專利名稱：一種液刀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及液晶面板制 造領(lǐng)域，尤其涉及一種在制造TFT陣列基板過程中進(jìn) 行清洗用的液刀。
背景技術(shù)：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場效應(yīng)晶體 管-液晶顯示器)陣列基板制造工藝中，需要進(jìn)行曝光、顯影、刻蝕、剝離等構(gòu)圖工藝。其中， 在刻蝕工藝中，玻璃基板經(jīng)過刻蝕工序之后，需要進(jìn)行清洗來去除玻璃基板上的刻蝕液。在清洗時，玻璃基板進(jìn)入噴淋時，首先要進(jìn)行液刀高壓清洗以去除玻璃基板上的 刻蝕液。在實際操作過程中一般用水進(jìn)行清洗。由于液刀的用水來源于其他幾個單元的循 環(huán)水，所以，即使循環(huán)水通過過濾器的過濾，也還是會有一些細(xì)小的異物存在，在液刀進(jìn)行 清洗工作時這些異物就會附著在刀口，導(dǎo)致液刀在噴水過程中產(chǎn)生分叉。玻璃基板在經(jīng)過 該液刀進(jìn)行清洗時，由于液刀產(chǎn)生分叉，就會造成豎線Mura不良，進(jìn)而導(dǎo)致工藝不良。目前解決液刀刀口分叉的方法是停止設(shè)備的運行，人工用薄片刮拭；或者是停 止設(shè)備的運行，調(diào)節(jié)液刀刀口螺絲的松緊度，使異物消除。但是，這些方法，會使設(shè)備停機時 間增加，影響生產(chǎn)效率。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種液刀，能夠自動清理刀口異物，防止清洗用液體噴射不均，提 高了產(chǎn)品合格率，提高了生產(chǎn)效率。為達(dá)到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種液刀，包括液刀本體；清理刮片，與所述液刀本體上的刀口相接觸，可沿所述刀口移動，用于刮拭所述刀 口上的異物；驅(qū)動單元，與所述清理刮片連接，用于驅(qū)動所述清理刮片沿所述刀口移動；控制單元，與所述驅(qū)動單元連接，用于向所述驅(qū)動單元發(fā)送控制信號控制所述驅(qū) 動單元運行。所述液刀還包括與所述清理刮片卡合的運行軌道。所述清理刮片包括基座，與所述驅(qū)動單元連接；刮片，一端與所述基座連接，另 一端與所述刀口相接觸。所述驅(qū)動單元和所述清理刮片通過絲杠或履帶連接。所述驅(qū)動單元包括直流無刷馬達(dá)、氣缸驅(qū)動裝置。所述控制單元包括可編程邏輯控制器。所述清理刮片為PVC材料。所述運行軌道為PVC材料。[0019]所述清理刮片和運行軌道設(shè)置在所述液刀本體上。本實用新型提供的液刀，包括液刀本體、清理刮片、驅(qū)動單元和控制單元。在控制 單元的控制下，驅(qū)動單元可以驅(qū)動清理刮片自動清理液刀本體上的刀口。在設(shè)定好的時間 間隔內(nèi)，清理刮片自動清理異物，無需如現(xiàn)有技術(shù)那樣停機人工進(jìn)行清理，一方面有效避免 了清洗用液體噴射不均的發(fā)生，提高了產(chǎn)品合格率；另一方面，也減少了設(shè)備的停機時間， 提高了生產(chǎn)效率。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有液刀的結(jié)構(gòu)立體圖；圖2為本使用新型提供的液刀的結(jié)構(gòu)立體圖3為本使用新型提供的液刀清理刀口過程的立體圖；圖4為本實用新型提供的液刀的清理刮片的立體圖；圖5為本實用新型提供的液刀的運行軌道的立體圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的 實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下 所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。圖1為現(xiàn)有液刀的立體圖，即為本實用新型中的液刀本體1。本實用新型提供的液刀如圖2所示，包括液刀本體1、清理刮片2、驅(qū)動單元(圖 中未表示)和控制單元(圖中未表示)。其中，清理刮片2，與液刀本體1上的刀口 11相接觸，可以沿該刀口 11移動，用來 刮拭該刀口 11上的細(xì)小異物。驅(qū)動單元與清理刮片2連接，用于驅(qū)動清理刮片2沿刀口 11 移動?？刂茊卧c驅(qū)動單元連接，用于向驅(qū)動單元發(fā)送控制信號，控制驅(qū)動單元運行。圖3 即為驅(qū)動單元帶動清理刮片2處于清理刀口 11過程中的示意圖。在本實施例中，具體的，清理刮片2是一個滑動薄片螺母裝置，如圖4所示，包括與 驅(qū)動單元連接基座21、和可伸縮的刮片22。該刮片22在使用時，伸長與刀口 11相接觸；不 使用時，收縮與刀口 11分離。在本實施例中，驅(qū)動單元是直流無刷馬達(dá)，如圖2、圖3所示，通過絲杠3與清理刮 片2連接并傳輸動力。具體的，該絲杠3被支架5和支架6通過軸承固定在液刀本體1上， 清理刮片2設(shè)于該絲杠3上，直流無刷馬達(dá)的動力輸出軸通過聯(lián)軸器與絲杠3連接，直流無 刷馬達(dá)轉(zhuǎn)動，帶動絲杠3轉(zhuǎn)動，從而帶動清理刮片2移動。如圖2、圖3所示，在液刀本體1上，還可以進(jìn)一步設(shè)置與清理刮片2卡合的運行 軌道4，即清理刮片2和運行軌道4設(shè)置在液刀本體1上，這樣可以固定清理刮片2，避免晃動。根據(jù)圖4中清理刮片2的基座21的卡口形狀， 本實施例中的運行軌道4如圖5所示， 其橫截面為一 “工”字形。該運行軌道4也通過支架5和支架6固定在液刀本體1上。當(dāng)然，驅(qū)動單元除直流無刷馬達(dá)外，還可以是氣缸驅(qū)動裝置等，驅(qū)動單元與清理刮 片的連接方式也可以有多種，例如用電磁鐵驅(qū)動，利用電流方向的改變來改變清理刮片的 運動；或是用履帶驅(qū)動，將清理刮片固定在履帶上，電機帶動履帶進(jìn)行運動等等，只要是能 夠驅(qū)動清理刮片沿刀口移動即可。在本實施例中，控制單元是可編程邏輯控制器(Programmablelogic Controller, PLC)。可以預(yù)先在該PLC上設(shè)置好程序，通過PLC向驅(qū)動單元發(fā)送控制信號控制驅(qū)動單元， 以一定時間間隔帶動清理刮片2自動清理刀口 11。具體的，根據(jù)現(xiàn)有經(jīng)驗，目前液刀在清洗三個塊(Lot)時，就會有異物阻塞刀口， 造成液刀分叉，需人工進(jìn)行清理。所以，在設(shè)備運行時，控制單元可以以每三個塊為單位，控 制驅(qū)動單元帶動清理刮片2清理刀口 11。由于兩張玻璃基板通過的時間間隔都在20秒以 上，所以，控制單元可以控制每次清理的時間在10秒以內(nèi)。這樣對設(shè)備的正常運行沒有影 響。另外，設(shè)備在空閑時，也可以讓控制單元控制驅(qū)動單元帶動清理刮片2清理刀口 11，以保證設(shè)備運行時的正常進(jìn)行。且此時清理時間比較充裕。需要說明的是，設(shè)備運行中的控制單元控制驅(qū)動單元驅(qū)動的時間間隔、以及每次 驅(qū)動的時間并不進(jìn)行限制，在不影響清洗基板，不影響清洗質(zhì)量的前提下各種組合均可。另 夕卜，設(shè)備運行狀態(tài)和空閑狀態(tài)之間切換時的清理也可以自由設(shè)定。再有，本實用新型實施例中各部件，如清理刮片2、運行軌道4等所采用的材料均 為PVC材料。PVC材料具有不易燃性、高強度、耐氣侯變化性以及優(yōu)良的幾何穩(wěn)定性。PVC 對氧化劑、還原劑和強酸都有很強的抵抗力。當(dāng)然，也可以采用其他的耐酸材料。本實用新型提供的液刀，包括液刀本體、清理刮片、驅(qū)動單元和控制單元。在控制 單元的控制下，驅(qū)動單元可以驅(qū)動清理刮片自動清理液刀本體上的刀口。在設(shè)定好的時間 間隔內(nèi)，清理刮片自動清理異物，無需如現(xiàn)有技術(shù)那樣停機人工進(jìn)行清理，一方面有效避免 了清洗用液體噴射不均的發(fā)生，提高了產(chǎn)品合格率；另一方面，也減少了設(shè)備的停機時間， 提高了生產(chǎn)效率。再有，本實施例中液刀所用清洗用液體一般為水，但本實用新型并不只限于水，也 可是其他清洗液體，這需要根據(jù)生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品特性具體決定。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實現(xiàn)上述方法實施例的全部或部分步驟可以通過 程序指令相關(guān)的硬件來完成，前述的程序可以存儲于一計算機可讀取存儲介質(zhì)中，該程序 在執(zhí)行時，執(zhí)行包括上述方法實施例的步驟；而前述的存儲介質(zhì)包括R0M、RAM、磁碟或者 光盤等各種可以存儲程序代碼的介質(zhì)。以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán) 利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種液刀，其特征在于，包括 液刀本體；清理刮片，與所述液刀本體上的刀口相接觸，可沿所述刀口移動，用于刮拭所述刀口上 的異物；驅(qū)動單元，與所述清理刮片連接，用于驅(qū)動所述清理刮片沿所述刀口移動； 控制單元，與所述驅(qū)動單元連接，用于向所述驅(qū)動單元發(fā)送控制信號控制所述驅(qū)動單 元運行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述液刀還包括 與所述清理刮片卡合的運行軌道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片包括 基座，與所述驅(qū)動單元連接；刮片，一端與所述基座連接，另一端與所述刀口相接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述驅(qū)動單元和所述清理刮片通過絲杠 或履帶連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述驅(qū)動單元包括直流無刷馬達(dá)、氣缸 驅(qū)動裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述控制單元包括可編程邏輯控制器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片為PVC材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液刀，其特征在于，所述運行軌道為PVC材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片和運行軌道設(shè)置在所述液 刀本體上。
專利摘要本實用新型提供一種液刀，涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，能夠自動清理刀口異物，防止清洗用液體噴射不均，提高了產(chǎn)品合格率，提高了生產(chǎn)效率。該液刀，包括液刀本體；清理刮片，與所述液刀本體上的刀口相接觸，可沿所述刀口移動，用于刮拭所述刀口上的異物；驅(qū)動單元，與所述清理刮片連接，用于驅(qū)動所述清理刮片沿所述刀口移動；控制單元，與所述驅(qū)動單元連接，用于向所述驅(qū)動單元發(fā)送控制信號控制所述驅(qū)動單元運行。本實用新型用于進(jìn)行液體清洗。
文檔編號B08B7/04GK201886235SQ20102023542
公開日2011年6月29日 申請日期2010年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月13日
發(fā)明者孫文昌 申請人:北京京東方光電科技有限公司