專利名稱：一種液刀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于領(lǐng)域，尤其涉及一種能對物體表面涂布流體的設(shè)備所使用的液刀。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)的制造過程會采用顯影機(Developing Equipment)來進行顯影,其中顯影機可以對基板(例如玻璃基板)表面涂布顯影劑(Developer)。一般而言，目前有些顯影機具有液刀，而顯影劑會從液刀流出而涂布在基板上。如此，顯影劑能局部去除基板上的光阻層，從而形成光阻圖案層。一般而言，當顯影劑從液刀流出時，液刀的吐出口通常會設(shè)計成一條狹縫(Slit)，促使顯影劑均勻地流出，以形成一道既無波紋，也無分岔的液體簾幕(Liquid Curtain)。如此，顯影劑能均勻地涂布在基板上，使光阻圖案層能在基板上暴露出正確區(qū)域，并減少出現(xiàn)顯影異常區(qū)域的機率。然而，在常見的液刀中，由于吐出口為一條狹縫，且顯影劑在液刀內(nèi)的出口基本上只有吐出口，因此當液刀內(nèi)存有異物時，吐出口容易遭到異物所阻塞。所以，現(xiàn)有液刀常會發(fā)生吐出口被阻塞的情形。一旦吐出口被異物阻塞的話，顯影劑不能從吐出口均勻地流出，從而發(fā)生分岔或是液體簾幕出現(xiàn)波紋等異常狀況，造成顯影劑無法均勻地涂布在基板上。這會增加顯影異常區(qū)域出現(xiàn)的機率，造成光阻圖案層覆蓋到原本應(yīng)該要被暴露的正確區(qū)域，導致良率(Yield)下降。此外，因為吐出口容易遭到異物所阻塞，所以維修液刀的頻率會增加，造成工作人員須要經(jīng)常拆卸液刀來清除異物，以至于顯影機的工作時間減少而降低生產(chǎn)力。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種液刀，旨在解決現(xiàn)有的液刀由于顯影劑的吐出口為一條狹縫，容易阻塞，導致顯影劑不能從吐出口正常流出，進而造成被加工件良率下降、且液刀維護時間成本高的問題。本實用新型是這樣實現(xiàn)的，本實用新型提出一種液刀，其包括一蓋板、一槽體以及一分隔件。槽體具有一結(jié)合面、一出口面、一凹槽、至少一注入口以及至少二排液通道，而結(jié)合面與出口面均位在凹槽的一槽口周圍。蓋板固定在結(jié)合面上，而蓋板與出口面之間存有一吐出口。出口面位于這些排液通道之間，而分隔件固定在凹槽內(nèi)，并且與蓋板之間存有一縫隙。分隔件將凹槽分割成一飽和槽與一緩沖槽，其中飽和槽位在分隔件與出口面之間，并且連通吐出口與這些排液通道，而注入口與緩沖槽連通。在本實用新型一實施例中，這些排液通道為多條溝渠，而各條溝渠裸露在出口面與結(jié)合面之間。在本實用新型一實施例中，各條溝渠具有一第一端口與一第二端口，而出口面具有一外邊緣,其中外邊緣位于飽和槽的相對處。這些第一端口裸露于飽和槽內(nèi)，而各個第二端口位于外邊緣旁，其中這些第一端口之間的距離小于這些第二端口之間的距離。在本實用新型一實施例中，這些排液通道之間的距離從這些第一端口朝向這些第二端口漸增。在本實用新型一實施例中，上述蓋板具有至少二個排出貫孔，這些排出貫孔與飽和槽連通，并且分別位在這些第一端口旁。在本實用新型一實施例中，各個第二端口的孔徑小 于各個排出貫孔的孔徑。在本實用新型一實施例中，上述液刀更包括至少二個阻擋件，而這些阻擋件分別配置在這些排出貫孔內(nèi)。在本實用新型一實施例中，上述槽體更具有一第一平面與一斜面。第一平面與斜面均位于飽和槽內(nèi)，而第一平面連接在分隔件與斜面之間。斜面從第一平面朝向出口面延伸。在本實用新型一實施例中，上述槽體更具有一第二平面與一對導流面，而出口面具有一對彼此相連的內(nèi)邊緣。第二平面與這些導流面均位于飽和槽內(nèi)，而這些導流面位于出口面與第二平面之間，并且彼此相連，其中第二平面鄰接斜面，而各面導流面鄰接第二平面，并從第二平面延伸至其中一內(nèi)邊緣，出口面位于這些內(nèi)邊緣交接處的角度小于180度。在本實用新型一實施例中，各面導流面為一內(nèi)凹弧面或平面。在本實用新型一實施例中，上述液刀更包括多個擋塊，這些擋塊固定在緩沖槽內(nèi)，其中相鄰二個擋塊之間存有一緩沖室，而注入口與緩沖室連通。在本實用新型一實施例中，上述蓋板的厚度介于16mm至16. 5mm之間。利用上述排液通道，本實用新型的液刀能在不被拆卸的情況下排出異物。這樣便可減少發(fā)生吐出口遭異物阻塞的機率，并能減少液刀維修及拆卸的頻率。為讓本實用新型的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。

圖IA是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖IB是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖2A是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖2B是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖3A是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖3B是本實用新型一實施例提供的液刀的立體示意圖；圖4是本實用新型另一實施例提供的液刀的立體示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。圖IA是本實用新型一實施例提供的的液刀的立體示意圖。請參閱圖1A，本實施例的液刀100可以應(yīng)用于顯影機(圖中未示出)，即液刀100能裝設(shè)在顯影機上，其中此顯影機不僅可以應(yīng)用于制造液晶顯示器，且也可以應(yīng)用于制造半導體組件(例如晶圓)或發(fā)光二極管(Light Emitting Diode, LED)。除了顯影機之外，液刀100也可以應(yīng)用于其它設(shè)備。例如，液刀100也可應(yīng)用于清洗設(shè)備或濕式蝕刻機(Wet Etching Equipment),所以液刀100也可以裝設(shè)在清洗設(shè)備或濕式蝕刻機上。當然，上述清洗設(shè)備與濕式蝕刻機均可為制造液晶顯示器、半導體組件或發(fā)光二極管所使用的機臺，所以本實施例的液刀100并不局限在顯影機的應(yīng)用上。圖IB是圖IA中的液刀的分解示意圖。請參閱圖IA與圖1B，液刀100包括一槽體(Tank) 110、一分隔件(Divider) 120與一蓋板(Cover) 130，其中蓋板130能與槽體110結(jié)合，而分隔件120與槽體110結(jié)合，并固定在槽體110內(nèi)。槽體110可以是用鎖固的方式來與蓋板130結(jié)合。舉例而言，在本實施例中，液刀100可以更包括多根螺絲140，而槽體110與蓋板130可分別具有多個孔洞H1、H3。各根螺絲140能從孔洞H3貫穿蓋板130而鎖固在槽體110的孔洞Hl內(nèi)。如此，槽體110得以與蓋板130鎖固而結(jié)合在一起。不過，除了鎖固之外，在其它實施例中，槽體110可以利用其它方式來與蓋板130結(jié)合。舉例而言，槽體110與蓋板130 二者可利用卡合(Buckling)或緊配(Fastening)等方式來結(jié)合。因此，圖IA與圖IB所示的槽體110與蓋板130 二者結(jié)合方式僅為舉例說明，并非限定本實用新型。槽體110更具有一結(jié)合面112c、一出口面112e以及一凹槽R10。從圖IB來看，結(jié)合面112c與出口面112e均位于凹槽RlO的槽口 01周圍，其中結(jié)合面112c的形狀可約略呈倒U字形，而出口面112e的形狀可為長條狀。蓋板130固定在結(jié)合面112c上，而在本實施例中，這些孔洞Hl可以位于結(jié)合面112c，如圖IB所示。分隔件120固定在凹槽RlO內(nèi)。分隔件120與槽體110 二者可以是一體成型，且構(gòu)成二者的材料可為金屬。例如，分隔件120與槽體110 二者可以是由一塊金屬塊材(MetalBock)經(jīng)機械加工而同時形成，其中此機械加工可包括銑床或研磨等，而此金屬塊材可為不銹鋼。此外，構(gòu)成分隔件120與槽體110 二者的材料也可以是木材、塑料或陶瓷。須說明的是，雖然分隔件120與槽體110 二者也可以是一體成型，但是分隔件120與槽體110 二者可以是二個獨立組件。舉例而言，分隔件120可以利用嵌入或焊接等方式來與槽體110結(jié)合，從而固定在凹槽RlO內(nèi)。因此，分隔件120與槽體110 二者不一定是一體成型，而本實用新型不限定分隔件120與槽體110 —定是一體成型。圖2A是圖IA中沿線A-A剖面所繪示的剖面示意圖。請參閱圖1A、圖IB及圖2A，固定在凹槽RlO內(nèi)的分隔件120能將凹槽RlO分割成一緩沖槽RlI與一飽和槽R12，所以分隔件120會位于緩沖槽Rll與飽和槽R12之間，其中飽和槽R12位于分隔件120與出口面112e之間，而在本實施例中，出口面112e會緊鄰飽和槽R12，如圖2A所示。在蓋板130與槽體110結(jié)合之后，分隔件120與蓋板130之間存有一縫隙G1，所以分隔件120不會接觸到蓋板130。此外，從圖2A來看，由于分隔件120與蓋板130之間存有縫隙G1，因此緩沖槽Rll與飽和槽R12 二者可以經(jīng)由縫隙Gl而彼此相通。在圖IA與圖IB所示的實施例中， 槽體110具有三個注入口 114，而這些注入口 114與緩沖槽Rll連通。然而，在其它實施例中，根據(jù)液刀100所應(yīng)用的機臺(例如顯影機、清洗設(shè)備或濕式蝕刻機)及技術(shù)領(lǐng)域(例如液晶顯示器的制造或半導體組件的制造)，槽體110所具有的注入口 114的數(shù)量可以僅為一個，或是二個或三個以上。因此，圖IA與圖IB中的注入口 114的數(shù)量僅為舉例說明，并非限定本實用新型。另外，槽體110可以具有一外平面112t，而外平面112t位于出口面112e的相對處，并且鄰接結(jié)合面112c，所以結(jié)合面112c會位在出口面112e與外平面112t之間。緩沖槽Rll位于分隔件120與外平面112t之間，而這些注入口 114均位于外平面112t。蓋板130與出口面112e之間存有一吐出口 G2。詳細而言，吐出口 G2為一條形成 在蓋板130與出口面112e之間的狹縫，因此在蓋板130與槽體110結(jié)合之后，蓋板130不會接觸出口面112e。吐出口 G2的間距Dl (如圖2A所示)可介于20微米至25微米之間，較佳的間距Dl可約為20微米。此外，飽和槽R12與吐出口 G2連通，因此注入口 114可經(jīng)由緩沖槽RlI、縫隙Gl及飽和槽R12而與吐出口 G2相通。當液刀100應(yīng)用于顯影機時，顯影劑可注入至注入口 114中，以流入槽體110內(nèi)，其中顯影劑可經(jīng)由插裝在吐出口 G2內(nèi)導管(圖中未示出)而進入槽體110內(nèi)部。由于注入口 114可以經(jīng)由緩沖槽RlI、縫隙Gl及飽和槽R12而與吐出口 G2相通，因此在顯影劑注入至注入口 114中之后，顯影劑會依序通過緩沖槽R11、縫隙Gl以及飽和槽R12。之后，顯影劑會從吐出口 G2流出而離開液刀100，從而涂布在基板上，其中此基板可以是玻璃基板或娃晶圓。一般而言，當顯影機運作時，這些注入口 114內(nèi)的顯影劑的流量并不相同，且有時候各個注入口 114內(nèi)的顯影劑的流量也會發(fā)生變動。此外，注入口 114內(nèi)的顯影劑的流量可以達到每分鐘75公升的流量，所以在注入口 114內(nèi)流動的顯影劑具有相當程度的流速。顯影劑會從這些注入口 114直接進入至緩沖槽Rll內(nèi)。接著，顯影劑會從緩沖槽Rll經(jīng)縫隙Gl而流入飽和槽R12中。分隔件120能抵擋顯影劑，以減緩顯影劑的流速，因此緩沖槽Rll可以緩沖顯影劑沖入的力量，以降低顯影劑通過縫隙Gl的流速。綜上所述，飽和槽R12可以暫時匯聚從縫隙Gl而來的顯影劑，以使顯影劑在飽和槽R12內(nèi)的流動變?yōu)榉€(wěn)定。如此，飽和槽R12能讓顯影劑穩(wěn)定地流入吐出口 G2中。由此可知，利用緩沖槽Rll與飽和槽R12，液刀100可以讓顯影劑從液刀100均勻地流出，以減少注入口 114內(nèi)的顯影劑的流量對液體簾幕的不良影響。另外，當蓋板130是由質(zhì)地堅硬的材料所制成，例如是由金屬(如不銹鋼)或陶瓷所制成時，蓋板130可以具有偏厚的厚度Tl (如圖2A所示)，其可以介于16mm至16. 5mm之間。如此，在液刀100運作的過程中，可以減少蓋板130發(fā)生形變的情形，以維持吐出口G2的間距D1，促使液體簾幕不產(chǎn)生波紋以及不發(fā)生分岔的情形。須說明的是，由于液刀100也可以應(yīng)用于清洗設(shè)備或濕式蝕刻機，所以注入口 114不僅可以供顯影劑注入，且注入口 114也可以供清潔液、去離子水(Deionized Water, DIWater)或蝕刻液(Etchant)所注入。因此，本實用新型并不限定只有顯影劑才能注入至這些注入口 114。圖2B是圖IA中沿線B-B剖面所繪示的剖面示意圖。請參閱圖1A、圖IB與圖2B，在本實施例中，蓋板130可以具有至少二個排出貫孔132，而這些排出貫孔132與飽和槽R12連通，因此飽和槽R12內(nèi)的液體(例如顯影劑、清潔液、去離子水或蝕刻液)可以從排出貫孔132流出。排出貫孔132的功能主要是排出液刀100內(nèi)的異物。當液刀100內(nèi)存有異物時，異物可以從排出貫孔132隨著液體而排出。此外，這些排出貫孔132可以分別位在蓋板130的相對二端，如圖IB所示。排出貫孔132的孔徑132r (如圖2B所示)大于100微米，且孔徑1321"可以介于2.9111111至3· Imm之間，例如孔徑132r可約為3mm。因此，排出貫孔132可以排出粒徑大于100微米的異 物。然而，液刀100可以更包括至少二個阻擋件150，而這些阻擋件150分別配置在這些排出貫孔132內(nèi)，以封閉排出貫孔132，讓液刀100內(nèi)的液體不會從排出貫孔132流出。阻擋件150可為具有外徑5mm的手動閥式接頭，其內(nèi)孔徑為3mm，而這些阻擋件150能分別鎖固在這些排出貫孔132內(nèi)。具有外徑5_的手動閥式接頭可安裝一轉(zhuǎn)接頭(圖未示)，然后轉(zhuǎn)接頭再連接一實際排出的外徑3mm的導水管。此外，必須強調(diào)的是，本實用新型并不限定阻擋件150僅為手動閥式接頭。由于排出貫孔132的孔徑132r可介于2. 9mm至3. Imm之間，甚至可約為3mm,因此當液刀100運作時，排出貫孔132須被阻擋件150封閉，以避免凹槽RlO內(nèi)的液體的整體流動受到影響，防止吐出口 G2不能均勻地流出液體。當液刀100須進行檢修或出現(xiàn)異常運作時，工作人員可以將阻擋件150從排出貫孔132取出，讓異物自排出貫孔132排出。所以，即使蓋板130與槽體110沒有拆開，工作人員也能清除液刀100內(nèi)的異物。如此，可以方便工作人員維修液刀100，以縮短維修液刀100的時間。圖3A是圖IA中的槽體與分隔件的立體示意圖，而圖3B是圖3A的局部放大示意圖。請參閱圖1B、圖3A與圖3B，槽體110更具有至少二條排液通道116。這些排液通道116位于出口面112e的相對二側(cè)，所以出口面112e位于這些排液通道116之間。這些排液通道116與飽和槽R12連通，因此液刀100內(nèi)的液體可以從排液通道116流出。在本實施例中，這些排液通道116可以是多條溝渠(Trench)，并且完全裸露在槽體110的外表面上，其中各條溝渠(即排液通道116)可以裸露在出口面112e與結(jié)合面112c之間，如圖1B、圖3A與圖3B所示。不過，在其它實施例中，排液通道116可以是位于槽體110內(nèi)的貫孔，因此圖1B、圖3A與圖3B所示的排液通道116僅為舉例說明，并非限定本實用新型。各條排液通道116具有一第一端口 116a以及一第二端口 116b,而出口面112e具有一外邊緣E1，其中外邊緣El位于飽和槽R12的相對處。這些第一端口 116a裸露于飽和槽R12內(nèi)，而各個第二端口 116b位于外邊緣El旁。此外，從圖IB可以毫無疑問地得知，這些排出貫孔132分別位在這些第一端口 116a旁。請參閱圖3A，這些第一端口 116a之間的距離LI小于這些第二端口 116b之間的距離L2，且這些排液通道116的間的距離從這些第一端口 116a朝向這些第二端口 116b漸增。因此，就外觀而言，排液通道116的走向并不垂直于水平線。此外，各個第二端口 116b的孔徑116r小于各個排出貫孔132的孔徑132ι■(請參考圖2B)，而孔徑116r可約為100微米(請參考圖3B)。排液信道116的功能主要也是排出液刀100內(nèi)的異物，且排液通道116能排出粒徑在100微米以下的小尺寸異物。一般而言，公知的液刀內(nèi)常見的異物通常約在100微米以下。所以，在實際情況中，液刀100內(nèi)的異物大多數(shù)為100微米以下的小尺寸異物。當液刀100內(nèi)存有這類小尺寸的異物時，異物可以從排液通道116隨著液體而排出，以避免吐出口 G2遭到異物阻塞。由于孔徑116r可為100微米，因此在液刀100運作的過程中，即使未將排液通道116封閉，仍不影響凹槽RlO內(nèi)的液體的整體流動，整體上不會干擾從吐出口 G2流出的液體流動。 此外，由于距離LI小于距離L2，且排液通道116之間的距離從第一端口 116a朝向第二端口 116b漸增，因此當液刀100運作時，排液通道116會將異物往外排出，讓排出去的異物盡量不落在液刀100正下方的基板上。如此，可以避免排出的異物影響到基板的質(zhì)量。請再次參閱圖1B、圖3A與圖3B，出口面112e更具有一對內(nèi)邊緣E2，而這些內(nèi)邊緣E2位在外邊緣El的相對處，并且彼此相連。這些內(nèi)邊緣E2并非連成一條直線，而是連成一條外凸曲線。這些內(nèi)邊緣E2緊鄰飽和槽R12。出口面112e和導流面118d在這些內(nèi)邊緣E2交接處的角度Al小于180度，如圖2A所示。此外，導流面118d的剖面可具有導圓角半徑R為3mm的曲線。請參閱圖2A、圖3A與圖3B，液刀100可更包括多個擋塊160，而擋塊160固定在緩沖槽Rll內(nèi)，其中相鄰二個擋塊160之間存有一緩沖室R112。詳細而言，這些擋塊160可連接分隔件120，且彼此沒有接觸，所以相鄰二個擋塊160之間會存有一間隔，而此間隔即為緩沖室Rl 12。此外，這些注入口 114分別與這些緩沖室Rl 12連通，所以從注入口 114而來的液體會進入到緩沖室R112內(nèi)。請參閱圖2A、圖2B、圖3A與圖3B，槽體110可以更具有一第一平面118a、一第二平面118b、一斜面118c以及一對導流面118d，而第一平面118a、第二平面118b、斜面118c以及這些導流面118d均位于飽和槽R12內(nèi)。此外，從圖2A與圖2B來看，第一平面118a與第二平面118b均為垂直于水平面的平面。第一平面118a連接在分隔件120與斜面118c之間，而斜面118c從第一平面118a朝向出口面112e延伸。第二平面118b鄰接斜面118c，而這些導流面118d彼此相連，并且鄰接第二平面118b，其中這些導流面118d位在出口面112e與第二平面118b之間。各面導流面118d可以是一內(nèi)凹弧面，并且從第二平面118b延伸至其中一條內(nèi)邊緣E2。由于出口面112e位在這些內(nèi)邊緣E2交接處的角度Al小于180度，因此這些導流面118d之間會呈現(xiàn)一夾角。飽和槽R12內(nèi)的第一平面118a、第二平面118b、斜面118c以及這些導流面118d能形成一導流結(jié)構(gòu)，而此導流結(jié)構(gòu)能幫助飽和槽R12內(nèi)的液體流動，促使液體能從吐出口 G2均勻流出。此外，由于出口面112e位在內(nèi)邊緣E2交接處的角度Al小于180度，且各面導流面118d從第二平面118b延伸至其中一條內(nèi)邊緣E2，因此外邊緣El與這些內(nèi)邊緣E2之間的距離會由外向內(nèi)遞增，以至于在液刀100運作期間，這些導流面118d會驅(qū)使液體朝向排液通道116流動，以利于液刀100內(nèi)的異物從排液通道116或排出貫孔132排出。圖4是本實用新型另一實施例的液刀的剖面示意圖。請參閱圖4，本實施例的液刀200與圖2A所示的液刀100相似，例如液刀200也包括分隔件120及蓋板130。液刀100、200 二者之間的差異在于液刀200所包括的槽體210，其飽和槽R22的構(gòu)造與飽和槽R12的構(gòu)造有所不同。具體地，槽體210具有一出口面112e、一第一平面118a、一第二平面118b、一斜面118c與一對導流面218d。出口面112e、第一平面118a、第二平面118b、斜面118c及導流面218d之間的相對位置與連接關(guān)系均相同于上述實施例(請參考圖2A)。然而，在本實施例中，導流面218d卻是平面，而非如同導流面118d—樣為弧面。也就是說，導流面218d為從第二平面118b延伸至出口面112e內(nèi)邊緣E2的斜面，如圖4所示。綜上所述，利用上述排液通道與排出貫孔，本實用新型的液刀能在不被拆卸的情況下排出異物，以使工作人員方便維修液刀。此外，在本實用新型液刀的運作過程中，排液通道可以保持開啟而不封閉，以隨時排出異物。如此，可以減少發(fā)生吐出口遭異物阻塞的機率，并且能減少液刀維修及拆卸的頻率，以保持或增加機臺(例如顯影機、清洗設(shè)備或濕式蝕刻機)的工作時間,從而增加生產(chǎn)力。以上所述僅為本實用新型的較佳實施 例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種液刀，其特征在于，所述液刀包括 一蓋板； 一槽體，具有一結(jié)合面、一出口面、一凹槽、至少一注入口以及至少二排液通道，所述結(jié)合面與所述出口面均位于所述凹槽的一槽口周圍，所述蓋板固定在所述結(jié)合面上，而所述蓋板與所述出口面之間存有一吐出口，所述出口面位于所述至少二排液通道之間；以及 一分隔件，固定在所述凹槽內(nèi)，并且與所述蓋板之間存有一縫隙，所述分隔件將所述凹槽分割成一飽和槽與一緩沖槽，其中所述飽和槽位于所述分隔件與所述出口面之間，并且連通所述吐出口與所述至少二排液通道，而所述至少一注入口與所述緩沖槽連通。
2.如權(quán)利要求I所述的液刀，其特征在于，所述排液通道為多條溝渠，而各所述溝渠裸露在所述出口面與所述結(jié)合面之間。
3.如權(quán)利要求2所述的液刀，其特征在于，各所述溝渠具有一第一端口與一第二端口，而所述出口面具有一外邊緣，所述外邊緣位于所述飽和槽的相對處，所述第一端口裸露于所述飽和槽內(nèi)，而各所述第二端口位于所述外邊緣旁，其中各所述第一端口之間的距離小于各所述第二端口之間的距離。
4.如權(quán)利要求3所述的液刀，其特征在于，所述至少二排液通道之間的距離從所述第一端口朝向所述第二端口漸增。
5.如權(quán)利要求3所述的液刀，其特征在于，所述蓋板具有至少二個排出貫孔，所述至少二個排出貫孔與所述飽和槽連通，并且分別位于所述第一端口旁。
6.如權(quán)利要求3所述的液刀，其特征在于，各所述第二端口的孔徑小于各所述排出貫孔的孔徑。
7.如權(quán)利要求6所述的液刀，其特征在于，所述液刀還包括至少二個阻擋件，所述至少兩個阻擋件分別配置在所述排出貫孔內(nèi)。
8.如權(quán)利要求I所述的液刀，其特征在于，所述槽體還具有一第一平面與一斜面，所述第一平面與所述斜面均位于所述飽和槽內(nèi)，所述第一平面連接在所述分隔件與所述斜面之間，所述斜面從所述第一平面朝向所述出口面延伸。
9.如權(quán)利要求8所述的液刀，其特征在于，所述槽體還具有一第二平面與一對導流面，而所述出口面具有一對彼此相連的內(nèi)邊緣，所述第二平面與所述導流面均位于所述飽和槽內(nèi)，所述導流面位于所述出口面與所述第二平面之間，并且彼此相連，其中所述第二平面鄰接所述斜面，而各所述導流面鄰接所述第二平面，并從所述第二平面延伸至其中一內(nèi)邊緣，所述出口面和所述導流面在所述內(nèi)邊緣交接處的角度小于180度。
10.如權(quán)利要求9所述的液刀，其特征在于，各所述導流面為一內(nèi)凹弧面或平面。
11.如權(quán)利要求I所述的液刀，其特征在于，所述液刀還包括多個擋塊，所述多個擋塊固定在所述緩沖槽內(nèi)，其中相鄰二個擋塊之間存有一緩沖室，而所述注入口與所述緩沖室連通。
12.如權(quán)利要求I所述的液刀，其特征在于，所述蓋板的厚度介于16mm至16.5mm之間。
專利摘要本實用新型適用于領(lǐng)域，提供了一種液刀，其包括一蓋板、一槽體以及一分隔件。槽體具有一結(jié)合面、一出口面、一凹槽、至少一注入口以及至少二排液通道，而結(jié)合面與出口面均位于凹槽的一槽口周圍。蓋板固定在結(jié)合面上，而蓋板與出口面之間存有一吐出口。出口面位于這些排液通道之間，而分隔件固定在凹槽內(nèi)，并且與蓋板之間存有一縫隙。分隔件將凹槽分割成一飽和槽與一緩沖槽，其中飽和槽位在分隔件與出口面之間，并且連通吐出口與這些排液通道，而注入口與緩沖槽連通。利用排液通道，本實用新型的液刀能在不被拆卸的情況下排出異物，這樣便可減少發(fā)生吐出口遭異物阻塞的機率，并能減少液刀維修及拆卸的頻率。
文檔編號G03F7/30GK202362585SQ20112048163
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月28日
發(fā)明者彭文龍, 王志賢, 蘇琨展, 黃進財 申請人:中華映管股份有限公司, 深圳華映顯示科技有限公司