專利名稱：檢測設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及基板測試設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測設(shè)備。
背景技術(shù)：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶 顯示器)的檢測工藝中，需要通過檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器(Modulator)模擬TFT-IXD的顯示原 理，在距離TFT基板上方15微米至20微米處，對TFT基板進(jìn)行檢測。調(diào)節(jié)器是一種鏡面結(jié) 構(gòu)，該鏡面結(jié)構(gòu)的鏡面是一種薄膜材料，且鏡面內(nèi)側(cè)有一層液晶。由于在對TFT基板檢測時(shí) 距離TFT基板非常近，當(dāng)TFT基板上有大的異物時(shí)，會造成鏡面的劃傷，導(dǎo)致鏡面內(nèi)側(cè)的液 晶泄露，使檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器損壞。檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器損壞后無法對TFT基板進(jìn)行檢測，需 要更換調(diào)節(jié)器。并且如果該調(diào)節(jié)器的鏡面臟了，在對TFT基板進(jìn)行檢測時(shí)會出現(xiàn)假不良，影 響檢測結(jié)果，這樣就需要不定期將調(diào)解器拆下進(jìn)行擦拭。傳統(tǒng)的TFT-LCD檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)如圖1所示，Modulator安裝在VI0SSystem(光 學(xué)與成像系統(tǒng))底部的底板上，底板內(nèi)部有兩個(gè)由氣閥控制的卡子來卡住Modulator，如需 要更換或檢查Modulator時(shí)，需將Modulator移動到人可以用雙手能扶住Modulator的位 置，并手動給氣閥信號，氣閥吹，卡子松開，Modulator便可以拆下來了。這樣手動更換或檢測調(diào)節(jié)器，由于沒有很好的防護(hù)措施和工具，很容易因人為操 作失誤造成調(diào)節(jié)器損壞，造成設(shè)備的停機(jī)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種檢測設(shè)備，避免手動更換或檢查調(diào)節(jié)器時(shí)，由于人 為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞，從而減少了調(diào)節(jié)器的損失，并且防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞 導(dǎo)致不必要的停機(jī)。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案—種檢測設(shè)備，包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及設(shè)置在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié) 器，還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)器更換裝置包括升降軸，所述升降軸的底端與用于固定所述 調(diào)節(jié)器更換裝置的底座相連，頂端與所述調(diào)節(jié)器更換裝置的承接支架相連。進(jìn)一步地，所述承接支架的頂端設(shè)置有支撐柱，所述支撐柱的位置與所述調(diào)節(jié)器 邊緣的邊緣孔相對應(yīng)，并且所述支撐柱上端的尺寸小于所述邊緣孔的尺寸，下端的尺寸大 于所述邊緣孔的尺寸。進(jìn)一步地，所述檢測設(shè)備還包括延時(shí)繼電器，所述延時(shí)繼電器與用于卡住所述調(diào) 節(jié)器的卡子的氣閥相連接。進(jìn)一步地，所述檢測設(shè)備還包括與所述延時(shí)繼電器電連接的位置傳感器。進(jìn)一步地，所述承接支架包括支撐框架和橫跨所述支撐框架的頂端并與所述支撐 框架相軸接的旋轉(zhuǎn)軸，所述支撐框架的底端與所述升降軸的頂端相連；所述旋轉(zhuǎn)軸與所述支持框架底端的距離大于所述調(diào)節(jié)器的最大尺寸；所述支撐柱設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上。進(jìn)一步地，所述支撐柱為空心的支撐柱，其內(nèi)放置有固定件。 進(jìn)一步地，所述固定件為螺釘。進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述支撐框架軸接部位設(shè)置有位置固定塞。進(jìn)一步地，所述檢測設(shè)備還包括位于所述基臺上且用于從固定位置取放所述調(diào)節(jié) 器的機(jī)械手。本實(shí)用新型實(shí)施例中，在傳統(tǒng)的檢測設(shè)備中增加了調(diào)節(jié)器更換裝置，當(dāng)調(diào)節(jié)器損 壞需要更換或者需要擦拭時(shí)，通過所述調(diào)節(jié)器更換裝置對所述調(diào)節(jié)器進(jìn)行拆卸和安裝，避 免了手動更換或檢查時(shí)由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞，從而減少了調(diào)節(jié)器的損失，并且 防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞造成的不必要的停機(jī)。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中檢測設(shè)備組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置的側(cè)視圖；圖5為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置的俯視圖；圖6為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置升起且上面承載有調(diào)節(jié)器時(shí)的 狀態(tài)圖；圖7為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置升起且上面承載有調(diào)節(jié)器時(shí)的 側(cè)視狀態(tài)圖圖8為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置下降且上面承載有調(diào)節(jié)器時(shí)的 狀態(tài)圖圖9為本實(shí)用新型中檢測設(shè)備的調(diào)節(jié)器更換裝置下降且上面承載有調(diào)節(jié)器時(shí)的 側(cè)視狀態(tài)圖。附圖標(biāo)識說明1-檢測系統(tǒng)；2-調(diào)節(jié)器；3-運(yùn)動系統(tǒng)裝置；4-檢測設(shè)備的基臺；5-調(diào)節(jié)器更換裝置；6-位置傳感器；51-升降軸；52-底座；53-承接支架；54-支撐柱；55-固定件；56-位置固定塞；531-支撐框架； 532-旋轉(zhuǎn)軸。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種檢測設(shè)備，如圖2，包括基臺4、檢測系統(tǒng)1、設(shè)置在檢 測系統(tǒng)1底端底板上的調(diào)節(jié)器2，以及供調(diào)節(jié)器2移動且位于基臺4上的運(yùn)動系統(tǒng)裝置3， 還包括調(diào)節(jié)器更換裝置5，調(diào)節(jié)器更換裝置5位于基臺4上，并且當(dāng)調(diào)節(jié)器更換裝置5處于 使用狀態(tài)時(shí)，調(diào)節(jié)器更換裝置5的位置與調(diào)節(jié)器2的位置相對應(yīng)。其中，檢測系統(tǒng)可以為光 學(xué)與成像系統(tǒng)，基臺4可以為大理石平臺，本實(shí)用新型實(shí)施例對此不進(jìn)行限制，本實(shí)用新型 實(shí)施例以基臺4為大理石平臺為例進(jìn)行圖示。本實(shí)用新型實(shí)施例中，在當(dāng)調(diào)節(jié)器需要擦拭或者損壞需要更換時(shí)，通過調(diào)節(jié)器更 換裝置對調(diào)節(jié)器進(jìn)行拆卸和安裝，避免了手動更換或檢查時(shí)由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損 壞，從而減少了調(diào)節(jié)器的損失，并且防止了由于調(diào)節(jié)器的損壞造成的不必要的停機(jī)。進(jìn)一步，如圖3、圖4和圖5所示，調(diào)節(jié)器更換裝置5包括升降軸51，升降軸51的 底端與用于固定調(diào)節(jié)器更換裝置的底座52相連，頂端與調(diào)節(jié)器更換裝置的承接支架53相 連，承接支架53可以為但不局限于框形承接支架，任何可以承接調(diào)節(jié)器的支架都屬于本實(shí) 用新型保護(hù)的范圍，本實(shí)用新型實(shí)施例對此不進(jìn)行限制；承接支架53的頂端設(shè)置有支撐柱 54，支撐柱54的位置與調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔相對應(yīng)，并且支撐柱54上端的尺寸小于邊緣孔 的尺寸，下端的尺寸大于邊緣孔的尺寸，以便在承接調(diào)節(jié)器時(shí)，使調(diào)節(jié)器的鏡面結(jié)構(gòu)不與承 接面直接接觸，避免對該調(diào)節(jié)器造成不必要的損壞，從而減小了調(diào)節(jié)器的損失。其中，邊緣 孔設(shè)置在調(diào)節(jié)器的邊緣，用于與調(diào)節(jié)器更換裝置的支撐柱進(jìn)行接合。支撐柱所使用的材料， 本實(shí)用新型實(shí)施例對此不進(jìn)行限制，任何材料均屬本實(shí)用新型保護(hù)的范圍，例如支撐柱可 以為金屬柱，金屬柱與其他材料的支撐柱相比更不易損壞；金屬柱的橫截面積的形狀與邊 緣孔的形狀相對應(yīng)，本實(shí)用新型實(shí)施例對此不進(jìn)行限制，任何滿足金屬柱可以插入與拔出 邊緣孔的形狀均屬于本實(shí)用新型實(shí)施例保護(hù)的范圍，例如邊緣孔的橫截面積為圓形，則金 屬柱的橫截面積可以為圓形，可以更方便支撐柱的插入與拔出。為了實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)器更換裝置能夠自動的更換調(diào)節(jié)器，如圖2所示，該檢測設(shè)備還包 括延時(shí)繼電器(圖中未示出)，延時(shí)繼電器與用于卡住調(diào)節(jié)器的卡子的氣閥相連接，并電連 接有位置傳感器6，位置傳感器6設(shè)置于檢測系統(tǒng)1底端底板上，以便于及時(shí)的感應(yīng)到調(diào)節(jié) 器更換裝置是否已經(jīng)運(yùn)動到預(yù)定位置，預(yù)定位置為支撐柱的頂端與調(diào)節(jié)器的框架在同一水 平線上的位置，該位置可以使拆卸下的調(diào)節(jié)器準(zhǔn)確的降落到調(diào)節(jié)器更換裝置上，并且不易 使其在降落的過程中受損壞，因此該位置為調(diào)節(jié)器拆卸過程中調(diào)節(jié)器下落的最佳位置。其中，如圖6和圖7所示，當(dāng)需要將調(diào)節(jié)器2拆下時(shí)，啟動升降軸51，由升降軸51 連帶承接支架53向上運(yùn)動，當(dāng)支撐柱54伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中，并且支撐柱54的頂 端與調(diào)節(jié)器的框架相水平時(shí)，升降軸51停止上升，位置傳感器感應(yīng)到該支撐柱54，便向延 時(shí)繼電器發(fā)送信號，延時(shí)繼電器接收到該信號后，給控制卡子開與閉的氣閥供電，氣閥供電 后，卡子松開，調(diào)節(jié)器2降落到調(diào)節(jié)器更換裝置5上，由支撐柱54承接；由于支撐柱54上端 的尺寸小于邊緣孔的尺寸，可以使調(diào)節(jié)器2順利的落到支撐柱54上，而支撐柱54下端的尺 寸大于邊緣孔的尺寸，可以阻止調(diào)節(jié)器直接降落到承接支架的上表面，使調(diào)節(jié)器的鏡面結(jié) 構(gòu)與承接面不直接接觸，避免對調(diào)節(jié)器造成不必要的損壞，從而減小了調(diào)節(jié)器的損失。如圖8和圖9所示，當(dāng)調(diào)節(jié)器2降落到支撐柱54上后，啟動升降軸51帶動承接調(diào)節(jié)器的承接支架53下降，直至降至升降軸51的初始位置停止，則整個(gè)調(diào)節(jié)器拆卸過程結(jié) 束。當(dāng)升降軸停止降落后，便可以對拆卸下的調(diào)節(jié)器進(jìn)行處理，若拆卸下的調(diào)節(jié)器已經(jīng)損 壞，則將其從調(diào)節(jié)器更換裝置上取下并更換上一個(gè)好的調(diào)節(jié)器；若拆卸下的調(diào)節(jié)器沒有損 壞，僅需要對其進(jìn)行檢測并擦拭，則可以對其進(jìn)行相應(yīng)的操作。
進(jìn)一步，當(dāng)需要重新安裝調(diào)節(jié)器時(shí)，將支撐柱伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中，重新啟 動升降軸，由升降軸帶動承載有調(diào)節(jié)器的承接支架上升，當(dāng)支撐柱的頂端與調(diào)節(jié)器框架達(dá) 到同一水平線位置時(shí)，升降軸停止上升，位置傳感器感應(yīng)到支撐柱，便再次向延時(shí)繼電器發(fā) 送信號，延時(shí)繼電器接收到該信號后，由于在再次接到信號之前，延時(shí)繼電器持續(xù)給氣閥供 電，等再次接收到位置感應(yīng)器發(fā)送的信號后，停止給控制卡子開與閉的氣閥供電，氣閥斷電 后，卡子鎖住，調(diào)節(jié)器重新安裝好；在調(diào)節(jié)器重新安裝好后，升降軸帶動承接支架下降，直到 下降到升降軸的初始位置，則整個(gè)調(diào)節(jié)器安裝過程結(jié)束。其中，本實(shí)用新型中帶動升降軸升降所涉及到的馬達(dá)，本實(shí)用新型實(shí)施例不進(jìn)行 限制，各種馬達(dá)均屬本實(shí)用新型保護(hù)的范疇。進(jìn)一步地，為了方便調(diào)節(jié)器的檢測，如圖3所示，將支撐柱51設(shè)計(jì)為空心的支撐 柱，其內(nèi)放置有固定件55，固定件可以為但不局限于螺釘。當(dāng)拆卸或安裝調(diào)節(jié)器時(shí)，將固定 件55從空心的支撐柱54內(nèi)取出，以便將支撐柱54插入到調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔內(nèi)；當(dāng)將調(diào) 節(jié)器拆卸下需要檢測時(shí)，將固定件55放置到空心的支撐柱54內(nèi)，以固定調(diào)節(jié)器，防止調(diào)節(jié) 器的掉落。并且為了檢測調(diào)節(jié)器的便利，可以將用固定件固定的調(diào)節(jié)器通過旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，以 便相應(yīng)的工作人員對調(diào)節(jié)器進(jìn)行檢查或擦拭。如圖3所示，承接支架53包括支撐框架531 和橫跨支撐框架531的頂端并與支撐框架相軸接的旋轉(zhuǎn)軸532，旋轉(zhuǎn)軸可從0度到360度旋 轉(zhuǎn)；支撐框架531的底端與升降軸51的頂端相連；在旋轉(zhuǎn)軸532與支撐框架531軸接部位 設(shè)置有位置固定塞56 ；旋轉(zhuǎn)軸532與支持框架531底端的距離大于調(diào)節(jié)器的最大尺寸，以 便調(diào)節(jié)器可以在支撐框架中順利的旋轉(zhuǎn)，而不受損壞，從而減小了調(diào)節(jié)器的損失；在承接支 架53具有上述結(jié)構(gòu)時(shí)，支撐柱54設(shè)置于旋轉(zhuǎn)軸532上，用于承接調(diào)節(jié)器。其中，位置固定 塞所使用的材料，本實(shí)用新型對此不進(jìn)行限制，任何材料均屬本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。在將承載有調(diào)節(jié)器的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)到一定角度時(shí)，可以通過位置固定塞將旋轉(zhuǎn)軸固 定，以便相應(yīng)的工作人員對調(diào)節(jié)器進(jìn)行檢查或擦拭。更進(jìn)一步地，該基板檢測設(shè)備還包括位于檢測設(shè)備的基臺上且用于從固定位置取 放調(diào)節(jié)器的機(jī)械手，以便于在將調(diào)節(jié)器拆下時(shí)，機(jī)械手將調(diào)節(jié)器從調(diào)節(jié)器更換裝置上取下， 并放入固定位置的盒子里面。當(dāng)需要更換調(diào)節(jié)器時(shí)，將新的調(diào)節(jié)器放置在固定位置的盒子 里，機(jī)械手從固定位置的盒子里取出新的調(diào)節(jié)器，并放在調(diào)節(jié)器更換裝置上，使調(diào)節(jié)器更換 裝置的支撐柱伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中，以便將新的調(diào)節(jié)器進(jìn)行安裝。從而使整個(gè)調(diào)節(jié) 器更換過程全部自動化，避免了手動拿取調(diào)節(jié)器的過程中，由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損 壞，從而減小了調(diào)節(jié)器的損失，并且節(jié)省了更換調(diào)節(jié)器的時(shí)間。以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán) 利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種檢測設(shè)備，包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及設(shè)置在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié)器，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)器更換裝置包括升降軸，所 述升降軸的底端與用于固定所述調(diào)節(jié)器更換裝置的底座相連，頂端與所述調(diào)節(jié)器更換裝置 的承接支架相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述承接支架的頂端設(shè)置有支撐 柱，所述支撐柱的位置與所述調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔相對應(yīng)，并且所述支撐柱上端的尺寸小 于所述邊緣孔的尺寸、下端的尺寸大于所述邊緣孔的尺寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述檢測設(shè)備還包括延時(shí)繼電器，所 述延時(shí)繼電器與用于卡住所述調(diào)節(jié)器的卡子的氣閥相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)置，其特征在于，所述檢測設(shè)備還包括與所述延時(shí)繼 電器電連接的位置傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述承接支架包括支撐框架和橫跨 所述支撐框架的頂端并與所述支撐框架相軸接的旋轉(zhuǎn)軸，所述支撐框架的底端與所述升降 軸的頂端相連；所述旋轉(zhuǎn)軸與所述支持框架底端的距離大于所述調(diào)節(jié)器的最大尺寸；所述 支撐柱設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述支撐柱為空心的支撐柱，其內(nèi)放 置有固定件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述固定件為螺釘。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述支撐框架軸接部 位設(shè)置有位置固定塞。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述檢測設(shè)備還包括位于所述基臺 上且用于從固定位置取放所述調(diào)節(jié)器的機(jī)械手。專利摘要本實(shí)用新型公開了一種檢測設(shè)備，涉及基板測試設(shè)備領(lǐng)域，避免手動更換或檢查調(diào)節(jié)器時(shí)，由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞，從而減少了調(diào)節(jié)器的損失，并且防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞導(dǎo)致不必要的停機(jī)。本實(shí)用新型包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié)器；還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。
文檔編號G02F1/13GK201637564SQ20102017145
公開日2010年11月17日 申請日期2010年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月21日
發(fā)明者張鐵林, 楊海洪, 葛興 申請人:北京京東方光電科技有限公司