專利名稱：一種通過利用具有紫外光敏特性的硅鈦有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料來制備功能化條形波導(dǎo)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)特性的條形波導(dǎo)及其應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種利用具有紫外光敏特性的二氧化鈦-有機(jī)改性硅酸鹽有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料來制備功能化條形波導(dǎo)的方法。
背景技術(shù)：
近年來基于有機(jī)改性硅酸鹽的復(fù)合材料在集成光電子學(xué)方面的應(yīng)用已被廣泛研究和關(guān)注，材料體系克服了純無機(jī)氧化物玻璃材料在應(yīng)用領(lǐng)域表現(xiàn)出的種種不足，利用基于有機(jī)改性硅酸鹽的溶膠一凝膠技術(shù)，在低溫下就可以得到致密、低損耗、微米級的單層高光學(xué)質(zhì)量薄膜，這使得制備的光電子器件可以直接而便利的和半導(dǎo)體光源和探測器等集成在一起，對集成光電子學(xué)的發(fā)展起到了重要的推動作用。另外，相較純無機(jī)玻璃材料體系而言，有機(jī)-無機(jī)復(fù)合的材料結(jié)構(gòu)體系對有機(jī)光敏分子基團(tuán)異構(gòu)化提供了更大的空間，使得通過摻雜有機(jī)分子集團(tuán)改進(jìn)材料的各項(xiàng)特性變得更為容易，因此由摻雜帶來的各項(xiàng)光學(xué)特性使得材料有了更多可能的性能和更廣闊的應(yīng)用潛力。具有光敏特性經(jīng)過有機(jī)分子集團(tuán)摻雜的材料可以在后期的制備中通過UV-固化壓印技術(shù)得以圖形化，直接制得具有特定光學(xué)特性的光學(xué)器件，這樣就使得具有光學(xué)特性的材料和光學(xué)器件可以通過簡單的制備手段集成在一起，并且制備過程高效低成本，在實(shí)際應(yīng)用領(lǐng)域具有很高的潛力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種通過利用具有紫外光敏特性的硅鈦有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料來制備功能化條形波導(dǎo)的方法。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的制備方法為第一步制備用于壓印的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板首先，通過接觸式光學(xué)光刻技術(shù)制備條形波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)母板；然后，將PDMS前驅(qū)物澆到條形光波導(dǎo)陣列母板上，直到PDMS模板固化后將其撕下，得到具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板；第二步制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、3. 5 4. 5摩爾的乙醇與4摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和3. 8 4. 2摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液B ；3)將1摩爾的Y _(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、2. 8 3. 2摩爾的異丙醇和3摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液C ；4)然后將溶液A、B、C按Y42，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)0. 1 2%的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4 %的光敏引發(fā)劑 IRGACURE184 (CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘2000 3500轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；第三步紫外-固化壓印過程將制備好的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板壓制在二氧化硅基片的薄膜層表面， 并用中心波長為365nm的紫外光源照射樣品30分鐘后將PDMS模板撕下，然后進(jìn)行后熱處理，即可得到與PDMS模板圖形相反的摻分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)。本發(fā)明利用了改進(jìn)溶膠-凝膠法、旋涂技術(shù)以及紫外-固化壓印技術(shù)，結(jié)合易于摻雜有機(jī)分子集團(tuán)的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料制備技術(shù)，以有機(jī)改性硅酸鹽為材料基礎(chǔ)，摻入了具有三階非線性特性的分散紅13染料和光敏材料，制備出了一種摻分散紅染料并具有光敏特性的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料，并通過后期的壓印制得了具有三階非線性特性的條形波導(dǎo)。該發(fā)明制得的材料有良好的柔韌性和機(jī)械加工性，光敏材料的加入使得器件的制備變得步驟簡單、低成本且可重復(fù)性好，在現(xiàn)代集成光學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域具有巨大的潛力。


圖1是本發(fā)明制備的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)的折射率和厚度隨熱處理溫度的變化，其中橫坐標(biāo)為熱處理的溫度，右縱坐標(biāo)為厚度(微米)，左縱坐標(biāo)為折射率；圖2為在365nm紫外光照射下，復(fù)合薄膜材料的紫外吸收率變化曲線，其中橫坐標(biāo)為光波長，縱坐標(biāo)為吸收率；圖3為波長在633nm下的復(fù)合材料平板波導(dǎo)傳輸模式(TE模)，其中橫坐標(biāo)為光入射角，縱坐標(biāo)為強(qiáng)度；圖4為復(fù)合薄膜在以SOOnm的飛秒激光器為光源的Z掃描測試下的閉孔測試歸一化結(jié)果曲線；圖5為基于復(fù)合材料體系利用UV-固化壓印技術(shù)得到的條形波導(dǎo)的SEM圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。實(shí)施例1 制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、4摩爾的乙醇與4摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和4摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液B ；3)將1摩爾的Y _(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、3摩爾的異丙醇和3摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液C ；
4)然后將溶液A、B、C按Y42，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4 %的光敏引發(fā)劑 IRGACURE184 (CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘3000轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在硅片上在其表面形成薄膜層，在室溫的溫度下進(jìn)行熱處理，得到未經(jīng)過圖形化的摻有光敏特性物質(zhì)與分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合硅鈦單層薄膜材料。實(shí)施例2 本實(shí)施的熱處理溫度為50°C ；其他步驟同實(shí)施例1。實(shí)施例3 本實(shí)施例的熱處理溫度為100°C ；其他步驟同實(shí)施例1。實(shí)施例4 本實(shí)施例的熱處理溫度為200°C ；其他步驟同實(shí)施例1。圖1為實(shí)施例1 4在不同熱處理溫度的復(fù)合薄膜的厚度和折射率變化，這是對材料體系本身的表征，圖中可見未經(jīng)過圖形化的薄膜的厚度約為1 2微米，折射率隨著熱處理溫度的升高而降低，薄膜厚度也降低。實(shí)施例5 本實(shí)施例中第幻在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)0. 5% 的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；第7)中選用的基片為玻璃片，熱處理溫度為100°C。其他步驟同實(shí)施例1。圖2為實(shí)施例5中在365nm紫外光照射下，未圖形化的復(fù)合薄膜材料的紫外吸收率變化曲線摻分散紅13染料的復(fù)合薄膜的紫外吸收光譜，從圖中可以看到隨著紫外吸收時(shí)間的增加，在525nm左右處的吸收峰明顯的降低，在350nm左右處的吸收峰也有所降低。 這樣的變化是由于在紫外光照射下，摻雜了光敏特性物質(zhì)和分散紅13的復(fù)合薄膜材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)發(fā)生了改變造成的，有望在光開關(guān)的領(lǐng)域做進(jìn)一步研究和應(yīng)用。圖4為實(shí)施例5中摻分散紅13染料的復(fù)合薄膜的閉孔Z掃描歸一化曲線。從圖中可以看到曲線呈現(xiàn)先鋒后谷的形狀，即材料的非線性折射率為負(fù)，經(jīng)過計(jì)算，樣品的三階非線性折射率在KT9esu的數(shù)量級上，且沒有明顯的非線性吸收，這也就是說，在當(dāng)前的測試和使用條件下，本發(fā)明的材料適合做為全光開關(guān)的候選材料。實(shí)施例6 7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘3000轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；其他步驟同實(shí)施例1。圖3為實(shí)施例6中得到的復(fù)合平面波導(dǎo)薄膜，在波長為633nm下的傳輸橫電模式。 從圖中可以看出摻雜分散紅13染料的單層波導(dǎo)薄膜可以支持波長在633nm的多模傳輸。這些結(jié)果表明按照本發(fā)明的制備方法得到的材料可用做集成光學(xué)元器件的制備。實(shí)施例7 利用實(shí)施例1 6中制備并表征的具有光敏特性的復(fù)合薄膜材料進(jìn)行圖形化，制備出摻有分散紅13功能染料的條形波導(dǎo)第一步制備用于壓印的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板首先，通過接觸式光學(xué)光刻技術(shù)制備條形波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)母板；然后，將PDMS前驅(qū)物澆到條形光波導(dǎo)陣列母板上，直到PDMS模板固化后將其撕下，得到具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板；
第二步制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、4摩爾的乙醇與4摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和4摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液B ；3)將1摩爾的Y _(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、3摩爾的異丙醇和3摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液C ；4)然后將溶液A、B、C按Y42，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)0. 5%的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4 %的光敏引發(fā)劑 IRGACURE184 (CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘2000轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；第三步紫外-固化壓印過程將制備好的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板壓制在二氧化硅基片的薄膜層表面， 并用中心波長為365nm的紫外光源照射樣品30分鐘后將PDMS模板撕下，然后在100°C下進(jìn)行熱處理，即可得到與PDMS模板圖形相反的摻分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)。圖5為實(shí)施例7中摻分散紅13染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合條形波導(dǎo)。從圖中可以看到，利用紫外-固化壓印技術(shù)制備出的條形波導(dǎo)的邊緣整齊，與本發(fā)明設(shè)計(jì)的條形波導(dǎo)圖案相同，并且將圖形很好得從模板上轉(zhuǎn)移到了薄膜上，實(shí)際操作中證明了該法的成本低廉， 重復(fù)性好且制備方法簡便。實(shí)施例8 第一步制備用于壓印的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板首先，通過接觸式光學(xué)光刻技術(shù)制備條形波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)母板；
然后，將PDMS前驅(qū)物澆到條形光波導(dǎo)陣列母板上，直到PDMS模板固化后將其撕下，得到具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板；第二步制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、3.5摩爾的乙醇與4摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和3. 8摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液 B ；3)將1摩爾的Y _(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、2. 8摩爾的異丙醇和3摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0.01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液 C；4)然后將溶液A、B、C按Y42，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；
5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)0. 的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4 %的光敏引發(fā)劑 IRGACURE184 (CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘3500轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；第三步紫外-固化壓印過程將制備好的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板壓制在二氧化硅基片的薄膜層表面， 并用中心波長為365nm的紫外光源照射樣品30分鐘后將PDMS模板撕下，然后在150°C下進(jìn)行熱處理，即可得到與PDMS模板圖形相反的摻分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)。實(shí)施例9 第一步制備用于壓印的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板首先，通過接觸式光學(xué)光刻技術(shù)制備條形波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)母板；然后，將PDMS前驅(qū)物澆到條形光波導(dǎo)陣列母板上，直到PDMS模板固化后將其撕下，得到具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板；第二步制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、4.5摩爾的乙醇與4摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和4. 2摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液 B ；3)將1摩爾的Y _(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、3. 2摩爾的異丙醇和3摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0.01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液 C ；4)然后將溶液A、B、C按Y42，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)2%的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4 %的光敏引發(fā)劑 IRGACURE184 (CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘觀00轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；第三步紫外-固化壓印過程將制備好的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板壓制在二氧化硅基片的薄膜層表面， 并用中心波長為365nm的紫外光源照射樣品30分鐘后將PDMS模板撕下，然后在100°C下進(jìn)行熱處理，即可得到與PDMS模板圖形相反的摻分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)。綜上所述，本發(fā)明中利用材料的光敏特性制備出的條形波導(dǎo)具有良好的波導(dǎo)特性及三階非線性特性，該制備方法可用于制備具有全關(guān)開關(guān)特性的條形波導(dǎo)等光學(xué)器件中， 在集成光電子中的生產(chǎn)制備中具有很大的發(fā)展?jié)摿Α?br> 權(quán)利要求
1. 一種具有紫外光敏特性的二氧化鈦-有機(jī)改性硅酸鹽有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)的制備方法，其特征在于第一步制備用于壓印的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板首先，通過接觸式光學(xué)光刻技術(shù)制備條形波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)母板；然后，將PDMS前驅(qū)物澆到條形光波導(dǎo)陣列母板上，直到PDMS模板固化后將其撕下，得到具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板；第二步制備具有光敏特性摻分散紅染料的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料1)將1摩爾的Y-O，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷、3.5 4. 5摩爾的乙醇與4 摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸攪拌均勻后作為溶液A ；2)將1摩爾的鈦酸正四丁酯和3.8 4. 2摩爾的乙酰丙酮混合并攪拌均勻后作為溶液B ；3)將1摩爾的甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、2.8 3. 2摩爾的異丙醇和3 摩爾的去離子水混合，再向混合溶液中加入0. 01摩爾的鹽酸進(jìn)行催化，攪拌均勻后作為溶液C ；4)然后將溶液Α、B、C按Υ_(2，3環(huán)氧丙氧基)丙基三甲氧基硅烷鈦酸正四丁酯Y-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷為40 20 40的摩爾比混合，并在室溫下不斷地?cái)嚢?，得到均勻含硅鈦的低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液；5)在有機(jī)-無機(jī)復(fù)合基質(zhì)母液中加入其質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.1 2%的分散紅13的小分子，并在室溫下攪拌均勻從而得到摻有分散紅13的溶膠；6)在使用前45分鐘在溶膠中加入溶膠質(zhì)量4%的光敏引發(fā)劑IRGA⑶RE184(CIBA)，攪拌至均勻；7)利用旋轉(zhuǎn)涂層工藝在轉(zhuǎn)速為每分鐘2000 3500轉(zhuǎn)的情況下將得到的溶膠旋涂在二氧化硅基片上在其表面形成薄膜層；第三步紫外-固化壓印過程將制備好的具有條形波導(dǎo)圖形的PDMS模板壓制在二氧化硅基片的薄膜層表面，并用中心波長為365nm的紫外光源照射樣品30分鐘后將PDMS模板撕下，然后進(jìn)行后熱處理，即可得到與PDMS模板圖形相反的摻分散紅13的有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料條形波導(dǎo)。
全文摘要
一種通過利用具有紫外光敏特性的硅鈦有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料來制備功能化條形波導(dǎo)的方法，利用改進(jìn)溶膠-凝膠法、旋涂技術(shù)以及紫外-固化壓印技術(shù)，結(jié)合低溫有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料的制備技術(shù)，以有機(jī)改性硅酸鹽為材料基礎(chǔ)，摻入了光敏材料和具有三階非線性特性的分散紅13染料，制備出了具有紫外光敏特性和三階非線性特性的硅鈦有機(jī)-無機(jī)復(fù)合材料，通過后期的壓印制得了功能化的條形波導(dǎo)。本發(fā)明制得的材料有良好的波導(dǎo)特性及三階非線性特性，可作為光傳輸和全光開關(guān)的材料；光敏材料的加入使得圖形化的器件制備變得簡便、低成本且可重復(fù)性好，這種將材料與器件的制備結(jié)合在一起的制備方法在現(xiàn)代集成光學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域具有巨大的潛力。
文檔編號G02B6/13GK102540333SQ20121004125
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月22日
發(fā)明者張雪花, 闕文修, 高恬溪 申請人:西安交通大學(xué)