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曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:2695046閱讀:300來源:國知局
專利名稱:曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及印制電路板領(lǐng)域,具體涉及一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的用于電荷耦合元件(CCD)自動對位曝光機(jī)曬架的覆銅箔板對位系統(tǒng),是通過CCD監(jiān)測上下底片靶標(biāo)的位置,利用覆銅箔板對位系統(tǒng)帶動膨脹釘在兩個方向上的移動,來實現(xiàn)覆銅箔板與上下底片的準(zhǔn)確對位?,F(xiàn)有曝光機(jī)曬架的覆銅箔板對位,是通過兩個對位系統(tǒng)帶動一個膨脹釘?shù)囊苿樱垂菜奶讓ξ幌到y(tǒng)帶動兩個膨脹釘?shù)倪\動來實現(xiàn)覆銅箔板的自動對位,結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜
實用新型內(nèi)容
本實用新型提供了一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),能夠簡化結(jié)構(gòu)。本實用新型提供了一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),包括至少兩個對位單元、至少兩個推動氣缸、移動軸和固定件;至少兩個所述對位單元分別設(shè)置在所述移動軸的兩側(cè),控制所述移動軸沿水平X和Y方向移動;每個所述推動氣缸與一個所述對位單元相配合,所述推動氣缸與相配合的所述對位單元作用在所述移動軸上的力是相反的;所述固定件安裝在所述移動軸上。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,進(jìn)一步包括長方形的移動板,其上設(shè)置三個移動軸,一個所述移動軸控制所述移動板沿所述移動板的長邊方向移動,另兩個所述移動軸控制所述移動板沿短邊方向移動;每個所述移動軸安裝有兩個滾動軸承。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,具有三個所述對位單元和三個所述推動氣缸,其中兩個所述對位單元設(shè)置在所述移動板長邊的同一側(cè),控制所述移動板沿短邊方向移動;另一所述對位單元設(shè)置在所述移動板短邊的一側(cè),控制所述移動板沿長邊方向移動;三個所述推動氣缸設(shè)置在與相對應(yīng)的對位單元相反的一側(cè)。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,所述對位單元包括電機(jī)、螺母、螺桿和滑塊,所述電機(jī)為所述螺母提供動力,所述螺母與所述螺桿連接,所述螺桿與所述滑塊連接。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī),所述步進(jìn)電機(jī)的步距角為 I. 8。。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,所述固定件為銷釘安裝板。通過本實用新型各實施例提供的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),能夠帶來以下有益效果通過在移動軸的一側(cè)安裝對位單元,同時在另一側(cè)安裝與對位單元相配合的推動氣缸,能夠通過對為單元和推動氣缸使得覆銅箔板在水平的X和Y方向移動,簡化結(jié)構(gòu),調(diào)整靈活;通過包括電機(jī)、螺母、螺桿和滑塊的對位單元,能夠保證對位的精度和對位的速度;通過采用步進(jìn)電機(jī)及對位算法的控制,能夠更進(jìn)一步的提高對位的精度。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,以下將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,以下描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖所示實施例得到其它的實施例及其附圖。圖I為本實用新型曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2為本實用新型曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本實用新型曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下將結(jié)合附圖對本實用新型各實施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所得到的所有其它實施例,都屬于本實用新型所保護(hù)的范圍。本實用新型提供一種曝光機(jī)覆銅板對位系統(tǒng),包括至少兩個對位單元、至少兩個推動氣缸、移動軸和固定件;至少兩個所述對位單元分別設(shè)置在所述移動軸的兩側(cè),控制所述移動軸沿水平X和Y方向移動;每個所述推動氣缸與一個所述對位單元相配合,所述推動氣缸與相配合的所述對位單元作用在所述移動軸上的力是相反的;所述固定件安裝在所述移動軸上。所述對位單元設(shè)置在移動軸的一側(cè),其中移動軸與移動板連接,對位單元推動移動軸沿水平X和Y方向移動。移動軸的另一側(cè)設(shè)置有推動氣缸,推力方向與對位單元相反。每個對位單元與推動氣缸一一對應(yīng),對位單元與推動氣缸作用的移動軸可是同一個移動軸上的兩個軸承,也可以分別推動兩個不同的移動軸。應(yīng)理解,X方向可以為水平方向內(nèi)的垂直坐標(biāo)軸的X軸方向,Y方向可以為水平方向內(nèi)與所述X軸方向相垂直的Y軸方向。覆銅箔板被可伸縮釘(縮寫為PIN)拉緊固定在移動板上,從而通過移動軸的移動,來帶動移動板移動,從而實現(xiàn)覆銅箔板的移動。在一個實施例中,曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng)包括三個對位單兀、三個推動氣缸、移動軸和固定件;兩個對位單元設(shè)置在移動板長邊的同一側(cè),控制移動板沿短邊方向移動;另一對位單元設(shè)置在移動板短邊的一側(cè),控制移動板沿長邊方向移動;三個推動氣缸設(shè)置在與相對應(yīng)的對位單元相反的一側(cè)每個推動氣缸與一個對位單元相配合,推動氣缸與相配合的對位單元作用在移動軸上的力是相反的;固定件安裝在移動軸上。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,進(jìn)一步包括長方形的移動板,其上設(shè)置三個移動軸,一個所述移動軸控制所述移動板沿所述移動板的長邊方向移動,另兩個所述移動軸控制所述移動板沿短邊方向移動;每個所述移動軸安裝有兩個滾動軸承。根據(jù)具體工藝進(jìn)行選擇。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,具有三個所述對位單元和三個所述推動氣缸,其中兩個所述對位單元設(shè)置在所述移動板長邊的同一側(cè),控制所述移動板沿短邊方向移動;另一所述對位單元設(shè)置在所述移動板短邊的一側(cè),控制所述移動板沿長邊方向移動;三個所述推動氣缸設(shè)置在與相對應(yīng)的對位單元相反的一側(cè)。根據(jù)具體工藝進(jìn)行選擇。在一個實施例中,移動軸的一端與移動板連接,另一端安裝有直徑不同的兩個軸承,對位單元和推動氣缸分別安裝在上述移動軸的兩側(cè),分別推動上述移動軸上的兩個軸 承。每個對位單元與其相配合的推動氣缸推動移動軸往復(fù)移動。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,所述對位單元包括電機(jī)、螺母、螺桿和滑塊,所述電機(jī)為所述螺母提供動力,所述螺母與所述螺桿連接,所述螺桿與所述滑塊連接。電機(jī)帶動螺母轉(zhuǎn)動,螺桿做直線運動,螺桿推動滑塊做直線運動。滑塊通過緊靠其上的移動軸帶動移動板移動??刂凭雀摺T诒緦嵱眯滦透鲗嵤├?,優(yōu)選地,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī),所述步進(jìn)電機(jī)的步距角為I. 8°。能夠使得控制精度更高。在一個實施例中,螺紋副是M6X I的尺寸,步進(jìn)電機(jī)的步距角為I. 8°,電機(jī)能夠驅(qū)動的精度為(最小步進(jìn)移動的單位):(1000/360)X I. 8=5um。如果8分驅(qū)動器來驅(qū)動電機(jī),則該系統(tǒng)的驅(qū)動精度(1000/360) X (I. 8/8) =0. 625um,即電機(jī)一個脈沖可移動0. 625um??蓾M足印制電路板(PCB) ±10um的對位精度。應(yīng)理解,M6為直徑為6毫米;1. 8°為I. 8度;微米(um)。在本實用新型各實施例中,優(yōu)選地,所述固定件為銷釘安裝板。根據(jù)具體工藝進(jìn)行選擇。在一個實施例中,如圖I所示,包括對位系統(tǒng)101、對位系統(tǒng)102和對位系統(tǒng)103,以及與三個對位系統(tǒng)相配合的三個推動氣缸,分別為推動氣缸104、推動氣缸105和推動氣缸106。三個對位系統(tǒng)與三個推動氣缸分別控制移動板在水平X和Y方向移動和轉(zhuǎn)動。其中對位系統(tǒng)101和對位系統(tǒng)103分別安裝在移動板長邊的左右方,控制移動板沿短邊方向的移動。對位系統(tǒng)102安裝在移動板的短邊,控制移動板沿長邊方向移動。左右對位系統(tǒng)移動量的差值就構(gòu)成移動板的轉(zhuǎn)動。相應(yīng)的推動氣缸產(chǎn)生的推力作用在移動軸的移動軸承上,使得移動板隨著對位系統(tǒng)的運動而運動,消除移動間隙,保證對位精度和對位速度。在一個實施例中,如圖2所示,對位單元包括電機(jī)201、螺母202、滑塊203和螺桿204。電機(jī)201帶動螺母202轉(zhuǎn)動,螺母202帶動螺桿204做直線運動,螺桿204推動滑塊203做直線運動?;瑝K203通過緊靠其上的移動軸的軸承帶動移動板移動。在一個實施例中,如圖3所示,包括移動板301、移動軸302、對位系統(tǒng)303和推動氣缸304。對位系統(tǒng)303和推動氣缸304分別設(shè)置在兩個移動軸302上,分別推動移動板301沿水平X和Y方向移動。通過本實用新型各實施例提供的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),能夠帶來以下有益效果通過在移動軸的兩側(cè)設(shè)置對位單元,同時設(shè)置與對位單元相配合的推動氣缸,能夠通過對為單元和推動氣缸使得覆銅箔板在水平X和Y方向移動,簡化結(jié)構(gòu),調(diào)整靈活;通過包括電機(jī)、螺母、螺桿和滑塊的對位單元,能夠保證對位的精度和對位的速度;通過采用步進(jìn)電機(jī),能夠更進(jìn)一步的提高對位的精度。本實用新型提供的各種實施例可根據(jù)需要以任意方式相互組合,通過這種組合得到的技術(shù)方案,也在本實用新型的范圍內(nèi)。顯然,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣,倘若對本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本實用新型也包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,包括至少兩個對位單元、至少兩個推動氣缸、移動軸和固定件; 至少兩個所述對位單元分別設(shè)置在所述移動軸的兩側(cè),控制所述移動軸沿水平X和Y方向移動; 每個所述推動氣缸與一個所述對位單元相配合,所述推動氣缸與相配合的所述對位單元作用在所述移動軸上的力是相反的; 所述固定件安裝在所述移動軸上。
2.如權(quán)利要求I所述的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,進(jìn)一步包括長方形的移動板,其上設(shè)置三個移動軸,一個所述移動軸控制所述移動板沿所述移動板的長邊方向移動,另兩個所述移動軸控制所述移動板沿短邊方向移動; 每個所述移動軸安裝有兩個滾動軸承。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,具有三個所述對位單元和三個所述推動氣缸,其中兩個所述對位單元設(shè)置在所述移動板長邊的同一側(cè),控制所述移動板沿短邊方向移動;另一所述對位單元設(shè)置在所述移動板短邊的一側(cè),控制所述移動板沿長邊方向移動;三個所述推動氣缸設(shè)置在與相對應(yīng)的對位單元相反的一側(cè)。
4.如權(quán)利要求I所述的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,所述對位單元包括電機(jī)、螺母、螺桿和滑塊,所述電機(jī)為所述螺母提供動力,所述螺母與所述螺桿連接,所述螺桿與所述滑塊連接。
5.如權(quán)利要求4所述的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī),所述步進(jìn)電機(jī)的步距角為1.8°。
6.如權(quán)利要求I所述的曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),其特征在于,所述固定件為銷釘安裝板。
專利摘要本實用新型涉及印制電路板領(lǐng)域,具體涉及一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),能夠簡化結(jié)構(gòu)。一種曝光機(jī)覆銅箔板對位系統(tǒng),包括至少兩個對位單元、至少兩個推動氣缸、移動軸和固定件;至少兩個所述對位單元分別設(shè)置在所述移動軸的兩側(cè),控制所述移動軸沿水平X和Y方向移動;每個所述推動氣缸與一個所述對位單元相配合,所述推動氣缸與相配合的所述對位單元作用在所述移動軸上的力是相反的;所述固定件安裝在所述移動軸上。
文檔編號G03F7/20GK202794845SQ20122036556
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月26日
發(fā)明者李炬, 王金鵬, 肖麗, 李松凌, 王安建, 佘瑞峰 申請人:四川聚能核技術(shù)工程有限公司
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