專利名稱：：感光性樹脂組合物及顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物及顯示裝置。
背景技術(shù)：
：近年來的液晶顯示面板等正在進(jìn)行基板尺寸的大型化，通常為了在基板面上形成涂敷層等透明層或圖案而利用旋轉(zhuǎn)涂布法或狹縫&旋轉(zhuǎn)法等涂布形成感光性樹脂組合物。另一方面，從生產(chǎn)率提高、應(yīng)對(duì)大型畫面等觀點(diǎn)出發(fā)，探討了不僅對(duì)感光性樹脂組合物溶液進(jìn)行省液化而且形成高質(zhì)量的均勻的涂膜的方法。從這樣的背景出發(fā)，為了形成出色質(zhì)量的涂膜，正在對(duì)溶劑種類的選擇進(jìn)行探討。例如，作為溶劑，公開了將使用丙二醇一甲醚乙酸酯、丙酸3-乙氧基乙基酯、3_甲氧基-1-丁醇及乙酸3-甲氧基丁酯的混合溶劑的感光性樹脂組合物用于形成涂膜(例如專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-181087號(hào)公報(bào)段落91但是，如果利用作為代表性的涂布方法的旋轉(zhuǎn)涂布法在凹凸基板上涂布使用上述的溶劑的感光性樹脂組合物，則有時(shí)會(huì)沿著凹凸圖案在涂布面上產(chǎn)生放射線狀的條紋(以下稱為"條痕(striation)")。g卩，目前即使使用過去提出的溶劑并適用于旋轉(zhuǎn)涂布法、狹縫&旋轉(zhuǎn)法、狹縫模頭(slitdie)涂布法等中，這些方法均未必得到高質(zhì)量的涂膜。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種抑制條痕的發(fā)生從而可在涂膜整體上形成均勻、高質(zhì)量的涂膜的感光性樹脂組合物。即，本發(fā)明提供以下[1][11]。[1]—種感光性樹脂組合物，其中，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)含有式(I)所示的溶劑。R丄-0-(A-0)n-R2(I)(式(I)中，^及I^分別獨(dú)立地表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)14的烷基，A表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)13的亞烷基，n表示2或3的整數(shù)，多個(gè)A相同或不同。)[2]根據(jù)[1]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有彼此不同的2種以上的式(I)表示的溶劑。[3]根據(jù)[1]或[2]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有二甘醇乙基甲基醚。[4]根據(jù)[3]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)相對(duì)溶劑總量含有1090質(zhì)量％二甘醇乙基甲基醚。[5]根據(jù)[1][4]中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，3溶劑(D)含有選自二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少1種溶劑。[6]根據(jù)[5]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)相對(duì)溶劑總量含有1050質(zhì)量％的選自二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少l種溶劑。[7]根據(jù)[1][6]中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有選自二甘醇乙基甲基醚、二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少l種溶劑。[8]根據(jù)[7]所述的感光性樹脂組合物，其中，相對(duì)溶劑總量，溶劑(D)含有的選自二甘醇乙基甲基醚、二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少1種的溶劑的合計(jì)量為60質(zhì)量％以上、100質(zhì)量％以下。[9]—種涂膜，其是使用[1][8]中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的涂膜。[10]—種圖案(pattern)，其是使用[1][8]中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的圖案。[11]—種顯示裝置，其含有選自[9]所述的涂膜及[10]所述的圖案中選擇的至少l種。如果利用本發(fā)明，則可形成抑制條痕的發(fā)生從而在整體上形成均勻、高質(zhì)量的涂膜。另外，通過使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，得到高質(zhì)量的顯示裝置等成為可能。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)。其中，在本說明書中，作為各成分例示的化合物只要沒有特別說明，則可單獨(dú)或組合使用。作為在本發(fā)明中使用的樹脂(A)，可例示具有堿溶解性的樹脂(Al)、具有堿溶解性以及對(duì)光和熱的至少任意一方的作用具有反應(yīng)性的樹脂(A2)等。作為具有堿溶解性的樹脂(Al)，可例示選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少1種(a)(以下有時(shí)稱為"(a)")與能夠與(a)共聚的單體(c)(以下有時(shí)稱為"(c)")的共聚物等。作為(a)，例如可具體舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、鄰-、間-、對(duì)-乙烯基苯甲酸等不飽和一元羧酸類；1，4-環(huán)己烯二羧酸、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸等不飽和二元羧酸類；馬來酸、富馬酸、擰康酸(citraconicacid)、甲基富馬酸(mesaconicacid)、衣康酸、3-乙烯基苯二甲酸、4-乙烯基苯二甲酸、3，4，5，6-四氫化鄰苯二甲酸、l，2，3，6-四氫化鄰苯二甲酸、二甲基四氫化鄰苯二甲酸等不飽和二元羧酸類；這些不飽和二元羧酸類的無水物；琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類；a_(羥甲基)丙烯酸之類的在同一分子中含有羥基及羧基的不飽和丙烯酸酯類等。其中，從共聚反應(yīng)性的點(diǎn)或堿溶解性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酐等。作為(c)，可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類；(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.026]癸-8-基酯(在該
技術(shù)領(lǐng)域：
中，作為慣用名，被稱為(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯。)、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯等(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯類；丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.(f6]癸-8-基酯(在該
技術(shù)領(lǐng)域：
中，作為慣用名，被稱為丙烯酸二環(huán)戊基酯。)、丙烯酸二環(huán)戊氧基乙基酯、丙烯酸異冰片基酯等丙烯酸環(huán)狀烷基酯類；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯等(甲基)丙烯酸芳基酯類；丙烯酸苯酯、丙烯酸節(jié)酯等丙烯酸芳基酯類；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯；(甲基)丙烯酸2_羥乙酯、(甲基)丙烯酸2_羥丙酯等羥基烷基酯類；二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚_2-烯、5_乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2_烯、5_甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羥甲基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚_2_烯、5-羧基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二環(huán)[2.2.1]庚_2_烯、5_羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯無水物(腐植酸(himicacid)酐)、5-叔丁氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_苯氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(叔丁氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(環(huán)己氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等二環(huán)不飽和化合物類；N-苯基馬來酸酐縮亞胺、N-環(huán)己基馬來酸酐縮亞胺、N-芐基馬來酸酐縮亞胺、N-琥珀酰亞胺基(succinimidyl)-3-馬來酸酐縮亞胺苯甲酸酯J-琥珀酰亞胺基_4_馬來酸酐縮亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來酸酐縮亞胺己酸酯、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酸酐縮亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基(acridinyl))馬來酸酐縮亞胺等二羰基酰亞胺衍生物類；苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3_丁二烯、異戊間二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等。其中，從共聚反應(yīng)性及堿溶解性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選苯乙烯、N-苯基馬來酸酐縮亞胺、N-環(huán)己基馬來酸酐縮亞胺、N-芐基馬來酸酐縮亞胺、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等。5[OO55](a)及(c)可單獨(dú)或組合使用。此外，在本說明書中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯。在使(a)及(c)共聚得到的共聚物中，在將構(gòu)成所述的共聚物的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù)設(shè)為100摩爾％時(shí)，以摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)算，分別從(a)及(c)衍生的構(gòu)成成分的比率優(yōu)選處于以下范圍內(nèi)從(a)衍生的構(gòu)成單元；240摩爾％[OO59]從(c)衍生的構(gòu)成單元；6098摩爾％另外，如果所述的構(gòu)成成分的比率處于以下的范圍內(nèi)，則更優(yōu)選。從(a)衍生的構(gòu)成單元；535摩爾％[OO62]從(c)衍生的構(gòu)成單元；6595摩爾％所述的構(gòu)成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性變好的趨勢(shì)。所述的具有堿溶解性的樹脂(Al)可參考例如在文獻(xiàn)"高分子合成的實(shí)驗(yàn)法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)等來制造。具體而言，可例示在反應(yīng)容器中加入構(gòu)成共聚物的單元(a)及(c)的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑等，通過利用氮置換氧，而在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫的方法。其中，對(duì)在此使用的聚合引發(fā)劑及溶劑等沒有特別限定，也可使用在該領(lǐng)域內(nèi)通常使用的任意聚合引發(fā)劑及溶劑。例如，可使用后述的聚合引發(fā)劑及溶劑等。此外，得到的共聚物可直接使用反應(yīng)后的溶液，也可使用濃縮或稀釋的溶液，也可使用利用再沉淀等方法作為固體(粉體)取出的共聚物。尤其通過在其聚合時(shí)作為溶劑使用后述的溶劑(D)，而可直接使用反應(yīng)后的溶液，從而可簡(jiǎn)化制造工序(以下，在樹脂(A2)中，也同樣)。所述的具有堿溶解性的樹脂(Al)的聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為3，000100，000，更優(yōu)選為5，00050，000。如果具有堿溶解性的樹脂(Al)的重均分子量處于所述的范圍內(nèi)，則具有涂布性變好的趨勢(shì)，另外，還具有難以在顯影時(shí)發(fā)生膜減薄進(jìn)而在顯影時(shí)非像素部分的剝脫性良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。具有堿溶解性的樹脂(Al)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.16.O，更優(yōu)選為1.24.0。如果分子量分布在所述的范圍內(nèi)，則具有顯影性出色的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。相對(duì)感光性樹脂組合物中的固體成分，可在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的具有堿溶解性的樹脂(Al)的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為590質(zhì)量％，更優(yōu)選為1070質(zhì)量％。如果具有堿溶解性的樹脂(Al)的含量在所述的范圍內(nèi)，則在顯影液中的溶解性充分，在非像素部分的基板上難以產(chǎn)生顯影殘余物，另外，在顯影時(shí)難以發(fā)生曝光部的像素部分的膜減薄，從而具有非曝光部分的脫落性良好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。作為具有堿溶解性及對(duì)光和熱的至少一方的作用具有反應(yīng)性的樹脂(A2)，可舉出樹脂(A2-l):(a)與(c)與具有碳數(shù)24的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的化合物(b)(以下有時(shí)稱為"(b)")的共聚物、樹脂(A2-2):向(a)與(c)的共聚物反應(yīng)(b)得到的共聚物、樹脂(A2-3):(a)與(b)的共聚物等。(b)為具有碳數(shù)24的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的化合物，是指具有從包括環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基(oxetanyl)及四氫糠基在內(nèi)的組中選擇的至少1種結(jié)構(gòu)的聚合性化合物。(b)優(yōu)選為具有碳數(shù)24的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)而且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選為具有碳數(shù)24的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)而且具有丙烯酰基或甲基丙烯?；幕衔铩Ｗ鳛?b)，例如可舉出具有環(huán)氧基的單體(bl)(以下有時(shí)稱為"bl")、具有氧雜環(huán)丁烷基的單體(b2)(以下有時(shí)稱為"b2")、具有四氫糠基的單體等。(bl)是指具有例如從包括脂肪族環(huán)氧結(jié)構(gòu)及脂環(huán)式環(huán)氧結(jié)構(gòu)在內(nèi)的組中選擇的至少l種結(jié)構(gòu)的聚合性化合物。該具有環(huán)氧基的單體優(yōu)選為具有從包括脂肪族環(huán)氧結(jié)構(gòu)及脂環(huán)式環(huán)氧結(jié)構(gòu)在內(nèi)的組中選擇的至少1種結(jié)構(gòu)而且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選為具有從包括脂肪族環(huán)氧基及脂環(huán)式環(huán)氧基在內(nèi)的組中選擇的至少1種結(jié)構(gòu)而且具有丙烯酰基及甲基丙烯?；幕衔?。脂肪族環(huán)氧結(jié)構(gòu)是指使鏈?zhǔn)较N進(jìn)行環(huán)氧化而成的結(jié)構(gòu)。作為(bl)中的具有脂肪族環(huán)氧結(jié)構(gòu)而且具有乙烯性碳-碳雙鍵的化合物，可具體舉出縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、13_甲基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、13_乙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、縮水甘油乙烯基醚、在日本特開平7-248625號(hào)公報(bào)中記載的由下述式表示的化合物等。'(CH2OCH2CH—CH^(式中，R11R13分別獨(dú)立地為氫原子或碳原子數(shù)110的烷基，m為15的整數(shù)。)。作為由所述的式表示的化合物，例如可舉出鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、a-甲基-鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、a-甲基_間乙烯基芐基縮水甘油醚、a_甲基_對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、2，3-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，4-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，5-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，6-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，4-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，5-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，6-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、3，4，5-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，4，6_三縮水甘油氧基甲基苯乙烯等。脂環(huán)式環(huán)氧結(jié)構(gòu)是指使環(huán)式烯烴進(jìn)行環(huán)氧化而成的結(jié)構(gòu)。作為(A2)的(bl)中的具有脂環(huán)式環(huán)氧結(jié)構(gòu)而且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵的化合物，可舉出從包括乙烯基環(huán)己烯一氧化物1，2-環(huán)氧基-4_乙烯基環(huán)己烷(例如Celloxide2000;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、丙烯酸3，4_環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯(例如CyclomeerA400;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯(例如CyclomerMlOO;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)或由式(I)所示的化合物及由式(II)所示的化合物在內(nèi)的組中選擇的至少1種化合物。ROR'O[在式(I)及式(II)中，R及R'分別獨(dú)立地表示氫原子或可被羥基取代的碳數(shù)14的烷基。X及X'分別獨(dú)立地表示單鍵、C卜e亞烷基、氧基-C卜e亞烷基、硫代-C卜e亞烷基、亞氨基-Q6亞烷基、Q6亞烷基_氧基、Q6亞烷基_硫代或Q6亞烷基_亞氨基。]作為烷基，可具體舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。作為羥基烷基，可舉出羥基甲基、1-羥基乙基、2_羥基乙基、1-羥基正丙基、2-羥基正丙基、3_羥基正丙基、1-羥基異丙基、2_羥基異丙基、1-羥基正丁基、2_羥基正丁基、3-羥基正丁基、4_羥基正丁基等。作為取代基R及R'，可優(yōu)選舉出氫原子、甲基、羥甲基、1-羥乙基、2_羥乙基，可更優(yōu)選舉出氫原子、甲基。作為亞烷基，可舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基等。作為氧亞烷基，可舉出氧亞甲基、氧亞乙基、氧亞丙基等。作為亞烷氧基，可舉出亞甲氧基、亞乙氧基、亞丙氧基等。作為硫代亞烷基，可舉出硫代亞甲基、硫代亞乙基、硫代亞丙基等。作為亞烷基硫代基，可舉出亞甲基硫代基、亞乙基硫代基、亞丙基硫代基等。作為亞氨基亞烷基，可舉出亞氨基亞甲基、亞氨基亞乙基、亞氨基亞丙基等。作為亞烷基亞氨基，可舉出亞甲基亞氨基、亞乙基亞氨基、亞丙基亞氨基等。作為取代基X及X'，可優(yōu)選舉出單鍵、亞甲基、亞乙基、氧亞甲基、氧亞乙基，可更優(yōu)選舉出單鍵、氧亞乙基。作為由式(I)表示的化合物，可舉出由式(1-1)式(1-15)表示的化合物等?？蓛?yōu)選舉出式(1-1)、式(1-3)、式(1-5)、式(1-7)、式(1-9)、式(Hl)式(1-15)?？筛鼉?yōu)選舉出式(1-1)、式(1-7)、式(1-9)、式(1-15)。8<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(1-10)作為由式(n)表示的化合物，可舉出由式(n-i)式(n-i5)表示的化合物等。可優(yōu)選舉出式(n-i)、式(n-3)、式(n-5)、式(n-7)、式(n-9)、式(n-ii)式(n-i5)。可更優(yōu)選舉出式(n-i)、式(n-7)、式(n-9)、式(n-i5)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>從包括由式(I)表示的化合物及由式(II)表示的化合物在內(nèi)的組中選擇的至少l種化合物可分別單獨(dú)使用。另外，它們可以任意的比率混合。在混合的情況下，其混合比率以摩爾比計(jì)算優(yōu)選式(I):式(II)為59595:5，更優(yōu)選為10:9090:10，進(jìn)而優(yōu)選為20:8080:20。作為共聚物(A2-l)及(A2-2)中的(b2)的具有氧雜環(huán)丁烷基而且具有不飽和鍵的化合物，例如可舉出3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3_甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3_乙基_3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3_乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷等。在共聚物(A2-l)中，相對(duì)構(gòu)成共聚物(A2-l)的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù)，從各成分衍生的構(gòu)成成分的比率以摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選處于以下的范圍內(nèi)從(a)衍生(導(dǎo)<)的構(gòu)成單元；240摩爾％從(c)衍生的構(gòu)成單元；165摩爾％從(bl)或(b2)衍生的構(gòu)成單元；295摩爾％另外，如果所述的構(gòu)成成分的比率處于以下的范圍內(nèi)，則更優(yōu)選coIo=cH3一clc10從(a)衍生的構(gòu)成單元；535摩爾％從(c)衍生的構(gòu)成單元；160摩爾％從(bl)或(b2)衍生的構(gòu)成單元；580摩爾％所述的構(gòu)成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性及機(jī)械強(qiáng)度變好的趨勢(shì)。所述的具有堿溶解性的樹脂(A2-l)可參考例如在文獻(xiàn)"高分子合成的實(shí)驗(yàn)法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)等來制造。具體而言，可舉出在反應(yīng)容器中加入將構(gòu)成共聚物的單元(a)、(c)及(bl)或(b2)衍生(導(dǎo)<)的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑，通過利用氮置換氧，而在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫的方法。樹脂(A2-2)例如可經(jīng)歷兩個(gè)階段的工序制造。即使在這種情況下，也可參考在上述的文獻(xiàn)"高分子合成的實(shí)驗(yàn)法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第l版第l次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法、在日本特開2001-89533號(hào)公報(bào)中記載的方法等來制造。首先，作為第一階段，與上述的具有堿溶解性的樹脂(Al)的制造方法同樣地進(jìn)行，得到共聚物(即，具有堿可溶性的樹脂)。這種情況下，可與上述同樣地以各種形態(tài)接著使用。另外，適于成為與上述相同的聚苯乙烯換算的重均分子量及分子量分布[重均分子量(Mw)/數(shù)均分子量(Mn)]。其中，相對(duì)構(gòu)成所述的共聚物的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù)，分別從(a)及(c)衍生的構(gòu)成成分的比率以摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選處于以下的范圍內(nèi)從(a)衍生的構(gòu)成單元；550摩爾％從(c)衍生的構(gòu)成單元；5095摩爾％另外，如果所述的構(gòu)成成分的比率處于以下的范圍內(nèi)，則更優(yōu)選從(a)衍生的構(gòu)成單元；1045摩爾％從(c)衍生的構(gòu)成單元；5590摩爾％接著，作為第二階段，使來源于得到的共聚物的(a)的羧酸及羧酸酐的一部分與來源于所述的(bl)或(b2)的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基反應(yīng)。具體而言，在上述后接著將燒瓶?jī)?nèi)氣氛從氮置換成空氣，向燒瓶?jī)?nèi)加入相對(duì)構(gòu)成成分(a)的摩爾數(shù)為580摩爾％的構(gòu)成成分(bl)或(b2);相對(duì)單體(a)(c)的總量以質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算為0.0015%的作為羧基與環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的反應(yīng)催化劑的例如三二甲胺基甲基苯酚；以及，相對(duì)單體(a)(c)的總量以質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算為0.0015%的作為聚合抑制劑的例如氫醌，在6013(TC下持續(xù)反應(yīng)110小時(shí)。這樣，可得到樹脂(A2-2)。此外，可與聚合條件同樣地考慮制造設(shè)備或通過聚合產(chǎn)生的熱值等來適當(dāng)?shù)卣{(diào)整加入方法或反應(yīng)溫度。另外，在這種情況下，(bl)或(b2)的摩爾數(shù)相對(duì)(a)的摩爾數(shù)，優(yōu)選為1075摩爾％，更優(yōu)選為1570摩爾％。通過在該范圍內(nèi)，具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度及靈敏度的平衡變好的趨勢(shì)。在樹脂(A2-3)中，相對(duì)構(gòu)成堿可溶性樹脂(A2-3)的構(gòu)成成分的總摩爾數(shù)，從各成分衍生的構(gòu)成成分的比率以摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選處于以下的范圍內(nèi)從(a)衍生的構(gòu)成單元；595摩爾％從(bl)或(b2)衍生的構(gòu)成單元；595摩爾％另外，如果所述的構(gòu)成成分的比率處于以下的范圍內(nèi)，則更優(yōu)選從(a)衍生的構(gòu)成單元；1090摩爾％從(bl)或(b2)衍生的構(gòu)成單元；1090摩爾％所述的構(gòu)成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性及機(jī)械強(qiáng)度變好的趨勢(shì)。樹脂(A2-3)可參考例如在文獻(xiàn)"高分子合成的實(shí)驗(yàn)法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻(xiàn)中記載的引用文獻(xiàn)等來制造。具體而言，在反應(yīng)容器中加入將構(gòu)成共聚物的單元(a)及(bl)或(b2)衍生的化合物的規(guī)定量、聚合引發(fā)劑及溶劑，通過利用氮置換氧，而在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫，由此得到共聚物。此外，得到的共聚物可直接使用反應(yīng)后的溶液，也可使用濃縮或稀釋的溶液，也可使用利用再沉淀等方法作為固體(粉體)取出的共聚物。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的聚合性化合物(B)只要具有聚合性，則沒有特別限定，例如可例示單官能單體、雙官能單體、三官能以上的多官能單體等。作為單官能單體，可舉出壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3_丙氧基丙基酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-(2_乙氧基乙氧基)乙基酯、己內(nèi)酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯、a-、鄰-、間-、對(duì)-甲基苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、對(duì)叔丁氧基苯乙烯、氯甲基苯乙烯等苯乙烯類；丁二烯、2，3-二甲基丁二烯、異戊間二烯等二烯類；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂?；ァ?甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸炔丙基(propagyl)酉旨、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽基(anthracenyl)酉旨、(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸呋喃基(furyl)酉旨、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸吡喃基(pyranyl)酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸苯甲酰甲基(phenecyl)酯、(甲基)丙烯酸甲苯基酯、(甲基)丙烯酸1，1，1-三氟乙基酯、(甲基)丙烯酸全氟乙基酯、(甲基)丙烯酸全氟正丙基酯、(甲基)丙烯酸全氟異丙基酯、(甲基)丙烯酸三苯基甲基酯、(甲基)丙烯酸枯基酯等(甲基)丙烯酸烷基酯，(甲基)丙烯酸環(huán)烷基酯或(甲基)丙烯酸芳基酯；(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯等(甲基)丙烯酸羥基烷基酯；[OH2](甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸苯胺、(甲基)丙烯腈、丙烯醛、氯乙烯、偏二氯乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙酸乙烯酯等乙烯系化合物；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等不飽和二羧酸二酯；縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-乙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-正丙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-正丁基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧基庚基酯、(甲基)丙烯酸a-乙基-6，7-環(huán)氧基庚基酯、烯丙基縮水甘油醚、乙烯基縮水甘油醚等縮水甘油基化合物等。作為雙官能單體的具體例，可舉出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、l，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3_甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作為三官能以上的多官能單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰尿酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三(2-羥乙基)異氰尿酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物、己內(nèi)酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應(yīng)物等。其中，優(yōu)選使用雙官能以上的單體。相對(duì)樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合性化合物(B)的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為170質(zhì)量％，更優(yōu)選為560質(zhì)量％。如果聚合性化合物(B)的含量處于所述的范圍內(nèi)，則具有靈敏度或者涂膜及圖案的強(qiáng)度或平滑性、可靠性、機(jī)械強(qiáng)度變好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。作為在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的聚合引發(fā)劑(C)，只要是在光或熱的作用下引發(fā)聚合的化合物，則沒有特別限定，可使用公知的聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑(C)，例如優(yōu)選聯(lián)二咪唑系化合物、乙酰苯系化合物、三嗪系化合物、?；⒒跸祷衔?、肟系化合物。另外，也可使用在特開2008-181087號(hào)公報(bào)中記載的光及/或熱陽離子聚合引發(fā)劑(例如由鎗(onium)陽離子與路易斯酸來源的陰離子構(gòu)成的聚合引發(fā)劑)。其中，聯(lián)二咪唑系化合物由于靈敏度出色而更優(yōu)選。作為所述的聯(lián)二咪唑化合物，可舉出2，2'_雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑(例如參照特開平6-75372號(hào)公報(bào)、特開平6-75373號(hào)公報(bào)等。)、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(二烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(三烷氧基苯基)聯(lián)二咪唑(例如參照特公昭48-38403號(hào)公報(bào)、特開昭62-174204號(hào)公報(bào)等。)、4，4'，5，5'-位的苯基被烷氧羰基(calboalcoxy)取代而成的聯(lián)二咪唑化合物(例如參照特開平7-10913號(hào)公報(bào)等。)等?？蓛?yōu)選舉出2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑、2，2'-雙(2，4_二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯(lián)二咪唑。作為所述的乙酰苯系化合物，可舉出二乙氧基乙酰苯、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-l-酮、芐基二甲基縮酮、2-羥基-l-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-甲基丙-l-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙酰基)-節(jié)基]-苯基}-2-甲基-丙-l-酮、l-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代丙-1-酮、2-節(jié)基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)丁-1-酮、2-(2-甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(3-甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(4-甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-乙基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2-丙基節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-丁基節(jié)基)_2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2，3-二甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2_(2，4-二甲基節(jié)基)_2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-氯節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-溴芐基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(3-氯節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(4-氯節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(3-溴節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2_(4-溴節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲氧基節(jié)基)_2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(3-甲氧基節(jié)基)_2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2_(4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲基-4-溴節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基節(jié)基)_2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙-l-酮的寡聚物等。作為所述的三嗪系化合物，可舉出2，4_雙(三氯甲基)-6-(4_甲氧基苯基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)_6-(4-甲氧基萘基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基(piperonyl)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)_6-(4-甲氧基苯乙烯基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基(ethenyl)]-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]_1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6_[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1，3，5-三嗪等。作為所述的?；⒒跸狄l(fā)劑，可舉出2，4，6-三甲基苯甲?；交⒒醯?。作為所述的肟化合物，可舉出0-乙氧羰基_a-氧基亞氨基-1-苯基丙-1-酮、由式(in)表示的化合物、由式(IV)表示的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>此外，還優(yōu)選與所述的聚合引發(fā)劑(C)一起使用聚合引發(fā)助劑(C-l)。作為聚合引發(fā)助劑(C-l)，可舉出由式(V)表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>[式(V)中，由X表示的虛線表示可被鹵原子取代的碳數(shù)612的芳香環(huán)。Y表示氧原子、硫原子。R1表示碳數(shù)16的烷基。R2表示可被鹵原子取代的碳數(shù)112的烷基或可被鹵原子取代的芳基。]作為鹵原子，可舉出氟原子、氯原子、溴原子等。作為碳數(shù)612的芳香環(huán)，可舉出苯環(huán)、萘環(huán)等。作為可被鹵原子取代的碳數(shù)612的芳香環(huán)，可舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)等。作為碳數(shù)16的烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1_甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3_甲基正丁基、l，l-二甲基正丙基、l，2-二甲基正丙基、2，2-二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基等。作為可被鹵原子取代的碳數(shù)112的烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3-甲基正丁基、l，l-二甲基正丙基、l，2-二甲基正丙基、2，2-二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基、1-氯正丁基、2_氯正丁基、3_氯正丁基等。作為可被鹵原子取代的芳基，可舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、聯(lián)苯基、氯聯(lián)苯基、二氯聯(lián)苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。此外，在本說明書中，在任意化學(xué)結(jié)構(gòu)式中，雖因碳數(shù)不同而不同，但只要沒有特別說明，各取代基均可適用上述的例示。另外，均可用直鏈或支鏈的雙方。作為由式(V)表示的化合物，可具體舉出苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[l，2-d]噻唑啉、苯甲酰基亞甲基-3-甲基-萘[2，3-d]噻唑啉、2_萘甲酰基亞甲基)-3-甲基苯并噻唑啉、3-甲基苯并噻唑啉、1-萘甲?；鶃喖谆?2-萘甲?；鶃喖谆?-3-1-萘甲酰基亞甲基)-3-2-萘甲?；鶃喖谆?-3-1-萘甲酰基亞甲基)-3-2-萘甲?；鶃喖谆?-3-1-萘甲?；鶃喖谆?-3-2-萘甲?；鶃喖谆?-3-l-萘甲?；鶃喖谆?-3-4--5-苯基苯并噻唑啉、-5-苯基苯并噻唑啉、-5-氟苯并噻唑啉、-5-氟苯并噻唑啉、-5-氯苯并噻唑啉、-5-氯苯并噻唑啉、-5-溴苯并噻唑啉、-5-溴苯并噻唑啉、聯(lián)苯甲酰基(biphenoyl)亞甲基)_3_甲基苯并噻唑啉、4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-5苯基苯并噻唑啉、2-萘甲酰基亞甲基)_3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、2-萘甲?；鶃喖谆?_3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?_3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、4-聯(lián)苯甲酰基亞甲基)_3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-3_甲基_萘[2，l-d]噻唑啉、對(duì)氟聯(lián)苯甲酰基亞甲基)-3_甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、苯甲酰基亞甲基-3-甲基-萘[1，苯甲酰基亞甲基-3-甲基-萘[2，2-萘甲酰基亞甲基)_3-1-萘甲?；鶃喖谆?_3-2-萘甲酰基亞甲基)_3-1-萘甲?；鶃喖谆?_3-2-萘甲?；鶃喖谆?_3-1-萘甲?；鶃喖谆?_3-2-萘甲?；鶃喖谆?_3-1-萘甲?；鶃喖谆?_3-4-聯(lián)苯甲酰基亞甲基》4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-萘甲?；鶃喖谆?_3-2-萘甲酰基亞甲基)_3-4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-聯(lián)苯甲酰基亞甲基》對(duì)氟苯甲?；鶃喖谆?-d]噁唑啉、3-d]噁唑啉、-苯基苯并噁唑啉、-苯基苯并噁唑啉、-氟苯并噁唑啉、-氟苯并噁唑啉、-氯苯并噁唑啉、-氯苯并噁唑啉、-溴苯并噁唑啉、-溴苯并噁唑啉、-3-甲基苯并噁唑啉、-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、-甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、-甲基-萘[1，2-d]噁唑啉、-3-甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、-3-甲基-萘[1，2-d]噁唑啉、-3-甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、2-(對(duì)氟聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3_甲基-萘[l，2_d]噁唑啉等。其中，可優(yōu)選舉出由式(V-l)表示的2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3_甲基苯并噻唑啉、由式(V-2)表示的2-苯甲?；鶃喖谆?3_甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、由式(V-3)表示的2-(4-聯(lián)苯甲?；鶃喖谆?-3_甲基-萘[1，2-d]噻唑啉。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>如果使用這些化合物，則由于得到的感光性樹脂組合物成為高靈敏度，所以如果使用其形成涂膜或圖案，則涂膜或圖案的生產(chǎn)率提高，因而優(yōu)選。由式(V)表示的化合物不會(huì)因涂膜的后烘焙(postbake)時(shí)的熱而升華，在光及熱的至少任意一方的作用下發(fā)生褪色從而透明性提高，所以優(yōu)選。另外，作為聚合引發(fā)助劑(C-l)，也可使用由從包括式(VI)及式(VII)在內(nèi)的組中選擇的至少1種表示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>[式(VI)及式(VII)中，環(huán)f及環(huán)f分別獨(dú)立地表示可被鹵原子取代的碳數(shù)612的芳香環(huán)或雜環(huán)。Y1及Y2表示氧原子或硫原子。R1及R2表示碳數(shù)112的烷基或碳數(shù)612的芳基。這些烷基及芳基可被鹵原子、羥基或碳數(shù)16的烷氧基取代。]作為可被鹵原子取代的芳香環(huán)或雜環(huán)，可舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)、菲環(huán)、屈(chrysene)環(huán)、熒蒽環(huán)、苯并[a]芘環(huán)、苯并(e)芘環(huán)、二萘嵌苯環(huán)及它們的衍生物等。作為羥基取代烷基，可舉出羥甲基、羥乙基、羥丙基、羥丁基等。作為羥基取代芳基，可舉出羥基苯基、羥基萘基等。作為烷氧基取代烷基，可舉出甲氧基甲基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、丁氧基甲基、乙氧基乙基、乙氧基丙基、丙氧基丁基等。作為烷氧基取代芳基，可舉出甲氧基苯基、乙氧基萘基等。由式(VI)及式(VII)表示的化合物可具體舉出二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二異丙氧基萘、二丁氧基萘等二烷氧基萘類二甲氧基蒽、二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異丙氧基蒽、二丁氧基蒽、二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異丙氧基蒽、甲氧基丁氧基蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基異丙氧基蒽、乙氧基丁氧基蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、異丙氧基丁氧基蒽等二烷氧基蒽類二甲氧基萘并萘、二乙氧基萘并萘、二丙氧基萘并萘、二異丙氧基萘并萘、二丁氧基萘并萘等二烷氧基萘并萘類等。另外，作為上述的聚合引發(fā)劑(C)，也可使用光聚合引發(fā)劑。作為光聚合引發(fā)劑，例如可舉出苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、噻噸酮系化合物、蒽系化合物等。作為苯偶姻系化合物，例如可舉出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚等。作為所述的二苯甲酮系化合物，例如可舉出二苯甲酮、鄰苯酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4'-甲基二苯基硫化物、3，3'，4，4'-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等。作為所述的噻噸酮系化合物，例如可舉出2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮等。作為所述的蒽系化合物，例如可舉出9，10-二甲氧基蒽、2_乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。進(jìn)而，也可使用10-丁基-2-氯吖啶酮、2_乙基蒽醌、苯偶酰、9，10-菲醌、樟腦醌、苯基乙醛酸甲酯、茂鈦(titanocene)化合物等作為光聚合引發(fā)劑。作為具有可發(fā)生鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑，也可使用在特表2002-544205號(hào)公報(bào)中記載的光聚合引發(fā)劑。作為所述的具有可發(fā)生鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑，例如可舉出下述式(1)(6)的光聚合引發(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>使用。所述的具有可發(fā)生鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑也可作為構(gòu)成樹脂(A)的成分此外，優(yōu)選與所述的聚合引發(fā)劑一起使用聚合引發(fā)助劑(C-2)。作為聚合引發(fā)助劑(C-2)，可舉出胺化合物及羧酸化合物等。作為胺化合物，可舉出三乙醇胺、甲替二乙醇胺、三異丙醇胺等脂肪族胺化合物，4-二甲胺基苯甲酸甲酯、4-二甲胺基苯甲酸乙酯、4-二甲胺基苯甲酸異戊酯、4-二甲胺基苯甲酸2-乙基己基酯、苯甲酸2-二甲胺基乙基酯J，N-二甲基對(duì)甲苯胺、4，4'-雙(二甲胺基)二苯甲酮(通稱；米蚩酮(Michler'sketone))、4，4'-雙(二乙胺基)二苯甲酮之類的芳香族胺化合物。作為羧酸化合物，可舉出苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、奈基硫代乙酸、N-奈基甘氨酸、萘氧基乙酸等芳香族雜乙酸類。H,C、C4H9SCH,0(2)H7C'、,C-H2-c一H3COOC\P(3)C4H9——S—CHHIHo=c/J\HIHo=cco=c19相對(duì)樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合引發(fā)劑(C)的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為0.140質(zhì)量％，更優(yōu)選為130質(zhì)量％。如果聚合引發(fā)劑(C)的總量處于該范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物變成高靈敏度，使用該感光性樹脂組合物形成的涂膜或圖案的強(qiáng)度或者涂膜或圖案的表面上的平滑性具有變好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。相對(duì)樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合引發(fā)助劑(C-l)及/或(C-2)的使用量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為0.0150質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.140質(zhì)量％。如果聚合引發(fā)助劑(C-l)及/或(C-2)的量處于該范圍內(nèi)，則得到的感光性樹脂組合物的靈敏度會(huì)進(jìn)一步變高，從而使用該感光性樹脂組合物形成的圖案基板的生產(chǎn)率提高，所以優(yōu)選。尤其在使用由式(V)表示的化合物的情況下，其含量相對(duì)聚合引發(fā)助劑(C-l)的含量?jī)?yōu)選為50質(zhì)量％100質(zhì)量％，更優(yōu)選為60質(zhì)量％100質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選為65質(zhì)量％100質(zhì)量％。如果由式(V)表示的化合物的含量處于該范圍內(nèi)，則在使用含有該化合物的感光性樹脂組合物形成涂膜時(shí)，涂膜的透明性變好，所以優(yōu)選。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可進(jìn)一步含有多官能硫醇化合物(T)。該多官能硫醇化合物(T)為在分子內(nèi)具有2個(gè)以上磺胺?；?sulfanyl)基的化合物。其中，在使用具有2個(gè)以上與2個(gè)以上的脂肪族烴基的碳原子結(jié)合的磺胺酰基的化合物的情況下，由于本發(fā)明的感光性樹脂組合物的靈敏度變高，所以優(yōu)選。作為多官能硫醇化合物(T)，可具體舉出己烷二硫醇、癸烷二硫醇、1，4-二甲基巰基苯、丁二醇雙硫代丙酸酯、丁二醇雙硫代乙醇酸酯、乙二醇雙硫代乙醇酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、丁二醇雙硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、三羥基乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、l，4-雙(3-巰基丁酰氧基)丁烷等。相對(duì)聚合引發(fā)劑(C)，多官能硫醇化合物(T)的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為0.5100質(zhì)量％，更優(yōu)選為190質(zhì)量％。另外，相對(duì)粘合劑(binder)樹脂(A)及光聚合性化合物(C)的總量，多官能硫醇化合物的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選為O.120質(zhì)量％，更優(yōu)選為110質(zhì)量％。如果多官能硫醇化合物(T)的含量處于該范圍內(nèi)，則具有靈敏度變高而且顯影性變好的趨勢(shì)，所以優(yōu)選。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的溶劑(D)優(yōu)選為均勻地溶解樹脂(A)、聚合性化合物(B)及聚合引發(fā)劑(C)等構(gòu)成成分而且不與各成分反應(yīng)的溶劑。另外，溶劑(D)至少含有由式(I)R丄-0-(A-0)n-R2(I)(式(I)中，R1及R2分別獨(dú)立地表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)14的烷基。A表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)13的亞烷基。n表示2或3的整數(shù)。多個(gè)A相同或不同。)表示的溶劑。作為烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1_甲基-正丙基、2-甲基-正丙基、叔丁基等。作為亞烷基，可舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基、甲基亞乙基等。作為式(I)的化合物，可具體例示20二亞甲基二醇二甲醚、三亞甲基二醇二甲醚、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚、二丙二醇二甲醚、三丙二醇二甲醚、二亞甲基二醇甲基乙基醚、三亞甲基二醇甲基乙基醚、二甘醇甲基乙基醚、三甘醇甲基乙基醚、二丙二醇甲基乙基醚、三丙二醇甲基乙基醚、二亞甲基二醇甲基丙基醚、三亞甲基二醇甲基丙基醚、二甘醇甲基丙基醚、三甘醇甲基丙基醚、二丙二醇甲基丙基醚、三丙二醇甲基丙基醚、二亞甲基二醇甲基丁基醚、三亞甲基二醇甲基丁基醚、二甘醇甲基丁基醚、三甘醇甲基丁基醚、二丙二醇甲基丁基醚、三丙二醇甲基丁基醚、二亞甲基二醇二乙醚、三亞甲基二醇二乙醚、二甘醇二乙醚、三甘醇二乙醚、二丙二醇二乙醚、三丙二醇二乙醚、二亞甲基二醇乙基丙基醚、三亞甲基二醇乙基丙基醚、二甘醇乙基丙基醚、三甘醇乙基丙基醚、二丙二醇乙基丙基醚、三丙二醇乙基丙基醚、二亞甲基二醇乙基丁基醚、三亞甲基二醇乙基丁基醚、二甘醇乙基丁基醚、三甘醇乙基丁基醚、二丙二醇乙基丁基醚、三丙二醇乙基丁基醚、二亞甲基二醇二丙醚、三亞甲基二醇二丙醚、二甘醇二丙醚、三甘醇二丙醚、二丙二醇二丙醚、三丙二醇二丙醚、二亞甲基二醇丙基丁基醚、三亞甲基二醇丙基丁基醚、二甘醇丙基丁基醚、三甘醇丙基丁基醚、二丙二醇丙基丁基醚、三丙二醇丙基丁基醚、二亞甲基二醇二丁醚、三亞甲基二醇二丁醚、二甘醇二丁醚、三甘醇二丁醚、二丙二醇二丁醚、三丙二醇二丁醚等。其中，優(yōu)選二甘醇甲基乙基醚、二甘醇甲基丁基醚、三甘醇二甲醚。進(jìn)而，還優(yōu)選組合使用2種以上式(I)的溶劑。通過組合使用這些溶劑，可保證與感光性樹脂組合物的各成分的相溶性，即使在利用各種涂布法、尤其是旋轉(zhuǎn)涂布法在凹凸基板上涂布的情況下，也可有效地防止條痕。式(I)的溶劑相對(duì)溶劑總量?jī)?yōu)選以50100質(zhì)量％含有，更優(yōu)選以70100質(zhì)量％含有，進(jìn)而優(yōu)選以90100質(zhì)量％含有。如果式(I)的溶劑的含量處于該范圍內(nèi)，則可在旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)(spincoater)、狹縫&旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)(slit&spincoater)、狹縫涂敷機(jī)(slitcoater)(有時(shí)也稱為模具涂敷機(jī)(diecoater)、簾式淋涂機(jī)(curtainflowcoater)。)、噴墨(inkjet)、輥涂機(jī)(rollcoater)、浸涂機(jī)(dipcoater)等各種涂布裝置預(yù)見到良好的涂布性。尤其在溶劑(D)含有二甘醇乙基甲基醚的情況下，相對(duì)溶劑總量，優(yōu)選含有10100質(zhì)量％二甘醇乙基甲基醚，更優(yōu)選含有1090質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選含有3090質(zhì)量％。另外，在溶劑(D)含有二甘醇丁基甲基醚及/或三甘醇二甲醚的情況下，相對(duì)溶劑總量，優(yōu)選含有050質(zhì)量％二甘醇丁基甲基醚及/或三甘醇二甲醚，更優(yōu)選含有1050質(zhì)量％。如果處于該范圍內(nèi)，則可更有效地尤其在旋轉(zhuǎn)涂布法中防止條痕。溶劑(D)優(yōu)選只使用上述以外的溶劑構(gòu)成，但也可含有其他溶劑。作為其他溶劑，例如可舉出一元醇、多元醇等醇類，以下例示的醚類，芳香族烴類，酮類，酯類等。作為這樣的醇類，可舉出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、環(huán)己醇、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、乙二醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙醚、乙二醇一丁醚、乳酸甲酯、乳酸乙酯、2_甲基乳酸甲酯、二丙酮醇、3_甲氧基丁醇、甘油等。其中，優(yōu)選3_甲氧基丁醇。醇類相對(duì)溶劑(D)全量?jī)?yōu)選含有050質(zhì)量％，更優(yōu)選含有1050質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選含有1045質(zhì)量％，進(jìn)而更優(yōu)選含有1040質(zhì)量％。通過在該范圍內(nèi)含有醇，可充分地得到樹脂等的溶解性，同時(shí)還可調(diào)整成適當(dāng)?shù)恼扯?，從而?shí)現(xiàn)得到的涂膜的均勻性。另外，即使在使用狹縫模具涂敷機(jī)進(jìn)行感光性樹脂組合物的涂布的情況下，也可防止噴嘴頂端的干燥從而抑制干燥物導(dǎo)致的異物的析出且可靠地防止發(fā)生異物引起的縱條紋。另外，作為其他溶劑，可舉出乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙醚及乙二醇一丁醚之類的乙二醇一烷基醚類；甲基溶纖劑醋酸酯、乙基溶纖劑醋酸酯、乙二醇一丁醚乙酸酯、乙二醇一乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、丙二醇一丙醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯、乙酸甲氧基戊基酯等亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一丙醚、丙二醇一丁醚等丙二醇一烷基醚類；丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚類；丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁基二醇一烷基醚類；乙酸甲氧基丁酯、乙酸乙氧基丁基酯、乙酸丙氧基丁基酯、乙酸丁氧基丁基酯等丁二醇一烷基醚乙酸酯類；丙酸甲氧基丁基酯、丙酸乙氧基丁基酯、丙酸丙氧基丁基酯、丙酸丁氧基丁基酯等丁二醇一烷基醚丙酸酯類；苯、甲苯、二甲苯、均三甲基苯等芳香族烴類；甲基乙基甲酮、丙酮、甲基戊基甲酮、甲基異丁基甲酮、環(huán)己酮等酮類；22乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2_甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3_羥基丙酸乙酯、3_羥基丙酸丙酯、3_羥基丙酸丁酯、2_羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2_甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯類；四氫呋喃、吡喃等環(huán)狀醚類；Y-丁內(nèi)酯等環(huán)狀酯類等。在上述的溶劑中，從涂布性、干燥性的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選沸點(diǎn)為100°C20(TC的有機(jī)溶劑。其中，可舉出亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類，酮類，丁二醇烷基醚乙酸酯類，丁二醇一烷基醚類，3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等酯類，優(yōu)選丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、環(huán)己酮、乙酸甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯。本發(fā)明的感光性樹脂組合物實(shí)質(zhì)上不含有顏料及染料等著色劑。S卩，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，相對(duì)組合物整體的著色劑的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)算優(yōu)選不到1質(zhì)量％。更優(yōu)選不到O.5質(zhì)量％。本發(fā)明的感光性樹脂組合物實(shí)質(zhì)上不含有在該領(lǐng)域中使用的以下的著色劑。被顏色索弓l(ColorIndex)(TheSocietyofDyersandColourists出版)分類成染料(Pigment)的化合物可具體舉出C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I.顏料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色的顏料;C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料;C.I.顏料藍(lán)15、15:3、15:4、15:6、60等藍(lán)色顏料;C.I.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料；C.I.顏料綠7、36等綠色顏料；C.I.顏料褐23、25等褐色顏料；C.I.顏料黒1、7等黑色顏料。也可在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中根據(jù)需要并用填充劑、其他高分子化合物、表面活性劑、附著促進(jìn)劑、抗氧劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等各種添加劑。作為填充劑，例如可例示玻璃、二氧化硅、氧化鋁等。作為其他高分子化合物，例如可舉出環(huán)氧樹脂、馬來酸酐縮亞胺樹脂等固化性樹脂，聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇一烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等熱塑性樹脂等。作為表面活性劑，可為硅酮系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性等的表面活性劑等的任意一種。具體而言，可使用聚氧化乙烯烷基醚類、聚氧化乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨糖醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚亞乙基亞胺類等，除此以外，還可使用市售的表面活性劑。例如，商品名KP(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)、Polyflow(共榮社化學(xué)(株)制)、-7卜'77(三菱材料電子化成(株))、Megafac(DIC(株)制)、7口，一卜'(住友3M(株)制)、Surfron(AGC清美化學(xué)(株)制)、Solsperse(Geneka(株)制)、EFKA(CIBA公司制)、AjisperPB821(味之素(株)制)等。作為附著促進(jìn)劑，例如可舉出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N_(2-氨乙基)_3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N_(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3_環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。作為抗氧劑，例如可舉出2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羥基-5_甲基節(jié)基)_4_甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羥基-3，5-二叔戊基苯基)乙基]_4，6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙氧基]-2，4，8，10-四叔丁基二苯并[d，f][1，3，2]二氧雜磷化氫(diox即hosph印ine)、3，9-雙[2-{3_(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙酰氧基}-1，1-二甲基乙基]_2，4，8，10-四氧螺環(huán)[5，5]i^—烷、2，2'-亞甲基雙(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4，4'-亞丁基雙(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4，4'-硫代雙(2-叔丁基_5-甲基苯酚)、2，2'-硫代雙(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、二月桂基3，3'-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3，3'-硫代二丙酸酯、二硬脂?；?，3'-硫代二丙酸酯、季戊四醇基四(3-月桂基硫代丙酸酯)、1，3，5-三(3，5-二叔丁基-4-羥基芐基)-1，3，5-三嗪-2，4，6(1H，3H，5H)-三酮、3，3'，3"，5，5'，5"-六叔丁基-a，a'，a"-(均三甲基苯_2，4，6_三酰基)三-對(duì)甲酚、季戊四醇四[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯l、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚等。作為紫外線吸收劑，例如可舉出2-(2_羥基-5-叔丁基苯基)-2H-苯并三唑、辛基-3-[3-叔丁基-4-羥基-5-(5-氯-2H-苯并三唑-2-?；?苯基]丙酸酯、2-[4-[(2-羥基-3-十二烷氧基丙基)氧]-2-羥基苯基]-4，6-雙(2，4-二甲基苯基)-1，3，5-三嗪、2-[4-[(2-羥基-3-(2'-乙基)己基)氧]-2-羥基苯基]-4，6-雙(2，4_二甲基苯基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(2-羥基-4-丁氧基苯基)-6-(2，4-雙-丁氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2-(2-羥基-4-[l-辛氧基羰基乙氧基]苯基)-4，6-雙(4-苯基苯基)-l，3，5-三嗪、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4，6-雙(1-甲基-l-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-?；?-6-(1-甲基-1-苯基乙基)-4-(1，1，3，3-四甲基丁基)苯酚、2-(3-叔丁基-2-羥基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。作為光穩(wěn)定齊U，例如可舉出包括琥珀酸和(4-羥基-2，2，6，6_四甲基哌啶_1_?；?乙醇在內(nèi)的高分子、N，N'，N"，N"'-四(4，6-雙(丁基-(N-甲基-2，2，6，6-四甲基哌24啶-4-?；?氨基)三嗪-2-基)-4，7-二氮雜癸烷-l，10-二胺、癸酸與雙(2，2，6，6-四甲基-l-(辛氧基)-4-哌啶基)酯與1，1-二甲基乙基氫過氧化物的反應(yīng)物、雙(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)-[[3，5-雙(1，1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]丁基丙二酸酯、2，4-雙[N-丁基-N-(l-環(huán)己氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-酰基)氨基]_6-(2_羥基乙基胺)-l，3，5-三嗪、雙(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、甲基(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等。作為鏈轉(zhuǎn)移劑，例如可舉出十二烷硫醇、2，4_二苯基-4-甲基-1-戊烯等。如后所述，本發(fā)明的感光性樹脂組合物例如可通過在基材上例如在玻璃、金屬、塑料等的基板上，在形成有濾色片(colorfilter)、各種絕緣膜或?qū)щ娔?、?qū)動(dòng)電路等的這些基板上涂布來作為涂膜形成。涂膜優(yōu)選已干燥及固化的涂膜。另外，還可將得到的涂膜形成需要的形狀的圖案從而作為圖案使用。進(jìn)而，也可將這些涂膜及/或圖案形成為顯示裝置等的構(gòu)成零件的一部分使用。另外，本發(fā)明的固化性樹脂組合物如果填充于光程長(zhǎng)為lcm的石英池(cell)中，用分光光度計(jì)在測(cè)定波長(zhǎng)400700nm的條件下測(cè)定透過率，則平均透過率優(yōu)選為70%以上，更優(yōu)選為75%以上。這樣，可形成在可見光區(qū)域透明的圖案或涂膜。首先，將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于基材上。如上所述，涂布可使用旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)、狹縫&旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)、狹縫涂敷劑、噴墨、輥涂機(jī)、浸涂機(jī)等各種涂布裝置進(jìn)行。其中，從溶解性、干燥防止、異物的發(fā)生防止等出發(fā)，優(yōu)選進(jìn)行利用旋轉(zhuǎn)涂布法的涂布，即優(yōu)選進(jìn)行利用狹縫&旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)及旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等的涂布。接著，優(yōu)選進(jìn)行干燥及/或預(yù)烘焙(prebake)來除去溶劑等揮發(fā)成分。這樣，可得到平滑的未固化涂膜。對(duì)這種情況下的涂膜的膜厚沒有特別限定，可根據(jù)使用的材料、用途等適當(dāng)?shù)卣{(diào)整，例如例示16iim左右。進(jìn)而，經(jīng)由用于形成目的圖案的掩模(mask)，向得到的未固化涂膜照射例如從水銀燈、發(fā)光二極管發(fā)生的紫外線等。對(duì)此時(shí)的掩模的形狀沒有特別限定，可舉出各種形狀。另外，線寬等也可利用掩模尺寸等適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。近年來的曝光機(jī)可使用用于截止(cut)該波長(zhǎng)域的濾波器(filter)來截止不到350nm的光，或者，使用取出這些波長(zhǎng)域的帶通濾波器(band-passfilter)來選擇性地取出436nm附近、408nm附近、365nm附近的光從而向曝光面整體均勻地照射平行光線。此時(shí)，為了進(jìn)行掩模與基材的準(zhǔn)確的對(duì)位，也可使用掩模對(duì)準(zhǔn)器(maskaligner)、步進(jìn)器(st印per)等裝置。之后，可通過使涂膜接觸堿水溶液而使規(guī)定部分例如未曝光部溶解并顯影，來得到目的圖案形狀。顯影方法可為裝液法、浸漬(di卯ing)法、噴射(spray)法等的任意一種。進(jìn)而，也可在顯影時(shí)將基材傾斜成任意的角度。在顯影中使用的顯影液通常為含有堿性化合物和表面活性劑的水溶液。堿性化合物可為無機(jī)及有機(jī)的堿性化合物的任意一種。作為無機(jī)堿性化合物的具體例，可舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳25酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。另外，作為有機(jī)堿性化合物，例如可舉出四甲基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等。這些無機(jī)及有機(jī)堿性化合物在堿性顯影液中的濃度優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.035質(zhì)量％。表面活性劑可為非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑及陽離子系表面活性劑的任意一種。作為非離子系表面活性劑，例如可舉出聚氧化乙烯烷基醚、聚氧化乙烯芳基醚、聚氧化乙烯烷基芳基醚、其他聚環(huán)氧乙烷衍生物、環(huán)氧乙烷/環(huán)氧丙烷嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作為陰離子系表面活性劑，例如可舉出月桂醇硫酸酯鈉或油醇硫酸酯鈉之類的高級(jí)醇硫酸酯鹽類、月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨之類的烷基硫酸鹽類、十二烷基苯磺酸鈉或十二烷基萘磺酸鈉之類的烷基芳基磺酸鹽類等。作為陽離子系表面活性劑，例如可舉出硬脂酰胺鹽酸鹽或月桂基三甲基氯化銨之類的胺鹽或季銨鹽等。堿顯影液中的表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選為0.058質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選為0.15質(zhì)量％。在顯影后進(jìn)行水洗，進(jìn)而也可根據(jù)需要進(jìn)行后烘焙。后烘焙例如適合150230°C的溫度范圍、10180分鐘。本發(fā)明的固化性樹脂組合物如果使用分光光度計(jì)在測(cè)定波長(zhǎng)400700nm的條件下對(duì)加熱固化(例如15025(TC、0.13小時(shí))后的3iim的厚度的涂膜測(cè)定透過率，則透過率優(yōu)選為90%以上，更優(yōu)選為95%以上。這樣，可形成可見光區(qū)域透明的圖案或涂膜。這樣地進(jìn)行得到的涂膜或圖案例如可用作在液晶顯示裝置中使用的光感應(yīng)間隙材(photospacer)、可形成圖案的保護(hù)膜(overcoat)。另外，在對(duì)未固化涂膜進(jìn)行形成圖案曝光時(shí)，可通過使用孔(hole)形成用光掩模來形成孔，從而可用作層間絕緣膜。進(jìn)而，在對(duì)未固化涂膜進(jìn)行曝光時(shí)，可通過不使用光掩模而進(jìn)行全面曝光及加熱固化或只進(jìn)行加熱固化，來形成透明膜。該透明膜可用作保護(hù)膜。另外，也可在觸摸面板(touchpanel)等顯示裝置中使用。這樣，可以高成品率制造具備高質(zhì)量的涂膜或圖案的顯示裝置。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可為了形成用于形成各種膜及圖案的材料例如透明膜尤其是構(gòu)成濾色片的一部分的透明膜、圖案、光感應(yīng)間隙材、保護(hù)膜、絕緣膜、液晶取向控制用突起、微透鏡(microlens)、組合不同的膜厚的著色圖案、涂敷層等而適當(dāng)?shù)乩?。另外，還可在具備這些涂膜或圖案作為其構(gòu)成零件的一部分的濾色片、陣列(array)基板等、進(jìn)而具備這些濾色片及/或陣列基板等的顯示裝置例如液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置等中利用。實(shí)施例以下利用實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明的感光性樹脂組合物，但本發(fā)明不被這些實(shí)26施例所限定。另外，在以下的實(shí)施例及比較例中，表示含量或使用量的％及份，只要沒有特別說明，均為質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。合成例1在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機(jī)的1L燒瓶?jī)?nèi)，以0.02L/分流入氮，成為氮?dú)夥眨尤攵蚀家一谆?40份，邊攪拌邊加熱至7(TC。接著，將甲基丙烯酸40份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.02.6]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(1-1)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)360份溶解于二甘醇乙基甲基醚190份中，配制溶液，使用滴液泵，用4小時(shí)，將該溶解液滴注到保溫于7(TC的燒瓶?jī)?nèi)。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于二甘醇乙基甲基醚240份中，使用其他滴液泵，用5小時(shí)將該溶液滴注到燒瓶?jī)?nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結(jié)束后，保持在7(TC下4小時(shí)，然后冷卻至室溫，得到固體成分42.6%、酸價(jià)60mg-K0H/g的共聚物(樹脂Aa)的溶液。得到的樹脂Aa的重均分子量(Mw)為8000，分散度為1.91。合成例2在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機(jī)的1L燒瓶?jī)?nèi)，以0.02L/分流入氮，成為氮?dú)夥?，加入二甘醇乙基甲基?05份，邊攪拌邊加熱至7(TC。接著，將甲基丙烯酸60份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.02.6]]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(1_1)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)240份溶解于二甘醇乙基甲基醚140份中，配制溶液，使用滴液漏斗，用4小時(shí)，將該溶解液滴注到保溫于70°C的燒瓶?jī)?nèi)。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于二甘醇乙基甲基醚225份中，使用其他滴液漏斗，用4小時(shí)將該溶液滴注到燒瓶?jī)?nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結(jié)束后，保持在7(TC下4小時(shí)，然后冷卻至室溫，得到固體成分32.6%、酸價(jià)110mg-K0H/g(固體成分換算)的共聚物(樹脂Ab)的溶液。得到的樹脂Ab的重均分子量Mw為13，600，分散度為2.49。合成例3在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機(jī)的1L燒瓶?jī)?nèi)，以0.02L/分流入氮，成為氮?dú)夥?，加?-甲氧基-1_丁醇200份及乙酸3-甲氧基丁酯105份，邊攪拌邊加熱至70°C。接著，將甲基丙烯酸60份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.026]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(1-1)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)240份溶解于乙酸3-甲氧基丁酯140份中，配制溶液，使用滴液漏斗，用4小時(shí)，將該溶解液滴注到保溫于7(TC的燒瓶?jī)?nèi)。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于乙酸3_甲氧基丁酯225份中，使用其他滴液漏斗，用4小時(shí)將該溶液滴注到燒瓶?jī)?nèi)。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結(jié)束后，保持在7(TC下4小時(shí)，然后冷卻至室溫，得到固體成分32.6%、酸價(jià)110mg-K0H/g(固體成分換算)的共聚物(樹脂Ac)的溶液。得到的樹脂Ac的重均分子量Mw為13，400，分散度為2.50。使用GPC法，利用以下條件進(jìn)行得到的樹脂AaAc的重均分子量(Mw)及數(shù)均分子量(Mn)的測(cè)定。裝置K2479((株)島津制作所制)柱SHIMADZUShim-packGPC-80M柱溫度40。C溶劑THF(四氫呋喃)流速1.0mL/min檢測(cè)器RI將在上述得到的聚苯乙烯換算的重均分子量及數(shù)均分子量的比作為分散度(Mw/Mn)。實(shí)施例110、比較例1混合表1的組合物，得到感光性樹脂組合物111。表l28<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>表1中的各成分如以下所述。聚合性化合物(B):二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARADDPHA;日本化藥(株)制)聚合引發(fā)劑Ca:2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'_5，5'-四苯基-l，2'-聯(lián)二咪唑(B-CIM;保土谷化學(xué)(株)制)引發(fā)助劑C2a:9，10-二丁氧基蒽(DBA;川崎化成(株)制)引發(fā)助劑C2b:季戊四醇四(3-磺胺?；狨?(PEMP;SC有機(jī)化學(xué)(株)制)引發(fā)助劑C2c:2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉溶劑Da:二甘醇乙基甲基醚溶劑Db:二甘醇丁基甲基醚溶劑Dc:三甘醇二甲醚溶劑Dd:丙二醇一甲醚乙酸酯溶劑De:丙酸3-乙氧基乙基酯溶劑Df:3-甲氧基-l-丁醇溶劑Dg:乙酸3-甲氧基丁酯溶劑Dh:二丙二醇二甲醚添加劑1:聚醚改性硅油(東麗道康寧(株)制SH8400)添加劑2:IRGAN0X31114(汽巴日本公司制)〈條痕評(píng)價(jià)(striation)〉以表2所示的比例混合表2所示的各成分，得到著色感光性樹脂組合物1。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>依次用中性洗滌劑、水及醇洗滌4英寸的硅基板，然后干燥。在該硅基板上，旋轉(zhuǎn)涂敷著色感光性樹脂組合物l，使得以100mJ/cm2的曝光量(365nm)對(duì)其進(jìn)行曝光、顯影、水洗、后烘焙后的膜厚成為3.0ym。接著，在潔凈烘箱(cleanoven)中，以9(TC預(yù)烘焙3分鐘。冷卻后，使涂布有該著色感光性樹脂組合物1的基板與石英玻璃制光掩模之間的間隔成為lOOym，使用曝光機(jī)(TME-150RSK;拓普康(株)制，光源；超高壓水銀燈)，在大氣氣氛下，以100mJ/cm2的曝光量(365nm標(biāo)準(zhǔn))進(jìn)行光照射。其中，此時(shí)的對(duì)著色感光性樹脂組合物的照射是使來自超高壓水銀燈的放射光通過光學(xué)濾波器(UV-35;旭TechnoGlass(株)制)來使用的。另外，作為光掩模，使用在同一平面上形成了圖案(具有l(wèi)邊為10mm的正方形的透光部，該正方形的間隔為100mm)的光掩模。在光照射后，在23t:下，將上述涂膜浸漬于含有非離子系表面活性劑0.12%和氫氧化鉀0.04%的水系顯影液中80秒，顯影、水洗后，在烘箱中，以22(TC后烘焙20分鐘，作成具有l(wèi)Omm見方的著色圖案的硅基板。在該具有l(wèi)Omm見方的著色圖案的硅基板上，使用旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)，以固化后的膜厚成為2.0i！m的條件涂布實(shí)施例16及比較例1的感光性樹脂組合物。然后，利用減壓干燥機(jī)(VCDMicrotech(株)制)，將減壓度減壓至1.0torr，使其干燥。接著，載置于95。C設(shè)定的加熱板上，在其上預(yù)烘焙2分鐘，形成涂膜。冷卻后，利用Na燈(lamp)照射膜表面，目視確認(rèn)涂膜表面。結(jié)果，在實(shí)施例16中，沿著著色圖案，幾乎沒有確認(rèn)到條痕。將結(jié)果示于表3。在此，條痕是指來源于著色圖案的階梯差的放射線狀的不均?！锤泄庑詷渲M合物的平均透過率>對(duì)感光性樹脂組合物1，使用紫外可見分光光度計(jì)(V-650DS;日本分光(株)制)(石英池，光程長(zhǎng)；lcm)，測(cè)定400700nm下的平均透過率(％)。將結(jié)果示于表3。〈涂膜的平均透過率〉除了進(jìn)行光照射時(shí)沒有使用光掩模以外，與上述同樣地進(jìn)行操作，從而制作預(yù)烘培后的膜厚為2.0ym的涂膜。對(duì)制作的涂膜，利用顯微分光測(cè)光裝置(0SP-SP200;OLYMPUS公司制)，測(cè)定在400700nm下的平均透過率(％)。將結(jié)果示于表3。表3實(shí)施例比較例123456789101感光性樹脂組合物1234567891011條痕〇〇〇〇〇〇〇〇OOX組合物的平均透過率(%)84.184.284.184.384.1$4.184.184.484.483.784.3涂膜的平均透過率(％)99.899.899.899.899.899.899.899.899.899.799.8這樣，在使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成涂膜時(shí)，即使在涂布形成較厚的膜的情況下，也不會(huì)發(fā)生條痕，可形成涂膜整體均勻且平滑的高質(zhì)量的涂膜。另外，還可縮短涂膜干燥時(shí)間，從而可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率的提高，另一方面，還可抑制狹縫噴嘴(slitnozzle)的頂端的干燥，從而防止干燥引起的異物的發(fā)生、在涂布膜中的混入及縱條紋。另外，樹脂及各種成分的溶解性良好，可提高貯存穩(wěn)定性。通過使用這樣的感光性樹脂組合物形成涂膜或圖案并利用這些涂膜或圖案制造31顯示裝置，提高成品率成為可能。產(chǎn)業(yè)上的可利用性如果利用本發(fā)明，則可形成可抑制條痕的發(fā)生、涂膜整體均勻且平滑的高質(zhì)量的涂膜。另外，通過利用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，得到高質(zhì)量的顯示裝置等成為可能。權(quán)利要求一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，其中，溶劑(D)含有式(I)所示的溶劑，R1-O-(A-O)n-R2(I)式(I)中，R1及R2分別獨(dú)立地表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)1～4的烷基，A表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)1～3的亞烷基，n表示2或3的整數(shù)，多個(gè)A相同或不同。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有彼此不同的2種以上的式(I)所示的溶劑。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有二甘醇乙基甲基醚。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，相對(duì)溶劑總量，溶劑(D)含有1090質(zhì)量％的二甘醇乙基甲基醚。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有選自二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少1種溶劑。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性樹脂組合物，其中，相對(duì)溶劑總量，溶劑(D)含有1050質(zhì)量％的選自二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少l種溶劑。7.根據(jù)權(quán)利要求16中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)含有選自二甘醇乙基甲基醚、二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少1種溶劑。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性樹脂組合物，其中，相對(duì)溶劑總量，溶劑(D)含有的選自二甘醇乙基甲基醚、二甘醇丁基甲基醚及三甘醇二甲醚中的至少l種的溶劑的合計(jì)量為60質(zhì)量％以上且100質(zhì)量％以下。9.一種涂膜，其是使用權(quán)利要求18中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的涂膜。10.—種圖案，其是使用權(quán)利要求18中任意一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物形成的圖案。11.一種顯示裝置，其含有選自權(quán)利要求9所述的涂膜及權(quán)利要求IO所述的圖案中的至少1種。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其中，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)含有式(I)表示的溶劑。R1-O-(A-O)n-R2(I)；(式(I)中，R1及R2分別獨(dú)立地表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)1～4的烷基，A表示直鏈狀或支鏈狀的碳數(shù)1～3的亞烷基，n表示2或3的整數(shù)，多個(gè)A相同或不同)。文檔編號(hào)G03F7/16GK101738863SQ200910222028公開日2010年6月16日申請(qǐng)日期2009年11月13日優(yōu)先權(quán)日2008年11月18日發(fā)明者白川政和申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社