一種工件臺線纜裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種工件臺線纜裝置，包括工件臺、硅片臺、線纜設備、線纜連接臺以及X向運動設備和Y向運動設備，所述硅片臺與線纜連接臺分別安裝于所述工件臺的上側和下側，所述線纜設備的兩端分別連接至所述硅片臺和線纜連接臺，所述X向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿X向運動，所述Y向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿Y向運動。本發(fā)明利用沿X向運動的X向運動設備和沿Y向運動的Y向運動設備帶動所述線纜連接臺跟隨所述硅片臺在X、Y向同步運動，使得線纜設備跟隨所述硅片臺運動，以減少線纜設備對所述硅片臺運動產(chǎn)生的擾動，并減少線纜設備在硅片臺運動中的彎折次數(shù)，增加線纜設備的使用壽命，同時，本發(fā)明結構簡單。
【專利說明】一種工件臺線纜裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體光刻設備領域，尤其涉及一種工件臺線纜裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體光刻設備中，硅片臺和掩模臺等精密硅片臺運動系統(tǒng)是極其重要的關鍵部件，其定位精度直接影響光刻設備的性能，其運行速度直接影響光刻設備的生產(chǎn)效率。隨著超大規(guī)模集成電路器件集成度的不斷提高，光刻分辨率的不斷增強，對光刻機的特征線寬指標要求也在不斷提升，對應的硅片臺的運行速度、加速度以及精度要求也不斷提高。
[0003]光刻機硅片臺系統(tǒng)典型的結構形式為粗、微動相結合的結構，由于平面電機具有出力密度高、速度快、可靠性高等特點，且易于將其集成到被控對象中，具有響應速度快、控制靈敏度高、機械結構簡單等優(yōu)點，目前已經(jīng)被應用于半導體光刻設備中，實現(xiàn)硅片臺的長行程粗動。但由于采用平面電機來實現(xiàn)長行程粗動的硅片臺無X、Y向導軌，而用于給硅片臺配套的各種通信線纜、功率線纜以及氣管、水管等管線設施需要跟隨硅片臺在XY平面內(nèi)運動，因此需要設置線纜支撐導向裝置。常見的硅片臺線纜設施是被動跟隨硅片臺在XY平面內(nèi)運動，在娃片臺進行高速運動和納米級精確定位時，拖動的管線設施對娃片臺產(chǎn)生的擾動將不可忽略。
[0004]目前有一種采用平面電機驅動硅片臺實現(xiàn)長行程粗動的硅片臺系統(tǒng)，其線纜支撐導向裝置主要包括一組通過一個轉動副連接在一起的V型連桿組件，連桿組件的一端通過轉動副安裝在滑臺上，另一端通過轉動副安裝在硅片臺上，硅片臺線纜設施從滑臺沿連桿組件傳送到硅片臺上，并與連桿組件一起在Y向被動跟隨硅片臺運動。該方案管線設施在垂向有支撐，避免了下垂時與工作臺面摩擦，但在Y向被動跟隨硅片臺運動，仍然會影響硅片臺運動定位精度。
[0005]還有一種采用多關節(jié)機械手的光刻機硅片臺的線纜臺，該線纜臺包含一個控制裝置和至少一個多關節(jié)機械手，硅片臺管線設施通過多關節(jié)機械手走到硅片臺上，通過控制各關節(jié)驅動器的轉角來保證管線設施主動跟隨硅片臺在XY平面內(nèi)運動，避免了管線設施對硅片臺運動定位精度的影響。但該線纜臺結構復雜，線纜在高速運動過程中折彎次數(shù)過多影響線纜的使用壽命；機械手關節(jié)數(shù)較多導致使用的驅動器數(shù)量較多，同時冗余自由度機械手控制系統(tǒng)設計比較復雜，開發(fā)成本相對較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提供一種工件臺線纜裝置，以解決現(xiàn)有技術中線纜被動跟隨硅片臺運動的問題。
[0007]為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種工件臺線纜裝置，包括工件臺、硅片臺、線纜設備、線纜連接臺以及X向運動設備和Y向運動設備，所述硅片臺與線纜連接臺分別安裝于所述工件臺的上側和下側，所述線纜設備的兩端分別連接至所述硅片臺和線纜連接臺，所述X向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿X向運動，所述Y向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿Y向運動。
[0008]較佳地，所述Y向運動設備包括固定于所述工件臺底部邊緣的滑臺以及能夠沿所述滑臺滑動的滑塊，所述X向運動設備包括伸縮件、控制電機以及導向裝置，所述導向裝置沿X方向設置，所述伸縮件以及導向裝置的一端分別安裝于所述滑塊上，另一端分別安裝于所述線纜連接臺上，所述控制電機控制所述伸縮件的伸縮。
[0009]較佳地，所述線纜設備與所述硅片臺之間安裝有差分傳感器。
[0010]較佳地，所述導向裝置為導向桿，所述導向桿的一端固定連接于所述線纜連接臺，所述導向桿的另一端穿設于所述滑塊內(nèi)，并能夠沿X方向滑動。
[0011]較佳地，所述導向桿為直線導向裝置，所述導向桿與所述滑塊之間設有機械軸承或氣浮軸承或磁浮軸承。
[0012]較佳地，所述伸縮件為機械臂，所述機械臂包括兩連桿以及連接所述兩連桿的旋轉接點，所述兩連桿的兩端分別與所述滑塊和線纜連接臺鉸接。
[0013]較佳地，所述控制電機為旋轉電機，所述旋轉電機控制所述兩連桿的其中一端的旋轉。
[0014]較佳地，所述旋轉電機上還設有旋轉編碼器。
[0015]較佳地，所述伸縮件為直線滑軌，所述直線滑軌包括X向的軌道以及沿所述軌道滑動的固定塊，所述軌道的一端固定連接至所述滑塊，所述線纜連接臺固定于所述固定塊上。
[0016]較佳地，所述控制電機為直線電機，所述直線電機控制所述固定塊沿所述軌道做
直線運動。
[0017]較佳地，所述直線電機上還設有直線編碼尺。
[0018]較佳地，所述工件臺底部設有第一磁鋼陣列，所述線纜連接臺上設有與所述第一磁鋼陣列相對應的第二磁鋼陣列。
[0019]較佳地，所述工件臺底部設有第一線圈陣列，所述線纜連接臺上設有與所述第一線圈陣列相對應的第二線圈陣列。
[0020]較佳地，所述硅片臺內(nèi)部設有霍爾傳感器陣列，所述線纜設備與所述硅片臺之間設有跟隨傳感器。
[0021]較佳地，所述線纜設備包括線纜以及套設于所述線纜外側的線纜套，所述線纜套中設有隔層。
[0022]較佳地，所述線纜采用柔性線纜。
[0023]較佳地，所述線纜套采用高彈性模量、高剛度、低密度材料制成，如碳纖維、陶瓷或碳化娃。
[0024]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:本發(fā)明提供的工件臺線纜裝置具有如下優(yōu)點:
[0025]1.本發(fā)明可以有效支撐并驅動線纜設備同步跟隨硅片臺運動，線纜采用高剛度、高彈性模量、低密度結構件進行封裝，運動時線纜與硅片臺相對靜止，線纜結構剛度及模態(tài)高，將線纜設備運動過程中對硅片臺產(chǎn)生的擾動降低到最小，進而提高硅片臺的運動定位精度；
[0026]2.機械結構及控制算法相對簡單，針對不同的光刻機工件臺，可以根據(jù)硅片臺在X向的極限行程來靈活設計X向運動設備的長度，結構簡單。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明實施例1的工件臺線纜裝置的結構示意圖；
[0028]圖2為圖1的俯視圖；
[0029]圖3和圖4分別為本發(fā)明實施例1中的線纜連接臺處于最大行程和最小行程時的布局圖；
[0030]圖5為本發(fā)明的工件臺線纜裝置的線纜裝置的結構示意圖；
[0031]圖6為圖5的剖面圖；
[0032]圖7為本發(fā)明實施例2的工件臺線纜裝置的結構示意圖；
[0033]圖8為本發(fā)明實施例3的工件臺線纜裝置的結構示意圖；
[0034]圖9為圖8的俯視圖。
[0035]圖1?6中:110-工件臺、120-硅片臺、130-線纜設備、131-線纜、132-線纜套、133-隔層、140-線纜連接臺、151-滑臺、152-滑塊、161-機械臂、1611-連桿、1612-旋轉接點、162-旋轉電機、163-導向桿；
[0036]圖7中:210-工件臺、220-硅片臺、230-線纜設備、240-線纜連接臺、251-滑臺、252-滑塊、261-軌道、262-固定塊；
[0037]圖8、中:310-工件臺、320-硅片臺、330-線纜設備、340-線纜連接臺、350-第一磁鋼陣列(或第一線圈陣列)。
【具體實施方式】
[0038]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細的說明。需說明的是，本發(fā)明附圖均采用簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0039]本發(fā)明提供的工件臺線纜裝置，如圖廣圖4所示，包括工件臺110、硅片臺120、線纜設備130、線纜連接臺140以及X向運動設備和Y向運動設備，所述硅片臺120與線纜連接臺140分別安裝于所述工件臺110的上側和下側，所述線纜設備130的兩端分別連接至所述硅片臺120和線纜連接臺140。具體地，所述線纜設備130與所述硅片臺120為柔性連接，以保證所述線纜設備130與硅片臺120之間的柔性解耦，所述線纜設備130與所述線纜連接臺140剛性連接,使所述線纜連接臺140在運動過程中帶動線纜設備130同步運動,兩者間無需如線纜設備130和硅片臺120之間需要跟隨控制。所述X向運動設備連接至所述線纜連接臺140并沿X向運動，所述Y向運動設備連接至所述線纜連接臺140并沿Y向運動。其中硅片臺120通過平面電機(圖中未示出)的動、定子之間的作用力懸浮在所述工作臺110上，所述硅片臺120通過平面電機實現(xiàn)空間內(nèi)六自由度的運動和定位，所述X向運動設備和Y向運動設備帶動所述線纜連接臺140跟隨所述硅片臺120同步運動，以減少線纜設備130對所述娃片臺120運動廣生的擾動，并減少線纜設備130在娃片臺120運動中的彎折次數(shù)，增加線纜設備130的使用壽命，同時，本發(fā)明結構簡單，成本較低。
[0040]實施例1
[0041]請繼續(xù)參考圖1至圖4，所述Y向運動設備包括固定于所述工件臺110底部邊緣的滑臺151以及能夠沿所述滑臺151滑動的滑塊152，所述X向運動設備包括伸縮件、控制電機以及導向裝置，所述導向裝置沿X方向設置，所述伸縮件以及導向裝置的一端分別安裝于所述滑塊152上，另一端分別安裝于所述線纜連接臺140上，所述控制電機控制所述伸縮件的伸縮。較佳地，所述導向裝置為導向桿163，較佳地，所述導向桿163為直線導向裝置，所述導向桿163與所述滑塊152之間設有機械軸承或氣浮軸承或磁浮軸承。所述導向桿163的一端固定連接于所述線纜連接臺140，所述導向桿163的另一端穿設于所述滑塊152內(nèi)，并能夠沿X方向滑動；較佳地，所述伸縮件為機械臂161，所述機械臂161包括兩連桿1611以及連接所述兩連桿1611的旋轉接點1612，所述兩連桿1611的兩端分別與所述滑塊152和線纜連接臺140鉸接，使線纜連接臺140在Rz向解耦；較佳地，所述控制電機為旋轉電機162，所述旋轉電機162控制所述兩連桿1611的其中一端旋轉，較佳地，所述旋轉電機162上還設有旋轉編碼器(圖中未示出)，用以測量所述機械臂161的運動狀態(tài)。運動過程中只需通過旋轉電機162驅動機械臂161并配合滑臺151在Y向的運動即可帶動線纜連接臺140跟隨硅片臺120在XY平面進行主動跟隨運動，由于硅片臺120運動時，旋轉電機162帶動兩連桿1611運動,機械臂161帶動線纜連接臺140運動，線纜設備130 —端和線纜連接臺140為剛性連接，故線纜連接臺140和線纜設備130 —起實現(xiàn)在X、Y方向的主動跟隨，并能保證線纜設備130與硅片臺120的運動軌跡、速度、加速度上的一致性，使硅片臺120、線纜設備130、線纜連接臺140三者在運動時保持相對靜止。
[0042]較佳地，請繼續(xù)參考圖1至圖4，所述線纜設備130與所述硅片臺120之間安裝有差分傳感器(圖中未示出)，當硅片臺120在X、Y向運動時，通過所述差分傳感器，線纜設備130跟隨硅片臺120運動，并始終保持兩者的相對位置不變，并且在硅片臺120初始化時，該位置上的差分傳感器可以為硅片臺120提供零位測量。
[0043]具體地，請繼續(xù)參考圖1至圖4，所述硅片臺120的初始化過程為:上電之后，所述滑臺151通過Y向的光柵尺(圖中未示出)測量與工作臺110間的位置關系，由于線纜連接臺140與滑臺151相連，所以線纜設備130、線纜連接臺140以及滑臺151在初始化過程中可視為一體，故三者的位置即為滑臺151的位置；線纜設備130與硅片臺120之間設有差分傳感器，在初始化時刻，硅片臺120通過差分傳感器測量到與線纜設備130的相對位置，從而確定硅片臺120與滑臺151間的位置關系，這樣，通過相對測量即可確定硅片臺120相對于工作臺110的位置關系，以完成初始化。
[0044]請重點參考圖3和圖4，當硅片臺120處于交接片位時，硅片臺120會運動到離工件臺110邊緣較遠的距離，此時，通過機械臂161的帶動，線纜連接臺140可帶動線纜設備130跟隨硅片臺120到達交接位，并且保持線纜設備130兩端相對位置保持不變(雙交接片工位情況則無需考慮此種工況)；當硅片臺120處于交換位時，兩硅片臺120運動到工件臺110最邊緣極限位，此時，機械臂161折彎后帶動線纜連接臺140運動到工件臺IlOX向的邊緣位置，跟隨硅片臺120運動，線纜設備130通過機械臂161的冗余自由度可實現(xiàn)在X向長短距離間的直線運動。
[0045]需要說明的是，由于所述機械臂161為懸臂結構，在線纜連接臺140中可預裝磁鐵及氣浮墊，工件臺Iio底部可安裝硅鋼板，提供線纜連接臺140在垂向的預載力，從而提高機械臂161和線纜連接臺140在垂向的剛度。
[0046]較佳地，請重點參考圖5和圖6，所述線纜設備130包括線纜131以及套設于所述線纜131外側的線纜套132，所述線纜套132中設有隔層133。具體地，所述線纜131采用柔性線纜；所述線纜套132采用碳纖維、陶瓷或碳化硅中的一種材料制成。在硅片臺120中，需要用到的線纜131包括:信號線、功率線、氣管和水管，本實施例中采用材質更輕，線寬更小的柔性線纜代替?zhèn)鹘y(tǒng)線纜。柔性線纜的線寬一般在0.2?1_，遠小于普通線纜寬度，且封裝后質量更輕，可有效降低線纜131對硅片臺120運動產(chǎn)生的干擾。線纜套132采用低密度，高剛度，高彈性模量的材料制作，如碳纖維、陶瓷、碳化硅等，對線纜131起支撐及導向的作用，同時提高線纜131的高度及結構模態(tài)，并消除了線纜131在U型彎一端產(chǎn)生晃動、下垂等可能影響導軌運動的現(xiàn)象。線纜套132內(nèi)設有隔層133，將不同類型線纜131單獨放置，防止各層管線之間的相互干擾。
[0047]請繼續(xù)參考圖5和圖6，線纜131布局時將水管、氣管等線寬較大的排管作為單獨一層，線寬小的排線通過上下重疊為二至三層，并與水管、氣管等線寬較大的排管并排放置。通過線纜套132內(nèi)的隔層133，將各層排線隔開，減小排線間相互干擾。線纜設備130采用排線橫向并排布局，減少線纜設備130的整體厚度，并且采用垂向U型打彎方式可將線纜體積進一步減小。
[0048]本實施例采用線纜設備130相對硅片臺120靜止的運動方式,該方案可最大程度減小線纜設備130在運動時給硅片臺120造成的擾動，提高硅片臺120的運動定位精度。并且由于線纜設備130在運動過程中自身不產(chǎn)生伸縮、拉扯等動作，因此可有效延長線纜設備130的使用壽命。
[0049]實施例2
[0050]如圖7所示，本實施例與實施例1的區(qū)別在于:所述伸縮件為直線滑軌，所述直線滑軌包括X向的軌道261以及沿所述軌道261滑動的固定塊262，所述軌道261的一端固定連接至所述滑塊252，所述線纜連接臺240固定于所述固定塊262上；所述控制電機為直線電機(圖中未示出)，所述直線電機控制所述固定塊262沿所述軌道261做直線運動，較佳地，所述直線電機上還設有直線編碼尺(圖中未示出)。也就是說，Y向運動設備與實施例1相同，包括固定于所述工件臺210底部邊緣的滑臺251以及能夠沿所述滑臺251滑動的滑塊252 ;而所述X向運動設備中的伸縮件則為直線滑軌，如直線電機、絲桿、旋轉電機等；控制電機則為直線電機，導向裝置則為軌道261，這樣，驅動設備(圖中未示出)驅動所述滑塊252沿所述滑臺251運動，帶動所述線纜連接臺240沿Y方向運動，所述直線電機控制所述直線滑軌中的固定塊262沿所述軌道261滑動，帶動所述線纜連接臺240沿X方向運動，從而達到所述線纜設備230與硅片臺220相對的靜止，以減小線纜設備230在運動時給硅片臺220造成的擾動，提高硅片臺220的運動定位精度，同時，有效延長線纜設備230的使用壽命。
[0051]實施例3
[0052]本實施例與實施例1和2的區(qū)別在于:所述X向運動設備和Y向運動設備均由磁鋼陣列或線圈陣列提供。
[0053]較佳地，請參考圖8和圖9，所述工件臺310底部設有第一磁鋼陣列(或第一線圈陣列)350，所述線纜連接臺340上設有與所述第一磁鋼陣列(或第一線圈陣列)350相對應的第二磁鋼陣列(或第二線圈陣列)。所述第一磁鋼陣列(或第一線圈陣列)350與所述第二磁鋼陣列(或第二線圈陣列)組成平面電機，從而控制所述線纜連接臺340在X、Y方向上的相對運動。
[0054]較佳地，請繼續(xù)參考圖8和圖9，所述硅片臺320內(nèi)部設有霍爾傳感器陣列(圖中未示出)，所述線纜設備330與所述硅片臺320之間設有跟隨傳感器(圖中未示出)，用于測量所述線纜設備330與所述硅片臺320之間的相對位置。
[0055]具體地，請繼續(xù)參考圖8和圖9，所述硅片臺320的初始化過程為:硅片臺320內(nèi)部設有霍爾傳感器陣列，所述線纜設備330與所述硅片臺320之間設有跟隨傳感器，在工作臺310位置確定的情況下，通過霍爾傳感器陣列可測得硅片臺320、線纜連接臺340相對工作臺310的位置；線纜設備330與硅片臺320連接的一端裝有跟隨用的差分傳感器，此時該差分傳感器用以測量硅片臺320和線纜設備330之間的位置關系，并完成初始化。
[0056]本實施例中，當硅片臺320在X、Y方向運動時，通過磁鋼陣列或線圈陣列組成的平面電機的控制，底部的線纜連接臺340根據(jù)硅片臺320的軌跡，同軌跡跟隨并且?guī)泳€纜設備330 —起運動，實現(xiàn)線纜設備330在X、Y方向的主動跟隨。
[0057]綜上所述，本發(fā)明提供的工件臺線纜裝置，包括工件臺、硅片臺、線纜設備、線纜連接臺以及X向運動設備和Y向運動設備，所述娃片臺與線纜連接臺分別安裝于所述工件臺的上側和下側，所述線纜設備的兩端分別連接至所述硅片臺和線纜連接臺，所述X向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿X向運動，所述Y向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿Y向運動。本發(fā)明利用沿X向運動的X向運動設備和沿Y向運動的Y向運動設備帶動所述線纜連接臺跟隨所述硅片臺在XY向同步運動，使得線纜設備跟隨所述硅片臺運動，以減少線纜設備對所述硅片臺運動產(chǎn)生的擾動，并減少線纜設備在硅片臺運動中的彎折次數(shù)，增加線纜設備的使用壽命，同時，本發(fā)明結構簡單，便于實現(xiàn)。
[0058]顯然，本領域的技術人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權利要求】
1.一種工件臺線纜裝置，其特征在于，包括工件臺、硅片臺、線纜設備、線纜連接臺以及X向運動設備和Y向運動設備，所述硅片臺與線纜連接臺分別安裝于所述工件臺的上側和下側，所述線纜設備的兩端分別連接至所述硅片臺和線纜連接臺，所述X向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿X向運動，所述Y向運動設備連接至所述線纜連接臺并沿Y向運動。
2.如權利要求1所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述Y向運動設備包括固定于所述工件臺底部邊緣的滑臺以及能夠沿所述滑臺滑動的滑塊，所述X向運動設備包括伸縮件、控制電機以及導向裝置，所述導向裝置沿X方向設置，所述伸縮件以及導向裝置的一端分別安裝于所述滑塊上，另一端分別安裝于所述線纜連接臺上，所述控制電機控制所述伸縮件的伸縮。
3.如權利要求2所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述線纜設備與所述硅片臺之間安裝有差分傳感器。
4.如權利要求3所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述導向裝置為導向桿，所述導向桿的一端固定連接于所述線纜連接臺，所述導向桿的另一端穿設于所述滑塊內(nèi)，并能夠沿X方向滑動。
5.如權利要求4所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述導向桿為直線導向裝置，所述導向桿與所述滑塊之間設有機械軸承或氣浮軸承或磁浮軸承。
6.如權利要求3所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述伸縮件為機械臂，所述機械臂包括兩連桿以及連接所述兩連桿的旋轉接點，所述兩連桿的兩端分別與所述滑塊和線纜連接臺 鉸接。
7.如權利要求6所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述控制電機為旋轉電機，所述旋轉電機控制所述兩連桿的其中一端的旋轉。
8.如權利要求7所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述旋轉電機上還設有旋轉編碼器。
9.如權利要求3所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述伸縮件為直線滑軌，所述直線滑軌包括X向的軌道以及沿所述軌道滑動的固定塊，所述軌道的一端固定連接至所述滑塊，所述線纜連接臺固定于所述固定塊上。
10.如權利要求9所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述控制電機為直線電機，所述直線電機控制所述固定塊沿所述軌道做直線運動。
11.如權利要求10所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述直線電機上還設有直線編碼尺。
12.如權利要求1所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述工件臺底部設有第一磁鋼陣列，所述線纜連接臺上設有與所述第一磁鋼陣列相對應的第二磁鋼陣列。
13.如權利要求1所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述工件臺底部設有第一線圈陣列，所述線纜連接臺上設有與所述第一線圈陣列相對應的第二線圈陣列。
14.如權利要求12或13所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述硅片臺內(nèi)部設有霍爾傳感器陣列，所述線纜設備與所述硅片臺之間設有跟隨傳感器。
15.如權利要求1所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述線纜設備包括線纜以及套設于所述線纜外側的線纜套，所述線纜套中設有隔層。
16.如權利要求15所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述線纜采用柔性線纜。
17.如權利要求15所述的工件臺線纜裝置，其特征在于，所述線纜套采用碳纖維、陶瓷或碳化硅中的一 種材料制成。
【文檔編號】G03F7/20GK103901734SQ201210587444
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月28日 優(yōu)先權日:2012年12月28日
【發(fā)明者】郭琳, 吳立偉, 陳軍, 江旭初, 張志鋼 申請人:上海微電子裝備有限公司