專利名稱：薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及顯示面板的裝造方法
薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及顯示面板的裝造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜的干燥方法，特別是涉及一種配向膜干燥方法及顯示面板的裝造 方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, IXD)已被廣泛應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品中， 液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其是由液晶顯示面板及背光模塊(backlight module)所組成。液晶顯示面板是由兩片透明基板以及被封于基板之間的液晶所構(gòu)成。在液晶顯示面板的制程中，需制造一配向膜，用以決定液晶的配向方向。通常，此 配向膜的材料為液態(tài)的聚酰亞胺(polyimide，PI)，其可通過涂布的方式來形成于液晶顯示 面板的基板上。接著，此配向膜需進(jìn)行加熱，以蒸發(fā)PI中的液態(tài)溶劑，因而形成固態(tài)的配向 膜。然而，在一般配向膜的加熱過程中，涂布有配向膜的基板是利用設(shè)置于加熱板上 的支撐柱(supporting pin)，而被置放于靠近于加熱板的上方，以進(jìn)行加熱，其中加熱的溫 度均勻性及干燥速度是影響配向膜的重要因素。而在此加熱過程中，支撐柱與基板接觸的 位置會(huì)有溫度不一致的情形，亦即支撐柱所接觸的位置的溫度是不同于基板的其它位置的 溫度。因此，發(fā)生基板上的配向膜的干燥速度不一致的情形，而嚴(yán)重地影響配向膜的薄膜質(zhì) 量。故，有必要提供一種薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及顯示面板的裝造方法，以解 決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一種薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液態(tài)溶劑，所述 方法包括如下步驟形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室內(nèi)；以及降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化。本發(fā)明的另一目的在于提供一種配向膜的干燥方法，所述配向膜包括液態(tài)溶劑， 所述方法包括如下步驟形成所述配向膜于基板上；置放所述基板于真空腔室內(nèi)；以及降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述配向膜的所述液態(tài)溶劑氣化。本發(fā)明的又一目的在于提供一種顯示裝置的制造方法，所述方法包括如下步驟形成第一配向膜于第一基板上，其中所述第一配向膜包括液態(tài)溶劑；形成第二配向膜于第二基板上，其中所述第二配向膜包括所述液態(tài)溶劑；
置放所述第一基板及/或所述第二基板于真空腔室內(nèi)；降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述第一配向膜及/或第二 配向膜的所述液態(tài)溶劑氣化；以及在所述液態(tài)溶劑氣化后，形成液晶層于所述第一配向膜與所述第二配向膜之間。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述真空腔室內(nèi)的壓力是被降低至預(yù)設(shè)真空壓力，使得 所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)真空壓力是依據(jù)所述液態(tài)溶劑的成份以及常溫 條件來決定。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述真空腔室內(nèi)的壓力是被降低至預(yù)設(shè)真空壓力，使得 所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化，所述預(yù)設(shè)真空壓力是大于等于13帕且小于 等于53帕。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述真空腔室內(nèi)的壓力是被降低至預(yù)設(shè)真空壓力，使得 所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化，所述預(yù)設(shè)真空壓力是大于等于沈帕且小于 等于53帕。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述真空腔室的溫度為大于等于22°C且小于等于27°C。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述方法還包括在所述液態(tài)溶劑氣化預(yù)定時(shí)間之后，在常壓下加熱所述配向膜。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，在加熱所述配向膜的過程中，加熱溫度為大于等于80°C 且小于等于ioo°c。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述方法還包括在加熱所述配向膜后，對所述配向膜進(jìn)行高溫加熱，其中所述高溫加熱的溫度是 大于等于220°C且小于等于230°C。相較于現(xiàn)有的溫度不一致問題，本發(fā)明的薄膜干燥方法及其應(yīng)用的配向膜干燥方 法及顯示面板的裝造方法可在常溫條件下干燥薄膜，而不需加熱，因而可在溫度一致(常 溫)的條件下干燥薄膜，以確保干燥后的薄膜質(zhì)量。為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作 詳細(xì)說明如下

圖1顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示面板與背光模塊的剖面示意圖；圖2顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示面板的制造方法的方法流程圖；圖3顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的基板置于真空腔室內(nèi)的示意圖；圖4顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的基板置于加熱板上的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施 例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè) 面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用 以限制本發(fā)明。
在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號表示。請參照圖1，其顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示面板與背光模塊的剖面示意圖。 本實(shí)施例的薄膜干燥方法可應(yīng)用于液晶顯示面板100的裝造過程中，用以干燥液晶顯示面 板100的配向膜(薄膜)112、122。當(dāng)應(yīng)用本實(shí)施例的液晶顯示面板100來制造顯示裝置 時(shí)，可設(shè)置顯示面板100于背光模塊200上，因而形成液晶顯示裝置。此液晶顯示面板100 可包括第一基板110、第二基板120、液晶層130、第一偏光片140及第二偏光片150。第一 基板110和第二基板120的基板材料可為玻璃基板或可撓性塑料基板，在本實(shí)施例中，第一 基板110可例如為具有彩色濾光片(Color Filter, CF)的玻璃基板或其它材質(zhì)的基板，而 第二基板120可例如為具有薄膜晶體管(Thin Film Transistor, TFT)矩陣的玻璃基板或 其它材質(zhì)的基板。值得注意的是，在一些實(shí)施例中，彩色濾光片和TFT矩陣亦可配置在同一 基板上。如圖1所示，液晶層130是形成于第一基板110與第二基板120之間。第一偏光 片140是設(shè)置第一基板110的一側(cè)，并相對于液晶層130 (亦即為第一基板110的出光側(cè))， 第二偏光片150是設(shè)置第二基板120的一側(cè)，并相對于液晶層130(亦即為第二基板120的 入光側(cè))。如圖1所示，在本實(shí)施例中，第一基板110可包括第一電極111及第一配向膜112。 第二基板120可包括第二電極121及第二配向膜122。第一電極111和第二電極121優(yōu)選 是以透光導(dǎo)電材料所制成，例如ITO、IZO、AZO、GZO、TCO或SiO，第一電極111和第二電極 121可施加電壓于液晶層130的液晶分子102。在本實(shí)施例中，第一電極111例如為共同電 極，第二電極121例如為像素電極。請參照圖2，其顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示面板的制造方法的方法流程 圖。當(dāng)進(jìn)行本實(shí)施例的顯示面板的制造方法時(shí)，首先，形成第一配向膜112于第一基板110 上(步驟S301)，且形成第二配向膜122于第二基板120上(步驟S3(^)。在步驟S301及 S302之前，第一電極111是形成于第一基板110上，第二電極121是形成于第二基板120 上。且在步驟S301及S302之前，具有電極111、121的基板110、120可被預(yù)清洗以及預(yù)烘 烤，以清潔基板110、120的表面(亦即電極111、121的表面)。在步驟S301及S302中，第 一配向膜112及第二配向膜122的材料可例如為聚酰亞胺(PI)，液態(tài)的聚酰亞胺可被涂布 于基板110、120上的電極111、121上，以分別形成第一配向膜112及第二配向膜122。此 時(shí)，干燥前的第一配向膜112及第二配向膜122包括液態(tài)溶劑，其例如為乙二醇丁醚(Butyl Cellosolve, BC)及 / 或 N-甲基吡啶-2-吡咯烷酮(N-methyl-2-pyrrolidone，NMP)。請參照圖2及圖3，圖3顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的基板置于真空腔室內(nèi)的示意 圖。接著，置放第一基板110及/或第二基板120于真空腔室101內(nèi)(步驟S303)，以干燥 基板110、120上的配向膜112、122。此時(shí)，第一基板110與第二基板120可同時(shí)置放于真 空腔室101內(nèi)來進(jìn)行真空干燥；或者，第一基板110與第二基板120各別地置放于真空腔室 101內(nèi)來進(jìn)行真空干燥。如圖2及圖3所示，接著，降低真空腔室101內(nèi)的壓力(步驟S 304)，使得真空腔 室101內(nèi)的第一配向膜112及/或第二配向膜122的液態(tài)溶劑氣化，以干燥配向膜112、122。 真空腔室101內(nèi)的空氣可通過一抽氣裝置(例如泵浦)來抽出至外部，以降低真空腔室101 內(nèi)的壓力。同時(shí)，通過真空腔室101的抽氣，基板110及/或120上的殘留氣體可被排除，
5以減少氣泡等缺陷，而可確?；?10、120上的薄膜質(zhì)量。由于液體的氣化溫度是正比于 其環(huán)境壓力，因此當(dāng)真空腔室101內(nèi)的壓力(環(huán)境壓力)被降低時(shí)，真空腔室101內(nèi)的第一 配向膜112及/或第二配向膜122的液態(tài)溶劑的氣化溫度亦被降低。在本實(shí)施例中，真空 腔室101內(nèi)的壓力是被降低至一預(yù)設(shè)真空壓力，而使得配向膜112、122的液態(tài)溶劑可在一 常溫條件(例如22 35°C )下進(jìn)行氣化，以揮發(fā)配向膜112、122的液態(tài)溶劑，達(dá)到干燥配 向膜112、122的效果。因此，配向膜112、122的液態(tài)溶劑可在常溫條件下來進(jìn)行氣化，而不 需加熱。由于配向膜112、122的液態(tài)溶劑可在常溫條件下來進(jìn)行氣化，而不需進(jìn)行加熱，亦 即配向膜112、122可在溫度一致(常溫)的條件下進(jìn)行干燥，因而配向膜112、122可具有 一致的干燥速度，以改善現(xiàn)有干燥方法的加熱溫度不一致的問題，確保配向膜的薄膜質(zhì)量。當(dāng)真空腔室101內(nèi)的配向膜112、122的液態(tài)溶劑在常溫條件下進(jìn)行氣化時(shí)，真空 腔室101內(nèi)的壓力為預(yù)設(shè)的真空壓力，例如大于等于13帕且小于等于53帕。此預(yù)設(shè)真空 壓力可依據(jù)配向膜112、122的液態(tài)溶劑的成份以及常溫條件(目前的環(huán)境溫度)來決定。 例如，在本實(shí)施例中，配向膜112、122的液態(tài)溶劑成份為BC及NMP，其中BC的含量為51%， NMP的含量為45%，BC的蒸氣壓(vapor pressure)為沈6帕(Pa)，NMP的蒸氣壓為53Pa。 此時(shí)，此預(yù)設(shè)真空壓力可大于等于沈帕且小于等于53帕，以允許配向膜112、122的液態(tài)溶 劑在大于等于22°C且小于等于27°C的常溫條件下進(jìn)行氣化。請參照圖4，其顯示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的基板置于加熱板上的示意圖。在一 實(shí)施例中，在真空干燥后(步驟S304之后)且真空腔室101內(nèi)的液態(tài)溶劑氣化預(yù)定時(shí)間之 后，基板110及/或120上的配向膜112及/或122可在常壓下被加熱，以確保配向膜112、 122的液態(tài)溶劑完全地?fù)]發(fā)，達(dá)到完全干燥的效果。此時(shí)，配向膜112及/或122可通過加 熱板102來進(jìn)行加熱，其中基板110及/或120是放置于加熱板102的支撐柱103上，且加 熱的溫度為大于等于80°C且小于等于100°C。接著，可在常壓下再進(jìn)行一次高溫加熱，以確 保配向膜112、122的液態(tài)溶劑完全地?fù)]發(fā)。此高溫加熱的溫度可為大于等于220°C且小于 等于2300C ο如圖1及圖2所示，在干燥配向膜112、122后，接著，形成液晶層130于第一基板 110的第一配向膜112與第二基板120的第二配向膜122之間(步驟S3(^)，而完成液晶顯 示面板100。在本實(shí)施例中，液晶層130的液晶可先例如利用液晶滴下方式(ODF)來滴在第 一基板110上的框膠(未繪示)內(nèi)，接著，第二基板120可通過一對位組裝設(shè)備(未繪示) 來對位及組裝于第一基板110上，并固化此框膠，因而形成液晶層130于第一基板110與第 二基板120之間。因此，本發(fā)明的薄膜干燥方法可應(yīng)用于液晶顯示面板100的裝造過程中，用以干 燥配向膜112、122。當(dāng)進(jìn)行薄膜的干燥方法時(shí)，薄膜可形成于基板(例如第一基板110及/ 或第二基板120)上，接著，具有待干燥薄膜的基板可被置放于真空腔室101內(nèi)，接著，可降 低真空腔室101內(nèi)的壓力至預(yù)設(shè)的真空壓力，使得真空腔室101內(nèi)的薄膜的液態(tài)溶劑氣化， 以干燥此薄膜。然不限于此，本發(fā)明的薄膜干燥方法亦可應(yīng)用于其它形式的薄膜干燥。由上述可知，本發(fā)明的薄膜干燥方法及其應(yīng)用的配向膜干燥方法及顯示面板的裝 造方法可在常溫條件下干燥薄膜，而不需加熱，因而可避免加熱溫度不一致的情形。因此， 通過本發(fā)明的干燥方法，薄膜(如配向膜)可在干燥后具有良好的薄膜質(zhì)量，例如，薄膜可 具有一致的厚度。再者，在真空干燥的過程中，基板上殘留的氣泡可被排除，以確保基板上的薄膜質(zhì)量。 綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限 制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤 飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液態(tài)溶劑，其特征在于所述方法包括如下步驟形成所述薄膜于基板上； 置放所述基板于真空腔室內(nèi)；以及降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化。
2.一種配向膜的干燥方法，所述配向膜包括液態(tài)溶劑，其特征在于所述方法包括如 下步驟形成所述配向膜于基板上； 置放所述基板于真空腔室內(nèi)；以及降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述配向膜的所述液態(tài)溶劑氣化。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于所述真空腔室內(nèi)的壓力是被降低至預(yù)設(shè) 真空壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述薄膜的液態(tài)溶劑氣化。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述預(yù)設(shè)真空壓力是大于等于13帕且小 于等于53帕。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于所述預(yù)設(shè)真空壓力是大于等于26帕且小 于等于53帕。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于所述真空腔室的溫度為大于等于22°C且 小于等于27°C。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括如下步驟在所述液態(tài)溶劑氣化預(yù) 定時(shí)間之后，在常壓下加熱所述配向膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，在加熱所述配向膜的過程中，加熱溫度為 大于等于80°C且小于等于100°C。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于還包括如下步驟在加熱所述配向膜后，對所述配向膜進(jìn)行高溫加熱，其中所述高溫加熱的溫度是大于 等于220°C且小于等于230°C。
10.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于所述方法包括如下步驟 形成第一配向膜于第一基板上，其中所述第一配向膜包括液態(tài)溶劑； 形成第二配向膜于第二基板上，其中所述第二配向膜包括所述液態(tài)溶劑； 置放所述第一基板及/或所述第二基板于真空腔室內(nèi)；降低所述真空腔室內(nèi)的壓力，使得所述真空腔室內(nèi)的所述第一配向膜及/或第二配向 膜的所述液態(tài)溶劑氣化；以及在所述液態(tài)溶劑氣化后，形成液晶層于所述第一配向膜與所述第二配向膜之間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及顯示面板的裝造方法。此薄膜干燥方法包括如下步驟形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室內(nèi)；以及降低所述真空腔室內(nèi)的壓力。此薄膜干燥方法可應(yīng)用于配向膜干燥方法及顯示面板的裝造方法中，本發(fā)明可確保干燥后的薄膜質(zhì)量。
文檔編號G02F1/1337GK102078854SQ201010553829
公開日2011年6月1日 申請日期2010年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月18日
發(fā)明者廖炳杰, 施翔尹, 李為鈞, 賀成明, 鄭興科 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司