專利名稱：一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器的主要結(jié)構(gòu)是由上下兩片玻璃基板壓合而成，兩片玻璃基板之間灌有液晶，這樣通過玻璃基板間的電場控制液晶翻轉(zhuǎn)，加上背光后即可達(dá)到顯示圖像的目的。若要通過輸入信號(hào)產(chǎn)生的電場顯示正確的圖像，就需要保證兩片玻璃基板間有均勻?qū)挾鹊拈g隙。目前，通常采用一種制作光阻間隔物(Photo Spacer，PS)的工藝來提高玻璃基板間間隙寬度的均勻性。該方法選取一塊玻璃基板通過涂膠，曝光，顯影等工藝制作出一個(gè)個(gè)的PS點(diǎn)，作為兩塊基板間的支撐點(diǎn)，從而提高玻璃基板間間隙寬度的均勻性，進(jìn)而提高液晶盒盒厚的均勻性。該方法能夠精確的選擇放置PS點(diǎn)的位置，且PS點(diǎn)的密度和高度都有很高的均勻性。但是，形成電路結(jié)構(gòu)后的基板的表面是凸凹不平的，而傳統(tǒng)的PS制作方法制作出的各個(gè)PS點(diǎn)的高度卻是完全一致的，這就導(dǎo)致，貼合后基板間間隙的寬度仍然不夠均勻，從而，使液晶盒盒厚的均勻性達(dá)不到較高水平。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，以進(jìn)一步提高液晶顯示器基板間間隙的寬度均勻性，從而提高液晶盒盒厚均勻性。

一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，包括:在液晶顯示器的一個(gè)基板的表面涂布負(fù)向光阻材料；通過掩模板對(duì)所述負(fù)向光阻材料進(jìn)行曝光，所述掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔；經(jīng)過顯影步驟，形成具有至少兩種高度的光阻間隔物。本發(fā)明實(shí)施例采用在掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔，制作出具有至少兩種高度的光阻間隔物的技術(shù)方案，使得制作出的光阻間隔物的高度不再完全一致，而是可以與凸凹不平的基板表面相配合，從而可以進(jìn)一步提高液晶顯示器基板間間隙的寬度均勻性，進(jìn)而提聞液晶盒盒厚均勻性。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法的流程圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例中采用的掩模板的示意圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施例中曝光操作的示意圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例中制成的光阻間隔物的示意圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一、請(qǐng)參考圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，包括:101、在液晶顯示器的一個(gè)基板的表面涂布負(fù)向光阻材料。102、通過掩模板對(duì)所述負(fù)向光阻材料進(jìn)行曝光，所述掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔。103、經(jīng)過顯影步驟，形成具有至少兩種高度的光阻間隔物。傳統(tǒng)光阻間隔物(Photo Spacer, PS)的制作包括涂膠，曝光，顯影等步驟，經(jīng)這些步驟可以制作出高度一致的PS。本發(fā)明實(shí)施例技術(shù)方案則是利用光衍射效應(yīng)來制作高度不一致的光阻間隔物。光的衍射是指光繞過障礙物偏離直線傳播路徑的現(xiàn)象。衍射效應(yīng)使得障礙物后空間的光強(qiáng)分布既區(qū)別于幾何光學(xué)給出的光強(qiáng)分布，又區(qū)別于光波自由傳播時(shí)的光強(qiáng)分布，衍射光強(qiáng)有了一種重新分布。光的這種衍射效應(yīng)使得一切幾何影界失去了明銳的邊緣，本設(shè)計(jì)即在確定曝光條件的前提下，通過孔徑的大小差異控制衍射效應(yīng)的強(qiáng)弱，進(jìn)而控制所制作產(chǎn)品的幾何尺寸。本發(fā)明實(shí)施例中，曝光步驟利用掩模板進(jìn)行。掩模板210的結(jié)構(gòu)如圖2所示，其上開設(shè)有直徑不同的圓孔220。本實(shí)施例中，以開設(shè)兩種直徑的圓孔220為例。曝光過程如圖3所示，光線通過掩模板210上開設(shè)的圓孔220照射到已經(jīng)涂布了負(fù)向光阻材料230的基板240上。所述基板240可以是玻璃基板，所述負(fù)向光阻材料230在曝光時(shí)受光照部分的分子結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，在后續(xù)顯影工藝中不與顯影液發(fā)生反應(yīng)。光線通過掩模板210上開設(shè)的圓孔220時(shí)會(huì)產(chǎn)生衍射效應(yīng)，圓孔半徑越小，衍射效應(yīng)越強(qiáng)。受衍射效應(yīng)的作用，圓孔220邊緣的光強(qiáng)重新分布，則經(jīng)顯影步驟后，非圓孔部位對(duì)應(yīng)的負(fù)向光阻材料溶解脫落，圓孔220對(duì)應(yīng)位置的負(fù)向光阻材料230則形成為光阻間隔物250，該光阻間隔物250呈上小下大的錐臺(tái)形，且錐臺(tái)的邊緣是圓滑的，沒有尖銳的棱角。可以預(yù)見，當(dāng)圓孔220的直徑足夠小時(shí)，經(jīng)曝光顯影后形成的光阻間隔物250的頂端甚至?xí)笔?，以至于使形成的光阻間隔物250的高度低于負(fù)向光阻材料230的原始高度。從而，可以確定一個(gè)臨界值，當(dāng)圓孔220的直徑大于該臨界值時(shí)，可以制作出高度等于負(fù)向光阻材料230的原始高度的光阻間隔物250 ;當(dāng)圓孔220的直徑小于該臨界值時(shí)，可以制作出高度低于負(fù)向光阻材料230的原始高度的光阻間隔物250，且圓孔220的直徑愈小，制出的光阻間隔物250的高度愈低。如圖3所不,一種實(shí)施方式中，掩模板210上開設(shè)有直徑大于臨界值的第一圓孔221和直徑小于臨界值的第二圓孔222，通過該掩模板210進(jìn)行曝光，可以形成兩種高度的光阻間隔物250。如圖4所示，對(duì)應(yīng)于第一圓孔221的位置，將形成較高的第一光阻間隔物251，對(duì)應(yīng)第二圓孔222的位置將形成較矮的第二光阻間隔物252。并且，第一光阻間隔物251的高度與與負(fù)向光阻材料230的原始高度相同，第二光阻間隔物252的高度則低于負(fù)向光阻材料230的原始高度。

其它實(shí)施方式中，掩模板上開設(shè)的圓孔可以具有更多的直徑，從而可以具有各種高度的光阻間隔物。當(dāng)液晶顯示器基板上的電路結(jié)構(gòu)完成后，基板表面是凸凹不平的，兩塊基板貼合后，基板不同點(diǎn)對(duì)應(yīng)的間隙也大小不同。本實(shí)施例中，可以根據(jù)液晶顯示器的基板上形成的電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)光阻間隔物的位置分布和高度分布，進(jìn)而根據(jù)該位置分布和高度分布制作具有相應(yīng)圓孔的掩模板。在間隙較大的位置，開設(shè)具有較大直徑的圓孔；在間隙較小的位置，則開設(shè)直徑較小的，且直徑小于臨界值的圓孔；從而，對(duì)于不同寬度的間隙，可以形成不同高度的光阻間隔物，使光阻間隔物的位置與高度和基板表面完全匹配；當(dāng)兩塊基板貼合后，利用這些高度不同的間隔物來平衡基板間隙，可進(jìn)一步提高液晶顯示器基板間間隙的寬度均勻性，進(jìn)而提高液晶盒盒厚均勻性。綜上，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，該方法利用里光線衍射的原理，采用在掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔，制作出具有至少兩種高度的光阻間隔物的技術(shù)方案，使得制作出的光阻間隔物的高度不再完全一致，而是可以與凸凹不平的基板表面相配合，從而可以進(jìn)一步提高液晶顯示器基板間間隙的寬度均勻性，進(jìn)而提高液晶盒盒厚均勻性，以及生產(chǎn)良率，提高產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力。以上對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所提供的在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法進(jìn)行了詳細(xì)介紹，但以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想，不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā) 明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，其特征在于，包括: 在液晶顯不器的一個(gè)基板的表面涂布負(fù)向光阻材料； 通過掩模板對(duì)所述負(fù)向光阻材料進(jìn)行曝光，所述掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔； 經(jīng)過顯影步驟，形成具有至少兩種高度的光阻間隔物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的經(jīng)過顯影步驟，形成具有至少兩種高度的光阻間隔物包括: 通過較大直徑的圓孔曝光的區(qū)域經(jīng)顯影后形成第一光阻間隔物，通過較小直徑的圓孔曝光的區(qū)域經(jīng)顯影后形成第二光阻間隔物，所述第一光阻間隔物的高度大于第二光阻間隔物的高度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于: 所述第一光阻間隔物的高度與涂布的負(fù)向光阻材料的原始高度相同，所述第二光阻間隔物的高度低于涂布的負(fù)向光阻材料的原始高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，所述的通過掩模板對(duì)所述負(fù)向光阻材料進(jìn)行曝光之前還包括: 根據(jù)液晶顯示器的基板上形成的電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)光阻間隔物的位置分布和高度分布，進(jìn)而根據(jù)該位置分布和高度分 布制作具有相應(yīng)圓孔的掩模板。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種在液晶顯示器基板間制作光阻間隔物的方法，包括在液晶顯示器的一個(gè)基板的表面涂布負(fù)向光阻材料；通過掩模板對(duì)所述負(fù)向光阻材料進(jìn)行曝光，所述掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔；經(jīng)過顯影步驟，形成具有至少兩種高度的光阻間隔物。本發(fā)明實(shí)施例采用在掩模板上開設(shè)有至少兩種直徑的圓孔，制作出具有至少兩種高度的光阻間隔物的技術(shù)方案，使得制作出的光阻間隔物的高度不再完全一致，而是可以與凸凹不平的基板表面相配合，從而可以進(jìn)一步提高液晶顯示器基板間間隙的寬度均勻性，進(jìn)而提高液晶盒盒厚均勻性。
文檔編號(hào)G03F7/00GK103226265SQ201210364549
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者胡君文, 李林, 洪勝寶, 梅新東, 李建華 申請(qǐng)人:信利半導(dǎo)體有限公司