專利名稱：一種回收光刻膠的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種回收裝置，尤其涉及一種回收光刻膠的裝置。
背景技術：
在藍光光諜的制備中，母盤生產需要用到粘合劑和光刻膠，母盤上粘合劑和光刻 膠是在同一機臺的設備上完成，這樣多余的粘合劑和光刻劑就會混在一起，無法進行回收 利用而被排放掉，光刻膠價格高，這樣會造成很大的浪費，提高了產品成本，而且直接排放 會對環(huán)境造成污染。
發(fā)明內容本實用新型的目的就是提供一種回收光刻膠的裝置。它能對多余光刻膠進行回收 利用，大大降低生產成本，而且不會污染環(huán)境。本實用新型的技術方案是將母盤上光刻膠單獨在回收光刻膠的裝置上完成。該 裝置包括光刻膠桶、真空壓力泵、光刻膠噴頭、母盤上膠裝置和光刻膠回收桶，其特征是光 刻膠桶連接真空壓力泵，真空壓力泵連接光刻膠噴頭，光刻膠噴頭設置在母盤上膠裝置上 方，母盤上膠裝置連接光刻膠回收桶。使用時將母盤放在母盤上膠裝置上，開動電源，真空 壓力泵將光刻膠抽上，通過光刻膠噴頭將光刻膠噴灑在母盤上，多余的光刻膠回收進入光 刻膠回收桶里。本實用新型的優(yōu)點是在回收光刻膠裝置上單獨對母盤噴施光刻膠，可將昂貴的 光刻膠回收利用，降低生產成本。減少因排放光刻膠而對環(huán)境造成的污染。

圖1為本實用新型的工作原理示意圖。在圖中，1、光刻膠桶2、真空壓力泵3、光刻膠噴頭4、母盤上膠裝置5、光刻膠回收 桶。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型包括光刻膠桶1、真空壓力泵2、光刻膠噴頭3、母盤上膠裝 置4和光刻膠回收桶5，其特征是光刻膠桶1連接真空壓力泵2，真空壓力泵連接光刻膠噴 頭3，光刻膠噴頭設置在母盤上膠裝置4上方，母盤上膠裝置連接光刻膠回收桶5。使用時 將母盤放在母盤上膠裝置上，開動電源，真空壓力泵將光刻膠抽上，通過光刻膠噴頭將光刻 膠噴灑在母盤上，多余的光刻膠回收進入光刻膠回收桶里。
權利要求一種回收光刻膠的裝置，它包括光刻膠桶、真空壓力泵、光刻膠噴頭、母盤上膠裝置和光刻膠回收桶，其特征是光刻膠桶連接真空壓力泵，真空壓力泵連接光刻膠噴頭，光刻膠噴頭設置在母盤上膠裝置上方，母盤上膠裝置連接光刻膠回收桶。
專利摘要一種回收光刻膠的裝置，它包括光刻膠桶、真空壓力泵、光刻膠噴頭、母盤上膠裝置和光刻膠回收桶，其特征是光刻膠桶連接真空壓力泵，真空壓力泵連接光刻膠噴頭，光刻膠噴頭設置在母盤上膠裝置上方，母盤上膠裝置連接光刻膠回收桶。本實用新型的優(yōu)點是在回收光刻膠裝置上單獨對母盤噴施光刻膠，可將昂貴的光刻膠回收利用，降低生產成本。減少因排放光刻膠而對環(huán)境造成的污染。
文檔編號G03F7/26GK201725144SQ20102029168
公開日2011年1月26日 申請日期2010年8月13日 優(yōu)先權日2010年8月13日
發(fā)明者黃劍飛 申請人:江西華文光電股份有限公司