專(zhuān)利名稱(chēng)：雙視場(chǎng)顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種用于平面兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的專(zhuān)用光學(xué)觀察系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)顯微鏡雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)觀察。
背景技術(shù)：
隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)接觸、接近式光刻設(shè)備，掩模、硅片的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提出了越來(lái)越高的要求，要求對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)不僅要具有高效，而且還要具有很高的對(duì)準(zhǔn)精度。為了達(dá)到接觸、接近式曝光設(shè)備的光刻對(duì)準(zhǔn)，使掩模與樣品上的圖案具有一致的位置關(guān)系，就必須讓掩模上的兩個(gè)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)樣品上的對(duì)應(yīng)兩個(gè)點(diǎn)，才能保證掩模與樣品上每一圖案的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)關(guān)系?；谶@一原理，我們研制一種用于平面兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的專(zhuān)用顯微鏡。這種顯微鏡能在觀察的視場(chǎng)中，同時(shí)看到兩個(gè)視場(chǎng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有單視場(chǎng)顯微鏡不能同時(shí)觀察兩個(gè)視場(chǎng)范圍的不足，本實(shí)用新型提供一種觀察顯微鏡，該觀察顯微鏡既能只觀察一個(gè)視場(chǎng)中的物體；又能同時(shí)觀察兩個(gè)視場(chǎng)中的物體，從而實(shí)現(xiàn)雙視場(chǎng)的對(duì)準(zhǔn)觀察，進(jìn)行兩個(gè)物體的比對(duì)作業(yè)。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的方案是在觀察顯微鏡內(nèi)部設(shè)計(jì)兩路光路系統(tǒng)，主要由左物鏡、半透半反反射鏡、調(diào)距手鈕、照明系統(tǒng)、反射鏡1、反射鏡2、成像透鏡、反射鏡3、換路拉桿、反射鏡4、反射鏡鏡5、三棱反射鏡構(gòu)成。兩路光路系統(tǒng)相互獨(dú)立、互不影響。在兩路光路的頂部設(shè)置了一個(gè)被兩路光路共用的三棱反射鏡，該三棱反射鏡的頂角為 80°。當(dāng)三棱反射鏡置于正中間時(shí)，視場(chǎng)被三棱反射鏡的頂角棱邊分成左右兩個(gè)大小均等的半圓形視場(chǎng)區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)平面兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)觀察，進(jìn)行左右物體的比對(duì)作業(yè)。而當(dāng)三棱反射鏡置于最左邊或最右邊位置時(shí)，觀察者只能看見(jiàn)左物鏡或右物鏡的視場(chǎng)。三棱反射鏡的三個(gè)工作位置均采用鋼球與槽來(lái)實(shí)現(xiàn)定位，方便觀察者操作。本實(shí)用新型的有益效果是，實(shí)現(xiàn)顯微鏡雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)觀察，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)，顯微鏡的放大倍率達(dá)50X-500X ；整體調(diào)焦行程20mm ；相對(duì)調(diào)焦量0. 06mm-lmm能滿(mǎn)足更大硅片的曝光范圍。本光學(xué)觀察顯微鏡實(shí)用性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理示意圖。圖2是成像透鏡的微調(diào)焦結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是雙視場(chǎng)顯微鏡縱向剖面視圖。圖4是當(dāng)三棱鏡位于正中間位置時(shí)的視場(chǎng)分割示意圖。圖中1.左物鏡，2.半透半反反射鏡，3.調(diào)距手鈕，4.照明系統(tǒng)，5.反射鏡1，6.反射鏡2，7.成像透鏡，8.調(diào)焦手鈕，9.手柄，10.反射鏡3，11.換路拉桿，12.反射鏡4，13.反射鏡5，14.三棱反射鏡，15.觀察顯微鏡座，16.調(diào)焦齒輪，17.調(diào)焦齒條，18.調(diào)焦滑塊， 19.調(diào)焦導(dǎo)軌，20.調(diào)焦鏡座，21.調(diào)距滑塊，22.物鏡滑塊，23.棱鏡導(dǎo)軌，24.棱鏡滑塊。
具體實(shí)施方式
在
圖1中，左邊物體發(fā)出的光線(xiàn)通過(guò)物鏡(1)，再透過(guò)半透半反反射鏡(2)射入到反射鏡(1)上，通過(guò)平面反射原理再入射到反射鏡2(6)上，再次反射的光線(xiàn)通過(guò)成像透鏡 (7)入射到反射鏡3 (10)上，反射出的光線(xiàn)再入射到反射鏡4 (12)上，反射鏡4 (12)出射的光線(xiàn)再入射到反射鏡5(13)上，最后再次反射再三棱反射鏡(14)右邊的尖端處形成物體的像。再通過(guò)觀察顯微鏡(1 達(dá)到觀察者的眼睛里。同理，右邊物體發(fā)射的光線(xiàn)也能在三棱反射鏡(14)左邊的尖端位置處形成自己的像。這樣觀察者所看見(jiàn)的視場(chǎng)就被三棱反射鏡的尖棱分割成左右兩個(gè)視場(chǎng)區(qū)域。當(dāng)三棱反射鏡位于正中間時(shí)，視場(chǎng)被分成左右兩個(gè)大小均等的半圓形視場(chǎng)區(qū)域。當(dāng)拉動(dòng)手柄(9) 使三棱反射鏡(14)向左邊移動(dòng)時(shí)，被分割的視場(chǎng)的右邊區(qū)域減小左邊區(qū)域增大；繼續(xù)向左移動(dòng)三棱反射鏡(14)，直到看不見(jiàn)右邊物鏡的視場(chǎng)，這樣觀察者就只能看見(jiàn)左邊物鏡的視場(chǎng)。同理，當(dāng)三棱反射鏡向右邊移動(dòng)時(shí)，被分割的視場(chǎng)的左邊區(qū)域減小右邊區(qū)域增大，繼續(xù)向右移動(dòng)直到看不見(jiàn)左邊物鏡的視場(chǎng)，這樣觀察者就只能看見(jiàn)右邊物鏡的視場(chǎng)。
圖1中，左物鏡可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)距手鈕C3)來(lái)帶動(dòng)螺桿從而實(shí)現(xiàn)左物鏡(1)左右來(lái)回移動(dòng)。右物鏡的移動(dòng)原理同理。
圖1中，照明采用柯拉照明方式，并采用LED燈作為照明光源，光源發(fā)出的光先通過(guò)照明系統(tǒng)(4)再經(jīng)過(guò)半反半透反射鏡O)反射到物體上面，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的照明。在圖2中，成像透鏡(7)安裝在調(diào)焦鏡座00)上，調(diào)焦鏡座00)與調(diào)焦齒條(17) 固定在調(diào)焦滑塊(18)上面，調(diào)焦滑塊(18)能沿著下面的調(diào)焦導(dǎo)軌上下移動(dòng)。旋轉(zhuǎn)調(diào)焦手鈕(8)帶動(dòng)調(diào)焦齒輪(16)，而調(diào)焦齒輪(16)與調(diào)焦齒條(17)嚙合在一起，這樣通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)焦手鈕(8)則可以帶動(dòng)成像透鏡(7)上下來(lái)回移動(dòng)，從而達(dá)到微動(dòng)調(diào)焦的目的。在圖3中，三棱反射鏡(14)固定在棱鏡滑塊02)上，棱鏡滑塊04)拉動(dòng)手柄(9) 可以使棱鏡滑塊0 在其下面的棱鏡導(dǎo)軌上自由地來(lái)回移動(dòng)，從而改變?nèi)夥瓷溏R (14)所處的位置。在圖4中，三棱反射鏡的尖棱把視場(chǎng)一分為二，中間的豎線(xiàn)為三棱反射鏡的棱尖。
權(quán)利要求1.一種用于平面兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)觀察的雙視場(chǎng)顯微鏡，該顯微鏡主要由左物鏡(1)、半透半反反射鏡(2)、調(diào)距手鈕(3)、照明系統(tǒng)(4)、反射鏡1(5)、反射鏡2 (6)、成像透鏡(7)、反射鏡3(10)、換路拉桿(11)、反射鏡4(12)、反射鏡5(13)、三棱反射鏡(14)構(gòu)成，其特征是三棱反射鏡采用頂角為80°的三棱反射鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙視場(chǎng)顯微鏡，其特征是當(dāng)三棱反射鏡(14)位于正中位置時(shí)，視場(chǎng)被三棱反射鏡(14)的頂角棱邊分成左右兩個(gè)大小均等的半圓形視場(chǎng)區(qū)域。
專(zhuān)利摘要一種用于平面兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)觀察的雙視場(chǎng)顯微鏡，該顯微鏡主要由左物鏡(1)、半透半反反射鏡(2)、調(diào)距手鈕(3)、照明系統(tǒng)(4)、反射鏡1(5)、反射鏡2(6)、成像透鏡(7)、反射鏡3(10)、換路拉桿(11)、反射鏡4(12)、反射鏡5(13)、三棱反射鏡(14)構(gòu)成，其內(nèi)部設(shè)計(jì)兩路光路，兩路光路互相獨(dú)立，互不影響，三棱反射鏡(14)被兩路光路所共用，通過(guò)換路拉桿(11)移動(dòng)三棱反射鏡(14)的位置對(duì)左、右視場(chǎng)進(jìn)行切換，再通過(guò)物鏡倍率調(diào)整、以及微調(diào)焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)顯微鏡雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)觀察。
文檔編號(hào)G02B21/18GK202153274SQ201020576619
公開(kāi)日2012年2月29日 申請(qǐng)日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月26日
發(fā)明者伍開(kāi)軍, 夏彪, 黃炎林 申請(qǐng)人:成都科奧達(dá)光電技術(shù)有限公司