專利名稱：一種標準具結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)與激光領(lǐng)域的一種元器件，尤其是一種標準具結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
標準具廣泛用于光譜超精細結(jié)構(gòu)、同位素位移譜線輪廊與寬度及塞曼效應(yīng)的觀測；激光模式觀測和選模、選頻；光通信中作為濾波器用于波分復(fù)用等。傳統(tǒng)的法布里-珀羅標準具(F-P)由兩塊平面板和兩塊隔離塊組成的空氣隙腔， 在兩塊平面板的相對位置、即空氣腔側(cè)面鍍制部分反射膜來實現(xiàn)多束干涉，利用多束干涉原理產(chǎn)生非常細銳的條紋，比較穩(wěn)定，可以選擇特定的波長高透過通過，其余的高損耗。傳統(tǒng)法布里-珀羅標準具的加工難點在于難于準確控制FSR值，在控制FSR值的過程中，需要反復(fù)的光膠、測試和拋光，F(xiàn)SR對兩塊隔離塊厚度的精度要求非常之高，精度在 0. 1微米以下。如果FSR值不一樣，隔離塊的厚度也不一樣，需要重新加工兩塊隔離塊，加工繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容
標準具的FSR值計算公式為
η為腔體的折射率，d為腔體的厚度，C為光速，&為入射角。由上式，傳統(tǒng)的空氣隙標準具，需要嚴格控制厚度，才能控制準確的FSR ；FSR對應(yīng)唯一的空氣腔厚度，需要加工不同的兩塊隔離塊形成空氣腔，而且厚度對FSR值影響之大， 加工時需要反復(fù)的加工、光膠、測試，直到合格，稍有不慎，尺寸就變小導(dǎo)致FSR值不合格， 又需要重新下料加工。本發(fā)明提出了一種新的標準具結(jié)構(gòu)。為了解決上述傳統(tǒng)空氣隙標準具的問題，本發(fā)明提供技術(shù)方案為一種標準具結(jié)構(gòu)，包括兩片基板、一片側(cè)面帶小孔的環(huán)形隔離塊、折射率匹配液。兩片基板拋光、一面鍍部分反射膜和另一面鍍增透膜；隔離塊側(cè)面帶有小孔，并雙面拋光，厚度只需要按照正常窗片加工方式，將環(huán)形隔離塊光膠或深化光膠在兩片基板中間形成空氣腔，然后從小孔向空氣腔內(nèi)注入配制好的折射率匹配液，封膠固化。本發(fā)明專利采用配制折射率的方法改變FSR值，十分簡單、加工方便，并且不同的 FSR值，并不需要像傳統(tǒng)的方法去再下料加工隔離塊。利用本發(fā)明只需要配置不同的折射率匹配液即可。


圖1為本發(fā)明的一種激光標準具結(jié)構(gòu)。 具體實施例如圖1，是本發(fā)明的一種標準具結(jié)構(gòu)，包括兩片基板101和102、一片環(huán)形隔離塊 103、折射率匹配液105。兩片基板雙面拋光、一面鍍部分反射膜和另一面鍍增透膜；隔離塊 103側(cè)面帶有小孔104，并雙面拋光，將環(huán)形隔離塊103光膠或深化光膠在兩片基板101和 102的中間形成空氣腔，然后從小孔104向空氣腔內(nèi)注入配制好的折射率匹配液105，在小孔104處采用紫外膠水封膠固化。
權(quán)利要求
1.一種標準具結(jié)構(gòu)，包括兩片基板、一片側(cè)面帶小孔的環(huán)形隔離塊、折射率匹配液，其特征在于環(huán)形隔離塊光膠或深化光膠在兩片基板中間形成空氣腔。
2.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種標準具結(jié)構(gòu)，其特征在于所述兩片基板拋光、一面鍍部分反射膜和另一面鍍增透膜。
3.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種標準具結(jié)構(gòu)，其特征在于所述隔離塊側(cè)面帶有小孔，并雙面拋光。
4.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種標準具結(jié)構(gòu)，其特征在于所述空氣腔內(nèi)注入與標準具 FSR值匹配的折射率匹配液。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種標準具結(jié)構(gòu)，其特征在于標準具所用材料為低膨脹系數(shù)玻璃石英玻璃、ULE、ZER0DURE。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種標準具結(jié)構(gòu)，其特征在于填充標準具腔體的折射率可以是一種折射率匹配液，也可以是多種折射率匹配液組合而成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種標準具結(jié)構(gòu)，所述的標準具結(jié)構(gòu)包括標準具的兩片基板、一個側(cè)面帶小孔的圓環(huán)隔離快和折射率匹配液，兩片基板鍍有部分反射膜和增透膜，兩片基板中間光膠或深化光膠圓環(huán)隔離快，從側(cè)壁孔向腔體內(nèi)注入折射率匹配液，然后用膠水固化封裝。標準具的FSR值可以通過調(diào)節(jié)折射率匹配液改變折射率來達到。根據(jù)不同F(xiàn)SR值需求，配制不同的折射率匹配液，容易調(diào)節(jié)，而且加工方便，易于控制，適于批量生產(chǎn)。
文檔編號G02B5/28GK102331597SQ201110282209
公開日2012年1月25日 申請日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者吳季, 朱一村, 黃楚弘 申請人:福建福晶科技股份有限公司