專(zhuān)利名稱(chēng)：一種光柵尺壓印平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于微納壓印復(fù)制技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種制造機(jī)床用長(zhǎng)光柵尺的壓印平臺(tái)，該壓印平臺(tái)可以提供符合要求的溫度及濕度，并具有一定的抗沖擊性能。
背景技術(shù)：
精密光柵作為高檔數(shù)控機(jī)床的位置檢測(cè)元件對(duì)數(shù)控機(jī)床的精度有著至關(guān)重要的影響。是精密、超精密高檔數(shù)控機(jī)床的關(guān)鍵基礎(chǔ)性功能部件。光柵的制造方法主要有刻劃?rùn)C(jī)刻劃方法、光刻機(jī)光刻方法等?？虅?rùn)C(jī)刻劃方法制造光柵效率較低，并且對(duì)環(huán)境要求高，成本高，不能連續(xù)生產(chǎn)，且分辨率有限。光刻機(jī)光刻方法的分辨率比刻劃?rùn)C(jī)刻劃方法高，同樣存在上述缺點(diǎn)。具體來(lái)講，目前，國(guó)際上多采用照相接觸復(fù)制方法制作長(zhǎng)光柵尺。即將表面涂有光刻膠的工件放在光柵尺曝光機(jī)上，再將光柵母版放在工件上進(jìn)行接觸式曝光，然后通過(guò)顯影、定影、染色、烘干、鍍膜和去膠等工序最后復(fù)制出長(zhǎng)光柵尺。這種制造方法對(duì)于環(huán)境要求極其苛刻，導(dǎo)致制造成本較高且制造速度較低。作為一種新型的集成電路制造技術(shù)，壓印光刻技術(shù)將傳統(tǒng)的模具復(fù)型原理應(yīng)用到微觀制造領(lǐng)域，自1995年Stephen Y Chou提出以來(lái)，便以其高分辨率、高效率、低成本、環(huán)保性好、工藝過(guò)程簡(jiǎn)單和非常大的上升空間引起了各國(guó)研究人員和許多公司的廣泛關(guān)注。壓印光刻技術(shù)作為典型的微壓印復(fù)型技術(shù)在近些年以來(lái)得到了迅猛的發(fā)展，并于2005年年底被國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖機(jī)構(gòu)規(guī)劃為下一代16nm節(jié)點(diǎn)光刻技術(shù)的代表之一。微壓印復(fù)型技術(shù)是一種低溫、常氣壓、適合于大面積基材上生成微納米級(jí)尺度特征結(jié)構(gòu)的壓印方法，是制造大面積微納米結(jié)構(gòu)的并行制造技術(shù)。特別是輥壓印技術(shù)是能將輥壓模具表面的功能性微結(jié)構(gòu)連續(xù)地、精確地復(fù)型在基底上，可滿足連續(xù)大幅面、高產(chǎn)能、低成本的要求。目前輥壓印技術(shù)在以大面積為特征的宏電子系統(tǒng)領(lǐng)域已開(kāi)始展現(xiàn)了嶄新的應(yīng)用潛力，并為機(jī)床測(cè)量用光柵微結(jié)構(gòu)的制造提供了一種新的思路。輥壓印技術(shù)可通過(guò)對(duì)輥壓母光柵模具高精度連續(xù)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的精確控制，實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)、高精度、高線數(shù)光柵功能性微結(jié)構(gòu)的制造。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種光柵尺壓印平臺(tái)，該平臺(tái)與壓印機(jī)構(gòu)配合使用，能夠?qū)崿F(xiàn)超長(zhǎng)光柵尺的高速、低成本和連續(xù)制造。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)解決的這種光柵尺壓印平臺(tái)，包括具有凹槽形狀的基座，在基座的中部固結(jié)有輔助基座，在基座的兩端分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的玻璃門(mén)。上述玻璃門(mén)由直角玻璃和設(shè)置在直角玻璃外沿的玻璃門(mén)框組成。設(shè)置在基座兩端的玻璃門(mén)有四扇，四扇玻璃門(mén)均為直角形狀，玻璃門(mén)通過(guò)設(shè)置在基座和輔助基座上的玻璃門(mén)滑槽安裝在基座上。上述基座內(nèi)設(shè)置有環(huán)境調(diào)節(jié)器。本實(shí)用新型具有以下有益效果本實(shí)用新型的光柵尺壓印平臺(tái)適用于機(jī)床超長(zhǎng)光柵尺輥，該平臺(tái)與壓印機(jī)構(gòu)配合使用，可以克服傳統(tǒng)光柵制造中環(huán)境條件依賴(lài)性高、制造效率低、成本高的缺點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)光柵尺的高速、低成本和連續(xù)制造。

圖I為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的各部件拆解圖。 其中01為基座；02為輔助基座；03為直角玻璃；04為玻璃門(mén)框；05為環(huán)境調(diào)節(jié)器；06為玻璃門(mén)滑槽。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述參見(jiàn)圖I和圖2，本實(shí)用新型的光柵尺壓印平臺(tái)包括具有凹槽形狀的基座01，在基座01的中部固結(jié)有輔助基座02，基座01內(nèi)設(shè)置有環(huán)境調(diào)節(jié)器05，用來(lái)調(diào)節(jié)壓印溫度、濕度等環(huán)境要素。在基座01的兩端分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的玻璃門(mén)，該玻璃門(mén)有四扇，四扇玻璃門(mén)均為直角形狀，玻璃門(mén)通過(guò)設(shè)置在基座01和輔助基座02上的玻璃門(mén)滑槽06安裝在基座01上。玻璃門(mén)由直角玻璃03和設(shè)置在直角玻璃03外沿的玻璃門(mén)框04組成。
權(quán)利要求1.一種光柵尺壓印平臺(tái)，其特征在于，包括具有凹槽形狀的基座(01)，在基座(01)的中部固結(jié)有輔助基座(02)，在基座(01)的兩端分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的玻璃門(mén)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光柵尺壓印平臺(tái)，其特征在于，設(shè)置在基座(01)兩端的玻璃門(mén)有四扇，四扇玻璃門(mén)均為直角形狀，玻璃門(mén)通過(guò)設(shè)置在基座(01)和輔助基座(02)上的玻璃門(mén)滑槽(06)安裝在基座(01)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光柵尺壓印平臺(tái)，其特征在于，所述玻璃門(mén)由直角玻璃(03)和設(shè)置在直角玻璃(03)外沿的玻璃門(mén)框(04)組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光柵尺壓印平臺(tái)，其特征在于，所述基座(01)內(nèi)設(shè)置有環(huán)境調(diào)節(jié)器(05)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種光柵尺壓印平臺(tái)，包括具有凹槽形狀的基座，在基座的中部固結(jié)有輔助基座，在基座的兩端分別設(shè)置有能夠滑動(dòng)的玻璃門(mén)。本實(shí)用新型的光柵尺壓印平臺(tái)適用于機(jī)床超長(zhǎng)光柵尺輥，該平臺(tái)與壓印機(jī)構(gòu)配合使用，可以克服傳統(tǒng)光柵制造中環(huán)境條件依賴(lài)性高、制造效率低、成本高的缺點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)光柵尺的高速、低成本和連續(xù)制造。
文檔編號(hào)G03F7/00GK202421719SQ201120560108
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者丁玉成, 于皓瑜, 劉紅忠, 盧秉恒, 史永勝, 尹磊, 蔣維濤 申請(qǐng)人:西安交通大學(xué)