專利名稱：一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于光線傾角調(diào)節(jié)的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
檢焦系統(tǒng)精度是投影光刻系統(tǒng)曝光圖形質(zhì)量的重要保證。為保證檢焦系統(tǒng)檢測精度，需要對其光路進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，尤其是對光線傾斜角度的調(diào)節(jié)，光線傾斜角度的調(diào)節(jié)誤差將會大大影響整個檢焦系統(tǒng)的測量精度，甚至出現(xiàn)無法測量的情況。由于檢焦系統(tǒng)具有體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，其對應(yīng)的光線角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)應(yīng)具有體積小、調(diào)節(jié)靈活、便于操作等特點。本實用新型針對這一問題，提出一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在小空間內(nèi)，靈活實現(xiàn)對檢焦系統(tǒng)光線傾角的調(diào)節(jié)，保證檢焦系統(tǒng)檢測精度，提高投影曝光系統(tǒng)曝光圖形質(zhì)量穩(wěn)定性。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)固定于檢焦系統(tǒng)的基板上，該機(jī)構(gòu)整體結(jié)構(gòu)為L形，該機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)主體和棱鏡；機(jī)構(gòu)主體上具有固定孔、半圓形凹槽柔性鉸鏈、頂壓孔、對拉孔以及棱鏡固定塊；固定孔后端為半圓形凹槽柔性鉸鏈；頂壓孔與對拉孔并排于柔性鉸鏈后端，一共兩組，每組由兩個對拉孔及位于其之間的一個頂壓孔組成；棱鏡固定塊為機(jī)構(gòu)主體下部的兩個L型轉(zhuǎn)折形狀的固定模塊，位于頂壓孔與對拉孔下方，兩個L型轉(zhuǎn)折形狀的固定模塊之間放置棱鏡。進(jìn)一步的，所有對拉孔與頂壓孔中心均在一條直線上，且與半圓形凹槽柔性鉸鏈的半圓形凹槽中心線平行。進(jìn)一步的，對拉孔為螺孔。進(jìn)一步的，頂壓孔為光孔，且其大小與下方對應(yīng)基板上的螺孔大小相同。進(jìn)一步的，在頂壓孔施加向下壓力，實現(xiàn)棱鏡逆時針偏轉(zhuǎn)；在對拉孔施加向上拉力，實現(xiàn)棱鏡順時針偏轉(zhuǎn)。進(jìn)一步的，半圓形凹槽柔性鉸鏈最低點距下端面的距離為上端面與下端面距離的 1/5-1/10。進(jìn)一步的，半圓形凹槽柔性鉸鏈最低點距前端面的距離為后端面與前端面距離的 1/2-1/3。本實用新型的有益效果是(1)當(dāng)檢焦光線傾角不正確時，通過向頂壓孔和對拉孔分別施加向下和向上的作用力，結(jié)合單圓弧形凹槽機(jī)構(gòu)柔性鉸鏈，改變棱鏡固定塊中間的棱鏡俯仰角度，從而實現(xiàn)對檢焦系統(tǒng)角度光路的調(diào)節(jié)。
3[0013](2)該機(jī)構(gòu)具有體積小，調(diào)節(jié)靈活、易于操作等優(yōu)點。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中檢焦系統(tǒng)的原理圖；圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、檢焦光源；2、光路傳輸系統(tǒng)；3、光路轉(zhuǎn)折結(jié)構(gòu)；4、光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；5、 信號接收系統(tǒng)；6、待測基面；7、光線；8、基板；9、固定孔；10、頂壓孔；11、對拉孔；12、半圓形凹槽柔性鉸鏈；13、棱鏡固定塊；14、上端面；15、下端面；16、棱鏡；17、前端面；18后端面。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實用新型，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)具體實施方式
的內(nèi)容了解本實用新型的功效及優(yōu)點。如圖1所示現(xiàn)有技術(shù)中檢焦系統(tǒng)的原理圖，其中，該檢焦系統(tǒng)包括檢焦光源1、光路傳輸系統(tǒng)2、光路轉(zhuǎn)折結(jié)構(gòu)3、光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)4、信號接收系統(tǒng)5、待測基面6、光線7和基板8。如圖2所示，本實用新型提供的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)主體和棱鏡16 ；機(jī)構(gòu)主體上包括固定孔9、頂壓孔10、對拉孔11、半圓形凹槽柔性鉸鏈12以及棱鏡固定塊13。該機(jī)構(gòu)固定于檢焦系統(tǒng)基板8上，固定孔9通過螺釘與基板 8固定，半圓形凹槽柔性鉸鏈12半圓半徑為2mm，半圓中心與前端面17距離為6mm ；頂壓孔 10與對拉孔11并排于半圓形凹槽柔性鉸鏈12后端，一共兩組，每組由兩個對拉孔11及位于其之間的一個頂壓孔10組成；棱鏡固定塊13為兩個L型轉(zhuǎn)折形狀固定模塊，位于頂壓孔 10與對拉孔11下方，兩個固定模塊之間放置棱鏡16。光路傾斜角度需要調(diào)節(jié)時，通過向頂壓孔10和對拉孔11分別施加向下和向上的作用力，結(jié)合半圓形凹槽柔性鉸鏈12，改變棱鏡固定塊13中間的棱鏡16俯仰角度，從而實現(xiàn)對檢焦系統(tǒng)角度光路的調(diào)節(jié)。如圖2所示，所有對拉孔10與頂壓孔11中心均在一條直線上，且與半圓形凹槽柔性鉸鏈12的半圓形凹槽中心線平行，與前端面17距離為10. 5mm，對拉孔10為M3螺孔，頂壓孔11直徑為3. 5mm,固定孔9直徑為3. 5mm。如圖2所示，半圓形凹槽柔性鉸鏈12，半徑R為2mm，最低點距下端面15的距離 dl為0. 5mm,上端面14與下端面15的距離d2為4mm，前端面17和后端面18的距離d3為 16mm, d4為35mm，上端面14與棱鏡固定塊13底部距離d5為20mm。盡管上面對本實用新型說明性的具體實施方式
進(jìn)行了描述，以便于本技術(shù)領(lǐng)的技術(shù)人員理解本實用新型，但應(yīng)該清楚，本實用新型不限于具體實施方式
的范圍，對本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，只要各種變化在所附的權(quán)利要求限定和確定的本實用新型的精神和范圍內(nèi)，這些變化是顯而易見的，一切利用本實用新型構(gòu)思的發(fā)明創(chuàng)造均在保護(hù)之列。
權(quán)利要求1.一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)固定于檢焦系統(tǒng)的基板上，該機(jī)構(gòu)整體結(jié)構(gòu)為L形，該機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)主體和棱鏡(16)；機(jī)構(gòu)主體上具有固定孔(9)、半圓形凹槽柔性鉸鏈(12)、頂壓孔(10)、對拉孔(11)以及棱鏡固定塊(13)；固定孔(9)后端為半圓形凹槽柔性鉸鏈(12)；頂壓孔(10)與對拉孔(11)并排于半圓形凹槽柔性鉸鏈(1 后端，頂壓孔(10)與對拉孔(11) 一共兩組，每組由兩個對拉孔(11)及位于其之間的一個頂壓孔(10)組成；棱鏡固定塊(1 為機(jī)構(gòu)主體下部的兩個L型轉(zhuǎn)折形狀的固定模塊，位于頂壓孔(10)與對拉孔(11)下方，兩個L型轉(zhuǎn)折形狀的固定模塊之間放置棱鏡 (16)。
2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 所有對拉孔(11)與頂壓孔(10)中心均在一條直線上，且與半圓形凹槽柔性鉸鏈(1 的半圓形凹槽中心線平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 對拉孔(11)為螺孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 頂壓孔(10)為光孔，且其大小與下方對應(yīng)基板上的螺孔大小相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 在頂壓孔(10)施加向下壓力，實現(xiàn)棱鏡(16)逆時針偏轉(zhuǎn)；在對拉孔(11)施加向上拉力，實現(xiàn)棱鏡(16)順時針偏轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 半圓形凹槽柔性鉸鏈(1 最低點距下端面的距離為上端面與下端面距離的1/5-1/10。
7.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于 半圓形凹槽柔性鉸鏈(1 最低點距前端面的距離為后端面與前端面距離的1/2-1/3。
專利摘要本實用新型公開了一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)經(jīng)固定孔(9)固定在基板(8)上，整體機(jī)構(gòu)為L形，調(diào)節(jié)時通過向頂壓孔(10)和對拉孔(11)分別施加向下和向上的作用力，結(jié)合半徑為R的單圓弧形凹槽機(jī)構(gòu)柔性鉸鏈(12)，改變棱鏡固定塊(13)中棱鏡(16)的俯仰角度，從而實現(xiàn)對檢焦系統(tǒng)角度光路的調(diào)節(jié)。本實用新型中該機(jī)構(gòu)具有體積小，調(diào)節(jié)靈活、易于操作等優(yōu)點。
文檔編號G02B7/18GK202256839SQ201120408729
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月25日
發(fā)明者嚴(yán)偉, 唐燕, 胡松, 陳銘勇 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所