專利名稱：陣列測試裝置和陣列測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陣列測試裝置和陣列測試方法。
背景技術(shù)：
我們信息社會的發(fā)展增強(qiáng)了對顯示器的需求并且對顯示器的需求多樣化了。為了滿足這些需求，近來已經(jīng)研發(fā)出諸如液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、真空熒光顯示器(VFD)等的各種平板顯示器。因半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展使LCD具備了增強(qiáng)的性能，并且其正在替代現(xiàn)有的陰極射線管(CRT)。由于LCD具有顯示質(zhì)量佳和尺寸小以及質(zhì)量輕和功耗低的特點，因此已廣泛地使用。因此，作為平板顯示器中的一種的LCD不僅廣泛應(yīng)用于諸如便攜式移動電話、 PDA (個人數(shù)字助理)和PMP (便攜式多媒體播放器)等的小尺寸便攜式設(shè)備，也應(yīng)用于諸如接收廣播信號并顯示圖像的TV(電視機(jī))、計算機(jī)的顯示器等等。IXD是這樣的圖像顯示器其以向排列為矩陣形狀的液晶單元逐個地提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信號并以此來控制液晶單元的透光性的方式來顯示預(yù)期圖像。LCD包括液晶層，所述液晶層設(shè)置在形成多個像素圖案的薄膜晶體管(下文中稱作“TFT”)基板與形成彩色濾光層的彩色濾光片基板之間。液晶層基于所施加的電信號來決定是否允許光透過。在一種制造這樣的IXD的方法中，在TFT基板上形成多個柵極線、多個數(shù)據(jù)線、多個像素電極和多個TFT。沿一個方向布置柵極線。沿垂直于柵極線的方向布置數(shù)據(jù)線。在由柵極線與數(shù)據(jù)線間的相交處限定的各個像素區(qū)上形成像素電極。TFT是由柵極線的信號來開關(guān)的，并且其將數(shù)據(jù)線的信號傳輸至對應(yīng)的像素電極。此外，在彩色濾光片基板上形成黑色矩陣、RGB彩色濾光層和共用電極。黑色矩陣阻擋光穿過非像素區(qū)的區(qū)域。RGB彩色濾光層表現(xiàn)出顏色。共用電極用來實現(xiàn)圖像。之后，將配向膜分別涂布至TFT基板和彩色濾光片基板。隨后摩擦配向膜以便為將在TFT基板和彩色濾光片基板之間形成的液晶層中的液晶分子提供預(yù)傾角和排列方向。此后，通過將密封膠涂布至基板中的至少一個來形成密封膠圖案，以保持基板間的間隙、防止液晶泄露、并密封基板間的間隙。隨后，在基板之間形成液晶層，從而完成液晶面板。在上述過程中，測試TFT基板是否有缺陷的操作是通過例如檢測柵極線或數(shù)據(jù)線的斷線和打開、或者檢測TFT基板上的電路是否有缺陷來實現(xiàn)的。陣列測試裝置用于測試基板。陣列測試裝置包括配備有調(diào)制器的測試模塊以及配備有多個探針引腳的探針組件。在陣列測試裝置中，探針引腳與布置在待測基板上的電極連接。在此狀態(tài)下，通過向電極施加電信號而使調(diào)制器與基板之間形成電場?；宓娜毕菔峭ㄟ^參照電場的幅度來確定的。
之后，將測試模塊移至基板的另一部分，并重復(fù)上述測試。通過反復(fù)地執(zhí)行這些過程來測試基板的整個區(qū)域是否有缺陷。同時，根據(jù)基板的類型，布置在基板上的電極的位置和方向可以是多樣化的。為了利用單個陣列測試裝置來測試各種類型的基板，必須執(zhí)行將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)電極的操作，以使電極的位置和方向與那些探針引腳相對應(yīng)。在現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)執(zhí)行對準(zhǔn)操作時，由于沒有單獨的用于檢查探針引腳是否正確地對準(zhǔn)了基板的電極從而使電極的位置和方向與那些探針引腳相對應(yīng)的裝置，因此工作人員必須用肉眼來檢查每個探針引腳是否對準(zhǔn)了相應(yīng)的電極。因此，對準(zhǔn)過程的效率降低了，并且工作人員可能易于感到疲勞。此外，由于根據(jù)工作人員的觀察方向的不同而使探針引腳和電極的位置可能不準(zhǔn)確，因此降低了對準(zhǔn)操作的精確度和可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，針對以上在現(xiàn)有技術(shù)中所產(chǎn)生的問題提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供一種陣列測試裝置和一種能夠為將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極的操作提供便利的陣列測試方法。為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明在一個方面提供一種測試基板是否有缺陷的陣列測試裝置，包括探針組件，其包括探針頭和設(shè)置在探針頭上的探針棒，探針棒具有在其上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記；攝像單元，其拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記和在基板上形成的電極的圖像；以及測試模塊，其測試基板是否有缺陷。此外，在探針棒上可以布置有多個探針引腳，而且對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括探針引腳中的至少一個。替代地，在探針棒上可以布置有多個探針引腳，而且對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括在探針棒的上表面上與探針引腳相對應(yīng)的位置處形成的至少一個對準(zhǔn)標(biāo)記。作為進(jìn)一步的替代，可以在探針棒的上表面上與鄰近探針棒的各相對端部設(shè)置的兩個探針引腳中的至少一個相對應(yīng)的位置處形成對準(zhǔn)標(biāo)記。攝像單元可以包括設(shè)置在測試模塊上方的光學(xué)攝像單元。替代地，攝像單元可以包括對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元，所述對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元拍攝在基板上形成的用于基板對準(zhǔn)的對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像。陣列測試裝置可以包括控制單元，所述控制單元自動地將對準(zhǔn)標(biāo)記對準(zhǔn)在基板上形成的相應(yīng)的電極。本發(fā)明的另一方面提供一種利用陣列測試裝置的陣列測試方法，所述陣列測試裝置包括探針組件，其具有探針頭和設(shè)置在探針頭上的探針棒，探針棒具有多個布置在探針棒上的探針引腳；和攝像單元，所述陣列測試方法包括(a)獲得關(guān)于在基板上形成的電極的坐標(biāo)的信息；(b)移動探針頭從而使探針引腳接近電極；(c)拍攝在探針棒上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記以及電極的圖像；并且(d)參照圖像而將對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到電極中相應(yīng)的至少一個電極的坐標(biāo)處，從而使探針弓I腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極。對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括探針引腳中的至少一個，并且(d)設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括將探針引腳中的至少一個設(shè)置到與探針引腳中的所述至少一個相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。
替代地，對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括在探針棒的上表面上與從探針引腳中選擇的探針引腳相對應(yīng)的位置處形成的一個或多個對準(zhǔn)標(biāo)記，并且(d)設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括將對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到與所選探針引腳相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。作為進(jìn)一步的替代，可以在探針棒的上表面上與鄰近探針棒的各個相對端部設(shè)置的兩個探針引腳中的至少一個相對應(yīng)的位置處形成對準(zhǔn)標(biāo)記，并且(d)設(shè)置對準(zhǔn)標(biāo)記可以包括將對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到與鄰近探針棒的各個相對端部設(shè)置的兩個探針引腳中的至少一個相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。本發(fā)明的另一方面提供一種利用陣列測試裝置的陣列測試方法，所述陣列測試裝置包括探針組件，其具有探針頭和設(shè)置在探針頭上的探針棒，探針棒具有多個布置在探針棒上的探針引腳；和攝像單元，所述陣列測試方法包括移動探針頭從而使探針引腳接近在陣列基板上形成的電極；拍攝探針引腳和電極的圖像；參照所拍攝的圖像而使探針引腳鄰近電極，從而使將探針引腳彼此連接的虛線與將電極彼此連接的虛線平行；以及通過移動探針棒而使連接探針引腳的虛線與連接電極的虛線相符并重疊，使得探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極。在根據(jù)本發(fā)明的陣列測試裝置和陣列測試方法中，工作人員可以參照攝像單元所拍攝的圖像而容易地執(zhí)行將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)電極的操作。因此，可以提高操作的效率。而且，減少了工作人員的疲勞程度。此外，由于將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極的操作是參照攝像單元所拍攝的圖像來執(zhí)行的，因此可以顯著地提高操作的可靠性。


結(jié)合附圖，由以下對本發(fā)明的具體描述，可以更加清楚本發(fā)明前述的和其他的目的、特征、方面和優(yōu)點，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的陣列測試裝置的立體圖；圖2是圖1的陣列測試裝置的探針組件的立體圖；圖3A至圖3C是示出根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的陣列測試裝置的探針棒的實例的立體圖；圖4和圖6是圖示將圖3的探針棒的探針引腳對準(zhǔn)基板中各個電極的過程的立體圖；圖5和圖7分別示出在圖4和圖6的狀態(tài)下攝像單元所拍攝的圖像；圖8是根據(jù)本發(fā)明第二個實施例的陣列測試裝置的探針棒的立體圖；圖9和圖11是圖示將圖8的探針棒的探針引腳對準(zhǔn)基板中各個電極的過程的立體圖；以及圖10和圖12分別示出在圖9和圖11的狀態(tài)下攝像單元所拍攝的圖像。
具體實施例方式下文中將結(jié)合附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。然后，本發(fā)明不應(yīng)被解釋為局限于文中所述的實施例。而是，提供這些實施例使得本公開可將本發(fā)明的范圍完全地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。
將結(jié)合圖1和圖2詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的陣列測試裝置。圖1是根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的陣列測試裝置的立體圖。圖2是圖1的陣列測試裝置的探針組件100的立體圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的陣列測試裝置包括加載基板700的加載單元400、測試由加載單元400所加載的基板700的測試單元500、以及將測試過的基板700卸載的卸載單元600。測試單元500測試基板700是否有電缺陷。測試單元500包括透光支撐板510、測試模塊200、探針組件100、控制單元(未示出)和攝像單元300。由加載單元400加載的基板700位于透光支撐板510上。測試模塊200測試位于透光支撐板510上的基板700，以確定它們是否有電缺陷。探針組件100向在位于透光支撐板510上的基板700上形成的電極 750施加電信號。控制單元控制測試模塊200和探針組件100。每個攝像單元300拍攝設(shè)置在探針組件100上的相應(yīng)探針棒160和在基板700上形成的相應(yīng)電極750的圖像。雖然攝像單元300圖示為設(shè)置在測試模塊200上方，但攝像單元300可以位于測試模塊200的側(cè)壁旁邊，或鄰近測試模塊200的另一位置。替代地，攝像單元300可以位于鄰近探針組件100的位置，例如在探針組件100上方或旁邊。這樣，攝像單元300可以位于適于拍攝探針棒160和電極750的圖像的各種不同位置。陣列測試裝置被劃分為光反射型和光透射型。在反射型中，光源與測試模塊200 一起放置，并且測試模塊200的調(diào)制器210上設(shè)置有反射層(未示出)。這樣，通過在光源發(fā)出的光進(jìn)入調(diào)制器210之后測量由調(diào)制器210的反射層所反射的光量來確定基板700是否有缺陷。在透射型中，光源設(shè)置在測試單元500下方。通過在光從光源發(fā)出之后測量透過調(diào)制器210的光量來確定基板700是否有缺陷。根據(jù)本發(fā)明，陣列測試裝置或可采用光反射型，或可采用光透射型。如圖1所示， 在光透射型中，當(dāng)將攝像單元300設(shè)置在測試模塊200上方時，攝像單元300能夠經(jīng)透明的調(diào)制器210來拍攝探針棒160和電極750的圖像。然而在光反射型的情況中，調(diào)制器210上形成有反射層。這樣，如果將攝像單元 300置于測試模塊200上方，則攝像單元300不能拍攝探針棒160和電極750的圖像，因為反射層覆蓋了調(diào)制器210和調(diào)制器210下方所限定的空間。因此，在光反射型中，理想的情況是將攝像單元300置于測試模塊200的側(cè)壁旁邊、鄰近測試模塊200的另一位置、或鄰近探針組件100的位置，例如在探針組件100上方或旁邊，而不是將攝像單元300置于測試模塊200上方。如圖1所示，位于測試模塊200上方的攝像單元300包括光學(xué)攝像單元300，所述光學(xué)攝像單元300測量在光從光源發(fā)出之后透過調(diào)制器210的光量，由此來確定基板700 是否有缺陷。利用光學(xué)攝像單元300拍攝探針棒160和在基板700上形成的電極750的圖像的操作能夠為探針棒160與基板700的電極750的對準(zhǔn)提供便利。此外，位于測試模塊200的側(cè)壁旁邊、或鄰近測試模塊200的另一位置、或鄰近探針組件100的位置，例如在探針組件100上方或旁邊的攝像單元300包括對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元(未示出)，所述對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元拍攝在基板700上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像，以為基板 700的對準(zhǔn)提供便利。利用對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元(未示出)來拍攝探針棒160和在基板700上形成的電極750的圖像的操作能夠為探針棒160與基板700的電極750的對準(zhǔn)提供便利。除了光學(xué)攝像單元300或?qū)?zhǔn)標(biāo)記攝像單元(未示出)以外，還可以在測試模塊 200旁邊、或鄰近測試模塊200的另一位置、或鄰近探針組件100的位置，例如在探針組件 100上方或旁邊設(shè)置單獨的攝像單元300，以便拍攝探針棒160的圖像以及在基板700上形成的電極750的圖像。參見圖2，探針組件100包括探針組件支撐框架110、探針頭140、探針棒160、升降單元130和轉(zhuǎn)動單元150。探針組件支撐框架110位于透光支撐板510上方，并沿探針組件 100的長度方向(沿X軸方向)延伸預(yù)定的長度。探針頭140與探針組件支撐框架110聯(lián)接，并可沿探針組件支撐框架110的長度方向移動。探針棒160設(shè)置在各個探針頭140上。 每個探針棒160包括沿探針棒160設(shè)置的多個探針引腳170。升降單元130升降相應(yīng)的探針棒160。轉(zhuǎn)動單元150轉(zhuǎn)動相應(yīng)的探針棒160。探針組件支撐框架110與支撐件移動裝置120連接，并可沿Y軸方向移動。頭移動裝置141設(shè)置在探針組件支撐框架110與每個探針頭140之間，以沿探針組件支撐框架 110的長度方向移動探針頭140。諸如線性馬達(dá)或滾珠絲杠的線性驅(qū)動器件可以作為頭移動裝置141。每個探針棒160沿水平方向從相應(yīng)的探針頭140延伸。探針引腳170設(shè)置在探針棒160的下表面下方，并沿探針棒160延伸的方向布置。升降單元130設(shè)置在各個探針頭140上，并與相應(yīng)的探針棒160連接。例如使用液壓的致動器、使用電的線性馬達(dá)等的各種裝置可用來作為每個升降單元130，只要其能夠升降探針棒160即可。升降單元130的作用是向下移動探針棒160，從而使探針引腳170按壓位于透光支撐板510上的基板700的相應(yīng)電極750。轉(zhuǎn)動單元150安裝在各個探針頭140上并與相應(yīng)的探針棒160連接，以沿水平方向轉(zhuǎn)動探針棒160。每個轉(zhuǎn)動單元150可以包括轉(zhuǎn)動馬達(dá)。理想的情況是使用步進(jìn)馬達(dá)作為轉(zhuǎn)動單元150，以精確地控制探針棒160轉(zhuǎn)動的角度。轉(zhuǎn)動單元150的作用是轉(zhuǎn)動探針棒 160，從而使探針棒160的探針引腳170對準(zhǔn)基板700中相應(yīng)的電極750。在具有上述構(gòu)造的本發(fā)明的陣列測試裝置中，每個攝像單元300拍攝相應(yīng)的探針棒160和在基板700上形成的相應(yīng)的電極750的圖像。隨后，利用所述圖像能夠使探針棒 160的探針引腳170對準(zhǔn)基板700中相應(yīng)的電極750。此對準(zhǔn)操作可以在控制單元(未示出)的控制下自動執(zhí)行。例如，檢查探針棒160和在基板700上形成的電極750的圖像。如果探針棒160 的探針引腳170未與電極750對準(zhǔn)，則在控制單元的控制下通過支撐件移動裝置120的操作而使探針組件支撐框架110沿Y軸方向移動、或通過頭移動裝置141的操作而使探針頭 140沿X軸方向移動、或通過轉(zhuǎn)動單元150的操作而使探針棒160轉(zhuǎn)動。由此，可以使探針引腳170對準(zhǔn)電極750。隨后通過升降單元130的操作而使探針棒160向下移動，從而使探針引腳170按壓各個電極750。之后，電信號經(jīng)探針引腳170施加至電極750。在完成經(jīng)探針引腳170而將電信號施加至基板700的電極750的過程之后，測試單元500的測試模塊200操作，以測試基板700的電缺陷。這樣，在本發(fā)明的陣列測試裝置中，工作人員可以利用攝像單元300所拍攝的圖像容易地將探針引腳170對準(zhǔn)相應(yīng)的電極750。因此，可以提高對準(zhǔn)過程的效率，并減少工作人員的疲勞程度。而且，由于使用了攝像單元300所拍攝的圖像，探針引腳170可以精確地對準(zhǔn)相應(yīng)的電極750，從而提高了對準(zhǔn)操作的可靠性。以下將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的利用攝像單元300所拍攝的圖像而將探針引腳170對準(zhǔn)電極750的操作。圖3A至圖3C是示出根據(jù)本發(fā)明第一個實施例的陣列測試裝置的探針棒160的實例的立體圖。圖4和圖6是圖示將圖3的探針棒160的探針引腳170對準(zhǔn)基板700中相應(yīng)的電極750的過程的立體圖。圖5和圖7分別示出在圖4和圖6的狀態(tài)下攝像單元300所拍攝的圖像。如圖3A至3C所示，在探針棒160上形成有一個或兩個對準(zhǔn)標(biāo)記161，這些對準(zhǔn)標(biāo)記僅是對準(zhǔn)標(biāo)記161的說明性實例而已。在探針棒160的上表面上至少形成一個對準(zhǔn)標(biāo)記 161。理想的是在探針棒160的上表面上與位于兩個最外位置的探針引腳170相對應(yīng)的位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記161。例如，可以在探針棒160的上表面上與位于探針棒160的遠(yuǎn)端的第一個探針引腳 170相對應(yīng)的位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記161(參見圖3A)。替代地，可以在探針棒160的上表面上與位于探針棒160的近端的最后一個探針引腳170相對應(yīng)的位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記161 (參見圖 3B)。作為進(jìn)一步的替代，可以在探針棒160的上表面上與第一個和最后一個探針引腳 170相對應(yīng)的位置分別放置兩個對準(zhǔn)標(biāo)記161 (參見圖3C)。此外，可以在探針棒160的上表面上與偶數(shù)編號或奇數(shù)編號的探針引腳170相對應(yīng)的位置形成對準(zhǔn)標(biāo)記161。照此，可以以各種不同的方式在探針棒160上形成各種不同數(shù)量的對準(zhǔn)標(biāo)記161。替代地，對準(zhǔn)標(biāo)記161可以包括探針引腳170中的至少一個(參見圖8)。下文中將詳細(xì)說明探針引腳170與電極750的對準(zhǔn)，著重于這樣的情況在探針棒 160的上表面上與布置在探針棒160上的探針引腳170中的第一個探針引腳相對應(yīng)的位置形成有對準(zhǔn)標(biāo)記161。為了將探針引腳170與相應(yīng)的電極750對準(zhǔn)，首先獲得關(guān)于在基板700上形成的電極750的坐標(biāo)的信息。之后，如圖4所示，探針頭140移動，從而使探針引腳170鄰近基板700的電極750。隨后攝像單元300拍攝在探針棒160上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記161和基板700的電極 750的圖像。在拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記161和電極750的圖像時，理想的情況是將攝像單元300置于能夠易于在攝像單元300的顯示器(310，參見圖幻中顯示探針棒160和電極750位置。換句話說，理想的情況是將攝像單元300置于測試模塊200的側(cè)壁旁邊、鄰近測試模塊200的另一位置、或鄰近探針組件100的位置，例如在探針組件100的上方或旁邊。照此，可以將攝像單元300置于不同的位置，只要其能夠確實地拍攝探針棒160和電極750的圖像即可。在光透射型陣列測試裝置的情況中，可以將攝像單元300置于既設(shè)置在探針棒 160上方又設(shè)置在待測基板700上方的測試模塊200的上方。
參見圖5，顯示器310上顯示了攝像單元300所拍攝的圖像。在圖5的情況中，探針棒160尚未對準(zhǔn)電極750，換句話說，其位于遠(yuǎn)離電極750的位置。從這個狀態(tài)開始，參照探針棒160和基板700的電極750的圖像，通過以下面的方式將對準(zhǔn)標(biāo)記161設(shè)置到相應(yīng)的電極750的坐標(biāo)處，可以自動將探針棒160對準(zhǔn)電極750。 所述方式是在控制單元(未示出)的控制下通過操作支撐件移動裝置120而使探針組件支撐框架110沿Y軸方向移動、或通過操作頭移動裝置141而使探針頭140沿X軸方向移動、或通過操作轉(zhuǎn)動單元150而使探針棒160轉(zhuǎn)動。如圖5所示，在探針棒160的上表面上與探針引腳170的第一個探針引腳相對應(yīng)的位置處形成有對準(zhǔn)標(biāo)記161的情況下，可以如圖6所示定位探針棒160而將對準(zhǔn)標(biāo)記161 設(shè)置到與所述第一個探針引腳170相對應(yīng)的電極750的坐標(biāo)處。替代地，在探針棒160的上表面上與探針引腳170的最后一個探針引腳相對應(yīng)的位置處形成有對準(zhǔn)標(biāo)記161的情況下，可以定位探針棒160而將對準(zhǔn)標(biāo)記161設(shè)置到與所述最后一個探針引腳170相對應(yīng)的電極750的坐標(biāo)處。作為進(jìn)一步的替代，在探針棒160的上表面上與第一個和最后一個探針引腳170 相對應(yīng)的位置處分別形成有兩個對準(zhǔn)標(biāo)記161的情況下，可以定位探針棒160而將對準(zhǔn)標(biāo)記161分別設(shè)置到與所述第一個和最后一個探針引腳170相對應(yīng)的電極750的坐標(biāo)處。此外，在探針引腳170中的至少一個作為對準(zhǔn)標(biāo)記161的情況下，可以定位探針棒160而將所述至少一個探針引腳170設(shè)置到與所述至少一個探針引腳170相對應(yīng)的電極 750的坐標(biāo)處。照此，在本發(fā)明中，可以以各種不同的布置方式在探針棒160上形成各種數(shù)量的對準(zhǔn)標(biāo)記161。通過將一個或多個對準(zhǔn)標(biāo)記161設(shè)置到相應(yīng)的一個或多個電極750的坐標(biāo)處，可以將探針棒160對準(zhǔn)電極750。參見圖7，攝像單元300的顯示器310上顯示了與電極750對準(zhǔn)的探針棒160的形狀。隨后，由控制單元操作升降單元130而使探針引腳170按壓對應(yīng)的電極750。電信號經(jīng)探針引腳170施加至電極750。此時，控制單元測量通電的電極750的數(shù)量。當(dāng)通電的電極750的數(shù)量與應(yīng)當(dāng)通電的電極750的數(shù)量相同時，將探針引腳170對準(zhǔn)電極750的操作結(jié)束，因為其意味著全部探針引腳170都完全地對準(zhǔn)了相應(yīng)的電極750。當(dāng)完成經(jīng)探針引腳170將電信號施加至基板700的電極750的操作時，測試單元 500的測試模塊200操作，以測試基板700是否有電缺陷。下面將根據(jù)本發(fā)明第二個實施例來描述參照攝像單元300所拍攝的圖像而將探針引腳170對準(zhǔn)電極750的操作。使用相同的附圖標(biāo)記來表示與第一個實施例的那些元件相同的元件，并且省略對這些元件的進(jìn)一步說明。圖8是根據(jù)本發(fā)明第二個實施例的陣列測試裝置的探針棒160的立體圖。圖9和圖11是圖示將圖8的探針棒160的探針引腳170對準(zhǔn)基板700中相應(yīng)的電極750的過程的立體圖。圖10和圖12分別示出在圖9和圖11的狀態(tài)下攝像單元300所拍攝的圖像。
如圖8所示，探針棒160具有在其上表面開口的矩形條形，使得探針引腳170從探針棒160的開口上表面暴露出來。從探針棒160的開口上表面暴露出來的探針引腳170作為待用來將探針棒160對準(zhǔn)基板700的電極750的對準(zhǔn)標(biāo)記。為了將探針引腳170對準(zhǔn)相應(yīng)的電極750，如圖9所示，移動探針頭140使得探針引腳170臨近基板700的電極750。隨后攝像單元300拍攝布置在探針棒160上的探針引腳170和基板700的電極 750的圖像。在拍攝探針引腳170和電極750的圖像時，理想的情況是將攝像單元300置于能夠易于在攝像單元300的顯示器(310，參見圖10)上顯示探針棒160和電極750的位置。換句話說，理想的情況是將攝像單元300位于測試模塊200的側(cè)部旁邊、在臨近測試模塊200的另一位置、或在臨近探針組件100的位置，例如在探針組件100的上方或旁邊。照此，可以將攝像單元300置于各種不同的位置，只要其能夠確實地拍攝探針棒160和電極750的圖像即可。在光透射型陣列測試裝置的情況中，可以將攝像單元300置于既設(shè)置在探針棒 160上方又設(shè)置在待測基板700上方的測試模塊200的上方。參見圖10，顯示器310上顯示了攝像單元300所拍攝的圖像。在圖10的情況中， 探針棒160尚未對準(zhǔn)電極750，即，其位于遠(yuǎn)離電極750的位置。從這個狀態(tài)開始，參照攝像單元300所拍攝的圖像，將探針引腳170設(shè)置為臨近相應(yīng)的電極750，從而使將探針引腳170彼此連接的虛線A與將電極750彼此連接的虛線B平行。之后，參照探針棒160與基板700的電極750的圖像，以下面的方式使連接探針引腳170的虛線A和連接電極750的虛線B完全相符，所述方式是通過操作支撐件移動裝置 120而使探針組件支撐框架110沿Y軸方向移動、或通過操作頭移動裝置141而使探針頭 140沿X軸方向移動、或通過操作轉(zhuǎn)動單元150而使探針棒160轉(zhuǎn)動。如圖12所示，在攝像單元300的顯示器310上顯示了與相應(yīng)的電極750對準(zhǔn)的探針棒160的探針引腳170的形狀。隨后通過操作升降單元130而使探針棒160向下移動，從而使探針引腳170按壓各個電極750。之后，電信號經(jīng)探針引腳170施加至電極750。此時，控制單元(未示出)測量通電的電極750的數(shù)量。當(dāng)通電的電極750的數(shù)量與應(yīng)當(dāng)通電的電極750的數(shù)量相同時，將探針引腳170對準(zhǔn)電極750的操作結(jié)束，因為其意味著全部探針引腳170都完全地對準(zhǔn)了相應(yīng)的電極750。當(dāng)完成經(jīng)探針引腳170將電信號施加至基板700的電極750的操作時，測試單元 500的測試模塊200操作，以測試基板700是否有電缺陷。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的陣列測試裝置中，工作人員可以通過參照攝像單元所拍攝的圖像而容易地執(zhí)行將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極的操作。因此，可以提高操作的效率。 而且，減少了工作人員的疲勞程度。此外，由于將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極的操作是參照攝像單元所拍攝的圖像來執(zhí)行的，因此可以顯著地提高操作的可靠性。本發(fā)明實施例的技術(shù)實質(zhì)可以獨立地實施，也可以結(jié)合使用。此外，根據(jù)本發(fā)明的探針組件可以用在向基板施加電信號以測試基板的裝置中，基板例如不僅僅是TFT基板， 也可以是在其上形成有電極的各種類型的基板。 雖然結(jié)合示例性的實施例具體地說明和描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將會清楚，在不脫離本發(fā)明范圍和實質(zhì)的情況下，可以在形式和細(xì)節(jié)上進(jìn)行各種不同的變化。因此，本說明書中所描述的實施例應(yīng)被理解為是僅用于說明本發(fā)明的實質(zhì)的范圍，而不是對本發(fā)明的限制。本發(fā)明的實質(zhì)和范圍必須僅由所附權(quán)利要求來限定，并且可由權(quán)利要求推導(dǎo)出的任何修改、變型和等效布置方法都應(yīng)被認(rèn)為落入本發(fā)明的實質(zhì)和范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測試基板是否有缺陷的陣列測試裝置，包括探針組件，所述探針組件包括探針頭和設(shè)置在所述探針頭上的探針棒，所述探針棒具有在其上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記；攝像單元，所述攝像單元拍攝所述對準(zhǔn)標(biāo)記和在基板上形成的電極的圖像；和測試模塊，所述測試模塊測試所述基板是否有缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測試裝置，其中，在所述探針棒上布置有多個探針引腳， 并且所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括所述探針引腳中的至少一個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測試裝置，其中，在所述探針棒上布置有多個探針引腳， 并且所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括在所述探針棒的上表面上與所述探針引腳相對應(yīng)的位置處形成的至少一個對準(zhǔn)標(biāo)記。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列測試裝置，其中，在探針棒的上表面上與鄰近所述探針棒的各個相對端部設(shè)置的兩個探針引腳中的至少一個相對應(yīng)的位置處形成有所述對準(zhǔn)標(biāo)記。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的陣列測試裝置，其中，所述攝像單元包括設(shè)置在所述測試模塊上方的光學(xué)攝像單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的陣列測試裝置，其中，所述攝像單元包括對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元，所述對準(zhǔn)標(biāo)記攝像單元拍攝在所述基板上形成的用于所述基板的對準(zhǔn)的對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測試裝置，還包括控制單元，所述控制單元自動將所述對準(zhǔn)標(biāo)記對準(zhǔn)在所述基板上形成的相應(yīng)的電極。
8.一種利用陣列測試裝置的陣列測試方法，所述陣列測試裝置包括探針組件，所述探針組件具有探針頭和設(shè)置在所述探針頭上的探針棒，所述探針棒上布置有多個探針引腳；和攝像單元，所述陣列測試方法包括(a)獲得關(guān)于在所述基板上形成的電極的坐標(biāo)的信息；(b)移動所述探針頭從而使所述探針引腳接近所述電極；(c)拍攝所述電極以及在所述探針棒上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像；以及(d)參照所述圖像而將所述對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到所述電極中相對應(yīng)的至少一個電極的坐標(biāo)處，從而使所述探針弓I腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列測試方法，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括所述探針引腳中的至少一個，并且(d)設(shè)置所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括將所述探針引腳中的至少一個設(shè)置到與所述探針引腳中的所述至少一個相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列測試方法，其中，所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括在所述探針棒的上表面上與從所述探針引腳中選擇的探針引腳相對應(yīng)的位置處形成的一個或多個對準(zhǔn)標(biāo)記， 并且(d)設(shè)置所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括將所述對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到與所選探針引腳相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的陣列測試方法，其中，在所述探針棒的上表面上與鄰近所述探針棒的各個相對端部設(shè)置的兩個探針引腳中的至少一個相對應(yīng)的位置處形成有所述對準(zhǔn)標(biāo)記，并且(d)設(shè)置所述對準(zhǔn)標(biāo)記包括將所述對準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置到與鄰近所述探針棒的各個相對端部設(shè)置的所述兩個探針引腳中的所述至少一個相對應(yīng)的電極的坐標(biāo)處。
12. 一種利用陣列測試裝置的陣列測試方法，所述陣列測試裝置包括探針組件，所述探針組件具有探針頭和設(shè)置在所述探針頭上的探針棒，所述探針棒上布置有多個探針引腳；和攝像單元，所述陣列測試方法包括移動所述探針頭從而使所述探針引腳接近在陣列基板上形成的電極； 拍攝所述探針引腳和所述電極的圖像；參照所拍攝的圖像而使所述探針引腳鄰近所述電極，從而使將所述探針引腳彼此連接的虛線與將所述電極彼此連接的虛線平行；并且通過移動所述探針棒而使連接所述探針引腳的虛線與連接所述電極的虛線相符并重疊，使得所述探針弓I腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于測試基板是否有缺陷的陣列測試裝置。所述陣列測試裝置包括探針組件、攝像單元和測試模塊。探針組件包括探針頭和設(shè)置在探針頭上的探針棒。在探針棒上形成有對準(zhǔn)標(biāo)記。攝像單元拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記和在基板上形成的電極的圖像。本發(fā)明通過參照攝像單元所拍攝的圖像而為將探針引腳對準(zhǔn)相應(yīng)的電極的操作提供便利。
文檔編號G02F1/13GK102375252SQ201010283360
公開日2012年3月14日 申請日期2010年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月5日
發(fā)明者潘俊浩 申請人:塔工程有限公司