專利名稱：噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物、顯示元件用層間絕緣膜及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物、由該組合物所形成的顯示元件用層間絕緣膜及其形成方法，該正型射線敏感性組合物為適合作為液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件等顯示元件的顯示元件用層間絕緣膜的形成材料。
背景技術(shù)：
在顯示元件中，一般以將層狀配置的配線之間進(jìn)行絕緣為目的，設(shè)置顯示元件用層間絕緣膜。作為顯示元件用層間絕緣膜的形成材料，廣泛使用正型射線敏感性組合物，這是因?yàn)榈玫奖匾膱D案形狀所需的エ序數(shù)少，而且所得的顯示元件用層間絕緣膜要求高度 的平坦性。關(guān)于該正型射線敏感性組合物，日本特開(kāi)2004-264623號(hào)公報(bào)中提出一種正型射線敏感性樹脂組合物，其含有含縮醛構(gòu)造及/或縮酮構(gòu)造以及環(huán)氧基的樹脂及酸產(chǎn)生劑。然而，此正型射線敏感性樹脂組合物射線敏感度不充分，作為形成顯示元件用層間絕緣膜用的材料無(wú)法被滿足。另ー方面，日本特開(kāi)2002-131896號(hào)公報(bào)中掲示了旋涂法，作為在小型基板上涂布射線敏感性組合物的方法。若基于此旋涂法，可在對(duì)基板的中央滴下射線敏感性組合物后，以使基板旋轉(zhuǎn)的涂布方法得到良好的涂布均勻性。然而，用此旋涂法涂布大型基板吋，有下述不佳狀況，即旋轉(zhuǎn)所甩掉的被廢棄的射線敏感性組合物變多，可能發(fā)生高速旋轉(zhuǎn)所致的基板的破裂，必須確保生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間等。又，采用于進(jìn)ー步大型的基板時(shí)，為了得到旋轉(zhuǎn)所需要的加速度，需要特別訂購(gòu)的電動(dòng)機(jī)，在制造成本方面不利。因此，作為代替旋涂法的涂布方法，采用由噴嘴噴出射線敏感性組合物，涂布于基板上的噴出噴嘴式涂布法。噴出噴嘴式涂布法為在一定方向使涂布噴嘴掠過(guò)，在基板上形成涂膜的涂布方法，與旋涂法比較下，可減低涂布時(shí)所需要的射線敏感性組合物的量，而且也謀求涂布時(shí)間的縮短，在制造成本面有利。然而，使用以往的射線敏感性組合物以基于噴出噴嘴式涂布法來(lái)涂布時(shí)，會(huì)發(fā)生涂布不均，對(duì)實(shí)現(xiàn)顯示元件用層間絕緣膜的特性所要求的高度平坦性形成障礙。又，例如日本特開(kāi)2009-98673號(hào)公報(bào)中雖然記載有以該公報(bào)所記載的射線敏感性組合物也可用旋涂法以外的方法來(lái)涂布的要g，但沒(méi)有具體掲示合適的粘度、固體成分濃度、溶劑等，于實(shí)施例中也沒(méi)有進(jìn)行噴出噴嘴式涂布法等的涂布。鑒于如此的狀況，希望開(kāi)發(fā)出一種噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其具有高的射線敏感度，而且可形成無(wú)涂布不均的具有高度平坦性(膜厚均勻性)的顯示元件用層間絕緣膜，且可高速涂布。
背景技術(shù)：
文獻(xiàn)[專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)I]日本特開(kāi)2004-264623號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]日本特開(kāi)2002-131896號(hào)公報(bào)
[專利文獻(xiàn)3]日本特開(kāi)2009-98673號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明以如上的情況為基礎(chǔ)而完成，其目的在于提供噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物、顯示元件用層間絕緣膜及其形成方法，該組合物具有高的射線敏感度，而且可形成無(wú)涂布不均的具有高度平坦性(膜厚均勻性)的顯示元件用層間絕緣膜，且可高速涂布。解決問(wèn)題的手段為了解決上述問(wèn)題而完成的本發(fā)明為一種噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其含有

[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(I)所示的基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元(I)與含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物(以下也稱為“[A]聚合物”)，[B]由肟磺酸酯化合物及鎗鹽化合物所組成的群中選出的至少ー種化合物(以下也稱為“ [B]化合物”)，及[C]有機(jī)溶劑，且該組合物的固體成分濃度為10質(zhì)量％以上30質(zhì)量％以下，在25°C的粘度為
2.OmPa · s以上12mPa · s以下，而且，作為[C]有機(jī)溶剤，至少含有(Cl)在20°C的蒸氣壓為O. ImmHg以上且低于ImmHg
的有機(jī)溶剤，
R1
—O — C — OR3 C1)
I
R2(式(I)中，R1及R2各自獨(dú)立地為氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基；其中，上述烷基、環(huán)烷基或芳基所具有的一部分或全部氫原子可被取代；又，不存在R1及R2同時(shí)為氫原子的情況；R3為烷基、環(huán)烷基、芳烷基、芳基或-M (R3m)3所示的基團(tuán)，其中，這些基團(tuán)所具有的一部分或全部氫原子可被取代；M為Si、Ge或Sn ；R3m為烷基；其中，R1與R3可連接，可與所鍵結(jié)的碳原子一起形成環(huán)狀醚)。該組合物由于含有上述[A]聚合物、[B]化合物及[C]有機(jī)溶劑，在曝光時(shí)具有高的射線敏感度。又，基于使該組合物的固體成分濃度成為上述特定范圍，可有效地抑制涂布不均的發(fā)生，進(jìn)ー步使該組合物的粘度成為上述特定范圍，可一邊維持膜厚均勻性，ー邊即使發(fā)生涂布不均，也可平衡性良好地達(dá)成可自發(fā)的均勻程度的粘度，而且可實(shí)現(xiàn)高速涂布性。又，基于使用具有上述特定范圍的蒸氣壓的[C]有機(jī)溶剤，即使采用噴出噴嘴式涂布法，也可防止涂布不均，同時(shí)可高速涂布。在該組合物中，作為[C]有機(jī)溶剤，進(jìn)ー步含有(C2)在20°C的蒸氣壓為ImmHg以上20mmHg以下的有機(jī)溶剤，(C2)有機(jī)溶劑的含量，相對(duì)于(Cl)有機(jī)溶劑及(C2)有機(jī)溶劑的合計(jì)量而言，較佳為10質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下，(C2)有機(jī)溶劑的含量，相對(duì)于(Cl)有機(jī)溶劑及(C2)有機(jī)溶劑的合計(jì)量，進(jìn)ー步優(yōu)選為10質(zhì)量％以上50質(zhì)量％以下。通過(guò)使蒸氣壓低的(Cl)有機(jī)溶劑與蒸氣壓高的(C2)有機(jī)溶劑的質(zhì)量比成為上述特定范圍，特別在預(yù)烘烤后的涂膜中的殘存溶劑量為最佳化、涂膜的流動(dòng)性被平衡，結(jié)果可抑制涂布不均(條紋不均、針痕不均、霧狀不均等)的發(fā)生，可進(jìn)ー步提高膜厚均勻性。又，基于使殘存溶劑量最佳化，酸產(chǎn)生量與酸分解性基團(tuán)高度平衡，射線敏感度有進(jìn)ー步變良好的傾向。在該組合物中，進(jìn)ー步含有[D]由氟類表面活性劑或聚硅氧烷類表面活性劑所組成的群中選出的至少ー種表面活性劑(以下也稱為“[D]表面活性剤”)，[D]表面活性劑的含量相對(duì)于[A]聚合物100質(zhì)量份，較 佳為O. 01質(zhì)量份以上2質(zhì)量份以下。由于該組合物進(jìn)ー步含有[D]表面活性剤，可提高涂膜的表面平滑性，結(jié)果可進(jìn)ー步提高所形成的顯示元件用層間絕緣膜的膜厚均勻性。再者，基于使[D]表面活性劑的含量在上述特定范圍，可進(jìn)ー步提高涂膜的表面平滑性。在該組合物中，較佳為進(jìn)ー步含有[E]多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。由于該組合物進(jìn)ー步含有[E]多官能(甲基)丙烯酸酯化合物，可提高顯示元件用層間絕緣膜的透光率及耐熱透明性。在該組合物中，較佳為進(jìn)ー步含有[F]抗氧化劑。由于該組合物進(jìn)ー步含有[F]抗氧化劑，可提高顯示元件用層間絕緣膜的透光率及耐熱透明性。在該組合物中，較佳為進(jìn)ー步含有[G]環(huán)氧化合物。由于該組合物進(jìn)ー步含有[G]環(huán)氧化合物，可提高顯示元件用層間絕緣膜的透光率及耐熱透明性。(Cl)有機(jī)溶劑較佳為由ニこニ醇こ基甲基醚、ニこニ醇ニこ基醚、ニ丙ニ醇ニ甲基醚、苯甲醇、ニ丙ニ醇單甲基醚所組成的群中選出的至少ー種有機(jī)溶剤，(C2)有機(jī)溶劑較佳為由ニこニ醇ニ甲基醚、こニ醇單甲基醚こ酸酷、こニ醇單こ基醚こ酸酷、こニ醇單丙基醚こ酸酷、丙ニ醇單甲基醚こ酸酷、環(huán)己酮、こ酸正丁酷、甲基異丁基酮、3-甲氧基丙酸甲酯所組成的群中選出的至少ー種有機(jī)溶剤。從上述特定化合物中選擇(Cl)有機(jī)溶劑及(C2)有機(jī)溶劑，可進(jìn)一步抑制涂布不勻的發(fā)生，進(jìn)一步提聞I吳厚均勻性。本發(fā)明中也適宜地包含由該組合物所形成的顯示元件用層間絕緣膜。本發(fā)明的顯示元件用層間絕緣膜的形成方法具有(I) 一邊使噴出噴嘴與基板相對(duì)地移動(dòng)，一邊將該組合物涂布于基板上，形成涂膜的エ序，(2)對(duì)上述所形成的涂膜的至少一部分照射射線的エ序，(3)將經(jīng)上述射線照射后的涂膜顯影的エ序，及(4)將經(jīng)上述顯影后的涂膜加熱的エ序。根據(jù)該形成方法，使用可高速的涂布、同時(shí)具有優(yōu)異的射線敏感度、可形成膜厚均勻性優(yōu)異的顯示元件用層間固化膜的該組合物，基于利用感射線性的曝光、顯像、加熱來(lái)形成圖案，可容易形成具有微細(xì)且精巧的圖案的顯示元件用層間固化膜。再者，如此所形成的顯示元件用層間絕緣膜，為無(wú)涂布不均而具有高度的平坦性，可適用于液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件等的顯示元件。再者，本說(shuō)明書中所言的“噴出噴嘴式涂布法”，指通過(guò)噴嘴對(duì)被涂物噴出該組合物而涂布的方法，例如可舉出使用具有多個(gè)的噴嘴孔以列狀排列的噴出口的噴嘴涂布該組合物的方法；使用具有狹縫狀的噴出口的噴嘴，涂布該組合物的方法等，包含在基板上涂布該組合物后，使基板旋轉(zhuǎn)，到調(diào)整膜厚的操作為止的概念。本說(shuō)明書中所說(shuō)的[A]聚合物的概念也包括在一個(gè)聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)，而且在與該ー個(gè)聚合物分子不同的聚合物分子中具有含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元。本說(shuō)明書中所說(shuō)的“射線敏感性樹脂組合物”的“射線”的概念包括可見(jiàn)光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、X射線、帶電粒子線等。發(fā)明的效果如以上說(shuō)明，本發(fā)明的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物為具有高的射線敏感度、而且可形成無(wú)涂布不均的具有高度平坦性(膜厚均勻性)的顯示元件用層間絕緣膜，進(jìn)ー步且可高速涂布。因此，該組合物適合作為形成液晶顯示元件、有機(jī)EL顯示元件等的顯示元件用層間絕緣膜用的材料。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物含有[A]聚合物、[B]化合 物及[C]有機(jī)溶剤。又，該組合物也可含有作為合適成分的[D]表面活性剤、[E]多官能(甲基)丙烯酸酯化合物、[F]抗氧化劑、[G]環(huán)氧化合物。再者，只要不損害本發(fā)明的效果，則也可含有其它任選成分。以下，詳述各成分。〈[A]聚合物〉[A]聚合物為在同一或不同的聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)與含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)単元，視需要也可具有其它結(jié)構(gòu)単元。具有結(jié)構(gòu)單元(I)及含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的[A]聚合物的樣態(tài)沒(méi)有特別的限定，可舉出(i)在同一聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)及含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元這兩者，在[A]聚合物中存在I種聚合物分子的情況；(ii)在一個(gè)聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)，在與其不同的聚合物分子中具有含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元，在[A]聚合物中存在2種聚合物分子的情況；(iii)在一個(gè)聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)及含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元這兩者，在與其不同的聚合物分子中具有結(jié)構(gòu)單元(I)，在與這些不同的聚合物分子中具有含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元，在[A]聚合物中存在3種聚合物分子的情況；(iv)除了(i) (iii)規(guī)定的聚合物分子，在[A]聚合物中還進(jìn)一歩含有另I種或2種以上的聚合物分子的情況等。[結(jié)構(gòu)單元(I)]結(jié)構(gòu)單元(I)中含有上述式(I)所示的基團(tuán)，該基團(tuán)以在酸的存在下分解而產(chǎn)生極性基的基團(tuán)(酸分解性基團(tuán))的形式存在，所以經(jīng)由射線的照射而由[B]化合物所產(chǎn)生的酸導(dǎo)致分解，結(jié)果堿不溶性的聚合物[A]變成堿可溶性。上述酸分解性基團(tuán)具有對(duì)堿比較穩(wěn)定的縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)，這些可基于酸的作用而分解。上述式(I)中，R1及R2各自獨(dú)立地為氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基。其中，上述烷基、環(huán)烷基及芳基所具有的一部分或全部氫原子可被取代。又，不存在R1及R2同時(shí)為氫原子的情況。R3為烷基、環(huán)烷基、芳烷基、芳基或-M(R3m)3所示的基。其中這些基團(tuán)所具有的一部分或全部氫原子可被取代。M為Si、Ge或Sn。R3m為烷基。其中，R1與R3可連接，可與所連接的碳原子一起形成環(huán)狀醚。作為上述R1及R2所示的烷基，較佳為碳原子數(shù)I 30的直鏈狀及支鏈狀的烷基。又，此烷基可在烷基鏈中具有氧原子、硫原子、氮原子。作為上述碳原子數(shù)I 30的直鏈狀及支鏈狀的烷基，例如可舉出甲基、こ基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正辛基、正十二基、正十四基、正十八基等的直鏈狀燒基、異丙基、異丁基、叔丁基、新戍基、己基、3_己基等的支鏈狀的燒基等。作為上述R1及R2所示的環(huán)烷基，較佳為碳原子數(shù)3 20的環(huán)烷基。又，此碳原子數(shù)3 20的環(huán)烷基可為多環(huán)，在環(huán)內(nèi)可具有氧原子。作為上述碳原子數(shù)3 20的環(huán)烷基，例如可舉出環(huán)丙基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、冰片基、降冰片基、金剛烷基等。作為上述R1及R2所示的芳基，較佳為碳原子數(shù)6 14的芳基。此碳原子數(shù)6 14的芳基可為單環(huán)，也可為單環(huán)所連結(jié)的構(gòu)造，也可為縮合環(huán)。作為上述碳原子數(shù)6 14的芳基，例如可舉出苯基、萘基等。作為上述R1及R2所示的可經(jīng)取代的烷基、環(huán)烷基及芳基的取代基，例如可舉出鹵素原子、羥基、硝基、氰基、羧基、羰基、環(huán)烷基(例如環(huán)丙基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、冰片基、降冰片基、金剛烷基等)、芳基(例如苯基、萘基等)、烷氧基(例如甲氧基、こ氧基、丙氧基、正丁氧基、戍氧基、己氧基、庚氧基、羊氧基等的碳原子數(shù)I 20的燒氧基等)、?；?例如こ酰基、丙?；⒍□；?、異丁酰基等的碳原子數(shù)2 20的?；?、酰氧基(例如こ酰氧基、丙酰氧基、丁酰氧基、叔丁酰氧基、叔戊酰氧基等的碳原子數(shù)2 10的酰氧基等)、燒氧擬基(例如甲氧擬基、こ氧擬基、丙氧擬基等的碳原子數(shù)2 20的燒氧擬基)、齒代烷基(例如甲基、こ基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正辛基、正十二基、正十四基、正十八基等的直鏈狀烷基，異丙基、異丁基、叔丁基、新戊基、2-己基、3-己基等的支鏈狀烷基等的烷基，全氟甲基、全氟こ基、全氟丙基、氟環(huán)丙基、氟環(huán)丁基等的環(huán)烷基的一部分或全部氫原子經(jīng)鹵素原子取代的基等)等。作為上述R3所示的烷基、環(huán)烷基及芳基的例，例如可采用上述R1及R2所例示的基團(tuán)。作為上述R3所示的芳烷基，例如可舉出芐基、苯こ基、萘甲基、萘こ基等的碳原子數(shù)7 20的芳烷基等。作為上述R3所示的-M(R3n)3,例如可舉出三甲基硅烷基、三甲基甲鍺烷基等。作為上述R3所示的芳烷基或-M(R3m)3的取代基，可采用上述R1及R2所例示的取代基。作為R1與R3可連接、且可與所鍵結(jié)的碳原子一起形成的環(huán)狀醚，例如可舉出2-氧雜環(huán)丁烷基、2-四氫呋喃基、2-四氫吡喃基、2- ニ氧雜環(huán)己烷基等。結(jié)構(gòu)單元(I)具有基于結(jié)合到其它碳原子上而成為能夠具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)的官能基，由此可以具有該縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)。作為上述基于結(jié)合到其它碳原子上而成為能夠具有縮醛結(jié)構(gòu)的官能基，例如可舉出1_甲氧基こ氧基、1_こ氧基こ氧基、1_正丙氧基こ氧基、1_異丙氧基こ氧基、1_正丁氧基こ氧基、I-異丁氧基こ氧基、I-仲丁氧基こ氧基、I-叔丁氧基こ氧基、I-環(huán)戊氧基こ氧基、I-環(huán)己氧基こ氧基、I-降冰片氧基こ氧基、I-冰片氧基こ氧基、I-苯氧基こ氧基、1-(1-萘氧基)こ氧基、I-芐氧基こ氧基、I-苯こ基氧基こ氧基、(環(huán)己基)(甲氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(こ氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(正丙氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(異丙氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(環(huán)己氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(苯氧基)甲氧基、(環(huán)己基)(芐氧基)甲氧基、(苯基)(甲氧基)甲氧基、(苯基)(こ氧基)甲氧基、(苯基)(正丙氧基)甲氧基、(苯基)(異丙氧基)甲氧基、(苯基)(環(huán)己氧基)甲氧基、(苯基)(苯氧基)甲氧基、(苯基)(芐氧基)甲氧基、(芐基)(甲氧基)甲氧基、(芐基)(こ氧基)甲氧基、(芐基)(正丙氧基)甲氧基、(節(jié)基)(異丙氧基)甲氧基、(節(jié)基)(環(huán)己氧基)甲氧基、(節(jié)基)(苯氧基)甲氧基、(節(jié)基)(節(jié)氧基)甲氧基、2-四氫呋喃氧基、2-四氫批；喃氧基、I-ニ甲基硅烷基氧基乙氧基、I-三甲基甲鍺烷基氧基乙氧基等。這些中，較佳為I-乙氧基乙氧基、I-環(huán)己氧基乙氧基、2-四氫吡喃氧基、I-正丙氧基乙氧基、I-正丁氧基乙氧基、2-四氫吡喃氧基。作為上述基于結(jié)合到其它碳原子上而能夠成為具有縮酮結(jié)構(gòu)的官能基，例如可舉出I-甲基-1-甲氧基乙氧基、I-甲基-1-乙氧基乙氧基、I-甲基-1- FR丙氧基乙氧基、I-甲基-I-異丙氧基乙氧基、I-甲基-I-正丁氧基乙氧基、I-甲基-I-異丁氧基乙氧基、I-甲基-1-仲丁氧基乙氧基、I-甲基-1-叔丁氧基乙氧基、I-甲基-1-環(huán)戊氧基乙氧基、I-甲基-1-環(huán)己氧基乙氧基、I-甲基-1_降冰片氧基乙氧基、1_甲基-1_冰片氧基乙氧基、1_甲基-1-苯氧基乙氧基、I-甲基-1_(1_蔡氧基)乙氧基、1_甲基-1_節(jié)氧基乙氧 基、1_甲基-1-苯乙基氧基乙氧基、I-乙基-I-甲氧基乙氧基、I-乙基_1_乙氧基乙氧基、I-乙基-1_正丙氧基乙氧基、1_乙基-1_異丙氧基乙氧基、1_乙基-1_正丁氧基乙氧基、1_乙基-1_異丁氧基乙氧基、I-乙基-1_仲丁氧基乙氧基、I-乙基-1_叔丁氧基乙氧基、I-乙基_1_環(huán)戊氧基乙氧基、I-乙基_1_環(huán)己氧基乙氧基、I-乙基_1_降冰片氧基乙氧基、I-乙基_1_冰片氧基乙氧基、I-乙基_1_苯氧基乙氧基、I-乙基_1_ (1_蔡氧基)乙氧基、I-乙基-1_節(jié)氧基乙氧基、I-乙基-1_苯乙基氧基乙氧基、I-環(huán)己基_1_甲氧基乙氧基、I-環(huán)己基-I-乙氧基乙氧基、I-環(huán)己基_i-正丙氧基乙氧基、I-環(huán)己基_1_異丙氧基乙氧基、I-環(huán)己基-1-環(huán)己氧基乙氧基、I-環(huán)己基-1-苯氧基乙氧基、I-環(huán)己基-1-芐氧基乙氧基、I-苯基-I-甲氧基乙氧基、I-苯基_1_乙氧基乙氧基、I-苯基_1_正丙氧基乙氧基、I-苯基-I-異丙氧基乙氧基、I-苯基_1_環(huán)己氧基乙氧基、I-苯基_1_苯氧基乙氧基、I-苯基-1_節(jié)氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_甲氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_乙氧基乙氧基、I-節(jié)基~1~ FR丙氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_異丙氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_環(huán)己氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_苯氧基乙氧基、I-節(jié)基_1_節(jié)氧基乙氧基、2- (2-甲基-四氫呋喃基)氧基、2- (2-甲基-四氫批喃基)氧基、I-甲氧基-環(huán)戊氧基、I-甲氧基-環(huán)己氧基等。這些中，較佳為I-甲基-1-甲氧基乙氧基、I-甲基-1-環(huán)己氧基乙氧基。作為上述具有縮醛構(gòu)造或縮酮構(gòu)造的結(jié)構(gòu)單元(I)，例如可舉出下述式(1-1) (1-3)所示的結(jié)構(gòu)單元等。
R,^ づ七SI
COO-C-OR3 R3O-C-OCO COO-C-OR3O-C-ORj
IIII
R2R2R2R2
(1—1)(1-2)(1-3)上述式(1-1) (1-3)中、R1A2及R3與上述式(I)同義。上述式(1-1)及(1-3)中，R’為氫原子或甲基。作為給予上述式(1-1) (1-3)所示的結(jié)構(gòu)單元的單體(以下也稱為“含縮醛構(gòu)造的單體”)，例如可舉出(甲基)丙烯酸ト烷氧基烷酷、(甲基)丙烯酸I-(環(huán)烷氧基)烷酷、(甲基)丙烯酸1_(鹵烷氧基)烷酷、(甲基)丙烯酸I-(芳烷氧基)烷酷、(甲基)丙烯酸四氫吡喃酯等的(甲基)丙烯酸酯類含縮醛構(gòu)造的単體；2，3_ ニ(I-( ニ燒基娃燒基氧基)燒氧基)擬基)-5_降冰片稀、2，3_ ニ(I-(ニ燒基甲錯(cuò)燒基氧基)燒氧基)擬基)-5_降冰片烯、2，3- ニ(I-燒氧基燒氧擬基)-5_降冰片烯、2，3- ニ(I-(環(huán)燒氧基)燒氧擬基)-5-降冰片烯、2，3- ニ(I-(芳燒氧基)燒氧擬基)-5_降冰片烯等的降冰片烯為含縮醛構(gòu)造的単體；I-烷氧基烷氧基苯こ烯、I-(鹵烷氧基)烷氧基苯こ烯、I-(芳烷氧基)烷氧基苯 こ烯、四氫吡喃氧基苯こ烯等的苯こ烯為含縮醛構(gòu)造的単體。作為上述(甲基)丙烯酸酯為含縮醛構(gòu)造的単體的進(jìn)ー步具體例，例如可舉出甲基丙烯酸卜こ氧基こ酷、甲基丙烯酸I-甲氧基こ酷、甲基丙烯酸I-正丁氧基こ酷、甲基丙烯酸I-異丁氧基こ酷、甲基丙烯酸I-叔丁氧基こ酷、甲基丙烯酸1-(2-氯こ氧基)こ酷、甲基丙烯酸1-(2-こ基己氧基)こ酷、甲基丙烯酸I-正丙氧基こ酷、甲基丙烯酸I-環(huán)己氧基こ酷、甲基丙烯酸1-(2-環(huán)己基こ氧基)こ酷、甲基丙烯酸I-芐氧基こ酷、甲基丙烯酸2-四氫吡喃酷、丙烯酸I-こ氧基こ酷、丙烯酸I-甲氧基こ酷、丙烯酸I-正丁氧基こ酷、丙烯酸
I-異丁氧基こ酷、丙烯酸I-叔丁氧基こ酷、丙烯酸1-(2-氯こ氧基)こ酷、丙烯酸1-(2-こ基己氧基)こ酷、丙烯酸I-正丙氧基こ酷、丙烯酸I-環(huán)己氧基こ酷、丙烯酸1-(2-環(huán)己基こ氧基)こ酷、丙烯酸I-芐氧基こ酷、丙烯酸2-四氫吡喃酯等。作為上述降冰片烯為含縮醛構(gòu)造的單體的進(jìn)ー步具體例，例如可舉出2，3-ニ(1_(ニ甲基娃燒基氧基)こ氧基)擬基)-5-降冰片烯、2，3-ニ(1-(ニ甲基甲錯(cuò)燒基氧基)こ氧基)擬基)-5-降冰片烯、2，3-ニ(I-甲氧基こ氧擬基)-5-降冰片烯、2，3-ニ(1-(環(huán)己氧基)こ氧擬基)-5-降冰片烯、2，3-ニ(1-(節(jié)氧基)こ氧擬基)-5-降冰片烯等。作為上述苯こ烯類含縮醛構(gòu)造的單體的進(jìn)ー步具體例，例如可舉出對(duì)或間-I-乙氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-甲氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-正丁氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-異丁氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間_1-(1，卜ニ甲基こ氧基)こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-1-(2-氯こ氧基)こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-1-(2-こ基己氧基)こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-正丙氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-環(huán)己氧基こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-1-(2-環(huán)己基こ氧基)こ氧基苯こ烯、對(duì)或間-I-芐氧基こ氧基苯こ烯等。作為結(jié)構(gòu)單元(I)，較佳為上述式(1-1)所示的結(jié)構(gòu)單元。作為含縮醛構(gòu)造的單體，較佳為(甲基)丙烯酸I-烷氧基烷酷、(甲基)丙烯酸四氫吡喃酷、(甲基)丙烯酸1_燒氧基燒氧基苯こ稀、四氧卩比喃氧基苯こ稀，進(jìn)一步優(yōu)選為(甲基)丙稀酸1_燒氧基燒酷，特優(yōu)選為甲基丙烯酸I-こ氧基こ酷、甲基丙烯酸I-正丁氧基こ酷、甲基丙烯酸2-四氫吡喃酷、甲基丙烯酸I-芐氧基こ酷。含縮醛構(gòu)造的単體可使用市售品，也可使用以眾所周知的方法所合成的単體。例如，給予上述式(1-1)所示的結(jié)構(gòu)單元的含縮醛構(gòu)造的単體，例如可基于如下述所示，使(甲基)丙烯酸在酸觸媒的存在下與こ烯醚反應(yīng)的方法等而合成。
權(quán)利要求
1.一種噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其含有 [A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(I)所示的基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元(I)與含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物、 [B]由肟磺酸酯化合物及鎗鹽化合物所組成的群中選出的至少ー種化合物、及 [C]有機(jī)溶劑，其中， 該組合物的固體成分濃度為10質(zhì)量％以上30質(zhì)量％以下，在25°C的粘度為2. OmPa-s以上12mPa · s以下，而且， 作為[C]有機(jī)溶劑，至少含有(Cl)在20°C的蒸氣壓為O. ImmHg以上且低于ImmHg的有機(jī)溶剤，
2.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其中[C]有機(jī)溶劑進(jìn)ー步含有(C2)在20°C的蒸氣壓為ImmHg以上20mmHg以下的有機(jī)溶剤， 相對(duì)于(Cl)有機(jī)溶劑及(C2)有機(jī)溶劑的合計(jì)量，(C2)有機(jī)溶劑的含量為10質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下。
3.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其中[C]有機(jī)溶劑進(jìn)ー步含有(C2)在20°C的蒸氣壓為ImmHg以上20mmHg以下的有機(jī)溶剤， 相對(duì)于(Cl)有機(jī)溶劑及(C2)有機(jī)溶劑的合計(jì)量，(C2)有機(jī)溶劑的含量為10質(zhì)量％以上50質(zhì)量％以下。
4.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其進(jìn)ー步含有[D]由氟類表面活性劑及聚硅氧烷類表面活性劑所組成的群中選出的至少ー種表面活性齊 ， 相對(duì)于[Α]聚合物100質(zhì)量份，[D]表面活性劑的含量為O. 01質(zhì)量份以上2質(zhì)量份以下。
5.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其進(jìn)ー步含有[Ε]多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。
6.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其進(jìn)ー步含有[F]抗氧化劑。
7.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其進(jìn)ー步含有[G]在I分子中具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物。
8.如權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其中(Cl)有機(jī)溶劑為由ニこニ醇こ基甲基醚、ニこニ醇ニこ基醚、ニ丙ニ醇ニ甲基醚、苯甲醇、ニ丙ニ醇單甲基醚所組成的群中選出的至少ー種有機(jī)溶剤。
9.如權(quán)利要求2所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其中(C2)有機(jī)溶劑為由ニこニ醇ニ甲基醚、こニ醇單甲基醚こ酸酷、こニ醇單こ基醚こ酸酷、こニ醇單丙基醚こ酸酷、丙ニ醇單甲基醚こ酸酷、環(huán)己酮、こ酸正丁酷、甲基異丁基酮、3-甲氧基丙酸甲酯所組成的群中選出的至少ー種有機(jī)溶剤。
10.一種顯示元件用層間絕緣膜，其由權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物所形成。
11.一種顯示元件用層間絕緣膜的形成方法，其具有 (1)一邊使噴出噴嘴與基板相對(duì)地移動(dòng)，一邊將權(quán)利要求I所述的噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物涂布于基板上，形成涂膜的エ序， (2)對(duì)上述所形成的涂膜的至少一部分照射射線的エ序， (3)將經(jīng)上述射線照射后的涂膜顯影的エ序，及 (4)將經(jīng)上述顯影后的涂膜加熱的エ序。
全文摘要
本發(fā)明為噴出噴嘴式涂布法用正型射線敏感性組合物，其含有[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元(I)與含環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，[B]由肟磺酸酯化合物及鎓鹽化合物所組成的群中選出的至少一種化合物，及[C]有機(jī)溶劑，其中，固體成分濃度為10質(zhì)量%以上30質(zhì)量%以下，在25℃的粘度為2.0MPa·s以上12MPa·s以下，而且作為[C]有機(jī)溶劑，至少含有(C1)在20℃的蒸氣壓為0.1mmHg以上且低于1mmHg的有機(jī)溶劑。
文檔編號(hào)G03F7/004GK102870045SQ20118002105
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2011年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月28日
發(fā)明者一戶大吾 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社