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壓電致動器以及透鏡鏡筒的制作方法

文檔序號:2798424閱讀:221來源:國知局
專利名稱:壓電致動器以及透鏡鏡筒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及壓電致動器以及透鏡鏡筒。本申請基于2009年3月31日在日本申請的特愿2009-084113號以及特愿 2009-084114號主張優(yōu)先權(quán),在此援引其內(nèi)容。
背景技術(shù)
以往,使用了壓電元件壓電致動器(驅(qū)動裝置)已廣為人知。作為這種壓電致動器,例如,下面的專利文獻1公開了通過驅(qū)動多個壓電元件來使與被驅(qū)動體接觸的芯片部件進行橢圓運動,由此驅(qū)動被驅(qū)動體的壓電致動器。下面專利文獻1中記載的壓電致動器在設(shè)定了 CTZ直角坐標(biāo)系的情況下,通過與芯片部件的)(Z平面平行的橢圓運動來向X軸方向驅(qū)動被驅(qū)動體。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2007-236138號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是,在上述以往的壓電致動器中存在無法將不同的兩個方向的振動作為各自獨立的振動來取出的問題。在上述專利文獻1中,由于無法將芯片部件的X軸方向和Z軸方向的振動作為各自獨立的振動來取出,因此存在多個壓電元件妨礙相互運動的可能性。如果被驅(qū)動成多個壓電元件妨礙相互的運動,則驅(qū)動被驅(qū)動體的壓電致動器的輸出下降。本發(fā)明的方式的目的在于提供能夠?qū)⒉煌膬蓚€方向的振動作為各自獨立的振動來取出的壓電致動器以及使用該壓電致動器的透鏡鏡筒。用于解決問題的手段本發(fā)明的一種方式涉及的壓電致動器具備多個第一壓電元件;第一部件,被上述多個第一壓電元件的相互相向的面夾住,由上述多個第一壓電元件向第一方向驅(qū)動;第二壓電元件,設(shè)置于上述第一部件;第二部件,與上述第二壓電元件接觸設(shè)置,由上述第二壓電元件向與上述第一方向交叉的第二方向驅(qū)動;以及第三部件,與上述第二部件抵接,通過上述第二部件被驅(qū)動,而相對于上述第一部件相對移動。本發(fā)明的其他方式涉及的透鏡鏡筒具備上述壓電致動器。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的方式涉及的壓電致動器,能夠?qū)⒉煌膬蓚€方向的振動作為各自獨立的振動來取出。


圖1是本發(fā)明的一實施方式涉及的壓電致動器的主視圖。
圖2是上述壓電致動器的截面圖。圖3是圖1所示的壓電致動器的支撐驅(qū)動部的立體圖。圖4是上述支撐驅(qū)動部的俯視圖。圖5A是上述壓電致動器的保持部以及驅(qū)動擋塊的組裝主視圖。圖5B是上述保持部以及上述驅(qū)動擋塊的主視圖。圖6A是上述壓電致動器的電路圖。圖6B是上述壓電致動器的電路圖。圖7是上述壓電致動器的電源部供給電壓的時序圖。圖8是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖9是表示上述驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖10是表示上述驅(qū)動擋塊的動作的主視圖。圖11是表示圖1所示的壓電致動器的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖12是具備上述壓電致動器的透鏡鏡筒的分解立體圖。圖13A是表示上述壓電致動器的變形例的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖1 是表示上述壓電致動器的其他變形例的保持部以及驅(qū)動擋塊的主視圖。圖14是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖15是表示上述驅(qū)動擋塊的前端部的位移的時間變化的圖表。圖16是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊的前端部、支撐部以及壓電元件的位移的時間變化的圖表。圖17A是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊以及底部的凸部的動作的主視圖。圖17B是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊以及底部的凸部的動作的主視圖。圖17C是表示上述壓電致動器的驅(qū)動擋塊以及底部的凸部的動作的主視圖。圖17D是表示上述壓電致動器以及驅(qū)動擋塊以及底部的凸部的動作的主視圖。附圖標(biāo)記說明1:壓電致動器;Ia 支撐驅(qū)動部(構(gòu)造體);2:底部(第四部件);3 驅(qū)動擋塊;3a:前端部(第二部件);3b 基部(第一部件);4:轉(zhuǎn)動體(第三部件);5:支撐軸(旋轉(zhuǎn)軸);6:第一壓電元件;7:第二壓電元件;10 電源部;31 驅(qū)動擋塊(第一組);31a:前端部(第一組);31b:基部(第一組);
32 驅(qū)動擋塊(第二組);32a:前端部(第二組);32b基部(第二組);
61 凍--壓電元件(第--組)
62 凍--壓電元件(第二二組)
71 A-Ap — 丨弟—二壓電元件(第--組)
72 A-Ap — 丨弟—二壓電元件(第二二組)
100可換透鏡(透鏡鏡筒)R 旋轉(zhuǎn)方向。
具體實施例方式下面,參照

本發(fā)明的一實施方式涉及的壓電致動器。本實施方式的壓電致動器(驅(qū)動裝置)1用于例如通過進行使轉(zhuǎn)動體等第一部分和驅(qū)動擋塊等第二部分相對位移的相對驅(qū)動來驅(qū)動相機的透鏡鏡筒等光學(xué)設(shè)備、電子設(shè)備。圖1是本實施方式的壓電致動器1的主視圖,圖2是其截面圖。如圖1以及圖2所示,壓電致動器1具備設(shè)置有多個保持部加的底部(第四部件)2、被保持部加保持的驅(qū)動擋塊3、與驅(qū)動擋塊3相鄰配置的轉(zhuǎn)動體(第三部件)4、和插通于底部2的支撐軸5。底部2例如由不銹鋼等金屬材料形成為中空圓筒狀,并通過插通支撐軸5而設(shè)置成圍繞支撐軸5。轉(zhuǎn)動體4經(jīng)由軸承fe被支撐軸5所支撐(軸支撐),并以支撐軸5為旋轉(zhuǎn)軸而自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置。在轉(zhuǎn)動體4的外周面例如形成有用于驅(qū)動相機的透鏡鏡筒等的齒輪4a。轉(zhuǎn)動體4的底部2側(cè)的面被多個驅(qū)動擋塊3所支撐。底部2的一端部例如通過未圖示的螺栓等固定在安裝部IOla上。在底部2的與安裝部IOla相向的面的中央部形成有凹部2b。在凹部2b插入(嵌入)有在支撐軸5的基端所形成的擴徑部如。通過在該狀態(tài)下將底部2固定到安裝部101a,支撐軸5被固定到底部2以及安裝部101a。在底部2的另一端部、在底部2的圓周方向即轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R上設(shè)置有多個凹狀的保持部加。保持部加從垂直于支撐軸5且沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向(第二方向)的兩側(cè)支撐驅(qū)動擋塊3,并且將驅(qū)動擋塊3保持成可在與支撐軸5平行的方向(第一方向)上述驅(qū)動。如圖2所示,底部2的側(cè)面2c與支撐軸5大致平行地設(shè)置。在側(cè)面2c的保持部 2a和安裝部IOla側(cè)的端部之間形成有作為抑制從安裝部IOla到保持部加的振動傳遞的振動抑制部的、槽部2d。S卩,槽部2d設(shè)置在與大致垂直于支撐軸5且沿轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向(第二方向)交叉的底部2的側(cè)面2c上。槽部2d連續(xù)設(shè)置于底部2的軸方向, 并設(shè)置在與保持部加和安裝部IOla側(cè)的端部的中間相比靠近安裝部IOla側(cè)的端部的位置。槽部2d的深度dl例如為底部2的半徑rl的40%以上且80%以下的范圍。上述數(shù)值只不過是一例,不限定于此。槽部2d的深度例如可以為底部2的半徑r 1的10 %、20 %、30%、40%、50%、60%、70%、80%、或者90%。另外,與支撐軸5平行方向(第一方向)的槽部2d的寬度wl形成為大于底部2的振動振幅、且大于由后述的第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及底部2構(gòu)成的支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)Ia的共振振動振幅。在一例中,槽部2d的寬度wl可以小于底部2的半徑。如圖2所示,在底部2和支撐軸5之間設(shè)置有用于抑制從安裝部IOla到保持部加的振動的間隙(振動抑制部)2e。間隙2e設(shè)置在與支撐軸5平行方向上、從底部2的保持部加側(cè)的端部到與槽部2d的安裝部IOla側(cè)的邊緣相同的位置。另外,間隙2e的寬度w2 與槽部2d的寬度wl相同地形成為大于底部2的振動振幅、且大于后述的支撐驅(qū)動部Ia的共振振動振幅。圖3是圖1所示的壓電致動器1的支撐驅(qū)動部Ia的立體圖,圖4是其俯視圖。如圖3以及圖4所示,驅(qū)動擋塊3具有截面具有山形的六角柱形狀的前端部(第二部件)3a、和具有大致長方體形狀的基部(第一部件)3b。前端部3a例如由不銹鋼等形成?;勘崩缬奢p金屬合金等形成?;勘蓖ㄟ^保持部加支撐為可在與支撐軸5平行的方向上驅(qū)動。前端部3a支撐從支撐部加突出的轉(zhuǎn)動體4。前端部3a設(shè)置有相對于接觸面Sl傾斜的傾斜面S2、S3。傾斜面S2、S3沿著與轉(zhuǎn)動體4被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的方向交叉的方向設(shè)置。傾斜面S2、S3與前端部3a的接觸面Sl連續(xù)地被設(shè)置,以便前端部3a的平行于與轉(zhuǎn)動體4接觸的接觸面Sl的截面積成為越接近轉(zhuǎn)動體4 越小的前端狹窄狀的形狀。即,前端部3a成為與轉(zhuǎn)動體4接觸的接觸面Sl的面積小于基部北側(cè)的底面的面積的、前端狹窄狀的形狀。傾斜面S2、S3也可以為凹狀或凸?fàn)畹那妗H鐖D4所示,在驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第二方向)設(shè)置有兩對從寬度w3方向的兩側(cè)夾住驅(qū)動擋塊3的基部北的一對第一壓電元件6、6。驅(qū)動擋塊3的寬度方向w3 是垂直于支撐軸5且沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向,并且在底部2的俯視中為與中心線CL大致垂直的方向。第一壓電元件6形成為沿著保持部加的深度d2方向延伸的細(xì)長的長方形的形狀,夾持于基部北和保持部加之間。由此,第一壓電元件6配置在設(shè)置于底部2的槽部2d(參照圖1以及圖2)和轉(zhuǎn)動體4之間。第一壓電元件6例如通過導(dǎo)電型的粘接劑粘接在驅(qū)動擋塊3的基部北和保持部 2a上。另外,配置在與通過底部2的中心的中心線CL大致平行的驅(qū)動擋塊3的進深pi方向上的兩個第一壓電元件6、6相互大致平行。各第一壓電元件6的形狀以及尺寸均大致相同。如圖3所示,在驅(qū)動擋塊3的基部北和前端部3a之間相互大致平行地設(shè)置有一對第二壓電元件7、7。第二壓電元件7形成為與驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向大致平行地延伸的細(xì)長的長方形狀。第二壓電元件7夾持于前端部3a的底面和基部北的上表面之間,例如通過導(dǎo)電性粘接劑與前端部3a的底面和基部北的上表面粘接。各第二壓電元件7的形狀以及尺寸均大致相同。第一壓電元件6以及第二壓電元件7例如由鋯鈦酸鉛(PZT)形成,其振動模式為厚度切變振動(thickness-shear vibration)。即,第一壓電元件6將驅(qū)動擋塊3向與支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向?qū)τ诘撞?相對驅(qū)動。第二壓電元件7將驅(qū)動擋塊3的前端部3a向驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第三方向)對于基部北以及底部2相對驅(qū)動。即,在本實施方式中,第一壓電元件6夾住驅(qū)動擋塊3的方向(第二方向)和第二壓
7電元件7驅(qū)動驅(qū)動擋塊3的前端部3a的方向(第三方向)大致相同。通過這些多個第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及底部2構(gòu)成支撐驅(qū)動部la,該支撐驅(qū)動部Ia支撐轉(zhuǎn)動體4且與驅(qū)動擋塊3以及底部2相對地驅(qū)動轉(zhuǎn)動體 4。如圖3所示,保持部加設(shè)置在底部2的端部。在底部2形成有王冠狀的凹凸。如圖4所示,保持部加大致每隔60°均等地形成在底部2的圓周方向上。保持部加具備在俯視中與通過底部2的中心的中心線CL大致平行地設(shè)置的一對支撐面2f、2f。支撐面2f 以從與底部2的中心線CL大致垂直的保持部加的寬度w4方向(第二方向)的兩側(cè)經(jīng)由一對第一壓電元件6、6夾住驅(qū)動擋塊3的基部北的方式保持驅(qū)動擋塊3的基部北。換言之, 底部2具有設(shè)置在軸方向的一端側(cè)的圓周壁。圓周壁具有在圓周方向上隔開間隔而配置的多個槽(保持部加)、和分別配置在相鄰的槽之間的多個凸起(凸部》i、2i、第四部件)。在本實施方式中,圓周壁具有實質(zhì)上等間隔(約60°間距)配置的六個槽(保持部加)、和實質(zhì)上等間隔(約60°間距)配置的六個凸起(凸部》i、2i)。各槽(保持部2a)包括沿著放射方向的中心線CL、和實質(zhì)上平行于中心線CL的兩個支撐面(凸起2h、2i的圓周方向的壁面2f)。凸起的內(nèi)側(cè)面窄于外側(cè)面。在本實施方式中,凸起具有寬度沿著徑方向內(nèi)側(cè)逐漸變窄的橫截面。在各槽(保持部加)中配置有驅(qū)動擋塊3。驅(qū)動擋塊3經(jīng)由第一壓電元件 6夾持于相鄰的凸起(凸部》i、2i)之間并被支撐。在其他實施方式中,圓周壁可以具有以約60°以外的間距配置的多個槽,另外,可以具有以約60°以外的間距配置的多個凸起。圖5A是放大了保持部加以及驅(qū)動擋塊3的組裝主視圖,圖5B是放大了保持部加以及驅(qū)動擋塊3的主視圖。如圖5A以及圖5B所示,設(shè)置于底部2的凹狀的保持部加的支撐面2f設(shè)置成相對于與圖2所示支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向(第一方向)傾斜。支撐面2f傾斜成自被圖1所示的驅(qū)動擋塊3的前端部3a所支撐的轉(zhuǎn)動體4的距離越遠(yuǎn),相向的支撐面2f、2f彼此的間隔逐漸變窄。換言之,保持部加越靠近底面2g,寬度 w4越窄。根據(jù)各部件的尺寸、公差等的關(guān)系,支撐面2f相對于保持部加的深度d2方向的傾斜角α優(yōu)選為2°以上6°以下。在本實施方式中,支撐面的傾斜角α為4°。另外,如圖5Α以及圖5Β所示,與支撐面2f相向的驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面與支撐面2f相同地設(shè)置成相對于與支撐軸5大致平行的驅(qū)動擋塊3的高度hi方向(第一方向)傾斜。由此,驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面設(shè)置成大致平行于支撐面2f。在此,基部北的保持部加的底面2g側(cè)的端部中的基部北以及一對第一壓電元件6、6的寬度w5,小于保持部加的開口部的寬度w4、且大于保持部加的深度d2方向途中的寬度w4’。因此,如果將驅(qū)動擋塊3的基部北以及一對第一壓電元件6、6保持于保持部2a, 則如圖5B所示,在驅(qū)動擋塊3的底面3d和保持部加的底面2g相分離的狀態(tài)下,基部北從保持部加的寬度w4方向的兩側(cè)經(jīng)由一對第一壓電元件6、6被支撐面2f所支撐。S卩,支撐面2f設(shè)置成從保持部加的寬度w4方向(第二方向)的兩側(cè)支撐驅(qū)動擋塊3,并且相對于深度d2方向傾斜,以便能夠在與支撐軸5大致平行的保持部加的深度d2方向(第一方向)上進行定位。如圖3以及圖4所示,本實施方式的驅(qū)動擋塊3在前端部3a和基部北之間具備一對第二壓電元件7、7,在基部北的側(cè)面具備兩對成對的第一壓電元件6、6。壓電致動器1具備第一組以及第二組這兩組驅(qū)動擋塊3的組,該驅(qū)動擋塊3的組中驅(qū)動擋塊3以及兩對第一壓電元件6、6分別具備三份。第一組驅(qū)動擋塊31和第二組驅(qū)動擋塊32配置在相同的圓周上。另外,各組驅(qū)動擋塊31、32各自均等地配置在轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R上。不同組的驅(qū)動擋塊31、32交替(依次)地配置在旋轉(zhuǎn)方向R上。另外,為了使各組的驅(qū)動擋塊31、32在初始狀態(tài)下所有的接觸面Sll、S12與轉(zhuǎn)動體4接觸,而設(shè)置成從底部2到接觸面Sll、S12的高度均等。在以下的說明中,在不區(qū)分不同組的驅(qū)動擋塊31、32的情況下,將這些的附圖標(biāo)記記為驅(qū)動擋塊3,合并兩者而進行說明。對于前端部31a、32a、基部31b、32b、接觸面S11、 S12等也相同,說明為前端部3a、基部北、接觸面Sl等。圖6A是第一壓電元件6的示意性的配線圖,圖6B是第二壓電元件7的示意性的配線圖。如圖6A以及圖6B所示,本實施方式的壓電致動器1具備向第一壓電元件6以及第二壓電元件7的各自供給電壓的電源部10。電源部10向第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給電壓,使得圖3以及圖4所示的第一組以及第二組各自的驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、3h依次重復(fù)與圖1以及圖2所示的轉(zhuǎn)動體4的接觸、向轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R 的進給、從轉(zhuǎn)動體4的分離、與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反方向的返回。如圖6A所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的各個所具備的第一壓電元件61經(jīng)由第一配線11與電源部10的第一端子Tl連接。第二組的驅(qū)動擋塊32的各個所具備的第一壓電元件62經(jīng)由第二配線12與電源部10的第二端子T2連接。如圖6B所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的各個所具備的第二壓電元件71經(jīng)由第三配線13與電源部10的第三端子T3連接。第二組的驅(qū)動擋塊32的各個所具備的第二壓電元件72經(jīng)由第四配線14與電源部10的第四端子T4連接。另外,雖然在圖6A以及圖6B中省略圖示,但驅(qū)動擋塊31、32的基部3lb、32b被接地。圖7是電源部10在各端子T1、T2、T3、T4產(chǎn)生的電壓的時序圖的一例。如圖7所示,電源部10對第一端子Tl,在第一相位至第二相位之間產(chǎn)生-1. OV的電壓,在第三相位至第七相位的五個相位中產(chǎn)生1. OV的電壓,在第八相位至第十相位的三個相位中產(chǎn)生-1. OV的電壓。在以后的相位中重復(fù)在五個相位期間產(chǎn)生1. OV的電壓,且在三個相位期間產(chǎn)生-1. OV的電壓。S卩,電源部10對第一端子產(chǎn)生八個相位為一個周期的電壓。電源部10對第二端子T2產(chǎn)生與對第一端子Tl產(chǎn)生的電壓具有180°的相位差且與產(chǎn)生于第一端子Tl的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。即,產(chǎn)生于第一端子的電壓和產(chǎn)生于第二端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。電源部10對第三端子T3,在第一相位中產(chǎn)生的電壓維持在0V,在第二相位中產(chǎn)生-3. OV的電壓,在第三相位至第八相位中的各相位中將電壓各增加1. 0V。在以后的相位中,重復(fù)該第一相位至第八相位的電壓產(chǎn)生圖案。即,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生以八個相位為一個周期的電壓。電源部10對第四端子T4產(chǎn)生與對第三端子T3產(chǎn)生的電壓具有180°的相位差且與產(chǎn)生于第三端子T3的電壓相同的以八個相位為一個周期的電壓。即,產(chǎn)生于第三端子的電壓和產(chǎn)生于第四端子的電壓具有半個周期量的四個相位的相位差。在本實施方式中,電源部10向第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給的電壓頻率與由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及底部2構(gòu)成的支撐驅(qū)動部(構(gòu)造部)Ia的共振振動的振動頻率大致相同。接著,下面使用圖8至圖11說明本實施方式的壓電致動器1的作用。圖8至圖10是表示第一組和第二組的驅(qū)動擋塊31、32的動作、和轉(zhuǎn)動體4的動作的放大主視圖。圖11是表示第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a的各軸方向的位移、 和時間t的關(guān)系的圖表。在圖11的(a)以及圖11的(b)中,用虛線表示在Y軸方向上的與轉(zhuǎn)動體4的接觸位置yl。圖8的(a)至圖10的(a)中,使用將沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的第一組驅(qū)動擋塊3的寬度w31方向(第二方向)作為Xl方向、且將平行于支撐軸5的方向(第一方向) 作為Y方向直角坐標(biāo)系進行說明。在圖8的(b)至圖10的(b)中,使用將沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的第二組驅(qū)動擋塊32的寬度w32方向(第二方向)作為X2方向、且將平行于支撐軸5的方向(第一方向)作為Y方向的直角坐標(biāo)系進行說明。(第零相位)如圖7所示,電源部10在第零相位中對各端子T1、T2、T3、T4不產(chǎn)生電壓(OV),為對圖6Α以及圖6Β所示的第一壓電元件6以及第二壓電元件供給OV的電壓(即,不供給電壓)的狀態(tài)。如圖8的(a)以及圖8的(b)所示,在第零相位中,第一組的驅(qū)動擋塊31和第二組的驅(qū)動擋塊32分別以其前端部31a、32a的上表面與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)靜止。轉(zhuǎn)動體 4以被驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、32b所支撐的狀態(tài)靜止。(第一相位)如圖7所示,在第一相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生-1. OV的電壓,并經(jīng)由第一配線向圖6A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給電壓。另外,如圖7所示,電源部10在第一相位中,將第三端子T3的電壓維持于0V,并經(jīng)由第二配線12向圖6B 所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給OV的電壓。如果這樣,則如圖8的(a)所示,在第一相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61厚度切變變形,而使驅(qū)動擋塊31的基部31b相對于保持部加的支撐面2f向Y 方向的底部2側(cè)(Y軸負(fù)方向側(cè))移動(參照圖11的(a)、第一相位)。另外,如圖8的(a) 所示,在第一相位中第二壓電元件71不變形。因此,前端部31a不向Xl方向移動(參照圖 11的(c)、第一相位)。由此,驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負(fù)方向側(cè)移動而從轉(zhuǎn)動體4 分離。如圖7所示,在第一相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生1. OV的電壓,并經(jīng)由第二配線對圖6A所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給電壓。另外,如圖7所示, 在第一相位中,電源部10將第四端子T4的電壓維持在0V,并經(jīng)由第四配線對圖6B所示的第二組驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給OV的電壓。如果這樣,則如圖8的(b)所示,在第一相位中,驅(qū)動第二組驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62厚度切變變形,從而使驅(qū)動擋塊32的基部32b相對于保持部加的支撐面2f向Y方向的轉(zhuǎn)動體4側(cè)(Y軸正方向側(cè))移動(參照圖11的(b)、第一相位)。另外,如圖8的 (b)所示,在第一相位中,第二壓電元件72不變形。因此,前端部3 不向X2方向移動(參照圖11的(d)、第一相位)。由此,通過驅(qū)動擋塊32向Y軸正方向側(cè)移動,前端部3 將轉(zhuǎn)動體4向Y軸正方向側(cè)頂起。S卩,在第一相位中,如圖8的(a)所示,第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負(fù)方向側(cè)移動而從轉(zhuǎn)動體4分離。與此同時,如圖8的(b)所示,第二組驅(qū)動擋塊32的前端部3 與轉(zhuǎn)動體4抵接而支撐轉(zhuǎn)動體4,并且將轉(zhuǎn)動體4向Y軸正方向側(cè)頂起。(第二相位)如圖7所示,在第二相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1. 0V,并且維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第二相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV的電壓,并經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第一組驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖8的(a)所示,在第二相位中,維持將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形而維持前端部31a從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)(參照圖11 的(a)、第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖8的(a)所示,在第二相位中,第二壓電元件71厚度切變變形。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸負(fù)方向側(cè)移動(參照圖11 的(c))。此時的前端部31a的移動量與供給到第二壓電元件71的電壓的絕對值成比例。如圖7所示,在第二相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7所示,在第二相位中,第二電源部10對第四端子T4產(chǎn)生1. OV的電壓,并經(jīng)由第四配線14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖8的(b)所示,在第二相位中,維持將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形,從而維持前端部3a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖 11的(b),第二相位)。在此狀態(tài)下,如圖8的(b)所示,在第二相位中,第二壓電元件72厚度切變變形。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖 11的(d)、第二相位)。此時的前端部32a的移動量與電壓的絕對值成比例,因此小于第一組的前端部31a的向X軸負(fù)方向側(cè)的移動量。S卩,在第二相位中,如圖8的(b)所示,通過第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a向 X2軸正方向側(cè)移動,摩擦力作用于前端部3 的上表面和轉(zhuǎn)動體4的下表面之間。在此,如圖3以及圖4所示,第二組的驅(qū)動擋塊32沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R配置在底部2的圓周方向上。另外,前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的、驅(qū)動擋塊32的寬度w32方向 (X2方向)位移。因此,轉(zhuǎn)動體4由驅(qū)動擋塊32的前端部32a向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動而開始以圖1以及圖2所示的支撐軸5為中心的旋轉(zhuǎn)。(第三相位)如圖7所示,在第三相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生正負(fù)翻轉(zhuǎn)的1. OV的電壓,并經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給電壓。 另外,如圖7所示,在第三相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-2. OV的電壓,并經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖8的(a)所示,在第三相位中,驅(qū)動第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61向反方向厚度切變變形,從而使驅(qū)動擋塊31的基部31b向Y軸正方向側(cè)移動(參照圖11 (a)、第三相位)。與此同時,如圖8的(a)所示,在第三相位中,第二壓電元件71的向Xl軸負(fù)方向側(cè)的變形量減少。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向 Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(c)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的-2. OV和在第二相位中供給的-3. OV的電壓差成比例。如圖7所示,在第三相位中,電源部10維持第二端子T2的電壓,并維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7 所示,在第三相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生2. OV的電壓,并經(jīng)由第四配線14對圖 6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖8的(b)所示,在第三相位中,維持驅(qū)動第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的變形而維持前端部3 與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖11的(b)、第三相位)。在此狀態(tài)下,如圖8的(b)所示,在第三相位中,第二壓電元件72厚度切變變形。 因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(d)、第三相位)。此時的移動量與在第三相位中新供給的2. OV和在第二相位中供給的1. OV的電壓差的絕對值成比例。S卩,在第三相位中,如圖8的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體4。 同時,如圖8的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a與轉(zhuǎn)動體4抵接而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,與第一組的驅(qū)動擋塊31相同地向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。(第四相位)如圖7所示,在第四相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第四相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生-1. OV的電壓,并經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如圖這樣,則如圖9的(a)所示,在第四相位中,將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y軸正方向側(cè)驅(qū)動的第一壓電元件61的變形繼續(xù),而前端部31a與轉(zhuǎn)動體4抵接(參照圖11 (a)、 第四相位)。與此同時,如圖9的(a)所示,在第四相位中,第二壓電元件71的向X軸負(fù)方向側(cè)的變形量減少。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸正方向側(cè)移動 (參照圖11的(C)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的-1. OV和在第三相位中供給的-2. OV的電壓差的絕對值成比例。如圖7所示,在第四相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生正負(fù)翻轉(zhuǎn)的-1. OV的電壓,經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給電源。另外,如圖7所示,在第四相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生3. OV的電壓,并經(jīng)由第四配線14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第四相位中,驅(qū)動第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62向反方向厚度切變變形,而使驅(qū)動擋塊32的基部32b向Y軸負(fù)方向側(cè)移動 (參照圖11的(b),第四相位)。與此同時,如圖9的(b)所示,在第四相位中,第二壓電元件72的向X2軸正方向側(cè)的變形量增加。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向 X2軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(d)、第四相位)。此時的移動量與在第四相位中新供給的3. OV和第二相位中供給的2. OV的電壓差的絕對值成比例。S卩,在第四相位中,如圖9的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時與轉(zhuǎn)動體4抵接,從而支撐轉(zhuǎn)動體4而使其向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。與此同時,如圖9的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a 向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負(fù)方向側(cè)移動而從轉(zhuǎn)動體4分離。由此,轉(zhuǎn)動體4由第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、32a向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。與此同時,轉(zhuǎn)動體4從第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 傳遞至第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a。此時,如圖11的(a)以及圖11的(b)所示,在第四相位中存在雙方的驅(qū)動擋塊31、 32從轉(zhuǎn)動體4分離極短的時間的情況。即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體4也由于其慣性而幾乎不向Y軸方向位移而停留在被第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體4維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,由第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a在Y方向上支撐,并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體4在Y方向的大致一定的位置以支撐軸5為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第五相位)如圖7所示,在第五相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并且維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。 另外,如圖7所示,在第五相位中,電源部10將產(chǎn)生于第三端子T3的電壓設(shè)為0V,并將經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給的電壓設(shè)為0V。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第五相位中,維持將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形而維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖11 的(a)、第五相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(a)所示,在第五相位中,第二壓電元件71恢復(fù)到原來的形狀。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(c)、第五相位)。此時的前端部31a的移動量與在第四相位中供給至第二壓電元件71的電壓的絕對值成比例。如圖7所示,在第五相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,并且維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。 另外,如圖7所示,在第五相位中,電源部10將產(chǎn)生于第四端子T4的電壓設(shè)為0V,并將經(jīng)由第四配線14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給的電壓設(shè)為0V。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第五相位中,將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形繼續(xù),而前端部3 進一步從轉(zhuǎn)動體4分離(參照圖11(b)、 第五相位)。與此同時,如圖9的(b)所示,在第五相位中第二壓電元件72恢復(fù)到原來形狀。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸負(fù)方向側(cè)移動(參照圖11(d)、第五相位)。此時的前端部3 的移動量與在第四相位中供給至第二壓電元件72的電壓的絕對值成比例。S卩,在第五相位中,如圖9的9(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài),支撐轉(zhuǎn)動體4的同時向Xl軸正方向側(cè)移動,向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖9的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a向Y軸負(fù)方向側(cè)移動,維持從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)的同時,相對于基部32b以及底部2向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的X2軸負(fù)方向側(cè)移動。(第六相位)如圖7所示,在第六相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第六相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生1. OV的電壓,經(jīng)由第三配線 13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第六相位中,維持將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,并且維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖 11的(a)、第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(a)所示,在第六相位中,第二壓電元件71厚度切變變形。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖 11的(c)、第六相位)。此時的移動量與在第六相位中新供給的電壓的絕對值成比例。如圖7所示,在第六相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在-1. 0V,維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7所示,在第六相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由第四配線 14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第六相位中,維持將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形,從而維持前端部3 從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)(參照圖 11的(b)、第六相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(b)所示,在第六相位中,第二壓電元件72厚度切變變形。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸負(fù)方向側(cè)移動(參照圖 11的(d)、第六相位)。此時的前端部32a的移動量與供給至第二壓電元件72的電壓的絕對值成比例。S卩,如圖9的(a)所示,在第六相位中,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài),支撐轉(zhuǎn)動體4的同時向Xl軸正方向側(cè)移動,而向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖9的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持從轉(zhuǎn)動體4 分離的狀態(tài)的同時,相對于基部32b以及底部2進一步向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的 X2軸負(fù)方向側(cè)移動。(第七相位)如圖7所示,在第七相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在1. 0V,維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第七相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生2. OV的電壓,經(jīng)由第三配線 13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖9的(a)所示,在第七相位中,維持驅(qū)動第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的變形而維持前端部31a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖11 (a)、第七相位)。在此狀態(tài)下,如圖9的(a)所示,在第七相位中,第二壓電元件71厚度切變變形。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(c)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的2. OV和在第六相位中供給的1. OV的電壓差的絕對值成比例。如圖7所示,在第七相位中,電源部10對第二端子T2產(chǎn)生正負(fù)翻轉(zhuǎn)的1. OV的電壓,經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給電壓。另外,如圖7所示,在第七相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-2. OV的電壓,經(jīng)由第四配線 14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖9的(b)所示,在第七相位中,驅(qū)動第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62向反方向厚度切變變形而向Y軸正方向側(cè)移動驅(qū)動擋塊32的基部32b (參照圖11的(b)、第七相位)。與此同時,如圖9的(b)所示,在第七相位中,第二壓電元件72的向X2軸負(fù)方向側(cè)的變形量減少。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(d)、第七相位)。此時的移動量與在第七相位中新供給的-2. OV 和在第六相位中供給的-3. OV的電壓差的絕對值成比例。S卩,在第七相位中,如圖9的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài),支撐轉(zhuǎn)動體4的同時向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。與此同時,如圖9 的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸正方向側(cè)移動而靠近轉(zhuǎn)動體4。(第八相位)如圖7所示,在第八相位中,電源部10對第一端子Tl產(chǎn)生正負(fù)翻轉(zhuǎn)的-1. OV的電壓,并經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給電壓。 另外,如圖7所示,在第八相位中,電源部10對第三端子T3產(chǎn)生3. OV的電壓,經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第八相位中,驅(qū)動第一組驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61向反方向厚度切變變形,向Y軸負(fù)方向側(cè)移動驅(qū)動部3的基部3b (參照圖11 的(a)、第八相位)。與此同時,如圖10的(a)所示,在第八相位中,第二壓電元件71的向 Xl軸正方向側(cè)的變形量增加。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(C)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的3. OV和在第七相位中供給的2. OV的電壓差的絕對值成比例。如圖7所示,在第八相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7所示,在第八相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生-1.0V的電壓,經(jīng)由第四配線 14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第八相位中,將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形繼續(xù),而前端部32a與轉(zhuǎn)動體4抵接(參照圖11的(b)、 第八相位)。與此同時,如圖10的(b)所示,在第八相位中,第二壓電元件72的向X2軸負(fù)方向側(cè)的變形量減少。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動 (參照圖11的(d)、第八相位)。此時的移動量與在第八相位中新供給的-1.0V和在第七相位中供給的-2. OV的電壓差的絕對值成比例。S卩,在第八相位中,如圖10的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動的同時,向Y軸負(fù)方向側(cè)移動而從轉(zhuǎn)動體4 分離。與此同時,如圖10的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a向沿著轉(zhuǎn)動體4 的旋轉(zhuǎn)方向R的X2軸正方向側(cè)移動的同時,與轉(zhuǎn)動體4抵接,支撐轉(zhuǎn)動體4而向旋轉(zhuǎn)方向R 驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體4由第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、32a向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。與此同時,轉(zhuǎn)動體4從第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a傳遞至第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a。此時,如圖11的(a)以及圖11的(b)所示,在第八相位中,存在雙方的驅(qū)動擋塊 31、32從轉(zhuǎn)動體4分離極短的時間的情況。即使在這種情況下,轉(zhuǎn)動體4也由于其慣性而幾乎不向Y軸方向位移,而停留在被第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a所支撐的位置。因此,轉(zhuǎn)動體4維持Y方向的大致一定的位置,在向旋轉(zhuǎn)方向R被驅(qū)動的狀態(tài)下,由第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 在Y方向上支撐,并向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。由此,轉(zhuǎn)動體4在Y方向的大致一定的位置以支撐軸5為中心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。(第九相位)如圖7所示,在第九相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1. 0V,維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第九相位中,電源部10將產(chǎn)生于第三端子T3的電壓設(shè)為0V,并將經(jīng)由第三配線13對圖6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給的電壓設(shè)為0V。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第九相位中,將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形繼續(xù),而前端部31a從轉(zhuǎn)動體4進一步分離(參照圖11 的(a)、第九相位)。與此同時,如圖10的(a)所示,在第九相位中,第二壓電元件71恢復(fù)到原來形狀。因此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸負(fù)方向側(cè)移動(參照圖 11的(c)、第九相位)。此時的前端部31a的移動量與在第八相位中供給至第二壓電元件7 的電壓的絕對值成比例。如圖7所示,在第九相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7所示,在第九相位中,電源部10將產(chǎn)生于第四端子T4的電壓設(shè)為0V,并將經(jīng)由第四配線14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給的電壓設(shè)為0V。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第九相位中,維持將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形而維持前端部32a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖11 的(b)、第九相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(b)所示,在第九相位中,第二壓電元件72恢復(fù)到原來的形狀。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖11的(d)、第九相位)。此時的前端部32a的移動量與在第八相位中供給至第二壓電元件72的電壓的絕對值成比例。S卩,在第九相位中,如圖10的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a向Y軸負(fù)方向側(cè)移動而維持從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)的同時,向與轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R相反的Xl 軸負(fù)方向側(cè)移動。與此同時,如圖10的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的Xl軸正方向側(cè)移動而將轉(zhuǎn)動體4向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。(第十相位)如圖7所示,在第十相位中,電源部10將第一端子Tl的電壓維持在-1.0V,并維持經(jīng)由第一配線11對圖6A所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61供給的電壓。另外,如圖7所示,在第十相位中,電源部對第三端子T3產(chǎn)生-3. OV的電壓,經(jīng)由配線13對圖 6B所示的第一組的驅(qū)動擋塊31的第二壓電元件71供給電壓。如果這樣,則如圖10的(a)所示,在第十相位中,維持將第一組的驅(qū)動擋塊31向Y方向驅(qū)動的第一壓電元件61的變形,維持前端部31a從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)(參照圖11 的(a)、第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(a)所示,在第十相位中,第二壓電元件71厚度切變變形。由此,前端部31a相對于基部31b以及底部2向Xl軸負(fù)方向側(cè)移動(參照圖 11的(c)、第十相位)。此時的前端部31a的移動量與供給至第二壓電元件71的電壓的絕對值成比例。如圖7所示,在第十相位中,電源部10將第二端子T2的電壓維持在1. 0V,并維持經(jīng)由第二配線12對圖6A所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62供給的電壓。另外,如圖7所示,在第十相位中,電源部10對第四端子T4產(chǎn)生1. OV的電壓,并經(jīng)由第四配線14對圖6B所示的第二組的驅(qū)動擋塊32的第二壓電元件72供給電壓。如果這樣,則如圖10的(b)所示,在第十相位中,維持將第二組的驅(qū)動擋塊32向Y 方向驅(qū)動的第一壓電元件62的變形而維持前端部32a與轉(zhuǎn)動體4接觸的狀態(tài)(參照圖11 的(b)、第十相位)。在此狀態(tài)下,如圖10的(b)所示,在第十相位中,第二壓電元件72厚度切變變形。因此,前端部3 相對于基部32b以及底部2向X2軸正方向側(cè)移動(參照圖 11的(d)、第十相位)。此時的移動量與在第十相位中新供給的電壓的絕對值成比例。S卩,在第十相位中,如圖10的(a)所示,第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a維持從轉(zhuǎn)動體4分離的狀態(tài)的同時,相對于基部31b以及底部2向Xl軸負(fù)方向側(cè)進一步移動。 與此同時,如圖10的(b)所示,第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 維持與轉(zhuǎn)動體4抵接的狀態(tài)而支撐轉(zhuǎn)動體4的同時,向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向的X2軸正方向側(cè)移動而將轉(zhuǎn)動體 4向旋轉(zhuǎn)方向驅(qū)動。第十一相位以后,重復(fù)進行與從上述的第三相位至第十相位為止的動作相同的動作,從而轉(zhuǎn)動體4繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。由此,通過第一組驅(qū)動擋塊31的前端部31a和前端部3a和第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a,交替(依次)進行轉(zhuǎn)動體4的Y軸方向的支撐以及旋轉(zhuǎn)防線R的驅(qū)動,轉(zhuǎn)動體4繼續(xù)圍繞支撐軸5旋轉(zhuǎn)。本實施方式的壓電致動器1分別獨立地設(shè)置有將各驅(qū)動擋塊3向與支撐軸5平行的方向(第一方向)驅(qū)動的第一壓電體6、和將驅(qū)動擋塊3的前端部3a向沿著轉(zhuǎn)動體4 的旋轉(zhuǎn)方向R的驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向(第二方向)驅(qū)動的第二壓電元件7。因此,能夠?qū)⒏鱾€方向的振動作為獨立的振動來取出。因此,通過驅(qū)動擋塊3旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體4而相對驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4和驅(qū)動擋塊3時,與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體4。另外,與夾住基部北的第一壓電元件6向相互不同的方向驅(qū)動基部北的情況相比,不容易產(chǎn)生損失,能夠提高能量效率,從而能夠加大壓電致動器1的輸出。另外,第一壓電元件6從寬度w3方向夾住驅(qū)動擋塊3的基部北,第一壓電元件6 向與寬度《3方向不同的與支撐軸5平行的方向驅(qū)動驅(qū)動擋塊3。另外,夾住基部北的一對第一壓電元件6、6的尺寸以及形狀大致相等。由此,能夠使驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性變得均等。因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向振動。另外,通過將所有的第一壓電元件6以及第二壓電元件7設(shè)為相同的形狀以及尺寸,使制造變得容易,從而能夠提高生產(chǎn)率。此外,在底部2設(shè)置有以能夠向與支撐軸5平行的方向驅(qū)動的方式保持驅(qū)動擋塊3 的保持部2a。在保持部加設(shè)置有從驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向支撐驅(qū)動擋塊3的基部北的支撐面2f。因此,可通過支撐面2f支撐第一壓電元件6,并經(jīng)由第一壓電元件6從寬度 3方向支撐驅(qū)動擋塊3的基部北。由此,能夠進一步提高驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性,能夠抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向的振動。在此,第一壓電元件6的厚度方向的彈性模量(縱彈性模量)大于變形方向的彈性模量(橫彈性模量)。另外,第二壓電元件7的厚度方向的彈性模量(縱彈性模量)也大于變形方向的彈性模量(橫彈性模量)。因此,能夠提高驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的剛性,并降低基部北的驅(qū)動方向的剛性。由此,能夠防止基部北的寬度w3方向的移動而抑制振動。另外,能夠使基部北的驅(qū)動方向的位移變得容易。在此,本實施方式的驅(qū)動擋塊3在各前端部3a設(shè)置有傾斜面S2、S3,并設(shè)置成與前端部3a的接觸面Sl平行的截面積越靠近轉(zhuǎn)動體4就越小的前端狹窄狀。因此,即使在研磨接觸面Sl的情況下、接觸面Sl經(jīng)時間而被磨損的情況下,與未設(shè)置傾斜面S2、S3的情況相比,也能夠抑制驅(qū)動擋塊3的體積的減少。因此,能夠使驅(qū)動擋塊3的質(zhì)量減少變得最小,能夠?qū)⒅悟?qū)動部Ia的固有振動頻率的變動降低到能夠忽視的程度。由此,能夠?qū)⒅悟?qū)動部Ia繼續(xù)在共振狀態(tài)下驅(qū)動,從而能夠長時間維持壓電致動器1的高輸出。另外,如圖5A以及圖5B所示,保持部加的支撐面2f相對于與驅(qū)動軸3的支撐軸 5平行的方向傾斜設(shè)置,從轉(zhuǎn)動體4分離而越靠近保持部加的底面2g,支撐面2f、2f彼此的寬度《4越窄。另外,支撐面2f、2f彼此的寬度w4’與底面2g相比在轉(zhuǎn)動體4側(cè)窄于驅(qū)動擋塊3的基部北和一對第一壓電元件6的寬度w5。因此,如果將驅(qū)動擋塊3的基部北和夾住其的第一壓電元件6、6從轉(zhuǎn)動體4側(cè)沿著與支撐軸5平行的方向插入到保持部加的底面2g側(cè),則在支撐面2f的途中,基部北和第一壓電元件6從寬度w4方向被支撐面2f夾住并支撐。由此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3定位到與支撐軸5平行的方向。另外,支撐面2f不限制驅(qū)動擋塊3的向轉(zhuǎn)動體4側(cè)的驅(qū)動,因此能夠保持成可將驅(qū)動擋塊3向轉(zhuǎn)動體4側(cè)驅(qū)動。另外,與支撐面2f相向的驅(qū)動擋塊3的基部北的側(cè)面3c與支撐面2f相同地傾斜而與支撐面2f大致平行地設(shè)置。因此,在將驅(qū)動擋塊3的基部北和夾住該基部北的第一壓電元件6、6從轉(zhuǎn)動體4側(cè)沿著與支撐軸5平行的方向插入到保持部加的底面2g側(cè)時, 使第一壓電元件6和保持部加的支撐面2f無間隙地接觸,而能夠?qū)⒌谝粔弘娫?壓接到支撐面2f。由此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3的基部北的寬度w3方向的振動。另外,支撐面2f相對于與支撐軸5平行的方向的傾斜角α為2°以上6°以下, 因此能夠?qū)⑴c驅(qū)動擋塊3的支撐軸5平行的方向上的定位誤差納入到容許誤差的范圍。在此,如果傾斜角α小于2°,則不僅定位精度下降而且制作困難。另外,如果傾斜角α大于 6°,則對與驅(qū)動擋塊3的支撐軸5平行的方向上的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。在本實施方式中,通過將傾斜角α設(shè)為4°,能夠使定位精度、制作性以及驅(qū)動性變得良好。另外,在驅(qū)動擋塊3被保持部加的支撐面2f定位的中立位置上,驅(qū)動擋塊3的基部北的底面3d和保持部加的底面2g在驅(qū)動擋塊3的基部北的驅(qū)動方向即與支撐軸5 平行的方向上分離。因此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3從中立位置向底部2側(cè)驅(qū)動。再有,在本實施方式中,在將驅(qū)動擋塊3從中立位置向底部2側(cè)驅(qū)動時,基部北的底面3d和保持部加的底面2g分離。因此,防止在將驅(qū)動擋塊3向底部2側(cè)驅(qū)動時基部北的底面3d和保持部加的底面2g碰撞,能夠防止在驅(qū)動擋塊3的驅(qū)動中因碰撞產(chǎn)生壞影響。
另外,驅(qū)動擋塊3具備支撐轉(zhuǎn)動體4而使其向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動的前端部3a、和以被一對第一壓電元件6所夾住的狀態(tài)被底部2的保持部加所保持的基部北。再有,驅(qū)動擋塊 3在前端部3a和基部北之間具備第二壓電元件7,其將前端部3a向沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的保持部加以及驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向驅(qū)動。因此,通過將驅(qū)動擋塊3向?qū)挾葁3方向驅(qū)動,旋轉(zhuǎn)方向R的切線方向的摩擦力作用于轉(zhuǎn)動體4的下面和驅(qū)動擋塊3的前端部3a之間,從而能夠?qū)⑥D(zhuǎn)動體4向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,能夠?qū)⒌谝粔弘娫?以及第二壓電元件7分別獨立地控制。由此,能夠獨立地控制驅(qū)動擋塊3的前端部3a的沿著支撐軸5的方向的驅(qū)動、和沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R 的方向的驅(qū)動。另外,使第一壓電元件6以及第二壓電元件7同時動作,從而能夠同時進行驅(qū)動擋塊3的前端部3a的沿著支撐軸5的方向的驅(qū)動、和沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向的驅(qū)動。因此,如圖8至圖10所示,轉(zhuǎn)動體4和前端部3a接觸時以及分離時,使驅(qū)動擋塊 3的前端部3a沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R移動,從而不妨礙轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)而能夠進行轉(zhuǎn)動體4的從第一組的驅(qū)動擋塊31向第二組的驅(qū)動擋塊32的傳遞。另外,構(gòu)成了第一組和第二組的兩組驅(qū)動擋塊3的組,該驅(qū)動擋塊3的組中驅(qū)動擋塊3以及夾住其基部北的兩對的第一壓電元件6、6各具備三個。因此,能夠以不同的時序驅(qū)動各組。另外,能夠通過各組的驅(qū)動擋塊31、32的前端部31a、3h三點支撐轉(zhuǎn)動體4。因此,與兩點支撐、四點以上的支撐的情況相比能夠穩(wěn)定地進行轉(zhuǎn)動體4的支撐。另外,各組的驅(qū)動擋塊31、32均等地配置在轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R,第一組和第二組的驅(qū)動擋塊31、32交替地依次配置在旋轉(zhuǎn)方向R。因此,通過各組的驅(qū)動擋塊31、32高平衡地支撐轉(zhuǎn)動體4,能夠高效地向旋轉(zhuǎn)方向R驅(qū)動。另外,驅(qū)動擋塊3的前端部3a驅(qū)動的方向為與驅(qū)動擋塊3的基部北被第一壓電元件6以及保持部加的支撐面2f夾住的方向相同的方向。因此,驅(qū)動擋塊3的前端部3a 進行進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的情況下,能夠從驅(qū)動方向的前后支撐驅(qū)動擋塊3的基部3b。 因此,能夠抑制驅(qū)動擋塊3從與支撐軸5平行的方向偏離,防止對轉(zhuǎn)動體4的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,電源部10通過對第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊31、32供給具有相位差的電壓,能夠由各組的驅(qū)動擋塊分別驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。另外,通過將電源部10供給至各組的第一壓電元件6以及第二壓電元件7的電壓的相位差設(shè)為180°,能夠通過第一組的驅(qū)動擋塊31以及第二組的驅(qū)動擋塊32交替地依次驅(qū)動轉(zhuǎn)動體4。另外,通過電源部10對各組的第一壓電元件6以及第二壓電元件7供給電壓,使得驅(qū)動擋塊3的前端部3a依次重復(fù)與轉(zhuǎn)動體4的接觸、向驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的進給、從轉(zhuǎn)動體4的分離、驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向的返回,從而能夠連續(xù)進行轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。另外,如圖7的第三相位、第七相位、第十四相位所示,電源部10使向第一端子Tl 供給的電壓和向第二端子T2供給的電壓交疊。由此,能夠連續(xù)且流暢地進行轉(zhuǎn)動體4從第一組的驅(qū)動擋塊31到第二組的驅(qū)動擋塊32的傳遞。
另外,如圖7所示,電源部10在使驅(qū)動擋塊3的前端部3a進行寬度w3方向的進給驅(qū)動時,使供給至第三端子T3以及第四端子T4的電壓的增加率(傾斜度)和進行返回驅(qū)動時的電壓的減少率(傾斜度)不同。例如,在第三端子T3中,在進給驅(qū)動前端部3a的第二相位至第八相位為止的各相位中將電壓各提高1. 0V,在返回驅(qū)動前端部3a的第九相位至第十相位為止的各相位中將電壓各減少3. 0V。由此,能夠使驅(qū)動擋塊3的前端部3a的進給驅(qū)動時間長于返回驅(qū)動的時間,從而能夠使驅(qū)動擋塊3的前端部3a和轉(zhuǎn)動體4的接觸時間變長。因此,能夠?qū)Ⅱ?qū)動擋塊3的動力更加高效地傳遞至轉(zhuǎn)動體4。另外,電源部10供給至第一壓電元件6以及第二壓電元件7的電壓的頻率與由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及底部2構(gòu)成的支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的振動頻率大致相等。因此,能夠進一步加大由驅(qū)動擋塊3的前端部3a進行的轉(zhuǎn)動體4的進給驅(qū)動以及返回驅(qū)動的振幅。通過適當(dāng)?shù)剡x擇底部2、壓電元件、驅(qū)動擋塊3的前端部3a以及基部北的材質(zhì),能夠調(diào)節(jié)支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的頻率。另外,在本實施方式中,如圖7所示,從第一端子Tl以及第二端子T2供給至各組的驅(qū)動擋塊31、32的第一壓電元件61、62的電壓的周期,與從第三端子T3以及第四端子T4 供給至各組的第二壓電元件71、72的電壓的周期相等。因此,平行于驅(qū)動擋塊31、32的支撐軸5的方向的驅(qū)動的振動頻率與驅(qū)動擋塊31、32的寬度w31、w32方向的前端部31a、3h 的驅(qū)動的振動頻率相等。由此,能夠?qū)⑵叫杏谥屋S5的方向的驅(qū)動擋塊31、32的振幅、和驅(qū)動擋塊31、32的寬度w31、w32方向的前端部3la、32a的振幅設(shè)為最大振幅。另外,驅(qū)動擋塊3前端部3a設(shè)置成沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的截面積越靠近轉(zhuǎn)動體4就越小的前端狹窄狀。因此,與將前端部3a形成為長方體形狀的情況相比,能夠減小前端部3a和轉(zhuǎn)動體4的接觸面積,能夠使因前端部3a的磨損而產(chǎn)生的前端部3a的體積變化率變小。由此,能夠使因前端部3a的磨損而產(chǎn)生的前端部3a的重量變化變小,能夠使驅(qū)動擋塊3的共振頻率的變化變小。另外,通過將前端部3a設(shè)為六角柱形狀,與其他形狀相比能夠提高前端部3a的剛性。另外,在與支撐軸5大致平行地設(shè)置且與驅(qū)動擋塊3的寬度w3方向大致垂直地交叉的底部2的側(cè)面2c上形成有槽部2d。S卩,槽部2d設(shè)置成相對于經(jīng)由底部2傳播的與支撐軸5大致平行方向的振動大致垂直地交叉。因此,能夠通過槽部2d吸收振動,減少因底部2產(chǎn)生振動的傳播。另外,第一壓電元件6設(shè)置在轉(zhuǎn)動體4和槽部2d之間。因此,能夠減少從底部2 的與轉(zhuǎn)動體4的相反側(cè)越過槽部2d而傳播的振動。另外,底部2的與保持驅(qū)動擋塊3的保持部加相反側(cè)的端部固定在安裝部IOla 上,槽部2d設(shè)置在與驅(qū)動擋塊3相比靠近安裝部IOla的位置。因此,即使在安裝部IOla的振動傳播到底部2的情況下,在離驅(qū)動擋塊3比較遠(yuǎn)的位置減少振動,能夠防止安裝部IOla 的振動對驅(qū)動擋塊3的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。另外,槽部2d的與支撐軸5平行的方向的寬度wl大于底部2的振動的振幅。因此,能夠防止槽部2的兩側(cè)的底部2彼此碰撞。另外,槽部2d的與支撐軸5平行方向的寬度wl大于由底部2、驅(qū)動擋塊3、第一壓電元件6以及第二壓電元件7構(gòu)成的支撐驅(qū)動部Ia的共振振動的振幅。因此,即使支撐驅(qū)動部Ia在共振狀態(tài)下振動時,也能夠防止槽部2d的兩側(cè)的底部2彼此碰撞。
另外,通過將槽部2d的深度dl設(shè)為底部2的半徑的40%以上且80%以下,而在充分確保底部2的強度的同時,能夠獲得充分的抑制振動傳播的效果。另外,在底部2和支撐軸5之間形成有間隙2e,因此能夠減少從底部2傳播到支撐軸5的振動。另外,能夠減少從支撐軸5傳播到底部2的振動。因此,能夠防止對驅(qū)動擋塊 3以及轉(zhuǎn)動體4的驅(qū)動產(chǎn)生壞影響。接著,作為具備本實施方式的壓電致動器1的透鏡鏡筒的一例說明可換透鏡。本實施方式的可換透鏡與未圖示的相機主體一起形成相機系統(tǒng),可裝卸地安裝在相機主體上??蓳Q透鏡可切換為根據(jù)公知的AF(自動對焦)控制進行對焦動作的AF模式、和根據(jù)來自拍攝者的手動輸入而進行對焦動作的MF(手動對焦)模式。圖12是表示本實施方式的可換透鏡100的分解立體圖。如圖12所示,可換透鏡100具備固定筒101、外筒102、對焦操作筒103、驅(qū)動部 104。雖然在圖12中省略圖示,但在固定筒101的內(nèi)側(cè)設(shè)置有透鏡組室以及被保持筒保持的三組構(gòu)成的透鏡組。各透鏡組配置在光軸方向,由用于變焦動作時的一對透鏡組、和設(shè)置在其之間而用于對焦動作的透鏡組構(gòu)成。驅(qū)動部104是在AF控制時根據(jù)來自未圖示的AF控制部的信號使對焦操作筒103 圍繞光軸旋轉(zhuǎn)的部分。驅(qū)動部104具備支撐部105、壓電致動器1、對焦操作筒側(cè)齒輪103a以及罩體108。支撐部105是用于將壓電致動器1支撐到固定筒101的部分。支撐部105具備安裝部IOla以及軸承部101b。安裝部IOla支撐壓電致動器1的一端側(cè)。安裝部IOla是從固定筒101的外周面的一部分向其外徑側(cè)以凸緣狀突出而形成的部分,與固定筒101 —體形成。軸承部IOlb與安裝部IOla相同地從固定筒101的外周面的一部分向其外徑側(cè)突出而與固定筒101形成為一體,并設(shè)置成支撐一端側(cè)固定在壓電致動器1的轉(zhuǎn)動體4上的旋轉(zhuǎn)軸106的另一端側(cè)。壓電致動器1的底部2的端部固定在安裝部IOla上。在旋轉(zhuǎn)軸106的一端側(cè)設(shè)置有輸出側(cè)齒輪107,另一端側(cè)與轉(zhuǎn)動體4固定為一體。 旋轉(zhuǎn)軸106獨立地設(shè)置在壓電致動器1的與支撐軸5 (參照圖2、相同軸上。輸出側(cè)齒輪 107與設(shè)置在對焦操作筒103的對焦操作筒側(cè)的齒輪103a嚙合。罩體108用于保護上述的壓電致動器1,通過未圖示的螺絲等固定在固定筒101??蓳Q透鏡100經(jīng)由外筒102裝卸自如地設(shè)置在相機主體上??蓳Q透鏡100在AF模式下,例如根據(jù)來自設(shè)置在相機主體上的AF控制部的信號, 使壓電致動器1的電源部10動作,而使壓電致動器1的轉(zhuǎn)動體4旋轉(zhuǎn)。通過轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)軸106旋轉(zhuǎn),通過此旋轉(zhuǎn)使對焦操作筒103圍繞光軸旋轉(zhuǎn)。對焦操作筒103通過此旋轉(zhuǎn)經(jīng)由未圖示的對焦用凸輪機構(gòu),使得用于對焦動作的透鏡組向光軸方向進退動作。如上在可換透鏡100中進行AF動作。另一方面,在MF模式下,對焦操作筒103通過拍攝者手動地圍繞光軸旋轉(zhuǎn)操作。對焦操作筒103與AF模式相同地,通過此旋轉(zhuǎn)使得用于對焦動作的透鏡組向光軸方向進退動作。如上在可換透鏡100中進行MF動作。如上所說明,根據(jù)本實施方式的可換透鏡100,由于具備能夠?qū)⒉煌膬蓚€方向振動作為各自獨立的振動取出而能夠增大輸出的壓電致動器1,因此,能夠降低在AF模式下的電消耗量。另外,不需要使用中間齒輪、最終齒輪等,能夠?qū)弘娭聞悠?的動力直接傳遞至對焦操作筒103。因此,能量損失較小,能夠獲得節(jié)能的效果。另外,可削減部件個數(shù)。此外,本實施方式可以進行多種變形。例如,底部只要是設(shè)置成圍繞支撐軸,可分割為多個,也可以不完全圍繞支撐軸。例如,也可以偏向圍繞支撐軸的圓周上的一半而配置,也可以以從兩側(cè)夾住支撐軸的方式配置。另外,在上述的實施方式中,說明了以夾住驅(qū)動擋塊的方式設(shè)置有一對第一壓電元件的情況,其中,該第一壓電元件將驅(qū)動擋塊向與支撐軸平行的方向驅(qū)動。替代此方式, 第一壓電元件也可以僅設(shè)置于驅(qū)動擋塊的一個側(cè)面上。另外,也可以使用向厚度方向位移的壓電元件作為第一壓電元件,將第一壓電元件配置在底部的保持部的底面和驅(qū)動擋塊的基部的底面之間。在此情況下,通過設(shè)置在底部的保持部的支撐面不經(jīng)由壓電元件而從沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的保持部的寬度方向的兩側(cè)直接支撐基部。另外,也可以使支撐面起到導(dǎo)向部的作用,其中,該導(dǎo)向部將基部保持成能夠向與支撐軸平行的方向滑動。另外,在上述實施方式中,說明了具備兩組、包括第一壓電元件以及第二壓電元件的驅(qū)動擋塊的組的情況,但驅(qū)動擋塊組也可以為三組以上。另外,驅(qū)動擋塊組所具備的驅(qū)動擋塊的個數(shù)也可以為一個、兩個或四個以上。例如,在上述的實施方式中,也可以將配置在底部的對角上的兩個驅(qū)動擋塊作為一組,構(gòu)成三組的驅(qū)動擋塊組。在此情況下,各組的電壓的相位差例如可以為120度。由此,可以始終通過兩組的驅(qū)動擋塊支撐、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動體。驅(qū)動擋塊的各組的電壓相位差可以為將360度除以組數(shù)的值(即兩組的情況為180度、三組的情況為120度)。另外,在上述實施方式中,說明了第一壓電元件夾住驅(qū)動擋塊的基部的方向(第二方向)、和第二壓電元件驅(qū)動驅(qū)動擋塊的前端部的方向(第三方向)相同的情況,但這些方向也可以不同。例如,通過將第三方向設(shè)為與驅(qū)動擋塊的寬度w3方向交叉且沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的方向,也可以使轉(zhuǎn)動體容易旋轉(zhuǎn)。另外,底部的支撐面也可以不與平行于支撐軸的方向(第一方向)傾斜。例如,如圖13A所示,也可以在保持部設(shè)置凸起狀的卡止部,其用于卡止第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬?。另外,如圖13B所示,也可以通過使第一壓電元件的保持部的底面?zhèn)鹊亩瞬客怀鲇诨康牡酌娑蛊淦鸬蕉ㄎ徊康淖饔?,并通過使定位部碰到保持部的底面來進行定位。另外,從確保底部的強度的觀點,也可以將底部和支撐軸之間的間隙形成至槽部的保持部側(cè)的邊緣。另外,也可以將從電源部的各端子向第一壓電元件以及第二壓電元件供給的電壓設(shè)為正弦波、正弦波狀的電壓波形。首先,使用圖14以以下情況為例進行說明,即,與上述實施方式相同地,驅(qū)動擋塊的組為第一組和第二組的兩組構(gòu)成,產(chǎn)生于電源部的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°,產(chǎn)生于第三端子和第四端子的正弦波的電壓波形的相位差為 180°的情況。與圖11的(a)至圖11的(d)相同地,圖14的(a)表示第一組的驅(qū)動擋塊的前端部的Y方向的位移,圖14的(b)表示第二組的驅(qū)動擋塊的Y方向的位移。另外。圖14的 (c)表示第一組的驅(qū)動擋塊的Xl方向的位移,圖14的(d)表示第二組的X2方向的位移(參照圖8至圖10)。在產(chǎn)生于電源部的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°的情況下,如圖14的(a)以及圖14的(b)所示,向Y軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊的前端部描畫具有180°的相位差的正弦波狀的軌跡。此時,如圖14(a)中的粗線所示,如果Y軸方向的位移超過接觸位置yl,則第一組的驅(qū)動擋塊的前端部與轉(zhuǎn)動體接觸(參照圖8至圖10)。另外,如圖14的(b)中的粗線所示,第二組的驅(qū)動擋塊的前端部也同樣與轉(zhuǎn)動體接觸。在此,圖14的(a)所示的第一組的驅(qū)動擋塊的軌跡與圖14的(b)所示的第二組的驅(qū)動擋塊的軌跡具有180°的相位差。因此,第一組的驅(qū)動擋塊的前端部和第二組的驅(qū)動擋塊的前端部交替地與轉(zhuǎn)動體接觸而支撐轉(zhuǎn)動體(參照圖8至圖10)。此時,與上述實施方式相同地,存在雙方的驅(qū)動擋塊的前端部從轉(zhuǎn)動體分離的期間。但是,與上述的實施方式相同地,在此期間,轉(zhuǎn)動體因其慣性而幾乎不向Y方向位移。相同地,在產(chǎn)生于電源部的第二端子和第三端子的正弦波的電壓波形的相位差為 180°的情況下,如圖14的(c)以及圖14的(d)所示,向Xl軸方向以及X2軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊的前端部描畫正弦波狀的軌跡(參照圖8至圖10)。在此,如圖14的(C)中粗線所示,第一組的驅(qū)動擋塊的前端部在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(圖14的(a)所示的粗線部分的期間),向沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的Xl軸正方向移動 (參照圖8至圖10)。另外,如在圖14的(d)中用粗線所示,第二組的驅(qū)動擋塊的前端部也相同地,在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(圖14的(b)所示的粗線部分的期間),向沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的X2軸正方向移動。因此,與上述的實施方式相同地,轉(zhuǎn)動體通過第一組的驅(qū)動擋塊和第二組的驅(qū)動擋塊交替地向旋轉(zhuǎn)方向驅(qū)動(參照圖8至圖10)。接著,使用圖15說明以下情況,S卩,驅(qū)動擋塊組為第一組至第三組的三組構(gòu)成,在電源部的各端子產(chǎn)生具有120°相位差的正弦波或正弦波狀的電壓波形的情況。在此情況下,作為電源部使用如下結(jié)構(gòu)除了具備上述第一端子至第四端子之外,還具備對第三組的驅(qū)動擋塊的第一壓電元件和第二壓電元件分別供給電壓的第五端子和第六端子。另外,與第一組的驅(qū)動擋塊的Xl方向以及第二組的驅(qū)動擋塊的X2方向(參照圖8至圖10)相同地,將垂直于支撐軸且沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的第三組驅(qū)動擋塊的寬度方向(保持部的寬度方向)設(shè)為X3方向。圖15的(a)表示第一組至第三組的驅(qū)動擋塊的前端部的Y方向的位移,圖15的 (b)表示第一組至第三組的驅(qū)動擋塊的前端部的Xl至X3方向的位移。在圖15的(a)以及圖15的(b)中,用實線表示第一組的驅(qū)動擋塊的前端部的軌跡,用虛線表示第二組的驅(qū)動擋塊的前端部的軌跡,用點劃線表示第三組的驅(qū)動擋塊的軌跡。在電源部供給至各組的第一壓電元件的電壓波形具有120°相位差的情況下,如圖15的(a)所示,向Y軸方向驅(qū)動的各組的驅(qū)動擋塊的前端部描畫具有120°相位差的正弦波狀的軌跡。此時,如在圖15的(a)中用粗線所示,如果Y軸方向的位移超過接觸位置 yl,則各組的驅(qū)動擋塊的前端部與轉(zhuǎn)動體接觸(參照圖8至圖10)。
在此,如15的(a)所示的各組的驅(qū)動擋塊的軌跡具有120°的相位差。因此,各組的驅(qū)動擋塊的前端部依次與轉(zhuǎn)動體接觸而支撐轉(zhuǎn)動體(參照圖8至圖10)。此時,與上述的實施方式相同地,存在各組的驅(qū)動擋塊的前端部從轉(zhuǎn)動體分離的期間。但是,與上述的實施方式相同地,在此期間,轉(zhuǎn)動體因其慣性而幾乎不向Y方向位移。相同地,在電源部供給至各組的第二壓電元件的電壓波形具有120°的相位差的情況下,如圖14的(b)所示,向Xl X3軸方向驅(qū)動的各組的驅(qū)動擋塊的前端部描畫正弦波狀的軌道(參照圖8至圖10)。在此,如在圖15的(b)中用粗線所示,各組的驅(qū)動擋塊的前端部在與轉(zhuǎn)動體接觸期間(圖15的(a)所示的粗線部分的期間)向沿著轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向的Xl X3軸正方向移動(參照圖8至圖10)。因此,與上述的實施方式相同地,轉(zhuǎn)動體通過各組的驅(qū)動擋塊依次向旋轉(zhuǎn)方向驅(qū)動(參照圖8至圖10)。在上述的實施方式中,例如,設(shè)為底部2通過不銹鋼等金屬材料形成為中空圓筒狀。在其他實施方式中,底部2的全部或一部分可以由具有彈性的彈性體形成。S卩,底部2 的至少一部分可以具有彈性。在該實施方式中,例如底部2的實質(zhì)上的全部或至少凸部池、 2i (圖4)可以為彈性體。在此,底部以外的壓電致動器1的構(gòu)成可以與上述的實施方式相同。在該實施方式中,電源部10供給至第一壓電元件6以及第二壓電元件7的電壓的頻率可以與由第一壓電元件6、第二壓電元件7、驅(qū)動擋塊3以及底部2構(gòu)成的支撐驅(qū)動部 Ia的共振頻率大致相等。另外,從電源部10的各端子向第一壓電元件6以及第二壓電元件 7供給的電壓波形可以為正弦波。代替此,如果供給電壓的頻率與支撐驅(qū)動部Ia的共振頻率大致相等,則可以為矩形波等其他波形。在此,使用圖16以及圖17A至圖17D說明底部2的至少一部分由彈性體形成且供給的電壓的波形為正弦波的情況的作用。在圖16以及圖17A至圖17D中,使用將沿著轉(zhuǎn)動體4的旋轉(zhuǎn)方向R的方向作為X4 方向且將平行于支撐軸5的方向作為Y方向的坐標(biāo)系。在圖16以及圖17A至圖17D中,與上述的實施方式相同地,驅(qū)動擋塊的組由第一組的驅(qū)動擋塊31以及第二組的驅(qū)動擋塊32的兩組構(gòu)成,產(chǎn)生于電源部10的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°,產(chǎn)生于第三端子和第四端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°。此外,如圖4所示,將形成于底部2的六個凸部(凸起)中的、第二組的驅(qū)動擋塊 32位于其旋轉(zhuǎn)方向的前進側(cè)的三個凸部作為第一凸部2h,將第一組的驅(qū)動擋塊31位于其旋轉(zhuǎn)方向的前進側(cè)的三個凸部作為第二凸部2i。第一凸部池以及第二凸部2i具有彈性。在圖16的(a)中,用粗線表示第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a的Y方向的位移,用實線表示夾住第一組的驅(qū)動擋塊31的第一壓電元件61的Y方向的厚度切變變形量, 用虛線表示支撐第一組的驅(qū)動擋塊31的支撐面2f的Y方向的位移。在圖16的(b)中,用粗線表示第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部32a的Y方向的位移,用實線表示夾住第二組的驅(qū)動擋塊32的第一壓電元件62的Y方向的厚度切變變形量, 用虛線表示支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐面2f的Y方向的位移。
在圖16的(c)中,用粗線表示第一組的驅(qū)動擋塊31的前端部31a的X4方向的位移,用實線表示設(shè)置在第一組的驅(qū)動擋塊31上的第二壓電元件71的X4方向的厚度切變變形量,用虛線表示支撐第一組的驅(qū)動擋塊31的支撐面2f的X4方向的位移。在圖16的(d)中,用粗線表示第二組的驅(qū)動擋塊32的前端部3 的X4方向的位移,用實線表示設(shè)置在第二組的驅(qū)動擋塊32上的第二壓電元件72的X4方向的厚度切變變形量,用虛線表示支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐面2f的X4方向的位移。在產(chǎn)生于電源部10的第一端子和第二端子的正弦波的電壓波形的相位差為 180°的情況下,如圖16的(a)以及圖16的(b)所示,向Y軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊3的前端部3a描畫具有180°相位差的正弦波狀的軌跡。另外,在產(chǎn)生于電源部10的第三端子和第四端子的正弦波的電壓波形的相位差為180°的情況下,如圖16的 (c)以及圖16的(d)所示,向X4軸方向驅(qū)動的第一組以及第二組的驅(qū)動擋塊3的前端部 3a描畫具有180°相位差的正弦波狀的軌跡。此時,通過該驅(qū)動擋塊3的振動,底部2發(fā)生共振,并且底部2的至少一部分彈性變形。在本實施方式中,設(shè)置在底部2且支撐驅(qū)動擋塊 3的支撐部2f位移。在圖16的A點上,第一組的驅(qū)動擋塊31向Y方向產(chǎn)生正的位移,與此相對地,第二組的驅(qū)動擋塊32向Y方向產(chǎn)生負(fù)的位移。對第一凸部產(chǎn)生剪切力的結(jié)果,如圖17A所示,第一凸部池通過該剪切力向Y方向剪切變形。支撐第一組的驅(qū)動擋塊31的支撐部2f 向Y方向產(chǎn)生正的位移,支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐部2f向Y方向產(chǎn)生負(fù)的位移。在圖16的B點上,第一組的驅(qū)動擋塊31向Y方向產(chǎn)生負(fù)的位移,與此相對地,第二組的驅(qū)動擋塊32向Y方向產(chǎn)生正的位移。對第一凸部池產(chǎn)生剪切力的結(jié)果,如圖17B所示,第一凸部池通過該剪切力向Y方向剪切變形。支撐第一組的驅(qū)動擋塊31的支撐部2f 向Y方向產(chǎn)生負(fù)的位移,支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐部2f向Y方向產(chǎn)生正的位移。在圖16的C點上,第一組的驅(qū)動擋塊31向X4方向產(chǎn)生正的位移,與此相對地,第二組的驅(qū)動擋塊32向X4方向產(chǎn)生負(fù)的位移。對第一凸部池產(chǎn)生壓縮力的結(jié)果,如圖17C 所示,第一凸部池通過該壓縮力向轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向壓縮變形。支撐第一組的驅(qū)動擋塊31 的支撐部2f向X4方向產(chǎn)生正的位移,支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐部2f向X4方向產(chǎn)生負(fù)的位移。在圖16的D點上,第一組的驅(qū)動擋塊31向X4方向產(chǎn)生負(fù)的位移,與此相對地,第二組的驅(qū)動擋塊32向X4方向產(chǎn)生正的位移。對第一凸部池產(chǎn)生張力的結(jié)果,如圖17D所示,第一凸部池通過該張力向轉(zhuǎn)動體的旋轉(zhuǎn)方向拉伸變形。支撐第一組的驅(qū)動擋塊31的支撐部2f向X4方向產(chǎn)生負(fù)的位移,支撐第二組的驅(qū)動擋塊32的支撐部2f向X4方向產(chǎn)生正的位移。在此說明了因第一壓電元件6以及第二壓電元件7的驅(qū)動而產(chǎn)生的第一凸部2h 的彈性變形、和由此產(chǎn)生的支撐部2f的位移,但也可以使第二凸部2i的相位與第一凸部的相位相差180°而相同地進行變形。在本實施方式中,通過第一凸部池以及第二凸部2i的彈性變形,支撐部2f以與驅(qū)動擋塊的位移相同的周期進行位移。驅(qū)動擋塊3的前端部3a的位移是因第一壓電元件 6以及第二壓電元件7的厚度切變變形而產(chǎn)生的位移和支撐部2f的位移的相加。在本實施方式中,除了利用因第一壓電元件6以及第二壓電元件7的厚度切變而產(chǎn)生的位移之外,還利用因底部2的彈性變形而產(chǎn)生的位移,由此使驅(qū)動擋塊以更大的振幅驅(qū)動。由此,能夠加大壓電致動器的輸出,能夠?qū)Ⅱ?qū)動所需的電壓進行低電壓化。再有, 通過使包括底部2的支撐驅(qū)動部Ia共振,利用因設(shè)置在底部的凸面的面內(nèi)的彎曲以及面外的彎曲而產(chǎn)生的振動,能夠最大限度地發(fā)揮其效果。
權(quán)利要求
1.一種壓電致動器,其特征在于,具備 多個第一壓電元件;第一部件,被上述多個第一壓電元件的相互相向的面夾住,由上述多個第一壓電元件向第一方向驅(qū)動;第二壓電元件,設(shè)置于上述第一部件;第二部件,與上述第二壓電元件接觸設(shè)置,由上述第二壓電元件向與上述第一方向交叉的第二方向驅(qū)動;以及第三部件,與上述第二部件抵接,通過上述第二部件被驅(qū)動,而相對于上述第一部件相對移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器,其特征在于,還具備第四部件,該第四部件具有與上述多個第一壓電元件各自的上述相互相向的面的相反側(cè)的面抵接的兩個面,經(jīng)由上述多個第一壓電元件支撐上述第一部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電致動器,其特征在于, 上述第四部件具備彈性體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,具備多組具有上述多個第一壓電元件、上述第二壓電元件、上述第一部件和上述第二部件的組。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電致動器,其特征在于,還具備對上述第一壓電元件以及上述第二壓電元件供給電壓的電源部, 上述電源部對各個上述組供給具有相位差的上述電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電致動器,其特征在于,上述電源部供給上述電壓,使得各個上述組的上述第二部件重復(fù)與上述第三部件的接觸、上述第二方向的進給、從上述第三部件的分離、上述第二方向的返回。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的壓電致動器,其特征在于,上述電壓的頻率與由上述第四部件、上述第一部件、上述第二部件、上述第一壓電元件以及上述第二壓電元件構(gòu)成的構(gòu)造體的共振頻率相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項所述的壓電致動器,其特征在于, 上述相位差為360° /N,其中,N為上述組的組數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4至8中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,各個上述組具備三對上述第一壓電元件、三個上述第二壓電元件、三個上述第一部件和三個上述第二部件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,上述第三部件設(shè)置成能夠以與上述第一方向平行的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn), 上述第二方向為沿著上述第三部件的旋轉(zhuǎn)方向的方向。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電致動器,其特征在于,具備多組具有上述多個第一壓電元件、上述第二壓電元件、上述第一部件和上述第二部件的組,各個上述組的上述第一部件均等地配置在上述旋轉(zhuǎn)方向上, 不同的上述組的上述第一部件依次配置在上述旋轉(zhuǎn)方向上。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,上述第二部件設(shè)置成前端狹窄狀以使沿著上述第二方向的截面積越靠近上述第三部件就越小。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,上述多個第一壓電元件的各自的形狀以及尺寸相同。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項所述的壓電致動器,其特征在于,上述第一壓電元件的縱彈性模量大于上述第一壓電元件的橫彈性模量,上述第二壓電元件的縱彈性模量大于上述第二壓電元件的橫彈性模量。
15.一種壓電致動器,其特征在于,具備第一壓電元件,設(shè)置在底部;第二壓電元件,設(shè)置在上述底部的與上述第一壓電元件不同的位置;第一部件,被上述第一壓電元件驅(qū)動;第二部件,被上述第二壓電元件驅(qū)動;以及第三部件,設(shè)置成能夠與上述第一部件和上述第二部件接觸,通過上述第一部件以及上述第二部件被驅(qū)動,而相對于上述第一部件以及上述第二部件相對移動,上述第一部件以及上述第二部件設(shè)置有以使平行于與上述第三部件接觸的接觸面的截面積越靠近上述第三部件就越小的方式相對于上述接觸面傾斜的傾斜面。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓電致動器,其特征在于,上述第一部件經(jīng)由上述第一壓電元件支撐于上述底部,上述第二部件經(jīng)由上述第二壓電元件支撐于上述底部。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓電致動器,其特征在于,上述傾斜面沿著與上述第三部件的相對移動方向交叉的方向設(shè)置。
18.—種透鏡鏡筒,具備權(quán)利要求1至17中任一項所述的壓電致動器。
全文摘要
本發(fā)明的壓電致動器具備多個第一壓電元件;第一部件,被上述多個第一壓電元件的相互相向的面夾住,由上述多個第一壓電元件向第一方向驅(qū)動;第二壓電元件,設(shè)置于上述第一部件;第二部件,與上述第二壓電元件接觸設(shè)置,由上述第二壓電元件向與上述第一方向交叉的第二方向驅(qū)動;以及第三部件,與上述第二部件抵接,通過上述第二部件被驅(qū)動,而相對于上述第一部件相對移動。
文檔編號G02B7/04GK102365815SQ201080015449
公開日2012年2月29日 申請日期2010年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月31日
發(fā)明者桑野邦宏, 金滿容大 申請人:株式會社尼康
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