專利名稱：一種涂覆方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于硅基液晶(LCoS)微顯示器件制造的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于 LCoS液晶盒制作的涂覆方法。
背景技術(shù)：
硅基液晶(LCoS)微顯示是一種新型的反射式液晶微顯示技術(shù)。它利用CMOS技術(shù)將有源矩陣制作在硅襯底上，而頂面被用作反射層。顯示面板通過在LCoS晶圓頂面蓋裝 ITO玻璃，灌裝液晶制成。在LCoS液晶盒的制作過程中，為了精確控制盒厚以及起到支撐作用，要用到襯墊帶或者襯墊珠(Spacer)，而盒厚在10 μ m以下多用襯墊珠(Spacer)。由于盒厚度較小，為了得到均勻的間隙尺寸，需要采用尺寸很小的玻璃球作為襯墊珠。一般通用的LCoS液晶盒襯墊珠(Spacer)的涂覆方法為溶液噴灑的方法，由于襯墊珠尺寸較小，在LCoS晶圓表面涂覆時(shí)，易出現(xiàn)襯墊珠分布不均勻以及若干個(gè)襯墊珠堆疊現(xiàn)象。顯示器件的彩色800X600分辨率使得每個(gè)像素點(diǎn)大小也為微米量級(jí)，因此會(huì)影響器件發(fā)光性能，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致液晶盒厚度不均勻，并由此產(chǎn)生真空氣泡等更嚴(yán)重的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種涂覆方法，使襯墊珠可以均勻的涂覆在LCoS 晶圓的表面。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為 一種涂覆方法，包括如下步驟
(1)將襯墊珠放入易揮發(fā)的有機(jī)溶劑中，形成懸濁液；
(2)將懸濁液放入超聲波清洗機(jī)中，使用超聲波分散襯墊珠；
(3)使用磁力攪拌機(jī)對(duì)懸濁液進(jìn)行充分?jǐn)嚢瑁?br> (4)使用勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)表面滴定懸濁液的LCoS晶圓，在LCoS晶圓表面形成一層溶液膜；
(5)LCoS晶圓表面溶液膜中的有機(jī)溶劑揮發(fā)后，即完成了將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。上述方案中，所述有機(jī)溶劑為二氯甲烷或異丙醇。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用的技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果如下
本發(fā)明采用的涂覆方法使襯墊珠分散的更均勻，同時(shí)密度更低，使器件發(fā)光性能得到
顯者提尚。
具體實(shí)施例方式下面通過實(shí)施例對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)描述。實(shí)施例1
本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂覆方法，步驟如下采用3. 00士0. 02 μ m的玻璃球作為襯墊珠(Spacer)，將襯墊珠放入二氯甲烷溶液中， 形成懸濁液；然后將懸濁液放入超聲波清洗機(jī)中片刻，利用超聲波使襯墊珠一一分散開，接著再將懸濁液放在磁力攪拌機(jī)上進(jìn)行充分?jǐn)嚢?；將用丙酮清洗后的LCoS晶圓置于勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，開啟氣泵固定后，用橡膠吸管吸取適量的襯墊珠懸濁液滴在LCoS晶圓表面，在勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)面帶動(dòng)LCoS晶圓高速旋轉(zhuǎn)下，將在LCoS晶圓表面形成一層極薄的溶液膜，襯墊珠(Spacer)得到了較理想的散布，待LCoS晶圓表面的溶液膜中的有機(jī)溶劑揮發(fā)后，即完成將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。實(shí)施例2:
本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂覆方法，步驟如下
采用3. 00士0. 02 μ m的玻璃球作為襯墊珠(Spacer)，襯墊珠放入異丙醇溶液中，形成懸濁液；然后將懸濁液放入超聲波清洗機(jī)中片刻，利用超聲波使襯墊珠一一分散開，接著再將懸濁液放在磁力攪拌機(jī)上進(jìn)行充分?jǐn)嚢?；將用丙酮清洗后的LCoS晶圓置于勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，開啟氣泵固定后，用橡膠吸管吸取適量的襯墊珠懸濁液滴在LCoS晶圓表面，在勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)面帶動(dòng)LCoS晶圓高速旋轉(zhuǎn)下，將在LCoS晶圓表面形成一層極薄的溶液膜，襯墊珠 (Spacer)得到了較理想的散布，待LCoS晶圓表面的溶液膜中的有機(jī)溶劑揮發(fā)后，即完成將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。使用本發(fā)明提供的涂覆方法，可以使得襯墊珠均勻的涂覆在LCoS晶圓表面，粘連現(xiàn)象大幅度減少，襯墊珠密度的控制也較為理想，約為360個(gè)/mm2。因此，使用此涂覆方法制備的器件，發(fā)光性能得到顯著提高。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種涂覆方法，其特征在于，包括如下步驟(1)將襯墊珠放入易揮發(fā)的有機(jī)溶劑中，形成懸濁液；(2)將懸濁液放入超聲波清洗機(jī)中，使用超聲波分散襯墊珠；(3)使用磁力攪拌機(jī)對(duì)懸濁液進(jìn)行充分?jǐn)嚢瑁?4)使用勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)表面滴定懸濁液的LCoS晶圓，在LCoS晶圓表面形成一層溶液膜；(5)LCoS晶圓表面溶液膜中的有機(jī)溶劑揮發(fā)后，即完成了將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。
2.如權(quán)利要求1所述的涂覆方法，其特征在于所述有機(jī)溶劑為二氯甲烷或異丙醇。
全文摘要
本發(fā)明屬于硅基液晶(LCoS)微顯示器件制造的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于LCoS液晶盒制作的涂覆方法，包括如下步驟將襯墊珠放入易揮發(fā)的有機(jī)溶劑中，形成懸濁液；將懸濁液放入超聲波清洗機(jī)中，使用超聲波分散襯墊珠；使用磁力攪拌機(jī)對(duì)懸濁液進(jìn)行充分?jǐn)嚢瑁皇褂脛蚰z機(jī)旋轉(zhuǎn)表面滴定懸濁液的LCoS晶圓，在LCoS晶圓表面形成一層溶液膜；LCoS晶圓表面溶液膜中的有機(jī)溶劑揮發(fā)后，即完成了將襯墊珠涂覆在LCoS晶圓表面的過程。本發(fā)明采用的涂覆方法使襯墊珠分散的更均勻，同時(shí)密度更低，使器件發(fā)光性能得到顯著提高。
文檔編號(hào)G02F1/1339GK102476092SQ201010563738
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2010年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月29日
發(fā)明者杜寰, 林斌, 胡明瑋, 韓鄭生, 黃苒 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院微電子研究所