專利名稱：用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光學(xué)領(lǐng)域，具體涉及一種用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的投影光學(xué)系統(tǒng)中，需要將被照明物均勻照明，經(jīng)過成像系統(tǒng)將被照明物予以投影，從而獲得所需要的圖像。在投影顯示和投影曝光系統(tǒng)中，需要提供較高的能量，以期使得投影出來(lái)的圖像夠亮或使得曝光基底予以曝光。通常情況下，多采用高能量的光源和提高系統(tǒng)的能量利用率。采用高能量的光源，勢(shì)必會(huì)增加相應(yīng)的成本，同時(shí)，光源能量的增加也是有限的。在光學(xué)系統(tǒng)相應(yīng)元器件確定的情況下，提高系統(tǒng)的能量利用率也是有限。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能提高光源能量和系統(tǒng)能量利用率的用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，包括有兩個(gè)激光光源，分別為激光光源一、激光光源二，其特征在于還包括有一個(gè)分光棱鏡，所述激光光源一、激光光源二分別位于分光棱鏡的正上方、正左方，激光光源一、激光光源二發(fā)射的光束分別垂直入射到分光棱鏡的分光面上，激光光源一的光束經(jīng)分光棱鏡反射后與經(jīng)分光棱鏡后透射的激光光源二的光束合并成一束光束。所述的用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，其特征在于所述激光光源一、激光光源二為線偏振的激光光源；所述分光棱鏡為高偏振度的偏振分光棱鏡。本實(shí)用新型的工作原理是本實(shí)用新型利用半導(dǎo)體激光器光束的線偏振特性和偏振分光棱鏡的偏振分光特性，對(duì)兩束線偏振的光束予以合光，達(dá)到提高光源能量和系統(tǒng)能量利用率的目的。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型具有高合光效率、無(wú)光束位置偏移，通過兩束光束的疊加，一定程度上降低了光源的相干性，提高了照明的均勻性，并且降低了成本。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，包括有兩個(gè)激光光源，分別為激光光源一 I、激光光源二 2，還包括有一個(gè)分光棱鏡3，激光光源一 I、激光光源二 2分別位于分光棱鏡3的正上方、正左方,激光光源一 I、激光光源二 2發(fā)射的光束分別垂直入射到分光棱鏡3的分光面上,激光光源一 I的光束經(jīng)分光棱鏡3反射后與經(jīng)分光棱鏡3后透射的激光光源二 2的光束合并成一束光束。激光光源一 I、激光光源二 2為線偏振的激光光源；分光棱鏡3為高偏振度的偏振 分光棱鏡。
權(quán)利要求1.一種用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，包括有兩個(gè)激光光源，分別為激光光源一、激光光源二，其特征在于還包括有一個(gè)分光棱鏡，所述激光光源一、激光光源二分別位于分光棱鏡的正上方、正左方，激光光源一、激光光源二發(fā)射的光束分別垂直入射到分光棱鏡的分光面上，激光光源一的光束經(jīng)分光棱鏡反射后與經(jīng)分光棱鏡后透射的激光光源二的光束合并成一束光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，其特征在于所述激光光源一、激光光源二為線偏振的激光光源；所述分光棱鏡為高偏振度的偏振分光棱鏡。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于無(wú)掩膜光刻投影曝光系統(tǒng)的偏振合光裝置，包括有兩個(gè)激光光源，分別為激光光源一、激光光源二，還包括有一個(gè)分光棱鏡，激光光源一、激光光源二分別位于分光棱鏡的正上方、正左方，激光光源一、激光光源二發(fā)射的光束分別垂直入射到分光棱鏡的分光面上，激光光源一的光束經(jīng)分光棱鏡反射后與經(jīng)分光棱鏡后透射的激光光源二的光束合并成一束光束。本實(shí)用新型具有高合光效率、無(wú)光束位置偏移，通過兩束光束的疊加，一定程度上降低了光源的相干性，提高了照明的均勻性，并且降低了成本。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202486436SQ20122001353
公開日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者何少峰, 劉文海, 張昌清, 李文靜 申請(qǐng)人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司