專利名稱：一種曝光臺的吸真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)，尤其涉及的是一種曝光臺 的吸真空裝置。
背景技術(shù)：
,導(dǎo)體集成電路制造中曝光是很關(guān)鍵的流程，該流程是在計算機(jī)的控 制下，利用聚焦電子束對光刻膠進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其 物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在特定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在 抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
吸真空的程度是影響曝光質(zhì)量的重要因素，13前曝光機(jī)的吸真空裝置
為導(dǎo)氣條110，見圖1;如圖1至3所示，導(dǎo)氣條110和PCB板120 (Printed circuit board,印刷線路板)設(shè)置在曝光臺面100上，底片130覆蓋于PCB 板120和導(dǎo)氣條110上，Mylar膜140 (—種絕緣的聚酯薄膜)覆蓋于底片 130上。由于該結(jié)構(gòu)中PCB板120與底片130的總高度與導(dǎo)氣條110的高 度之間存在高度差，且底片130的長度大于比PCB板120的長度，在曝光 機(jī)吸真空完成后，底片130會出現(xiàn)弧形狀(見圖3)，不能完全貼于PCB板 120面導(dǎo)致吸真空不良，Mylar膜140也會隨之變形，影響Mylar膜140的 使用壽命。此外，導(dǎo)氣條110 (如圖1)的面積小，無法完全地排出底片130 與PCB板120之間的空氣，導(dǎo)致吸真空不良。另，由于PCB板120的尺寸 大小不同，變形的Mylar膜140亦會造成吸氣不良。
若曝光時(見圖4)內(nèi)層吸真空不良，光會透過底片130內(nèi)存在的空氣 折射使線路下的油墨感光，從而使底片線路131變寬(如圖5)造成阻抗偏低，使信號傳輸產(chǎn)生干擾；若外層吸真空不良，則底片線路131變細(xì)造成
阻抗偏高，使信號傳輸不穩(wěn)定；若防焊制程時吸真空不良，則造成焊盤不 能完全顯影出來，導(dǎo)致無法上件；以上各制程吸真空不良嚴(yán)重時，直接導(dǎo) 致PCB板120功能失效，無法使用。
因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種曝光臺的吸真空裝置，該裝置能夠加 強(qiáng)曝光臺面吸真空效果。
-種曝光臺的吸真空裝置，包括位于曝光臺面上設(shè)置在印刷電路板周 圍的導(dǎo)氣板，該導(dǎo)氣板上開設(shè)氣孔，且該導(dǎo)氣板的高度等于或者略小于所 述印刷電路板與其上底片的高度和。
所述的曝光臺的吸真空裝置，其中，所述導(dǎo)氣板的高度等于所述印刷 電路板的高度。
所述的曝光臺的吸真空裝置，其中，每個所述導(dǎo)氣板上設(shè)置的氣孔至 少為兩個。
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周圍形成封閉區(qū)域。
所述的曝光臺的吸真空裝置，其中，其特征在于，所述氣孔是錐形孔。 本實用新型所提供的曝光臺的吸真空裝置將現(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)氣條更改 為具有氣孔的導(dǎo)氣板，由于導(dǎo)氣板的高度等于印刷電路板與其上底片的高 度和，或者略小于該高度和，在吸真空完成后，底片不會彎曲成弧狀，提 高了吸真空的效果；相應(yīng)的Mylar膜也不會變形，增加了 Mylar膜的使用壽 命；而且，由于導(dǎo)氣板的結(jié)構(gòu)便于組合，能夠滿足不同尺寸大小的印刷電

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中曝光臺吸真空裝置的俯視圖2是現(xiàn)有技術(shù)中曝光臺吸真空裝置的主視圖3是現(xiàn)有技術(shù)屮曝光臺吸真空裝置在吸真空完成后的主視圖4是曝光制程的示意圖5是現(xiàn)有技術(shù)中吸真空不良的示意圖6是本實用新型中曝光臺吸真空裝置的俯視閣7是木實用新型中曝光臺吸真空裝置的主視圖8是本實用新型中氣孔的第一種形式；
圖9是本實用新型屮氣孔的第二種形式；
閣10足本實川新艱屮氣孔的第-￡種形式。
貝-體實施力'式
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型做詳細(xì)描述。 木實用新型的曝光臺的吸真空裝置，包括位于曝光臺面200上的^-氣 板210，如圖6和7所示，該導(dǎo)氣板210設(shè)置在印刷電路板220的周圍，該 導(dǎo)氣板210上開設(shè)氣孔211，且該導(dǎo)氣板210的高度等于或者略小于所述印 刷電路板220與其卜-底片的卨度和。該結(jié)構(gòu)是將曝光機(jī)吸真空裝置從導(dǎo)氣 條史改為A有氣孔211的W乂〔板210，導(dǎo)氣板210的卨度等于印刷電路板 220與其上底片230的高度和，或者略小于該高度和，作為略小于所述高度 和的優(yōu)選，導(dǎo)氣板210的高度等于所述印刷電路板220的高度，采用該結(jié) 構(gòu)，在吸真空完成后，底片230不會彎曲成弧狀，提高了吸真空的效果； 相應(yīng)的Mylar膜240也不會變形，從而增加了 Mylar膜240的使用壽命，節(jié) 約了成本；而且，由于導(dǎo)氣板210的結(jié)構(gòu)便于組合，能夠滿足不同尺寸大 小的印刷電路板220的要求，保證不同尺寸的印刷電路板220的吸真空效果。
為了進(jìn)一步提高吸真空的效果，每個所述導(dǎo)氣板210上設(shè)置的氣孔211 至少為兩個，多則不限。因為導(dǎo)氣板210較之原有的導(dǎo)氣條110，增大了表 面支持面積，每個導(dǎo)氣板210上具有至少兩個氣孔211，多則不限，增大了 吸真空的作用面積，能更徹底地排出底片230與印刷電路板220之間的空 氣，從而使曝光機(jī)吸真空效果更佳。作為優(yōu)選，所述導(dǎo)氣板210在所述印 刷電路板220的周圍形成封閉區(qū)域。
此外，氣孔211的形制有多種，如常見的直孔(如圖8所示)、錐形孔 (如圖9所小)、或者兼具直孔與錐形孔(如圖10所示)。
應(yīng)當(dāng)理解的是，本實川新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對本領(lǐng)域普通 技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換，所有這些改進(jìn)和變換 都應(yīng)屬于木實用新M所附權(quán)利要求的保護(hù)范闈。
權(quán)利要求1.一種曝光臺的吸真空裝置，其特征在于，包括位于曝光臺面上設(shè)置在印刷電路板周圍的導(dǎo)氣板，該導(dǎo)氣板上開設(shè)氣孔，且該導(dǎo)氣板的高度等于或者略小于所述印刷電路板與其上底片的高度和。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的曝光臺的吸真空裝置，其特征在于，所述導(dǎo) 氣板的高度等于所述印刷電路板的高度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的l驅(qū)光臺的吸真空裝置，其特征在于，每個所 述導(dǎo)氣板上設(shè)置的氣孔至少為兩個。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的曝光臺的吸真空裝置，其特征在于，所述導(dǎo) 氣板在所述印刷電路板的周,形成封閉區(qū)域。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4任--所述的曝光臺的吸真空裝置，其特征在于， 所述氣孔是錐形孔。
專利摘要本實用新型公開了一種曝光臺的吸真空裝置，包括位于曝光臺面上設(shè)置在印刷電路板周圍的導(dǎo)氣板，該導(dǎo)氣板上開設(shè)氣孔，且該導(dǎo)氣板的高度等于或者略小于所述印刷電路板與其上底片的高度和。本實用新型所提供的曝光臺的吸真空裝置將現(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)氣條更改為具有氣孔的導(dǎo)氣板，由于導(dǎo)氣板的高度等于印刷電路板與其上底片的高度和，或者略小于該高度和，在吸真空完成后，底片不會彎曲成弧狀，提高了吸真空的效果；相應(yīng)的Mylar膜也不會變形，還增加了Mylar膜的使用壽命；而且，由于導(dǎo)氣板的結(jié)構(gòu)便于組合，能夠滿足不同尺寸大小的印刷電路板的要求，保證不同尺寸的印刷電路板的吸真空效果。
文檔編號G03F7/20GK201434967SQ20092013046
公開日2010年3月31日 申請日期2009年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月31日
發(fā)明者陳忠一 申請人:競?cè)A電子(深圳)有限公司