專利名稱：樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖形與線路板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、以及使用其的感光性元件、抗蝕圖形的制造方法和印刷線路板的制造方法。
背景技術(shù)：
一直以來，在印刷線路板的制造領(lǐng)域中，作為用于蝕刻處理、鍍敷處理等的抗蝕劑材料，廣泛使用感光性樹脂組合物以及對(duì)其使用支撐體和保護(hù)膜而獲得的感光性元件。印刷線路板通過如下方法而制造，S卩，將感光性元件層壓在電路形成用基板上，曝光成圖形狀后，用顯影液除去未曝光部，形成抗蝕圖形，以其為掩模實(shí)施蝕刻處理或鍍敷處理而形成電路，然后從基板上剝離除去固化部分。從環(huán)境性以及安全性的立場(chǎng)出發(fā)，作為除去該未曝光部的抗蝕劑的顯影液，使用碳酸鈉等的堿顯影型已成為主流。顯影液通常只要具有某種程度的溶解感光性樹脂組合物層的能力即能夠使用，在顯影時(shí)，感光性樹脂組合物溶解或分散于顯影液中。在此，當(dāng)設(shè)置在電路形成用基板上的通孔被抗蝕劑膜覆蓋的情況下，要求所使用的感光性樹脂組合物具有覆蓋通孔的抗蝕劑膜不因顯影液、水洗的噴霧壓力而破裂的蓋孔性、即具有蓋孔可靠性。作為蓋孔可靠性優(yōu)異的感光性樹脂組合物，已經(jīng)提出了含有具有氨基甲酸酯鍵的二官能單體或三官能單體的感光性樹脂組合物(例如參照專利文獻(xiàn)1和2)。此外，還公開了使用聚己內(nèi)酯改性異氰尿酸環(huán)單體的感光性樹脂組合物(例如參照專利文獻(xiàn)3)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平10-142789號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2001-117224號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :W02007/049519號(hào)小冊(cè)子

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題然而，對(duì)于專利文獻(xiàn)1、2中記載的含有具有氨基甲酸酯鍵的二官能單體的感光性樹脂組合物而言，存在無法獲得充分的蓋孔可靠性的情況；此外，含有具有氨基甲酸酯鍵的三官能單體的感光性樹脂組合物存在固化膜容易變硬、變脆的情況。此外，對(duì)于專利文獻(xiàn)3 中記載的感光性樹脂組合物而言，在析像度方面需要進(jìn)一步提高。本發(fā)明正是鑒于這樣的實(shí)際情況而做出的，本發(fā)明的課題在于提供析像度優(yōu)異、 同時(shí)固化膜的機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異且具有柔軟性的感光性樹脂組合物、即蓋孔可靠性優(yōu)異的感光性樹脂組合物，以及使用其的感光性元件、抗蝕圖形的制造方法、和印刷線路板的制造方法。解決課題的手段
本發(fā)明的第1方式為一種感光性樹脂組合物，其含有㈧成分粘合劑聚合物、⑶ 成分至少具有一個(gè)乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物、和(C)成分光聚合引發(fā)劑，其中，上述(B)成分含有下述通式(I)所示的化合物。化學(xué)式1
權(quán)利要求
1. 一種感光性樹脂組合物，其含有(A)成分粘合劑聚合物、(B)成分至少具有一個(gè)乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物、和(C)成分光聚合引發(fā)劑，其中，所述(B)成分含有下述通式(I)所示的化合物，
2. 一種感光性樹脂組合物，其含有(A)成分粘合劑聚合物、(B)成分至少具有一個(gè)乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物、和(C)成分光聚合引發(fā)劑，其中，所述(B)成分含有下述通式(III)所示的化合物和下述通式(IV)所示的化合物的反應(yīng)生成物，
3. —種感光性元件，其具有支撐體和感光性樹脂層，所述感光性樹脂層為形成于所述支撐體上的權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物的涂膜。
4.一種抗蝕圖形的制造方法，其具有在電路形成用基板上形成作為權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物的涂膜的感光性樹脂層的感光性樹脂層形成工序、對(duì)所述感光性樹脂層的至少一部分照射活性光線而使曝光部光固化的曝光工序、和通過顯影從電路形成用基板上除去所述感光性樹脂層的未固化部分的顯影工序。
5.一種印刷線路板的制造方法，其含有如下工序?qū)νㄟ^權(quán)利要求4中記載的抗蝕圖形的制造方法形成了抗蝕圖形的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻處理或鍍敷處理，形成導(dǎo)體圖形。
6.一種印刷線路板，其通過權(quán)利要求5中所述的印刷線路板的制造方法而制造。
全文摘要
本發(fā)明提供析像度和蓋孔可靠性優(yōu)異的感光性樹脂組合物、以及使用其的感光性元件、抗蝕圖形的制造方法、和印刷線路板的制造方法。感光性樹脂組合物構(gòu)成為，含有(A)成分粘合劑聚合物、(B)成分至少具有一個(gè)乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物、和(C)成分光聚合引發(fā)劑，其中，前述(B)成分含有下述通式(I)所示的化合物，(式中，R1表示2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R2表示通式(II)所示的基團(tuán)。R3表示氫原子或甲基，X表示亞烷基，n表示10～25的整數(shù))。
文檔編號(hào)G03F7/004GK102375335SQ20111019567
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月10日
發(fā)明者渡邊滿明, 石川力 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社