長(zhǎng)條鏡安裝裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種長(zhǎng)條鏡安裝裝置，設(shè)置于光刻機(jī)工件臺(tái)的主基板下表面上，該長(zhǎng)條鏡安裝裝置通過在長(zhǎng)條鏡的中間段施加作用力，從而改變了長(zhǎng)條鏡的受力狀態(tài)，使長(zhǎng)條鏡的最小變形處和最大變形處的差值變小，從而起到了矯正長(zhǎng)條鏡的平面度的作用，提高了長(zhǎng)條鏡的水平精度，該長(zhǎng)條鏡安裝裝置無需很高的長(zhǎng)條鏡加工精度，降低了長(zhǎng)條鏡的加工難度，也無需增加長(zhǎng)條鏡的厚度以克服其自重所帶來的形變，大大節(jié)省了長(zhǎng)條鏡的材料耗費(fèi)，減少了成本，并且長(zhǎng)條鏡水平精度的提高也使工件臺(tái)激光干涉儀的Z向測(cè)量精度得以提高。
【專利說明】長(zhǎng)條鏡安裝裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種長(zhǎng)條鏡安裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻機(jī)工件臺(tái)Z向運(yùn)動(dòng)測(cè)量通常采用激光干涉儀，其測(cè)量光路通過安裝在微動(dòng)臺(tái)上的45度反射鏡和安裝在主基板下表面的長(zhǎng)條鏡反射來實(shí)現(xiàn)，此外根據(jù)光學(xué)反射的原理，長(zhǎng)條鏡工作鏡面幾何造成的誤差，通常會(huì)導(dǎo)致2倍的測(cè)量誤差，因此控制長(zhǎng)條鏡工作鏡面水平度十分重要。
[0003]長(zhǎng)條鏡屬于一種精密光學(xué)元器件，加工精度較為苛刻，通常的加工指標(biāo)為整個(gè)通光范圍內(nèi)平整度不大于IOOnm,且任意50mmX Ilmm范圍內(nèi)平整度不大于30nm。由于工件臺(tái)在X方向運(yùn)動(dòng)行程較大，導(dǎo)致長(zhǎng)條鏡的長(zhǎng)度也不斷變大(通常為300-400mm)，較狹長(zhǎng)的幾何外形導(dǎo)致加工控制工作鏡面的平面度十分困難。常用的長(zhǎng)條鏡平面度補(bǔ)償方法是在設(shè)計(jì)時(shí)加厚長(zhǎng)條鏡的厚度，控制其受自重導(dǎo)致的變形量，但這樣增加了材料的成本(如使用材料:微晶玻璃)，且效果也不甚明顯。
[0004]于2006年10月31日公布的
【發(fā)明者】吳飛, 胡志宏, 彭巍, 吳萍, 袁志揚(yáng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司