串行同步控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種串行同步控制系統(tǒng)，包括位置測(cè)量系統(tǒng)、位置測(cè)量機(jī)箱、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱及串行同步控制總線，位置測(cè)量系統(tǒng)包括同步數(shù)據(jù)傳輸總線、位置測(cè)量卡、同步總線控制卡及第一數(shù)據(jù)通信卡，集成安裝在位置測(cè)量機(jī)箱內(nèi)，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)包括運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線、運(yùn)動(dòng)控制卡、運(yùn)動(dòng)總線控制卡及第二數(shù)據(jù)通信卡，安裝在運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱內(nèi)，位置測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)串行同步控制總線與運(yùn)動(dòng)傳輸系統(tǒng)相連。本發(fā)明通過(guò)將位置測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)分別集成在兩個(gè)各自獨(dú)立的機(jī)箱內(nèi)，并利用串行同步控制總線實(shí)現(xiàn)物理分離，增加了工件臺(tái)掩膜臺(tái)的位置測(cè)量軸和運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量，同時(shí)利用串行同步控制總線也實(shí)現(xiàn)了位置測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的同步伺服控制。
【專利說(shuō)明】串行同步控制系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造工藝，特別涉及一種串行同步控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻機(jī)是集成電路加工過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備。在步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)中，如圖1所示，光束10通過(guò)一個(gè)狹縫11并透過(guò)照明系統(tǒng)投影到掩膜面12上，承載掩模面12的掩模臺(tái)15以設(shè)定好的速度Vl通過(guò)該光束10。同時(shí)，承載硅片13的工件臺(tái)16在透鏡14下方沿與Vl相反的方向以速度V2運(yùn)動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)上述功能，掃描光刻機(jī)中需要實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模臺(tái)15和工件臺(tái)16的高精度位置測(cè)量和對(duì)工件臺(tái)16、掩模臺(tái)15運(yùn)動(dòng)的精確同步伺服控制。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)的同步控制系統(tǒng)，包括同步總線控制器、運(yùn)動(dòng)控制卡和激光計(jì)數(shù)卡，并且所述同步總線控制器、運(yùn)動(dòng)控制卡和激光計(jì)數(shù)卡之間以及激光計(jì)數(shù)卡的位置采樣數(shù)據(jù)及同步狀態(tài)，均是采用自定義的同步總線SDB (存儲(chǔ)體數(shù)據(jù)總線)進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，并且所述同步總線控制器、運(yùn)動(dòng)控制卡和激光計(jì)數(shù)卡集成在同一個(gè)VME (VersaModule Eurocard)控制機(jī)箱內(nèi)。然而利用該同步控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)掃描投影光刻機(jī)工件臺(tái)、掩模臺(tái)高精度位置測(cè)量和運(yùn)動(dòng)控制時(shí)，其用于測(cè)量工件臺(tái)掩模臺(tái)位置數(shù)據(jù)的激光計(jì)數(shù)卡和用于對(duì)工件臺(tái)掩模臺(tái)高精度運(yùn)動(dòng)控制的運(yùn)動(dòng)控制卡的數(shù)量，受SDB同步總線的尋址方式及VME控制機(jī)箱槽位數(shù)量的嚴(yán)格限制。也就是說(shuō)，利用該同步控制系統(tǒng)，工件臺(tái)掩模臺(tái)的位置測(cè)量軸和運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量受到了嚴(yán)格限制，從而限制了工件臺(tái)掩模臺(tái)測(cè)量軸和驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量擴(kuò)展。
[0004]為了解決上述問(wèn)題，一個(gè)簡(jiǎn)單有效的方法就是實(shí)現(xiàn)工件臺(tái)掩模臺(tái)位置測(cè)量分系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制分系統(tǒng)物理上的分離，即，將兩個(gè)分系統(tǒng)分別集成在各自獨(dú)立的VME控制機(jī)箱內(nèi)。顯然，位置測(cè)量分系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制分系統(tǒng)之間的精確同步伺服控制成為了問(wèn)題的關(guān)鍵。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明提供一種串行同步控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)中位置測(cè)量分系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制分系統(tǒng)之間的伺服同步控制。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種串行同步控制系統(tǒng)，包括位置測(cè)量系統(tǒng)、位置測(cè)量機(jī)箱、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱以及串行同步控制總線，其中，所述位置測(cè)量系統(tǒng)集成安裝在所述位置測(cè)量機(jī)箱內(nèi)，所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)安裝在所述運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱內(nèi)，所述位置測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)串行同步控制總線與所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)相連。
[0007]所述位置測(cè)量系統(tǒng)包括同步數(shù)據(jù)傳輸總線、位置測(cè)量卡、同步總線控制卡以及第一數(shù)據(jù)通信卡，其中，所述位置測(cè)量卡、同步總線控制卡以及第一數(shù)據(jù)通信卡之間通過(guò)所述同步數(shù)據(jù)傳輸總線相連，所述同步總線控制卡與所述串行同步控制總線相連。
[0008]所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)包括運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線、運(yùn)動(dòng)控制卡、運(yùn)動(dòng)總線控制卡以及第二數(shù)據(jù)通信卡，其中，所述運(yùn)動(dòng)控制卡、運(yùn)動(dòng)總線控制卡以及第二數(shù)據(jù)通信卡通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線相連，所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡與所述串行同步控制總線相連。[0009]所述第一數(shù)據(jù)通信卡通過(guò)一高速串行數(shù)據(jù)傳輸線與所述第二數(shù)據(jù)通信卡相連。
[0010]作為優(yōu)選，所述第一數(shù)據(jù)通信卡包括第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡和第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡，所述第二數(shù)據(jù)通信卡包括第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡和第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡；其中，所述第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡與第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡與第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡之間均通過(guò)所述高速串行數(shù)據(jù)傳輸線相連。
[0011]作為優(yōu)選，所述串行同步控制總線包括同步時(shí)鐘線、同步狀態(tài)線和同步信息線，其中，所述同步時(shí)鐘線和同步信息線由所述同步總線控制卡驅(qū)動(dòng)，所述同步狀態(tài)線由所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡驅(qū)動(dòng)。
[0012]作為優(yōu)選，所述同步時(shí)鐘線、同步狀態(tài)線和同步信息線均采用串行差分方式傳輸。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明通過(guò)將工件臺(tái)掩膜臺(tái)的位置測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)分別集成在兩個(gè)各自獨(dú)立的機(jī)箱內(nèi)，并利用串行同步控制總線實(shí)現(xiàn)物理上的分離，大大增加了工件臺(tái)掩膜臺(tái)的位置測(cè)量軸和運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量，同時(shí)利用串行同步控制總線也可以實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的同步伺服控制。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)曝光掃描的原理示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中串行同步控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中串行同步控制總線的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中同步總線控制卡的工作流程圖；
[0018]圖5為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中運(yùn)動(dòng)總線控制卡的工作流程圖；
[0019]圖6為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中串行同步控制總線的工作過(guò)程示意圖。
[0020]圖1中:10_光束、11-狹縫、12-掩膜面、13-硅片、14-透鏡、15-掩膜臺(tái)、16-工件臺(tái)。
[0021]圖2飛中:1-位置測(cè)量系統(tǒng)、101-同步數(shù)據(jù)傳輸總線、102-位置測(cè)量卡、103-同步總線控制卡、104-第一數(shù)據(jù)通信卡、104a-第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、104b-第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、2-位置測(cè)量機(jī)箱、3-運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、301-運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線、302-運(yùn)動(dòng)控制卡、303-運(yùn)動(dòng)總線控制卡、304-第二數(shù)據(jù)通信卡、304a-第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、304b_第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、4-運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱、5-串行同步控制總線、501-同步時(shí)鐘線、502-同步狀態(tài)線、503-同步信息線、6-高速串行數(shù)據(jù)傳輸線、SCLK-同步時(shí)鐘信號(hào)、STATE-同步狀態(tài)碼、SIGNAL-同步信息信號(hào)。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本發(fā)明附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0023]請(qǐng)參照?qǐng)D2，本發(fā)明提供一種串行同步控制系統(tǒng)，包括位置測(cè)量系統(tǒng)1、位置測(cè)量機(jī)箱2、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3、運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱4以及串行同步控制總線5。其中，所述位置測(cè)量系統(tǒng)I集成安裝在所述位置測(cè)量機(jī)箱2內(nèi)，所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3安裝在所述運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱4內(nèi)，所述位置測(cè)量系統(tǒng)I通過(guò)串行同步控制總線5與所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3相連。本發(fā)明通過(guò)將工件臺(tái)掩膜臺(tái)的位置測(cè)量系統(tǒng)I和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3分別集成在兩個(gè)各自獨(dú)立的機(jī)箱內(nèi)，并利用串行同步控制總線5實(shí)現(xiàn)物理上的分離，大大增加了工件臺(tái)掩膜臺(tái)的位置測(cè)量軸和運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量，同時(shí)利用串行同步控制總線5也可以實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量系統(tǒng)I和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3的同步伺服控制。
[0024]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2，作為優(yōu)選，所述位置測(cè)量系統(tǒng)I包括同步數(shù)據(jù)傳輸總線101、位置測(cè)量卡102、同步總線控制卡103以及第一數(shù)據(jù)通信卡104，其中，所述位置測(cè)量卡102、同步總線控制卡103以及第一數(shù)據(jù)通信卡104之間通過(guò)所述同步數(shù)據(jù)傳輸總線101相連，所述同步總線控制卡103與所述串行同步控制總線5相連。所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3包括運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線301、運(yùn)動(dòng)控制卡302、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303以及第二數(shù)據(jù)通信卡304。其中，所述運(yùn)動(dòng)控制卡302、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303以及第二數(shù)據(jù)通信卡304通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線301相連，所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303與所述串行同步控制總線5相連。較佳的，所述第一數(shù)據(jù)通信卡104通過(guò)一高速串行數(shù)據(jù)傳輸線6與所述第二數(shù)據(jù)通信卡304相連，實(shí)現(xiàn)位置數(shù)據(jù)由位置測(cè)量機(jī)箱2到運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱4的傳遞。具體地，所述位置測(cè)量卡102用于對(duì)工件臺(tái)掩膜臺(tái)各位置測(cè)量軸的原始位置數(shù)據(jù)采集；所述同步總線控制卡103是同步數(shù)據(jù)傳輸總線101的控制卡；所述同步數(shù)據(jù)傳輸總線101是工件臺(tái)掩膜臺(tái)原始位置數(shù)據(jù)的傳輸通道，工件臺(tái)掩膜臺(tái)原始位置數(shù)據(jù)由所述位置測(cè)量卡102經(jīng)該總線傳輸至第一數(shù)據(jù)通信卡104 ;所述第一數(shù)據(jù)通信卡104通過(guò)同步數(shù)據(jù)傳輸總線101接收工件臺(tái)掩膜臺(tái)的原始位置數(shù)據(jù)，對(duì)所述原始位置數(shù)據(jù)進(jìn)行初步計(jì)算處理后，通過(guò)所述高速串行數(shù)據(jù)傳輸線6傳遞給第二數(shù)據(jù)通信卡304。所述運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線301是工件臺(tái)掩膜臺(tái)運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)的傳輸通道，所述第二數(shù)據(jù)通信卡304將通過(guò)運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線301接收到的位置數(shù)據(jù)傳遞給各運(yùn)動(dòng)控制卡302，所述運(yùn)動(dòng)控制卡302接收到位置數(shù)據(jù)后，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理，輸出工件臺(tái)掩膜臺(tái)驅(qū)動(dòng)軸的控制信號(hào)。
[0025]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2，作為優(yōu)選，所述第一數(shù)據(jù)通信卡104包括第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡104b和第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡104a，所述第二數(shù)據(jù)通信卡304包括第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡304b和第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡304a ;其中，所述第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡104b與第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡304b、第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡104a與第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡304a之間均通過(guò)所述高速串行數(shù)據(jù)傳輸線6相連。即，掩膜臺(tái)與工件臺(tái)的位置數(shù)據(jù)進(jìn)行分別傳遞，便于運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3對(duì)工件臺(tái)和掩膜臺(tái)的數(shù)據(jù)進(jìn)行分別處理。
[0026]請(qǐng)參照?qǐng)D3，并結(jié)合圖2，作為優(yōu)選，所述串行同步控制總線5包括同步時(shí)鐘線501、同步狀態(tài)線502和同步信息線503，其中，所述同步時(shí)鐘線501和同步信息線503由所述同步總線控制卡103也就是同步時(shí)序控制方驅(qū)動(dòng)，所述同步狀態(tài)線502由所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303也就是同步狀態(tài)控制方驅(qū)動(dòng)。較佳的，同步總線控制卡103提供整個(gè)同步控制的時(shí)鐘基準(zhǔn)，包括伺服周期和串行通信周期，所述串行通信周期即為所述串行同步控制總線5的傳輸周期。具體地，所述同步總線控制卡103驅(qū)動(dòng)同步時(shí)鐘線501為所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303提供串行通信時(shí)鐘信號(hào)；所述同步總線控制卡103驅(qū)動(dòng)所述同步信息線503為所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303提供信息信號(hào)，并通過(guò)所述同步信息線503觸發(fā)所述串行同步控制總線5的開(kāi)始及停止；所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303驅(qū)動(dòng)所述同步狀態(tài)線502為所述同步總線控制卡103提供伺服同步狀態(tài)值。本發(fā)明的串行同步控制總線5，實(shí)現(xiàn)了掃描光刻機(jī)工件臺(tái)掩模臺(tái)位置測(cè)量系統(tǒng)I和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3之間的伺服同步控制，包括同步狀態(tài)、同步信息和同步伺服周期的傳播。即:本發(fā)明的串行同步控制總線5實(shí)現(xiàn)了伺服周期和串行通信周期從位置測(cè)量系統(tǒng)I向運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3的傳輸，實(shí)現(xiàn)了同步狀態(tài)從運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3向位置測(cè)量系統(tǒng)I的傳輸。
[0027]請(qǐng)參照?qǐng)D3，作為優(yōu)選，所述同步時(shí)鐘線501、同步狀態(tài)線502和同步信息線503均采用串行差分方式傳輸，防止信號(hào)傳輸過(guò)程中受到環(huán)境干擾。
[0028]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2~3，下面將詳細(xì)說(shuō)明所述串行同步控制系統(tǒng)的工作過(guò)程。
[0029]首先，位置測(cè)量卡102對(duì)工件臺(tái)掩膜臺(tái)各位置測(cè)量軸的原始位置數(shù)據(jù)進(jìn)行采集，并通過(guò)同步數(shù)據(jù)傳輸總線101傳遞至第一數(shù)據(jù)通信卡104 ；
[0030]接著，第一數(shù)據(jù)通信卡104接收工件臺(tái)掩膜臺(tái)的原始位置數(shù)據(jù)，對(duì)所述原始位置數(shù)據(jù)進(jìn)行初步計(jì)算處理后，通過(guò)所述高速串行數(shù)據(jù)傳輸線6傳遞給第二數(shù)據(jù)通信卡304 ；
[0031]接著，第二數(shù)據(jù)通信卡304將通過(guò)運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線301接收到的位置數(shù)據(jù)傳遞給各運(yùn)動(dòng)控制卡302 ；
[0032]接著，所述運(yùn)動(dòng)控制卡302接收到位置數(shù)據(jù)后，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理，輸出工件臺(tái)掩膜臺(tái)驅(qū)動(dòng)軸的控制信號(hào)。
[0033]其中，同步總線控制卡103提供整個(gè)同步控制的時(shí)鐘基準(zhǔn)，包括伺服周期和串行通信周期，所述串行通信周期即為所述串行同步控制總線5的傳輸周期。串行同步控制總線5實(shí)現(xiàn)所述位置測(cè)量系統(tǒng)I和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)3間的伺服同步，同步總線控制卡103、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303以及串行同步控制總線5的工作流程如圖4飛所示。
[0034]具體地，請(qǐng)參照?qǐng)D4，所述同步總線控制卡103的工作過(guò)程如下:
[0035]1、對(duì)所述同步總線控制卡103初始化，設(shè)置伺服周期，如設(shè)置伺服周期為200us ；
[0036]2、同步總線控制卡103啟動(dòng)伺服周期，并輸出連續(xù)的同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK，設(shè)置所述同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK的時(shí)鐘周期，則整個(gè)伺服周期內(nèi)總共有m (m等于伺服周期除以時(shí)鐘周期)個(gè)時(shí)鐘周期；較佳的，設(shè)置所述同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK的時(shí)鐘周期為lus，所以整個(gè)伺服周期內(nèi)總共有200個(gè)時(shí)鐘周期，即m=200 ；
[0037]3、同步總線控制卡103對(duì)輸出的同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK進(jìn)行時(shí)鐘周期計(jì)數(shù)，當(dāng)計(jì)數(shù)小于m-6 (即194)時(shí)，同步總線控制卡103驅(qū)動(dòng)的同步信息信號(hào)SIGNAL為低電平，準(zhǔn)備發(fā)送同步狀態(tài)碼START ;在第m-6個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為高電平時(shí)，輸出高電平的同步信息信號(hào)SIGNAL，輸出同步狀態(tài)信號(hào)；
[0038]4、同步總線控制卡103在第m-5 (B卩195)個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為低電平時(shí)，輸出同步信息信號(hào)SIGNAL，其中，若所述同步信息信號(hào)SIGNAL為高電平，表示位置測(cè)量系統(tǒng)I的狀態(tài)錯(cuò)誤，若所述同步信息信號(hào)SIGNAL為低電平表示位置測(cè)量系統(tǒng)I的狀態(tài)正常；
[0039]5、同步總線控制卡103在第m-4 (即196)個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為低電平時(shí)，輸出的同步信息信號(hào)SIGNAL為高電平，準(zhǔn)備發(fā)送表示結(jié)束的觸發(fā)信號(hào)；
[0040]6、同步總線控制卡103在第m-4~m-1(即196~199)個(gè)時(shí)鐘周期的上升沿，分別讀取表示同步狀態(tài)信號(hào)的4位同步狀態(tài)碼STATE ；
[0041]7、同步總線控制卡103在第m(200)個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為高電平時(shí)，輸出的同步信息信號(hào)SIGNAL為低電平,輸出表不結(jié)束的觸發(fā)信號(hào)；
[0042]8、同步總線控制卡103輸出表示結(jié)束的觸發(fā)信號(hào)后，當(dāng)前伺服周期結(jié)束，啟動(dòng)下一個(gè)伺服周期，重復(fù)步驟疒8。
[0043]請(qǐng)參照?qǐng)D5，所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡303的工作過(guò)程如下:
[0044]1、對(duì)運(yùn)動(dòng)總線控制卡303初始化，更新伺服狀態(tài)切換列表；
[0045]2、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303接收同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK，從伺服狀態(tài)切換列表中取出當(dāng)前伺服周期的同步狀態(tài)值，等待表示開(kāi)始的觸發(fā)信號(hào)；
[0046]3、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303接收到表示開(kāi)始的觸發(fā)信號(hào)后，對(duì)同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK進(jìn)行周期計(jì)數(shù)；
[0047]4、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303在第1個(gè)時(shí)鐘周期的上升沿接收同步信息線503上的同步總線控制卡103的錯(cuò)誤信息；
[0048]5、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303在第1~4個(gè)同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK的下降沿分別輸出4位同步狀態(tài)碼STATE ；
[0049]6、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303在第6個(gè)時(shí)鐘周期接收到表示結(jié)束的觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)前伺服周期結(jié)束，進(jìn)入下一伺服周期，重復(fù)步驟2到6。
[0050]較佳的，請(qǐng)參照?qǐng)D6，所述串行同步控制總線5在其相應(yīng)的傳輸周期內(nèi)的工作過(guò)程如下:
[0051]A、同步總線控制卡103輸出連續(xù)的同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK ；
[0052]B、同步總線控制卡103在同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為高電平時(shí)，輸出同步信息信號(hào)SIGNAL的上升沿，作為開(kāi)始進(jìn)行串行同步控制總線5傳輸?shù)挠|發(fā)信號(hào)START30，并開(kāi)始對(duì)同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK進(jìn)行I到6計(jì)數(shù)；
[0053]C、同步總線控制卡103在第1個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為低電平時(shí)，通過(guò)同步信息線503輸出同步總線控制卡103的錯(cuò)誤信息；
[0054]D、同步總線控制卡103在第2個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為低電平時(shí)，輸出高電平的同步信息信號(hào)SIGNAL，作為結(jié)束觸發(fā)信號(hào)的準(zhǔn)備信號(hào)；
[0055]E、同步總線控制卡103在第6個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)，同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK為高電平時(shí)，輸出同步信息信號(hào)SIGNAL的下降沿，作為結(jié)束一次串行同步控制總線5傳輸?shù)挠|發(fā)信號(hào)ST0P31，表示當(dāng)前伺服周期的結(jié)束，下一伺服周期的開(kāi)始；
[0056]F、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303 (同步狀態(tài)控制方)接收到表示開(kāi)始的觸發(fā)信號(hào)START30即同步信息信號(hào)SIGNAL的上升沿后，對(duì)同步時(shí)鐘信號(hào)SCLK進(jìn)行I到6計(jì)數(shù)；
[0057]G、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303在第1個(gè)時(shí)鐘周期的上升沿，從同步信息線503接收同步總線控制卡103的錯(cuò)誤信息；
[0058]H、運(yùn)動(dòng)總線控制卡303在第1到第4個(gè)時(shí)鐘周期的下降沿，從同步狀態(tài)線502依次輸出4個(gè)同步狀態(tài)碼STATE，不同的同步狀態(tài)信號(hào)對(duì)應(yīng)不同的同步狀態(tài)碼STATE，同步狀態(tài)碼的定義如表1所示；
[0059]表1:同步狀態(tài)碼的定義表格
[0060]
【權(quán)利要求】
1.一種串行同步控制系統(tǒng)，其特征在于，包括位置測(cè)量系統(tǒng)、位置測(cè)量機(jī)箱、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱以及串行同步控制總線，其中，所述位置測(cè)量系統(tǒng)集成安裝在所述位置測(cè)量機(jī)箱內(nèi)，所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)安裝在所述運(yùn)動(dòng)控制機(jī)箱內(nèi)； 所述位置測(cè)量系統(tǒng)包括同步數(shù)據(jù)傳輸總線、位置測(cè)量卡、同步總線控制卡以及第一數(shù)據(jù)通信卡，其中，所述位置測(cè)量卡、同步總線控制卡以及第一數(shù)據(jù)通信卡之間通過(guò)所述同步數(shù)據(jù)傳輸總線相連，所述同步總線控制卡與所述串行同步控制總線相連； 所述運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)包括運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線、運(yùn)動(dòng)控制卡、運(yùn)動(dòng)總線控制卡以及第二數(shù)據(jù)通信卡，其中，所述運(yùn)動(dòng)控制卡、運(yùn)動(dòng)總線控制卡以及第二數(shù)據(jù)通信卡通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸總線相連，所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡與所述串行同步控制總線相連； 所述第一數(shù)據(jù)通信卡通過(guò)一高速串行數(shù)據(jù)傳輸線與所述第二數(shù)據(jù)通信卡相連。
2.如權(quán)利要求1所述的串行同步控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一數(shù)據(jù)通信卡包括第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡和第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡，所述第二數(shù)據(jù)通信卡包括第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡和第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡；其中，所述第一掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡與第二掩膜臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡、第一工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡與第二工件臺(tái)數(shù)據(jù)通信卡之間均通過(guò)所述高速串行數(shù)據(jù)傳輸線相連。
3.如權(quán)利要求1所述的串行同步控制系統(tǒng)，其特征在于，所述串行同步控制總線包括同步時(shí)鐘線、同步狀態(tài)線和同步信息線，其中，所述同步時(shí)鐘線和同步信息線由所述同步總線控制卡驅(qū)動(dòng)，所述同步狀態(tài)線由所述運(yùn)動(dòng)總線控制卡驅(qū)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的串行同步控制系統(tǒng)，其特征在于，所述同步時(shí)鐘線、同步狀態(tài)線和同步信息線均采用串行差分方式傳輸。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103901832SQ201210587448
【公開(kāi)日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月28日
【發(fā)明者】方欣 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司