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光耦合裝置制造方法

文檔序號(hào):2697240閱讀:134來(lái)源:國(guó)知局
光耦合裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光耦合裝置,其包括一個(gè)基底、一個(gè)形成于該基底上的平板光波導(dǎo)、一個(gè)形成于該平板光波導(dǎo)上的介質(zhì)光柵及一對(duì)設(shè)置于該平板光波導(dǎo)上且位于該介質(zhì)光柵兩側(cè)的電極。該平板光波導(dǎo)用于與一個(gè)激光光源對(duì)接以接收該激光光源發(fā)出的激光束。該介質(zhì)光柵沿平行于該激光束的入射方向設(shè)置,并與該平板光波導(dǎo)構(gòu)成一個(gè)衍射型光波導(dǎo)透鏡以會(huì)聚該激光束。該對(duì)電極用于加載調(diào)制電場(chǎng)以通過(guò)電光效應(yīng)改變?cè)撈桨骞獠▽?dǎo)的折射率從而改變?cè)撗苌湫凸獠▽?dǎo)透鏡的焦距。如此,可以有效的將該激光束會(huì)聚入一個(gè)光學(xué)元件。
【專利說(shuō)明】光耦合裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及集成光學(xué)裝置,特別涉及一種光耦合裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成光學(xué)里,光源與光學(xué)元件的耦合需要考慮的問(wèn)題有:雖然集成光學(xué)普遍采用方向性較佳的激光作為光源,然而激光發(fā)出的光束仍具有一定的發(fā)散角,如果直接讓光源與光學(xué)元件對(duì)接,光束中的發(fā)散光線將無(wú)法進(jìn)入光學(xué)元件,光利用率低。因此,如何將光源耦合至光學(xué)元件以使發(fā)散的光束會(huì)聚入光學(xué)元件以提高光利用率是一個(gè)重要課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此,有必要提供一種可提高光利用率的光耦合裝置。
[0004]一種光耦合裝置,其包括一個(gè)基底、一個(gè)形成于該基底上的平板光波導(dǎo)、一個(gè)形成于該平板光波導(dǎo)上的介質(zhì)光柵及一對(duì)設(shè)置于該平板光波導(dǎo)上且位于該介質(zhì)光柵兩側(cè)的電極。該平板光波導(dǎo)用于與一個(gè)激光光源對(duì)接以接收該激光光源發(fā)出的激光束。該介質(zhì)光柵沿平行于該激光束的入射方向設(shè)置,并與該平板光波導(dǎo)構(gòu)成一個(gè)衍射型光波導(dǎo)透鏡(diffractive waveguide lens)以會(huì)聚該激光束。該對(duì)電極用于加載調(diào)制電場(chǎng)以通過(guò)電光效應(yīng)改變?cè)撈桨骞獠▽?dǎo)的折射率從而改變?cè)撗苌湫凸獠▽?dǎo)透鏡的焦距。
[0005]根據(jù)集成光學(xué)理論,該介質(zhì)光柵與該平板光波導(dǎo)構(gòu)成加載型光波導(dǎo)(strip/grating loaded waveguide),該平板光波導(dǎo)加載該介質(zhì)光柵的部分的等效折射率變大。如此,通過(guò)合理設(shè)置該介質(zhì)光柵的結(jié)構(gòu),例如設(shè)置成啁啾光柵(chirped grating)便可構(gòu)成一個(gè)啁啾光柵類型的衍射型光波導(dǎo)透鏡。而該對(duì)電極可以加載調(diào)制電場(chǎng)從而通過(guò)電光效應(yīng)改變?cè)撈桨骞獠▽?dǎo)的折射率,從而改變?cè)撗苌湫凸獠▽?dǎo)透鏡的焦距,有效的將該激光束會(huì)聚入光學(xué)元件。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1為本發(fā)明較佳實(shí)施方式的光耦合裝置的立體示意圖。
[0007]圖2為圖1的光耦合裝置沿線I1-1I的剖面示意圖。
[0008]圖3為圖1的光電耦合裝置的介質(zhì)光柵的平面示意圖。
[0009]主要元件符號(hào)說(shuō)明
【權(quán)利要求】
1.一種光耦合裝置,其包括一個(gè)基底、一個(gè)形成于該基底上的平板光波導(dǎo)、一個(gè)形成于該平板光波導(dǎo)上的介質(zhì)光柵及一對(duì)設(shè)置于該平板光波導(dǎo)上且位于該介質(zhì)光柵兩側(cè)的電極;該平板光波導(dǎo)用于與一個(gè)激光光源對(duì)接以接收該激光光源發(fā)出的激光束;該介質(zhì)光柵沿平行于該激光束的入射方向設(shè)置,并與該平板光波導(dǎo)構(gòu)成一個(gè)衍射型光波導(dǎo)透鏡以會(huì)聚該激光束;該對(duì)電極用于加載調(diào)制電場(chǎng)以通過(guò)電光效應(yīng)改變?cè)撈桨骞獠▽?dǎo)的折射率從而改變?cè)撗苌湫凸獠▽?dǎo)透鏡的焦距。
2.如權(quán)利要求1所述的光耦合裝置,其特征在于,該基底的材料采用鈮酸鋰晶體。
3.如權(quán)利要求1所述的光耦合裝置,其特征在于,該基底基本呈矩形,并包括一個(gè)頂面及一個(gè)與該頂面連接的側(cè)面,該平板光波導(dǎo)通過(guò)向該頂面鍍上金屬鈦后高溫將金屬鈦擴(kuò)散入該基底而形成;該平板光波導(dǎo)為矩形,該頂面即為該平板光波導(dǎo)的頂面,該側(cè)面為該平板光波導(dǎo)的側(cè)面。
4.如權(quán)利要求3所述的光耦合裝置,其特征在于,該介質(zhì)光柵通過(guò)從該平板光波導(dǎo)的頂面蝕刻該平板光波導(dǎo)而形成。
5.如權(quán)利要求3所述的光耦合裝置,其特征在于,該介質(zhì)光柵是一個(gè)啁啾光柵,其包括多個(gè)矩形的、平行設(shè)置的介質(zhì)部分,該多個(gè)介質(zhì)部分垂直于該側(cè)面設(shè)置,且高度基本相同;該多個(gè)介質(zhì)部分的數(shù)目為奇數(shù),并關(guān)于一個(gè)對(duì)稱軸對(duì)稱分布,且沿該對(duì)稱軸到遠(yuǎn)離該對(duì)稱軸的方向,該介質(zhì)部分的寬度越來(lái)越小,而相鄰兩個(gè)該介質(zhì)部分的間隙也越來(lái)越小。
6.如權(quán)利要求5所述的光耦合裝置,其特征在于,以該介質(zhì)光柵的寬度方向?yàn)閄軸,該對(duì)稱軸與τ軸的相交點(diǎn)為原點(diǎn),沿該對(duì)稱軸到遠(yuǎn)離該對(duì)稱軸的方向?yàn)镮軸正向,該介質(zhì)部分的第個(gè)邊界滿足如下條件
7.如權(quán)利要求1所述的光耦合裝置,其特征在于,該對(duì)電極的長(zhǎng)度及高度分別大于或者等于該介質(zhì)光柵的長(zhǎng)度及高度。
【文檔編號(hào)】G02B6/124GK103869412SQ201210547421
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2012年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月17日
【發(fā)明者】黃新舜 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司
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