技術編號：2679474
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于光線傾角調節(jié)的，特別涉及一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調節(jié)機構。背景技術檢焦系統(tǒng)精度是投影光刻系統(tǒng)曝光圖形質量的重要保證。為保證檢焦系統(tǒng)檢測精度，需要對其光路進行精確調節(jié)，尤其是對光線傾斜角度的調節(jié)，光線傾斜角度的調節(jié)誤差將會大大影響整個檢焦系統(tǒng)的測量精度，甚至出現(xiàn)無法測量的情況。由于檢焦系統(tǒng)具有體積小，結構緊湊，其對應的光線角度調節(jié)機構應具有體積小、調節(jié)靈活、便于操作等特點。本實用新型針對這一問題，提出一種用于檢焦系統(tǒng)中的光線傾角調節(jié)機構。實...
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