光波導(dǎo)及光波導(dǎo)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)，其包括基底及嵌設(shè)在該基底上的導(dǎo)光層，該導(dǎo)光層包括第一側(cè)面、第二側(cè)面、第三側(cè)面、第四側(cè)面與第一反射面，該第一側(cè)面平行于該第二側(cè)面，該第三側(cè)面平行于該第四側(cè)面，該第三側(cè)面與該第一側(cè)面相連接形成一第一鈍角，該第一反射面位于該第二側(cè)面和該第四側(cè)面之間且連接該第二側(cè)面及該第四側(cè)面，該第一反射面與該第二側(cè)面連接所成的第一銳角為α1，該第一鈍角為θ1，α1與θ1之間滿足α1小于（180°-θ1）。本發(fā)明還涉及一種光波導(dǎo)的制作方法。
【專利說明】光波導(dǎo)及光波導(dǎo)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)及一種光波導(dǎo)的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光訊號傳輸中一般米用光波導(dǎo)作為光傳輸介質(zhì)，當(dāng)極高頻的光訊號在光波導(dǎo)介質(zhì) 中傳輸時，易因光波導(dǎo)的幾何外形設(shè)計而影響其傳導(dǎo)特性。尤其是當(dāng)光波導(dǎo)以一定曲率半 徑做彎曲時，在轉(zhuǎn)角處的部分光線由于入射角小于臨界角，不滿足全反射條件，這部分光線 由于折射而容易產(chǎn)生極大的非預(yù)期傳播損耗，然而過小的曲率半徑，其曲率變化太快會導(dǎo) 致散射損耗增加，緩慢的曲率變化雖然可降低散射的損耗，但卻會增加組件的長度，使成本 增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于上述狀況，有必要提供一種能克服上述問題的光波導(dǎo)及一種光波導(dǎo)的制作方法。
[0004]—種光波導(dǎo)，其包括基底及嵌設(shè)在該基底上的導(dǎo)光層，該導(dǎo)光層包括第一側(cè)面、 第二側(cè)面、第三側(cè)面、第四側(cè)面與第一反射面，該第一側(cè)面平行于該第二側(cè)面，該第三側(cè)面 平行于該第四側(cè)面，該第三側(cè)面與該第一側(cè)面相連接形成一第一鈍角，該第一反射面位于 該第二側(cè)面和該第四側(cè)面之間且連接該第二側(cè)面及該第四側(cè)面，該第一反射面與該第二側(cè) 面連接所成的第一銳角為a I,該第一鈍角為0 i，a I與Q1之間滿足a I < (180。- 9工)。
[0005]一種光波導(dǎo)的制作方法，其包括:
提供一基底；在該基底的表面涂布一層導(dǎo)光材料層；在該導(dǎo)光材料層上涂布一層光阻 層；提供一個如上所述之導(dǎo)光材料層對應(yīng)圖形之光罩，采用此光罩對該光阻層曝光，顯影后 在該導(dǎo)光材料層上形成一蝕刻阻擋層；蝕刻未被該蝕刻阻擋層遮蓋的該導(dǎo)光材料層；移去 該蝕刻阻擋層，以得到與該光罩形狀對應(yīng)的導(dǎo)光層；及將該導(dǎo)光層擴散于該基底內(nèi)。
[0006]相較先前技術(shù)，本發(fā)明提供的光波導(dǎo)及光波導(dǎo)的制作方法，在導(dǎo)光層的外側(cè)設(shè)置 了反射面，且角度滿足al<(180° -Q1),使在導(dǎo)光層內(nèi)傳播的光線入射至反射面的入射 角增大，從而增加在導(dǎo)光層內(nèi)發(fā)生全反射的光線數(shù)量，進而減少光線損失。該光波導(dǎo)應(yīng)用在 光通訊網(wǎng)絡(luò)，光損失低，具有較好的導(dǎo)光特性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明第一實施例提供的一種光波導(dǎo)的立體示意圖。
[0008]圖2是圖1的光波導(dǎo)的平面示意圖。
[0009]圖3是圖1的光波導(dǎo)的光路示意圖。
[0010]圖4是本發(fā)明第二實施例提供的一種光波導(dǎo)的平面示意圖。
[0011]圖5是本發(fā)明第三實施例提供的一種光波導(dǎo)的平面示意圖。
[0012]圖6-圖10是本發(fā)明第一實施例提供的光波導(dǎo)的制作方法的步驟示意圖。[0013]主要元件符號說明
【權(quán)利要求】
1.一種光波導(dǎo)，其包括基底及嵌設(shè)在該基底上的導(dǎo)光層，該導(dǎo)光層包括第一側(cè)面、第二 側(cè)面、第三側(cè)面、第四側(cè)面與第一反射面，該第一側(cè)面與該第二側(cè)面相背設(shè)置且相互平行， 該第三側(cè)面與該第四側(cè)面相背設(shè)置且相互平行，該第三側(cè)面與該第一側(cè)面相連接形成一第 一鈍角，該第一反射面位于該第二側(cè)面和該第四側(cè)面之間且連接該第二側(cè)面及該第四側(cè) 面，該第一反射面與該第二側(cè)面連接所形成的第一銳角為a 1，該第一鈍角為e i，a 1與e i 之間滿足a I <(180° -Q1X
2.如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)，其特征在于:該導(dǎo)光層還包括第五側(cè)面、第六側(cè)面與 第二反射面，該第五側(cè)面與該第六側(cè)面相背設(shè)置且相互平行，該第三側(cè)面位于該第一側(cè)面 與該第五側(cè)面之間，該第五側(cè)面與該第三側(cè)面相連接并在連接處形成一第二鈍角，該第 二反射面位于該第四側(cè)面與該第六側(cè)面之間且連接該第四側(cè)面與該第六側(cè)面，該第二反 射面與第四側(cè)面連接所成的第二銳角為a 2，該第二鈍角為02，a2與02之間滿足a 2 <(180。_02)。
3.如權(quán)利要求2所述的光波導(dǎo)，其特征在于:該aI等于該a 2。
4.如權(quán)利要求2所述的光波導(dǎo)，其特征在于:該aI不等于該a 2。
5.一種如權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)的制作方法，其包括以下步驟:提供一基底；在該基底的表面涂布一層導(dǎo)光材料層；在該導(dǎo)光材料層上涂布一層光阻層；提供一個與如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)光層對應(yīng)圖形的光罩，并利用該光罩對該光阻層曝 光顯影后在該導(dǎo)光材料層上形成一蝕刻阻擋層；蝕刻未被該蝕刻阻擋層遮蓋的該導(dǎo)光材料層；移去該蝕刻阻擋層，以得到與該光罩形狀對應(yīng)的導(dǎo)光層 '及將該導(dǎo)光層擴散于該基底內(nèi)。
6.如權(quán)利要求5所述的光波導(dǎo)制作方法,其特征在于:該基底包括一平板狀基板及位 于該平板狀基板上的脊型結(jié)構(gòu)，該脊型結(jié)構(gòu)包括第一側(cè)邊、第二側(cè)邊、第三側(cè)邊、第四側(cè)邊 與連接面，該第一側(cè)邊與該第二側(cè)邊相背設(shè)置且相互平行，該第三側(cè)邊與該第四側(cè)邊相背 設(shè)置且相互平行，該第三側(cè)邊與該第一側(cè)邊相連接形成一第三鈍角，該連接面位于該第二 側(cè)邊和該第四側(cè)邊之間且連接該第二側(cè)邊及該第四側(cè)邊，該連接面與該第二側(cè)邊連接所成 的第三銳角為a 3,該第三鈍角為0 3，a 3與0 3之間滿足a 3 < (180° - 0 3)，且a 3= a 1， 0 3= 0 i。
7.如權(quán)利要求5所述的光波導(dǎo)制作方法，其特征在于:該基底的材質(zhì)為鈮酸鋰或者鈮 酸鋇。
8.如權(quán)利要求5所述的光波導(dǎo)制作方法，其特征在于:該導(dǎo)光層的厚度介于0.6? 0.8um。
9.如權(quán)利要求5所述的光波導(dǎo)制作方法，其特征在于:該導(dǎo)光層的材料為鈦、鎳、鋅、鎵 或者鋅鎳合金。
【文檔編號】G02B6/138GK103454722SQ201210177773
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月1日
【發(fā)明者】黃新舜 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司