本低廉,不僅能實(shí)現(xiàn)光學(xué)樣品換位機(jī)構(gòu)的定位和換位功能，而且操作簡便。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于雙模式像差檢測的掩模光柵標(biāo)記的示意圖；圖2為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的單層換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的單層換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的單層換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的多層換位機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的示意圖；圖6為圖5所示的第四實(shí)施例的多層換位機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的頂視圖；[0025]圖7為本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的光學(xué)檢測樣品平臺的分解結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的光學(xué)檢測樣品平臺的頂部側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。本實(shí)用新型根據(jù)斜面分力產(chǎn)生動力的原理，結(jié)合投影物鏡的專用檢測系統(tǒng)的實(shí)際功能需求，設(shè)計一種換位機(jī)構(gòu)，以對于所承載的光學(xué)檢測樣品在水平一維方向上進(jìn)行精確定位。本實(shí)用新型的換位機(jī)構(gòu)包括一個載物臺，該載物臺呈平板狀，且其主平面與水平面平行。該載物臺用于承載光學(xué)檢測樣品，為了配合檢測樣品在水平一維方向上的定位，該載物臺在水平面的一個方向上的運(yùn)動被限制，而在垂直于該方向上能夠自由移動。為了描述方便，我們以直角維坐標(biāo)系來表示上述運(yùn)動方向。我們以X、Y方向?yàn)樗矫嫔系膬蓚€相互垂直的方向，Z方向?yàn)榇怪庇谒矫娴姆较颍⒓僭O(shè)載物臺的X方向上的運(yùn)動被限制，則該載物臺能夠在Y方向上自由移動。為了使載物臺能夠在Y方向上被精確定位，本實(shí)用新型的換位機(jī)構(gòu)中包括有定位機(jī)構(gòu)，該定位機(jī)構(gòu)由一個定位槽件和定位塊構(gòu)成。其中，定位槽件固定連接于載物臺的一個側(cè)邊，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽；定位塊是與定位槽件相配合的一個部件，其具有外凸的定位部，該定位部與定位槽的形狀完全吻合，以至于其能夠緊密地嵌合于所述定位槽中。必須注意的是，為了實(shí)現(xiàn)載物臺在Y方向上的定位，定位塊在X方向上能夠自由運(yùn)動，但在Y方向上的運(yùn)動被限制，并且，當(dāng)該定位塊在X方向上靠近所述定位槽件運(yùn)動時，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。由于定位槽件固接于載物臺，而載物臺在X方向上的運(yùn)動被限制，因此定位塊成X方向上的運(yùn)動通過定位部與定位槽的相互作用而轉(zhuǎn)化為定位槽件在Y方向上的運(yùn)動，從而定位槽件帶動載物臺在Y方向上運(yùn)動。當(dāng)定位部完全嵌合于定位槽中時，完成載物臺在Y方向上的精確定位。圖2是本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí)用新型的換位機(jī)構(gòu)包括載物臺1、定位槽件2和定位塊3。該實(shí)施例中，載物臺I呈矩形的平板狀，具有四條側(cè)邊，且其主平面平行于水平面，其中相對的兩條側(cè)邊平行于水平面上的X方向，另兩條側(cè)邊平行于水平面上的Y方向(與X方向垂直)。該載物臺I用于承載光學(xué)檢測樣品，并且其在X方向上的運(yùn)動被限制，而在Y方向上能夠自由地滑動。由此，當(dāng)光學(xué)檢測樣品被放置并固定于該載物臺I上時，其能夠在水平面上的Y方向運(yùn)動。在該載物臺I的平行于X方向的一條側(cè)邊上固定連接有一個定位槽件2。在該實(shí)施例中，定位槽件2也呈矩形的平板狀，其主平面也平行于水平面，其通過一條側(cè)邊與載物臺I的相應(yīng)側(cè)邊緊密連接。該定位槽件2的平行于Y方向的一側(cè)開有一個定位槽，該定位槽是一個內(nèi)凹的槽形。所述定位塊3是一個與定位槽件2相配合以使定位槽件2在Y方向上精確定位的部件。定位塊3包括一個外凸的定位部，該定位部朝向與所述定位槽件2的定位槽。定位塊3在X方向上能夠朝向或背離定位槽件而自由運(yùn)動，但在Y方向上的運(yùn)動被限制。并且，當(dāng)該定位塊3在X方向上靠近所述定位槽件2運(yùn)動時，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。在該實(shí)施例中，定位塊3也呈平板狀，其主平面也平行于水平面，且其定位部位于定位塊3的朝向定位槽件2的一側(cè)。并且，該定位部呈一個等腰三角形，其頂角正對所述定位槽件2。由此，整個定位塊3呈現(xiàn)一個前尖后平的形狀，如圖2所示。與之相對應(yīng)的，定位槽件2的定位槽具有與所述定位部完全吻合的形狀，即定位槽呈現(xiàn)一個類似于定母V的內(nèi)凹形，(或稱內(nèi)凹的V形)，使得定位塊3的定位部能夠無阻礙地、緊密嵌合于所述定位槽中。由此，由于定位塊3在Y方向上的運(yùn)動被限制，當(dāng)定位塊3在X方向上朝向定位槽件2移動時，定位塊2的定位部能夠滑入定位槽中，并且，當(dāng)定位槽件沒有處于其定位的位置時，定位部的側(cè)邊與定位槽的V形的側(cè)邊相互產(chǎn)生力的作用，迫使定位槽件在Y方向上移動，使得定位部完全嵌合于定位槽中，此時，與定位槽件相固接的載物臺I達(dá)到其所需的Y方向上的定位位置。在該實(shí)施例中，定位塊3與一個驅(qū)動電機(jī)4相連，在驅(qū)動電機(jī)4能夠驅(qū)動定位塊3在X方向上水平移動。由此，在該驅(qū)動電機(jī)4的的驅(qū)動下，定位塊3的定位部能夠滑進(jìn)或移出定位槽件2的定位槽。由于定位塊3的定位部是一個三角形的板狀，因此，當(dāng)定位塊的定位部完全嵌合于定位槽件的定位槽中時，定位塊能夠約束定位槽件2在Y方向上的平移、X方向上的旋轉(zhuǎn)和Z方向上的旋轉(zhuǎn)三個運(yùn)動自由度，從而能夠滿足光學(xué)檢測樣品在一維方向上(Y方向上)的定位要求。然而，對于要求更多自由度約束的光學(xué)檢測樣品的定位時,也可能改變定位槽件與定位塊的形狀和結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。圖3和圖4是本實(shí)用新型的第二、第三實(shí)施例的換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，該換位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)與前面所述實(shí)施例基本相同，所不同的在于定位機(jī)構(gòu)的不同。在圖3所示的第二實(shí)施例中，定位塊3’的定位部是一個圓錐體形，而非三角的平板狀。相應(yīng)的，定位槽件2’的定位槽的形狀也呈一個內(nèi)凹的圓錐體形，或稱圓錐孔，且其輪廓與定位部的圓錐體形一致。由此，當(dāng)定位塊3’的圓錐體定位部在驅(qū)動電機(jī)4的驅(qū)動下也能嵌合于定位槽部實(shí)現(xiàn)定位。并且，由于圓錐體形構(gòu)造的定位塊，該換位機(jī)構(gòu)還能夠限制定位槽件2’在Z方向上的移動，從而特別適合于對于Z方向上的移動也有自由度限制要求的光學(xué)檢測樣品的定位。在圖4所示的第三實(shí)施例中，定位塊3”大至呈一圓柱體形，其朝向定位槽件的前部的定位部是一個底面積較大、頂面積較小的圓臺體形(圖中因角度問題未能顯示)。相應(yīng)的，定位槽件2”的定位槽的形狀也呈一個內(nèi)凹的圓臺體形，或稱圓臺孔。與圖3所示的實(shí)施例相似的，該實(shí)施例也能實(shí)現(xiàn)Z方向上的運(yùn)動限位。上述實(shí)施例實(shí)現(xiàn)的是一種單層的換位機(jī)構(gòu)，僅能實(shí)現(xiàn)單個光學(xué)檢測樣品的定位。下面描述能夠?qū)崿F(xiàn)在多個光學(xué)檢測樣品之間的自由切換，且換位過程與定位過程同時進(jìn)行的多層換位機(jī)構(gòu)。該換位機(jī)構(gòu)能夠快捷地進(jìn)行快速檢測模式與精確檢測模式切換，對光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行快速檢測與精確檢測。圖5是本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的四層換位機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的示意圖。與前面描述的實(shí)施例不同的是，該換位機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)包括四個定位槽件21、22、23、24和四個定位塊31、32、33、34，四個定位塊分別與驅(qū)動電機(jī)41、42、43、44相連接。同樣的，四個定位槽件在X方向上的運(yùn)動被限制，而四個定位塊在Y方向上的運(yùn)動被限制。每個定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中所描述的相同，在此不再贅述。所不同的是，四個定位槽件不直接與載物臺(圖5中未顯示)相連接，而是共同固定于一個定位槽件框架5上，該定位槽件框架5是一個具有穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的框體部件，在其的一側(cè)固定該四個定位槽件，另一側(cè)則與載物臺I固定連接。相應(yīng)的，四個驅(qū)動電機(jī)則固定在一個電機(jī)框架6上,該電機(jī)框架6被固定以至在Y方向上的運(yùn)動被限制。所述四個定位槽件和四個電機(jī)被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個電機(jī)能夠分別驅(qū)動四個定位塊與定位槽件相嵌合。然而，在水平面的Y方向上，所述四個定位槽件21、22、23、24相互錯開一個距離，而所述四個電機(jī)41、42、43、44則在水平Y(jié)方向上位于同一位置，由此，當(dāng)四個電機(jī)分別驅(qū)動不同的定位塊嵌合于定位槽件時，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺在Y方向上的四個不同位置的定位。圖6顯示了本實(shí)用新型的該第四實(shí)施例的換位機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)在頂視圖。如圖6所示，在該實(shí)施例中，四個定位槽件在Y方向上從下至上依次錯開距離△(!，而四個定位塊在Y方向上完全重合。圖7和圖8顯不了本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖，基中圖7是分解不意圖，圖8是頂部側(cè)視圖。該第五實(shí)施例是一個光學(xué)檢測樣品平臺，其包括了上述換位機(jī)構(gòu)。如圖7所示，該實(shí)施例的光學(xué)檢測樣品平臺由固定部和運(yùn)動部組成，固定部包括水平放置的基架7和在基架7上固定安裝的部件?；?呈大致的矩形，具有四條側(cè)邊。在基架7上兩條相對的側(cè)邊上安裝有相互平行的導(dǎo)軌71、72，兩個導(dǎo)軌均平行于位于水平面上Y方向。在基架7的平行于X方向上的一條側(cè)邊上固定有電機(jī)框架6,所述電機(jī)框架6垂直于水平面安裝，用于固定多個驅(qū) 動電機(jī)。在該實(shí)施例中，采用四個電機(jī)，其結(jié)構(gòu)和安裝方式與第四實(shí)施例相同，在此不再贅述。在基架7的上部安裝有運(yùn)動部，運(yùn)動部包括載物臺I和在載物臺I上固定的其他部件。在載物臺I的下部具有與所述導(dǎo)軌71、72相配合的兩條平行的導(dǎo)槽11、12。通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，載物臺I能夠相對于基架I在Y方向上進(jìn)行平行滑動。在載物臺的靠近電機(jī)框架6的一側(cè)固定有定位槽件框架5,其用于固定多個定位槽件。在該實(shí)施例中，定位槽件與定位槽件框架5的結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系與第四實(shí)施例相同，在此也不再贅述。同樣的，所述四個定位槽件和四個電機(jī)被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個電機(jī)能夠分別驅(qū)動四個定位塊與定位槽件相嵌合。由此，當(dāng)四個電機(jī)分別驅(qū)動不同的定位塊嵌合于定位槽件時，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺在Y方向上的四個不同位置的定位。在圖7和圖8中，還顯示了當(dāng)該光學(xué)檢測樣品平臺上固定有光學(xué)檢測樣品時的結(jié)構(gòu)，在該實(shí)施例中，光學(xué)檢測樣品為掩膜板9，掩膜板9由一掩膜支承臺8支承，該掩膜支承臺8固定于載物臺I上。但本實(shí)用新型并不限于此，本實(shí)用新型的換位機(jī)構(gòu)和相應(yīng)的平臺也可以用于承載和精確定位其他光學(xué)樣品。圖1所示的四種圖案a、b、c、d沿Y方向依次排列，并且放置在載物臺上，它們之間的距離為Λ d，這與四層V型塊在Y方向的距離保持一致，當(dāng)?shù)谝粚覸型槽21與V型塊31相嚙合時，掩模板位于Y軸的近端，圖案d正位于工作區(qū)域，當(dāng)?shù)诙覸型槽22與V型塊32相嚙合時，載物臺會向Y軸遠(yuǎn)端方向移動Λ d，此時圖案c便進(jìn)入了工作區(qū)域，依次類推，每移動一個Λ d，圖案便切換一次。在上述各實(shí)施例中，所述驅(qū)動電機(jī)4優(yōu)選為直線電機(jī)。直線電機(jī)可直接輸出一維的直線運(yùn)動，無需另外的運(yùn)動轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，如果采用通常的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，則需加裝把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動變換為直線運(yùn)動的機(jī)構(gòu)，會使整機(jī)結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，也降低了系統(tǒng)的可靠性。此外，所述定位機(jī)構(gòu)的定位槽件和定位塊的數(shù)量、形狀、錯開距離等都可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需要進(jìn)行變化，并且這種變化均應(yīng)視為涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。以上所述的具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種換位機(jī)構(gòu)，包括載物臺，其特征在于，還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中， 所述載物臺在X方向上的運(yùn)動被限制，在Y方向上能夠自由移動，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)； 所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽； 所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。
2.如權(quán)利要求1所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。
3.如權(quán)利要求1所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。
4.如權(quán)利要求1所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓臺體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺孔形。
5.如權(quán)利要求1所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動電機(jī)，該驅(qū)動電機(jī)用于驅(qū)動定位塊在X方向上水平移動。
6.如權(quán)利要求5所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機(jī)均具有多個，且每個定位槽件對應(yīng)一個定位塊，其中 所述每個定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個定位槽件在Y方向上相互錯開特定的距離，所述多個定位塊在Y方向上位于同一位置。
7.如權(quán)利要求6所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述多個定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺固定連接。
8.如權(quán)利要求7所述的換位機(jī)構(gòu)，其特征在于，與所述多個定位塊連接的多個驅(qū)動電機(jī)固定在電機(jī)框架上，該電機(jī)框架被固定以至在Y方向上的運(yùn)動被限制。
9.一種光學(xué)檢測樣品平臺，其特征在于，包括如權(quán)利要求8所述的換位機(jī)構(gòu)，并且， 所述光學(xué)檢測樣品平臺還包括基架，所述基架上安裝所述電機(jī)框架； 所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，所述載物臺能夠相對于基架在Y方向上進(jìn)行平行滑動。
10.如權(quán)利要求9所述的光學(xué)檢測樣品平臺，其特征在于，在所述載物臺上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測樣品的支承臺。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種換位機(jī)構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測樣品的載物臺和定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，所述載物臺在水平面上的X方向上的運(yùn)動被限制，在水平面上且垂直于X方向的Y方向上能夠自由移動；所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽，所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。本實(shí)用新型還提出了具有多層定位功能的換位機(jī)構(gòu)和包括換位機(jī)構(gòu)的檢測樣品平臺。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，能通過簡便地操作實(shí)現(xiàn)檢測樣品的定位和換位。
文檔編號G03F7/20GK203025475SQ201220652820
公開日2013年6月26日 申請日期2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月30日
發(fā)明者齊威, 齊月靜, 劉廣義, 韓曉泉 申請人:中國科學(xué)院光電研究院