專利名稱：：感光性樹脂組合物及顯示裝置的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物及顯示裝置。
背景技術：
：近年來，在液晶顯示面板等領域正在進行基板尺寸的大型化，通常為了形成涂敷層等透明層或圖案，會在基板面上通過旋轉涂布法或狹縫&旋轉法等涂布感光性樹脂組合物。另一方面，從提高生產率、適應大型畫面等角度出發(fā)，也有人研究了能夠節(jié)省感光性樹脂組合物溶液的同時形成高質量的均勻涂膜的方法。在此基礎上，為了形成質量出色的涂膜，目前正對溶劑種類的選擇進行研究。例如，已公開了利用作為溶劑使用了以下物質的感光性樹脂組合物的方案，所述溶劑為丙二醇一甲醚乙酸酯、3_乙氧基乙基丙酸酯、3_甲氧基-l-丁醇及乙酸3-甲氧基丁酯的混合物(例如專利文獻1)。專利文獻1:特開2008-181087號公報段落91但是，將使用了上述的溶劑的感光性樹脂組合物適用于作為代表性的涂布方法的狹縫模頭(slitdie)涂布法等的情況下，有時會發(fā)生霧(i々)不均、縱條紋不均及釘痕，從而不能得到高質量的涂膜。
發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于提供一種能夠抑制霧不均、縱條紋不均及釘痕的發(fā)生從而可形成涂膜整體均勻、高質量的涂膜的感光性樹脂組合物及使用了該組合物的顯示裝置等。即，本發(fā)明提供以下[1][8]。[1]—種感光性樹脂組合物，其中，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)為含有具有碳數13的亞烷基及碳數14的烷基的二亞烷基二醇二烷基醚和碳數16的醇的溶劑。[2]根據[1]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)中相對溶劑總量含有3090質量％二亞烷基二醇二烷基醚。[3]根據[1]或[2]所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)中相對溶劑總量含有1050質量％的碳數16的醇。[4]根據[1][3]中任意一項所述的感光性樹脂組合物，其中，二亞烷基二醇二烷基醚為二甘醇乙基甲基醚。[5]根據[1][4]中任意一項所述的感光性樹脂組合物，其中，碳數16的醇為3-甲氧基丁醇。[6]—種涂膜，其是使用[1][5]中任意一項所述的感光性樹脂組合物形成的涂膜。[7]—種圖案，其是使用[1][5]中任意一項所述的感光性樹脂組合物形成的圖案。[8]—種顯示裝置，其中，包含從[6]所述的涂膜及[7]所述的圖案中選擇的至少1種。根據本發(fā)明，能夠抑制霧不均、縱條紋不均及釘痕的發(fā)生從而可形成整體均勻、高質量的涂膜。另外，通過利用該感光性樹脂組合物，可得到高質量的顯示裝置等。具體實施例方式本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)。其中，在本說明書中，作為各成分例示的化合物只要沒有特別說明，則可單獨或組合使用。作為在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的樹脂(A)，可例示具有堿溶解性的樹脂(Al)、具有堿溶解性以及在光及熱中至少一方的作用下具有反應性的樹脂(A2)等。作為具有堿溶解性的樹脂(Al)，可例示從不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中選擇的至少l種(a)(以下有時稱為"(a)")和可與(a)共聚合的單體(c)(以下有時稱為"(c)")的共聚物等。作為(a)，例如可具體舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、鄰-、間-、對-乙烯基苯甲酸等不飽和一元羧酸類；1，4-環(huán)己烯二羧酸、甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸等不飽和二元羧酸類；馬來酸、富馬酸、擰康酸(citraconicacid)、甲基延胡索酸(mesaconicacid)、衣康酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸(3-vinylphthalicacid)、4-乙烯基鄰苯二甲酸、3，4，5，6_四氫化鄰苯二甲酸、1，2，3，6-四氫化鄰苯二甲酸、二甲基四氫化鄰苯二甲酸等不飽和二元羧酸類；這些不飽和二元羧酸類的酸酐；琥珀酸單[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]]酯、鄰苯二甲酸單[2_(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類；a_(羥甲基)丙烯酸之類的在同一分子中含有羥基及羧基的不飽和丙烯酸酯類等。其中，從共聚合反應性或堿溶解性的角度出發(fā)，優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐等。作為(c)，可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類；(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.026]癸烷-8-基酯(在本
技術領域：
中，作為慣用名，被稱為(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯)、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯等(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯類；丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2_甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯(在該
技術領域：
中，作為慣用名，被稱為丙烯酸二環(huán)戊基酯。)、丙烯酸二環(huán)戊氧基乙基酯、丙烯4酸異冰片基酯等丙烯酸環(huán)狀烷基酯類；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯等(甲基)丙烯酸芳基酯類；丙烯酸苯酯、丙烯酸節(jié)酯等丙烯酸芳基酯類；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯；(甲基)丙烯酸2_羥乙酯、(甲基)丙烯酸2_羥丙酯等羥基烷基酯類；二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2_烯、5_乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2_烯、5_甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羥甲基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2'-羥乙基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚_2_烯、5-羧基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚_2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥甲基-5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_羧基-6-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酸酐(腐殖酸(himicacid)酐)、5-叔丁氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(叔丁氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(環(huán)己氧羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等二環(huán)不飽和化合物類；N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺，N-芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基(SuCCinimidyl)-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基_6-馬來酰亞胺己酸酯J-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯J-(9-吖啶基(acridinyl))馬來酰亞胺等二羰基酰亞胺衍生物類；苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3_丁二烯、異戊間二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等。其中，從共聚合反應性及堿溶解性的角度出發(fā)，優(yōu)選苯乙烯、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等。(a)及(c)可單獨或組合使用。此外，在本說明書中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯。在使(a)及(c)共聚合得到的共聚物中，在將構成所述的共聚物的構成成分的總摩爾數設為100摩爾％時，以摩爾％計算，分別從(a)及(c)衍生的構成成分的比率優(yōu)選處于以下范圍內。從(a)衍生的結構單元；240摩爾％從(c)衍生的結構單元；6098摩爾％另外，如果所述的構成成分的比率處于以下的范圍內，則更優(yōu)選。從(a)衍生的結構單元；535摩爾％從(c)衍生的結構單元；6595摩爾％所述的構成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性變好的趨勢。5所述的具有堿溶解性的樹脂(Al)可參考例如在文獻"高分子合成的實驗法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻等來制造。具體而言，可例示在反應容器中加入聚合引發(fā)劑、溶劑及規(guī)定量的構成共聚物的單元(a)及(c)等，通過利用氮置換氧，在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫的方法。其中，對在此使用的聚合引發(fā)劑及溶劑等沒有特別限定，可使用在該領域內通常使用的任意聚合引發(fā)劑及溶劑。例如，可使用后述的聚合引發(fā)劑及溶劑等。此外，得到的共聚物可直接使用反應后的溶液，也可使用濃縮或稀釋后的溶液，也可使用利用再沉淀等方法作為固體(粉體)取出的共聚物。尤其通過在其聚合時作為溶劑使用后述的溶劑(D)，而可直接使用反應后的溶液，從而可簡化制造工序(以下，在樹脂(A2)中，也同樣)。所述的具有堿溶解性的樹脂(Al)的聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為3，000100，OOO，更優(yōu)選為5，00050，000。如果具有堿溶解性的樹脂(Al)的重均分子量處于所述的范圍內，則具有涂布性變好的趨勢，另外，還具有在顯影時不易發(fā)生膜減薄進而在顯影時非像素部分的剝脫性良好的趨勢，所以優(yōu)選。具有堿溶解性的樹脂(Al)的分子量分布[重均分子量(Mw)/數均分子量(Mn)]優(yōu)選為1.16.O，更優(yōu)選為1.24.0。如果分子量分布在所述的范圍內，則具有顯影性出色的趨勢，所以優(yōu)選。相對感光性樹脂組合物中的固體成分，可在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的具有堿溶解性的樹脂(Al)的含有量以質量分率(factor)計算優(yōu)選為590質量％，更優(yōu)選為1070質量％。如果具有堿溶解性的樹脂(Al)的含有量在所述的范圍內，則在顯影液中的溶解性充分，在非像素部分的基板上難以產生顯影殘余物，另外，在顯影時難以發(fā)生曝光部的像素部分的膜減薄，具有非曝光部分的脫落性良好的趨勢，所以優(yōu)選。作為具有堿溶解性及在光及熱中至少一方的作用下具有反應性的樹脂(A2)，可舉出樹脂(A2-l):(a)與(c)與具有碳數24的環(huán)狀醚結構的化合物(b)(以下有時稱為"(b)")的共聚物、樹脂(A2-2):使(a)和(c)的共聚物與(b)反應得到的共聚物、樹脂(A2-3):(a)與(b)的共聚物等。(b)為具有碳數24的環(huán)狀醚結構的化合物，是指具有從環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基(oxetanyl)及四氫呋喃基中選擇的至少1種基團的聚合性化合物。(b)優(yōu)選為具有碳數24的環(huán)狀醚結構而且具有乙烯性碳_碳不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選為具有碳數24的環(huán)狀醚結構而且具有丙烯酰基或甲基丙烯?；幕衔铩Ｗ鳛?b)，例如可舉出具有環(huán)氧基的單體(bl)(以下有時稱為"bl")、具有氧雜環(huán)丁烷基的單體(b2)(以下有時稱為"b2")、具有四氫呋喃基的單體等。(bl)是指具有例如從脂肪族環(huán)氧基及脂環(huán)式環(huán)氧基中選擇的至少1種基團的聚合性化合物。該具有環(huán)氧基的單體優(yōu)選為具有從脂肪族環(huán)氧基及脂環(huán)式環(huán)氧基中選擇的至少1種基團而且具有乙烯性碳-碳不飽和鍵的化合物，更優(yōu)選為具有從脂肪族環(huán)氧基及脂環(huán)式環(huán)氧基中選擇的至少1種結構而且具有丙烯?；蚣谆；幕衔?。在此，脂肪族環(huán)氧基是指單鏈的環(huán)氧乙烷(oxiranyl)基，脂環(huán)式環(huán)氧基是指具有脂環(huán)式烴的環(huán)與環(huán)氧乙烷(oxirane)環(huán)縮合而成的結構的基團。作為(A2)的(bl)中的具有脂肪族環(huán)氧基而且具有乙烯性碳-碳雙鍵的化合物，可具體舉出縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、|3-甲基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、13-乙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、縮水甘油乙烯基醚、在特開平7-248625號公報中記載的由下述式表示的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(式中，R11及R13分別獨立地為氫原子或碳原子數110的烷基，m為15的整數。)。作為由所述的式表示的化合物，例如可舉出鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對乙烯基芐基縮水甘油醚、a_甲基-鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、a-甲基_間乙烯基芐基縮水甘油醚、a_甲基_對乙烯基芐基縮水甘油醚、2，3-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，4-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，5-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，6-二縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，4-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，5-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，3，6-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、3，4，5-三縮水甘油氧基甲基苯乙烯、2，4，6_三縮水甘油氧基甲基苯乙烯等。作為(A2)的(bl)中的具有脂環(huán)式環(huán)氧基而且具有乙烯性碳-碳雙鍵的化合物，可舉出乙烯基環(huán)己烯一氧化物1，2-環(huán)氧基-4_乙烯基環(huán)己烷(例如Celloxide2000;大賽璐化學工業(yè)(株)制)、丙烯酸3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯(例如CyclomerA400;大賽璐化學工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯(例如CyclomerMlOO;大賽璐化學工業(yè)(株)制)或者從由式(I)表示的化合物及由式(II)表示的化合物中選擇的至少l種化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>[在式(I)及式(II)中，R及R'分別獨立地表示氫原子或可被羥基取代的碳數14的烷基。X及X'分別獨立地表示單鍵、C卜e亞烷基、氧基-C卜e亞烷基、硫基-C卜6亞烷基、氨基-C卜6亞烷基、Q6亞烷基_氧基、Q6亞烷基_硫基或Q6亞烷基_氨基。]作為烷基，可具體舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。作為羥基烷基，可舉出羥基甲基、1-羥基乙基、2_羥基乙基、1-羥基正丙基、2-羥基正丙基、3_羥基正丙基、1-羥基異丙基、2_羥基異丙基、1-羥基正丁基、2_羥基正丁基、3-羥基正丁基、4-羥基正丁基等。作為取代基R及R'，可優(yōu)選舉出氫原子、甲基、羥甲基、1-羥乙基、2-羥乙基，可更優(yōu)選舉出氫原子、甲基。作為亞烷基，可舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基等。作為氧亞烷基，可舉出氧亞甲基、氧亞乙基、氧亞丙基等。作為亞烷氧基，可舉出亞甲氧基、亞乙氧基、亞丙氧基等。作為硫亞烷基，可舉出硫亞甲基、硫亞乙基、硫亞丙基等。作為亞烷基硫基，可舉出亞甲基硫基、亞乙基硫基、亞丙基硫基等。作為氨基亞烷基，可舉出氨基亞甲基、氨基亞乙基、氨基亞丙基等。作為亞烷基氨基，可舉出亞甲基氨基、亞乙基氨基、亞丙基氨基等。作為取代基X及X'，可優(yōu)選舉出單鍵、亞甲基、亞乙基、氧亞甲基、氧亞乙基，可更優(yōu)選舉出單鍵、氧亞乙基。作為由式(I)表示的化合物，可舉出由式(1-1)式(1-15)表示的化合物等?？蓛?yōu)選舉出式(1-1)、式(1-3)、式(1-5)、式(I-7)、式(1-9)、式(Hl)式(1-15)。可更優(yōu)選舉出式(1-1)、式(1-7)、式(1-9)、式(H5)。OH,C-CH—C一OIIH2C-CH—C—Q—CH2OIIH2C=CH-C—0—C2H4'OIIH2C=CH—C—0—C2H4_0OIIH2C=CH—C—0—C2H4—S0IIH2C=CH_C—0_C2H4—NHCH30IIIH2C=C—C—0—C2H4-CH30IIIH2C=C—C-CH3OIII:G—G一I，。((1-7)-0—C2H4—NHCH3OIIIH2C=C—C--O—CH2(1-9)(1-11)CH3OIIIH2C=C—C—O—C2H4C2H50IIIH2C=C—C—OCH2OHOIIIH2C=C-C-i(1-6)(1-8)°就2)(l-3)CH30IIIH2C=C——C—0_C2H,C2H4OHOIliH2C=C-C—O萌:-14)作為由式(n)表示的化合物，可舉出由式(n-i)式(n-i5)表示的化合物等?？蓛?yōu)選舉出式(n-i)、式(n-3)、式(n-5)、式(n-7)、式(n-9)、式(n-ii)式8(n-i5)?？筛鼉?yōu)選舉出式(n-i)、式(n-7)、式(n-9)、式(n-i5)。從由式(I)表示的化合物及由式(n)表示的化合物中選擇的至少1種化合物可分別單獨使用。另外，它們可以以任意的比率混合。在混合的情況下，其混合比率以摩爾比計算優(yōu)選式(I):式(II)為5:9595:5，更優(yōu)選為10:9090:IO，進而優(yōu)選為20:8080:20。作為共聚物(A2-l)及(A2-2)中的(b2)的具有氧雜環(huán)丁烷基而且具有不飽和鍵的化合物，例如可舉出3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3_乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁垸等。在共聚物(A2-1)中，相對構成共聚物(A2-l)的構成成分的總摩爾數，從各成分衍生的構成成分的比率以摩爾分率計算優(yōu)選處于以下的范圍內。從(a)衍生的結構單元；240摩爾％從(c)衍生的結構單元；165摩爾％從(bl)或(b2)衍生的結構單元；295摩爾％9另外，如果所述的構成成分的比率處于以下的范圍內，則更優(yōu)選。從(a)衍生的結構單元；535摩爾％從(c)衍生的結構單元；160摩爾％從(bl)或(b2)衍生的結構單元；580摩爾％所述的構成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性及機械強度變好的趨勢。所述的具有堿溶解性的樹脂(A2-l)可參考例如在文獻"高分子合成的實驗法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻等來制造。具體而言，可舉出在反應容器中加入聚合引發(fā)劑、溶劑及規(guī)定量的衍生出構成共聚物的單元(a)、(c)及(bl)或(b2)的化合物，通過利用氮置換氧，在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫的方法。樹脂(A2-2)例如可經過兩個階段的工序制造。在這種情況下，也可參考在上述的文獻"高分子合成的實驗法"(大津隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法、在特開2001-89533號公報中記載的方法等來制造。首先，作為第一階段，與上述的具有堿溶解性的樹脂(Al)的制造方法同樣地進行，得到共聚物(即，具有堿可溶性的樹脂)。這種情況下，可與上述同樣地以各種形態(tài)接著使用。另外，可以適用與上述相同的聚苯乙烯換算的重均分子量及分子量分布[重均分子量(Mw)/數均分子量(Mn)]。其中，相對構成所述的共聚物的構成成分的總摩爾數，分別從(a)及(c)衍生的構成成分的比率以摩爾分率計算優(yōu)選處于以下的范圍內。從(a)衍生的結構單元；550摩爾％從(c)衍生的結構單元；5095摩爾％另外，如果所述的構成成分的比率處于以下的范圍內，則更優(yōu)選。從(a)衍生的結構單元；1045摩爾％從(c)衍生的結構單元；5590摩爾％接著，作為第二階段，使來源于得到的共聚物的(a)的羧酸及羧酸酐的一部分與來源于所述的(bl)或(b2)的環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基反應。具體而言，在上述步驟之后接著將燒瓶內氣氛從氮置換成空氣，向燒瓶內加入相對構成成分(a)的摩爾數為580摩爾％的構成成分(bl)或(b2);例如相對單體(a)(c)的總量以質量標準計算為0.0015%的作為羧基與環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的反應催化劑的三二甲胺基甲基苯酚；以及，例如相對單體(a)(c)的總量以質量標準計算為0.0015%的作為聚合抑制劑的氫醌，在6013(TC下持續(xù)反應110小時。這樣，可得到樹脂(A2-2)。此外，可與聚合條件同樣地考慮制造設備或通過聚合產生的熱量值等來適當地調整加入方法或反應溫度。另外，在這種情況下，(bl)或(b2)的摩爾數相對(a)的摩爾數，優(yōu)選為1075摩爾％，更優(yōu)選為1570摩爾％。通過在該范圍內，可具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性、機械強度及感光度的平衡變好的趨勢。在樹脂(A2-3)中，相對構成堿可溶性樹脂(A2-3)的構成成分的總摩爾數，從各成分衍生的構成成分的比率以摩爾分率計算優(yōu)選處于以下的范圍內。從(a)衍生的結構單元；595摩爾％從(bl)或(b2)衍生的結構單元；595摩爾％另外，如果所述的構成成分的比率處于以下的范圍內，則更優(yōu)選。從(a)衍生的結構單元；1090摩爾％從(bl)或(b2)衍生的結構單元；1090摩爾％所述的構成比率如果處于上述的范圍，則具有貯存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性及機械強度變好的趨勢。樹脂(A2-3)可參考例如在文獻"高分子合成的實驗法"(大灃隆行著發(fā)行所(株)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻等來制造。具體而言，在反應容器中加入聚合引發(fā)劑、溶劑及規(guī)定量的衍生出構成共聚物的單元(a)及(bl)或(b2)的化合物，通過利用氮置換氧，在氧不存在的條件下，攪拌、加熱、保溫，由此得到共聚物。此外，得到的共聚物可直接使用反應后的溶液，也可使用濃縮或稀釋后的溶液，也可使用利用再沉淀等方法作為固體(粉體)取出的共聚物。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的聚合性化合物(B)只要具有聚合性，則沒有特別限定，例如可例示單官能單體、2官能單體、3官能以上的多官能單體等。作為單官能單體，可舉出壬基苯基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙基酯、2_乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-(2_乙氧基乙氧基)乙基酯、己內酯(甲基)丙烯酸酯、乙氧化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯、a-、鄰-、間-、對-甲基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、對叔丁氧基苯乙烯、氯甲基苯乙烯等苯乙烯類；丁二烯、2，3-二甲基丁二烯、異戊間二烯等二烯類；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸炔丙基(7口"《&)酉旨、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽基(anthracenyl)酯、(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸呋喃基(furyl)酉旨、(甲基)丙烯酸四氫呋喃基酯、(甲基)丙烯酸吡喃基(pyranyl)酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸苯甲酰甲基(phenacyl)酯、(甲基)丙烯酸甲苯基酯、(甲基)丙烯酸1，1，1-三氟乙基酯、(甲基)丙烯酸全氟乙基酯、(甲基)丙烯酸全氟正丙基酯、(甲基)丙烯酸全氟異丙基酯、(甲基)丙烯酸三苯基甲基酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸枯基酯等(甲基)丙烯酸烷基酯，(甲基)丙烯酸環(huán)烷基酯或(甲基)丙烯酸芳基酯；(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯等(甲基)丙烯酸羥基烷基酯；(甲基)丙烯-酰胺、-N，N-二甲基酰胺、-N，N-丙基酰胺等(甲基)丙烯酰胺；(甲基)丙烯酰苯胺、(甲基)丙烯腈、丙烯醛、氯乙烯、偏二氯乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙酸乙烯酯等乙烯系化合物；馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等不飽和二羧酸二酯；縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-乙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-正丙基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、a-正丁基縮水甘油(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧基庚基酯、(甲基)丙烯酸a-乙基-6，7-環(huán)氧基庚基酯、烯丙基縮水甘油醚、乙烯基縮水甘油醚等縮水甘油基化合物等。作為2官能單體的具體例，可舉出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、l，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3_甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作為3官能以上的多官能單體，可舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰尿酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、己內酯改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三(2-羥乙基)異氰尿酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、己內酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、己內酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物等。其中，優(yōu)選使用2官能以上的單體。相對樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合性化合物(B)的含有量以質量分率計算優(yōu)選為170質量％，更優(yōu)選為560質量％。如果聚合性化合物(B)的含有量處于所述的范圍內，則具有感光度或者涂膜及圖案的強度或平滑性、可靠性、機械強度變好的趨勢，所以優(yōu)選。作為在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的聚合引發(fā)劑(C)，只要是在光或熱的作用下引發(fā)聚合的化合物，則沒有特別限定，可使用公知的聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑(C)，例如優(yōu)選聯二咪唑系化合物、乙酰苯系化合物、三嗪系化合物、?；⒒跸祷衔?、肟系化合物。另外，也可使用在特開2008-181087號公報中記載的光及/或熱陽離子聚合引發(fā)劑(例如由鎗(onium)陽離子與來源于路易斯酸的陰離子構成的聚合引發(fā)劑)。其中，聯二咪唑系化合物由于感光度出色而更優(yōu)選。作為所述的聯二咪唑化合物，可舉出2，2'_雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑、2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑(例如參照特開平6-75372號公報、特開平6-75373號公報等。)、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(烷氧基苯基)聯二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(二烷氧基苯基)聯二咪唑、2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四(三烷氧基苯基)聯二咪唑(例如參照特公昭48-38403號公報、特開昭62-174204號公報等。)、4，4'，5，5'-位的苯基被羰烷氧基(calboalcoxy)取代而成的聯二咪唑化合物(例如參照特開平7-10913號公報等。)等?？蓛?yōu)選舉出2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑、2，2'-雙(2，3-二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑、2，2'-雙(2，4_二氯苯基)-4，4'，5，5'-四苯基聯二咪唑。作為所述的乙酰苯系化合物，可舉出二乙氧基乙酰苯、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-1-酮、節(jié)基二甲基縮酮、2-羥基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙?；?_節(jié)基]_苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-節(jié)基-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2_(3-甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(4-甲基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-乙基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-代苯基)-丁酮、2-(2-丙基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-丁基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(2，3-二甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-('琳代苯基)-丁酮、2-(2，4-二甲基節(jié)基)-2-二甲胺基-l-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2-(:節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-溴節(jié)基)-2-二甲胺基琳代苯基)-丁酮、2-(3-氯節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(4-基)-2-二甲胺基-1_(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(3-溴節(jié)基)-2-二甲胺基-1_(4-代苯基)-丁酮、2-(4-溴節(jié)基)_2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(3-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎琳代苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-甲基-4-溴節(jié)基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基芐基)-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-l-酮的寡聚物等。作為所述的三嗪系化合物，可舉出2，4_雙(三氯甲基)-6-(4_甲氧基苯基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)_6-(4-甲氧基萘基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基(piperonyl)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)_6-(4-甲氧基苯乙烯基)-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基(ethenyl)]-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]_1，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6_[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-l，3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1，3，5-三嗪等。作為所述的酰基膦化氧系引發(fā)劑，可舉出2，4，6-三甲基苯甲?；交⒒?，。節(jié)啉芐嗎氯嗎芐啉基嗎基ft卜氯嗎13作為所述的肟化合物，可舉出0-乙氧羰基_a-氧基亞氨基-1-苯基丙烷-1-酮、由式(III)表示的化合物、由式(IV)表示的化合物等。此外，還優(yōu)選與所述的聚合引發(fā)劑(C)一起使用聚合引發(fā)助劑(C-l)。作為聚合引發(fā)助劑(c-i)，可舉出由式(V)表示的化合物。[式(V)中，由X表示的虛線表示可被鹵原子取代的碳數612的芳香環(huán)。Y表示氧原子、硫原子。R1表示碳數16的烷基。R2表示可被鹵原子取代的碳數112的烷基或可被鹵原子取代的芳基。]作為鹵原子，可舉出氟原子、氯原子、溴原子等。作為碳數612的芳香環(huán)，可舉出苯環(huán)、萘環(huán)等。作為可被鹵原子取代的碳數612的芳香環(huán)，可舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)等。作為碳數16的烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1_甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3_甲基正丁基、l，l-二甲基正丙基、l，2-二甲基正丙基、2，2-二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基等。作為可被鹵原子取代的碳數112的烷基，可舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基正丙基、2_甲基正丙基、叔丁基、正戊基、1_甲基正丁基、2_甲基正丁基、3-甲基正丁基、l，l-二甲基正丙基、l，2-二甲基正丙基、2，2-二甲基正丙基、正己基、環(huán)己基、1-氯正丁基、2-氯正丁基、3-氯正丁基等。作為可被鹵原子取代的芳基，可舉出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、聯苯基、氯聯苯基、二氯聯苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。此外，在本說明書中，在任意化學結構式中，雖因碳數不同而不同，但只要沒有特別說明，各取代基均可適用上述的例示。另外，均可用直鏈或支鏈中的任一方。oIIC—R14作為由式(v)表示的化合物，可具體舉出2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[l，2-d]噻唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[2，3-d]噻唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基苯并噻唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-氟苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-氟苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-氯苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-氯苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-5-溴苯并噻唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-5-溴苯并噻唑啉、2-(4-聯苯甲酰基(biphenoyl)亞甲基)_3_甲基苯并噻唑2-(4-聯苯甲?；鶃喖谆?--3-甲基-5苯基苯并噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、2-(4-聯苯甲酰基亞甲基)--3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、2-(4-聯苯甲?；鶃喖谆?--3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、2-(對氟苯甲?；鶃喖谆?--3-甲基-萘[2，l-d]噻唑啉、2-(對氟苯甲?；鶃喖谆?--3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、2-苯甲酰基亞甲基-3-甲基-萘[1，2-d]噁唑啉、2-苯甲酰基亞甲基-3-甲基-萘[2，3-d]噁唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基苯并噁唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-氟苯并噁唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基_5-氟苯并噁唑啉、2-(2-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基_5-氯苯并噁唑啉、2-(1-萘甲酰基亞甲基)-3--甲基_5-氯苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-溴苯并噁唑啉、2-(1-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基_5-溴苯并噁唑啉、2-(4-聯苯甲?；鶃喖谆?--3-甲基苯并噁唑啉、2-(4-聯苯甲酰基亞甲基)--3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-萘[2，l-d]噁唑啉、2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3--甲基-萘[1，2-d]噁唑啉、2_(4-聯苯甲?；鶃喖谆?-3-2_(4-聯苯甲?；鶃喖谆?-3-2-(對氟苯甲?；鶃喖谆?-3-2-(對氟苯甲?；鶃喖谆?-3-萘[2，l-d]噁唑啉、萘[1，2-d]噁唑啉、萘[2，l-d]噁唑啉、萘[1，2-d]噁唑啉等。其中，可優(yōu)選舉出由式(V-l)表示的2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉、由式(V-2)表示的2-苯甲?；鶃喖谆?3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉、由式(V-3)表示的2-(4-聯苯甲?；鶃喖谆?-3-甲基-萘[1，2-d]噻唑啉。(v-i)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(V-2)(V-3)通過使用這些化合物，可使得到的感光性樹脂組合物變成更高感光度。通過使用得到的感光性樹脂組合物形成涂膜或圖案，可使涂膜或圖案的生產率提高，因而優(yōu)選。由式(V)表示的化合物不會因涂膜的后烘焙(postbake)時的熱而升華，在光及熱的至少任意_方的作用下發(fā)生褪色從而透明性提高，所以優(yōu)選。另外，作為聚合引發(fā)助劑(C-l)，也可使用從式(VI)及式(VII)中選擇的至少l種表示的化合物。(VI)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(vii)[式(VI)及式(VII)中，環(huán)f及環(huán)f分別獨立地表示可被鹵原子取代的碳數612的芳香環(huán)或雜環(huán)。Y1及Y2表示氧原子或硫原子。R1及R2表示碳數112的烷基或碳數612的芳基。這些烷基及芳基可被鹵原子、羥基或碳數16的烷氧基取代。]作為可被鹵原子取代的芳香環(huán)或雜環(huán)，可舉出苯環(huán)、甲基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯苯基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)、菲環(huán)、屈(chrysene)環(huán)、熒蒽環(huán)、苯并[a]芘環(huán)、苯并(e)芘環(huán)、二萘嵌苯(perylene)環(huán)及它們的衍生物等。作為羥基取代烷基，可舉出羥甲基、羥乙基、羥丙基、羥丁基等。作為羥基取代芳基，可舉出羥基苯基、羥基萘基等。作為烷氧基取代烷基，可舉出甲氧基甲基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、丁氧基甲基、乙氧基乙基、乙氧基丙基、丙氧基丁基等。作為烷氧基取代芳基，可舉出甲氧基苯基、乙氧基萘基等。由式(VI)及式(VII)表示的化合物可具體舉出二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二異丙氧基萘、二丁氧基萘等二烷氧基萘類；二甲氧基蒽、二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異丙氧基蒽、二丁氧基蒽二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異丙氧基蒽、甲氧基丁氧基蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基異丙氧基蒽、乙氧基丁氧基蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、異丙氧基丁氧基蒽等二烷氧基蒽類；二甲氧基萘并萘、二乙氧基萘并萘、二丙氧基萘并萘、二異丙氧基萘并萘、二丁氧基萘并萘等二烷氧基萘并萘類等。另外，作為上述的聚合引發(fā)劑(C)，也可使用光聚合引發(fā)劑。作為光聚合引發(fā)劑，例如可舉出苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、噻噸酮系化合物、蒽系化合物等。作為苯偶姻系化合物，例如可舉出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚等。作為所述的二苯甲酮系化合物，例如可舉出二苯甲酮、鄰苯酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲?；?4'-甲基二苯基硫化物、3，3'，4，4'-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等。作為所述的噻噸酮系化合物，例如可舉出2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、2，4-二氯噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮等。作為所述的蒽系化合物，例如可舉出9，10-二甲氧基蒽、2_乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。進而，也可使用10-丁基-2-氯吖啶酮、2_乙基蒽醌、二苯甲酰、9，10-菲醌、樟腦醌、苯基乙醛酸甲酯、茂鈦(titanocene)化合物等作為光聚合引發(fā)劑。作為具有可發(fā)生鏈轉移的基團的光聚合引發(fā)劑，也可使用在特表2002-544205號公報中記載的光聚合引發(fā)劑。作為所述的具有可發(fā)生鏈轉移的基團的光聚合引發(fā)劑，例如可舉出下述式(1)(6)的光聚合引發(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>相對樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合引發(fā)劑(C)的含有量以質量分率計算優(yōu)選為0.140質量％，更優(yōu)選為130質量％。如果聚合引發(fā)劑(C)的總量處于該范圍內，則感光性樹脂組合物變成高感光度，使用該感光性樹脂組合物形成的涂膜或圖案的強度或者涂膜或圖案的表面上的平滑性具有變好的趨勢，所以優(yōu)選。相對樹脂(A)及聚合性化合物(B)的總量，聚合引發(fā)助劑(C-l)及/或(C-2)的使用量以質量分率計算優(yōu)選為0.0150質量％，更優(yōu)選為0.140質量％。如果聚合引發(fā)助劑(C-l)及/或(C-2)的量處于該范圍內，則得到的感光性樹脂組合物的感光度會進一步變高，使用該感光性樹脂組合物形成的圖案基板的生產率提高，所以優(yōu)選。尤其在使用由式(V)表示的化合物的情況下，其含有量相對聚合引發(fā)助劑(C-l)的含有量優(yōu)選為50質量％100質量％，更優(yōu)選為60質量％100質量％，進而優(yōu)選為65質量％100質量％。如果由式(V)表示的化合物的含有量處于該范圍內，則在使用含有該化合物的感光性樹脂組合物形成涂膜時，涂膜的透明性變好，所以優(yōu)選。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物也可進一步含有多官能硫醇化合物(T)。該多官能硫醇化合物(T)為在分子內具有2個以上巰基(sulfanyl)基的化合物。其中，在使用具有2個以上與2個以上的脂肪族烴基的碳原子結合的巰基的化合物的情況下，由于本發(fā)明的感光性樹脂組合物的感光度變高，所以優(yōu)選。作為多官能硫醇化合物(T)，可具體舉出己烷二硫醇、癸烷二硫醇、1，4-二甲基巰基苯、丁二醇雙硫代丙酸酯、丁二醇雙硫代乙醇酸酯、乙二醇雙硫代乙醇酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、丁二醇雙硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代乙醇酸酯、三羥基乙基三硫代丙酸酯、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、l，4-雙(3-巰基丁酰氧基)丁烷等。相對聚合引發(fā)劑(C)，多官能硫醇化合物(T)的含有量以質量分率計算優(yōu)選為0.5100質量％，更優(yōu)選為190質量％。另外，相對粘合劑樹脂(A)及光聚合性化合物(C)的總量，多官能硫醇化合物的含有量以質量分率計算優(yōu)選為O.120質量％，更優(yōu)選為110質量％。如果多官能硫醇化合物(T)的含有量處于該范圍內，則具有感光度變高而且顯影性變好的趨勢，所以優(yōu)選。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的溶劑(D)優(yōu)選為均勻地溶解樹脂(A)、聚合性化合物(B)及聚合引發(fā)劑(C)等構成成分而且不與各成分反應的溶劑。另外，溶劑(D)更優(yōu)選為至少含有特定的二亞烷基二醇二烷基醚和特定的醇的雙方的溶劑。其中，二亞烷基二醇二烷基醚及醇可分別單獨使用，也可并用2種以上。作為二亞烷基二醇二烷基醚，為將碳數13的亞烷基及碳數14的烷基分別含有2個以上的溶媒，亞烷基及烷基分別相同或不同。作為這樣的二亞烷基二醇二烷基醚，例如可舉出二甘醇二甲醚、二甘醇乙基己基醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二正丙醚、二甘醇異丙基甲基醚、二甘醇丁基甲基醚、二甘醇二丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇乙基甲基醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲基丙基醚、二丙二醇丁基甲基醚、二丙二醇乙基丙基醚、二丙二醇丁基乙基醚、二丙二醇丁基丙基醚、二丙二醇二丁醚等。其中，優(yōu)選二甘醇乙基甲基醚。19相對溶媒(D)全量，二亞烷基二醇二烷基醚優(yōu)選含有3090質量％，更優(yōu)選含有3080質量％，進而優(yōu)選含有3070質量％。如果在該范圍內，則可抑制涂膜的干燥不均。即，在干燥涂膜的情況下，通常利用減壓干燥使溶劑干燥，而由于存在縮短干燥時間的趨勢，所以在短時間內進行減壓。此時，溶劑會發(fā)生崩沸而成為干燥不均的發(fā)生的原因，但可通過在該范圍內使用二亞烷基二醇二烷基醚來有效地防止涂膜的干燥不均。作為醇，優(yōu)選碳數16的醇。該醇可以為一元醇，也可為2元以上的多元醇。作為這樣的醇，可舉出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、環(huán)己醇、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、乙二醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙醚、乙二醇一丁醚、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、2-甲基乳酸甲酯、二丙酮醇、3_甲氧基丁醇、甘油、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基_2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯等。其中，優(yōu)選3_甲氧基丁醇。相對溶媒(D)總量，優(yōu)選含有1050質量％醇類，進而優(yōu)選含有1045質量％醇類，進而更優(yōu)選含有1540質量％醇類。通過在該范圍內含有醇，可充分地得到樹脂等的溶解性，同時還可調整成適當的粘度，從而實現得到的涂膜的均勻性。另外，即使在使用狹縫模涂料機進行感光性樹脂組合物的涂布的情況下，也可防止噴嘴頂端的干燥，從而抑制干燥物導致的異物的析出且可靠地防止發(fā)生異物引起的縱條紋。另外，根據需要，也可進一步并用以下溶劑。例如可舉出甲基溶纖劑醋酸酯、乙基溶纖劑醋酸酯、乙二醇一丁醚乙酸酯、乙二醇一乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、丙二醇一丙醚乙酸酯、乙酸甲氧基丁酯、乙酸甲氧基戊基酯等亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇一丁醚等碳數7以上的丙二醇一烷基醚類；丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚類；丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等碳數7以上的丁二醇一烷基醚類；乙酸甲氧基丁酯、乙酸乙氧基丁基酯、乙酸丙氧基丁基酯、乙酸丁氧基丁基酯等丁二醇一烷基醚乙酸酯類；丙酸甲氧基丁基酯、丙酸乙氧基丁基酯、丙酸丙氧基丁基酯、丙酸丁氧基丁基酯等丁二醇一烷基醚丙酸酯類；苯、甲苯、二甲苯、均三甲基苯等芳香族烴類；甲基乙基甲酮、丙酮、甲基戊基甲酮、甲基異丁基甲酮、環(huán)己酮等酮類；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2_甲氧基丙酸乙酯、2_甲氧基丙酸丙酯、2_甲氧基丙酸丁酯、2_乙氧基丙酸甲酯、2_乙氧基丙酸乙酯、2_乙氧基丙酸丙酯、2_乙氧基丙酸丁酯、2_丁氧基丙酸甲酯、2_丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3_甲氧基丙酸乙酯、3_甲氧基丙酸丙酯、3_甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯類；乳酸丁酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3_甲基丁酸甲酯等碳數7以上的含羥基酯類；四氫呋喃、吡喃等環(huán)狀醚類；Y_丁內酯等環(huán)狀酯類等。在上述的溶劑中，從涂布性、干燥性的角度出發(fā)，優(yōu)選沸點為10(TC20(TC的有機溶劑。其中，可舉出亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類，酮類，丁二醇烷基醚乙酸酯類，碳數7以上的丁二醇一烷基醚類，3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等酯類，優(yōu)選丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、環(huán)己酮、乙酸甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯。其中，優(yōu)選只使用上述的二亞烷基二醇二烷基醚及醇。相對感光性樹脂組合物，本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的溶劑(D)的含有量以質量分率計算優(yōu)選為6090質量％，更優(yōu)選為6585質量％。如果溶劑(D)的含有量處于該范圍內，則有望在使用旋轉涂敷機(spincoater)、狹縫&旋轉涂敷機(slit&spincoater)、狹縫涂敷劑(slitcoater)(有時也稱為模涂料機(diecoater)、簾式淋涂機(curtainflowcoater)。)、噴涂(inkjet)、輥涂機(rollcoater)、浸涂機(dipcoater)等各種涂布裝置時實現良好的涂布性。本發(fā)明的感光性樹脂組合物實質上不含有顏料及染料等著色劑。S卩，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，相對組合物整體的著色劑的含量以質量分率計算優(yōu)選不到1質量％。更優(yōu)選不到O.5質量％。例如，本發(fā)明的感光性樹脂組合物實質上不含有在該領域中使用的以下的著色劑。顏色索弓l(ColorIndex)(TheSocietyofDyersandColourists出版)中被分為染料(Pigment)的化合物可具體舉出C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I.顏料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色的顏料;C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料;C.I.顏料藍15、15:3、15:4、15:6、60等藍色顏料;C.I.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料；C.I.顏料綠7、36等綠色顏料；C.I.顏料褐23、25等褐色顏料；C.I.顏料黑1、7等黑色顏料。也可在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中根據需要并用填充劑、其他高分子化合物、表面活性劑、附著促進劑、抗氧劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、鏈轉移劑等各種添加劑。作為填充劑，例如可例示玻璃、二氧化硅、氧化鋁等。作為其他高分子化合物，例如可舉出環(huán)氧樹脂、馬來酰亞胺樹脂等固化性樹脂，聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇一烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等熱塑性樹脂等。作為表面活性劑，可使用硅酮系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性等的表面活性劑等中的任意一種。具體而言，可使用聚氧化乙烯烷基醚類、聚氧化乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨糖醇酐脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚乙烯亞胺類等，除此以外，還可使用市售的表面活性劑。例如，商品名KP(信越化學工業(yè)(株)制)、Polyflow(共榮化學(株)制)、工7卜'77(三菱材料電子化成(株))、Megafac(DIC(株)制)、7口，-卜'(住友3M(株)制)、Surfron(AGC清美化學(株)制)、Solsperse(Geneka(株)制)、EFKA(CIBA公司制)、AjisperPB821(味之素(株)制)等。作為附著促進劑，例如可舉出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N_(2-氨乙基)_3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N_(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3_環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。作為抗氧劑，例如可舉出2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羥基-5_甲基節(jié)基)_4_甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羥基-3，5-二叔戊基苯基)乙基]_4，6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙氧基]-2，4，8，10-四叔丁基二苯并[d，f][1，3，2]二氧雜磷(diox即hosph印ine)、3，9-雙[2-{3-(3-叔丁基-4-羥基-5_甲基苯基)丙酰氧基}-1，1-二甲基乙基]_2，4，8，10-四氧螺環(huán)[5，5]十一烷、2，2'-亞甲基雙(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、4，4'-亞丁基雙(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、4，4'-硫代雙(2-叔丁基-5-甲基苯酚)、2，2'-硫代雙(6-叔丁基-4-甲基苯酚)、二月桂基3，3'-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基3，3'_硫代二丙酸酯、二硬脂酰基3，3'_硫代二丙酸酯、季戊四醇基四(3-月桂基硫代丙酸酯)、1，3，5-三(3，5-二叔丁基-4-羥基芐基)-1，3，5-三嗪-2，4，6(1H，3H，5H)-三酮、3，3'，3"，5，5'，5"-六叔丁基-a，a'，a"-(均三甲基苯_2，4，6_三基)三-對甲酚、季戊四醇四[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚等。作為紫外線吸收劑，例如可舉出2-(2_羥基-5-叔丁基苯基)-2H-苯并三唑、辛基-3-[3-叔丁基-4-羥基-5-(5-氯-2H-苯并三唑-2-基)苯基]丙酸酯、2-[4-[(2-羥基-3-十二烷氧基丙基)氧]-2-羥基苯基]-4，6-雙(2，4-二甲基苯基)-1，3，5-三嗪、2-[4-[(2-羥基-3-(2'-乙基)己基)氧]-2-羥基苯基]-4，6-雙(2，4_二甲基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙(2-羥基-4-丁氧基苯基)-6-(2，4-雙-丁氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2-(2-羥基-4-[l-辛氧基羰基乙氧基]苯基)-4，6-雙(4-苯基苯基)-1，3，5-三嗪、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4，6-雙(1-甲基-l-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-6-(l-甲基-l-苯基乙基)-4-(l，l，3，3-四甲基丁基)苯酚、2-(3-叔丁基-2-羥22基-5_甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。作為光穩(wěn)定劑，例如可舉出由琥珀酸和(4-羥基-2，2，6，6_四甲基哌啶-l-基)乙醇形成的高分子、N，N'，N"，N"'-四(4，6-雙(丁基-(N-甲基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)氨基)三嗪-2-基)-4，7-二氮雜癸烷-l，10-二胺、癸二酸(DecandioicAcid)與雙(2，2，6，6-四甲基-l-(辛氧基)_4-哌啶基)酯與1，1-二甲基乙基氫過氧化物的反應物、雙(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)-[[3，5-雙(1，1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]丁基丙二酸酯、2，4-雙[N-丁基-N-(l-環(huán)己氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)氨基]-6-(2-羥基乙基胺)-l，3，5-三嗪、雙(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、甲基(1，2，2，6，6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等。作為鏈轉移劑，例如可舉出十二烷硫醇、2，4-二苯基-4_甲基-l-戊烯等。如后所述，本發(fā)明的感光性樹脂組合物例如可通過在基材上例如在玻璃、金屬、塑料等的基板、在形成有濾色片(colorfilter)、各種絕緣膜或導電膜、驅動電路等的這些基板上涂布來形成為涂膜。涂膜優(yōu)選已干燥及固化的涂膜。另外，還可將得到的涂膜圖案化為所需形狀并將其作為圖案使用。進而，也可將這些涂膜及/或圖案形成為顯示裝置等的構成零件的一部分使用。另外，本發(fā)明的固化性樹脂組合物如果填充于光程長為lcm的石英池(cell)中，用分光光度計在測定波長為400700nm的條件下測定透過率，則平均透過率優(yōu)選為70%以上，更優(yōu)選為75%以上。這樣，可形成在可見光區(qū)域透明的圖案或涂膜。首先，將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布于基材上。如上所述，涂布可使用旋轉涂敷機、狹縫&旋轉涂敷機、狹縫涂敷劑、噴墨機、輥涂機、浸涂機等各種涂布裝置進行。其中，從溶解性、防止干燥、防止異物的發(fā)生等角度出發(fā)，優(yōu)選進行利用旋轉涂布法的涂布，即優(yōu)選進行利用狹縫&旋轉涂敷機及狹縫涂敷機等的涂布。接著，優(yōu)選進行干燥及/或預烘焙(prebake)來除去溶劑等揮發(fā)成分。這樣，可得到平滑的未固化涂膜。對這種情況下的涂膜的膜厚沒有特別限定，可根據使用的材料、用途等適當地調整，例如例示16iim左右。進而，經由用于形成目標圖案的掩模(mask)，向得到的未固化涂膜照射例如從汞燈、發(fā)光二極管發(fā)生的紫外線等。對此時的掩模的形狀沒有特別限定，可舉出各種形狀。另外，線寬等也可利用掩模尺寸等適當地調整。近年來的曝光機中，可以將波長不到350nm的光使用用于截斷(cut)該波長域的濾波器(filter)來截斷，或者，將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光使用可取出這些波長域的帶通濾波器(band-passfilter)來選擇性地取出，從而向曝光面整體均勻地照射平行光線。此時，為了進行掩模與基材的準確的對位，也可使用掩模對準器(maskaligner)、步進器(st印per)等裝置。之后，可通過使涂膜接觸堿水溶液而使規(guī)定部分例如未曝光部溶解并顯影，來得到目標圖案形狀。顯影方法可為裝液法、浸漬(di卯ing)法、噴射(spray)法等中的任意一種。進而，也可在顯影時將基材傾斜成任意的角度。在顯影中使用的顯影液通常為含有堿性化合物和表面活性劑的水溶液。堿性化合物可為無機及有機的堿性化合物中的任意一種。作為無機堿性化合物的具體例，可舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。另外，作為有機堿性化合物，例如可舉出四甲基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等。這些無機及有機堿性化合物在堿性顯影液中的濃度優(yōu)選為0.0110質量％，更優(yōu)選為0.035質量％。表面活性劑可為非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑及陽離子系表面活性劑中的任意一種。作為非離子系表面活性劑，例如可舉出聚氧化乙烯烷基醚、聚氧化乙烯芳基醚、聚氧化乙烯烷基芳基醚、其他聚氧化乙烯衍生物、環(huán)氧乙烷/環(huán)氧丙烷嵌段共聚物、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作為陰離子系表面活性劑，例如可舉出月桂醇硫酸酯鈉或油醇硫酸酯鈉之類的高級醇硫酸酯鹽類、月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨之類的烷基硫酸鹽類、十二烷基苯磺酸鈉或十二烷基萘磺酸鈉之類的烷基芳基磺酸鹽類等。作為陽離子系表面活性劑，例如可舉出硬脂胺鹽酸鹽或月桂基三甲基氯化銨之類的胺鹽或季銨鹽等。堿顯影液中的表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.0110質量％的范圍，更優(yōu)選為0.058質量％，進而優(yōu)選為0.15質量％。在顯影后進行水洗，進而也可根據需要進行后烘焙。后烘焙的適合條件例如為150230。C的溫度范圍、10180分鐘。本發(fā)明的固化性樹脂組合物如果使用分光光度計在測定波長為400700nm的條件下對加熱固化(例如15025(TC、0.13小時)后的3iim厚度的涂膜測定透過率，則透過率優(yōu)選為90%以上，更優(yōu)選為95%以上。這樣，可形成在可見光區(qū)域透明的圖案或涂膜。這樣得到的涂膜或圖案例如可用作在液晶顯示裝置中使用的光感應間隙材(photospacer)、可形成圖案的覆蓋膜(overcoat)。另外，在對未固化涂膜進行圖案化曝光時，可通過使用孔(hole)形成用光掩模來形成孔，從而可用作層間絕緣膜。進而，在對未固化涂膜進行曝光時，可通過不使用光掩模而進行全面曝光及加熱固化或只進行加熱固化，來形成透明膜。該透明膜可用作覆蓋膜。另外，也可在觸摸面板(touchpanel)等顯示裝置中使用。這樣，可以以高成品率制造具備高質量的涂膜或圖案的顯示裝置。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可為了形成用于形成各種膜及圖案的材料例如透明膜尤其是構成濾色片的一部分的透明膜、圖案、光感應間隙材、覆蓋膜、絕緣膜、液晶取向控制用突起、微透鏡(microlens)、組合不同的膜厚的著色圖案、涂敷層等而適當地利用。另外，還可在具備這些涂膜或圖案作為其構成零件的一部分的濾色片、陣列(array)基板等、進而具備這些濾色片及/或陣列基板等的顯示裝置例如液晶顯示裝置、有機EL裝置等中利用。實施例以下利用實施例更詳細地說明本發(fā)明的感光性樹脂組合物，但本發(fā)明不被這些實施例所限定。另外，在以下的實施例及比較例中，表示含有量或使用量的％及份，只要沒有特別說明，均以質量為標準。合成例1在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內，以0.02L/分鐘的速度流入氮，成為氮氣氛，加入二甘醇乙基甲基醚140份，邊攪拌邊加熱至70°C。接著，將甲基丙烯酸40份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.026]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(I-l)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)360份溶解于二甘醇乙基甲基醚190份中，配制溶液，使用滴液泵，用4小時，將所得溶解液滴注到保溫于7(TC的燒瓶內。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于二甘醇乙基甲基醚240份中，將所得溶液使用其他滴液泵，用5小時滴注到燒瓶內。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結束后，保持在7(TC下4小時，然后冷卻至室溫，得到固體成分42.6%、酸價60mg-K0H/g的共聚物(樹脂Aa)的溶液。得到的樹脂Aa的重均分子量(Mw)為8000，分散度為1.91。合成例2在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內，以0.02L/分鐘的速度流入氮，成為氮氣氛，加入二甘醇乙基甲基醚305份，邊攪拌邊加熱至70°C。接著，將甲基丙烯酸60份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.026]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(1-1)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)240份溶解于二甘醇乙基甲基醚140份中配制溶液，使用滴液漏斗，用4小時，將該溶解液滴注到保溫于70°C的燒瓶內。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于二甘醇乙基甲基醚225份中，將所得溶液使用其他滴液漏斗，用4小時滴注到燒瓶內。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結束后，保持在7(TC下4小時，然后冷卻至室溫，得到固體成分32.6%、酸價110mg-K0H/g(固體成分換算)的共聚物(樹脂Ab)的溶液。得到的樹脂Ab的重均分子量Mw為13，600，分散度為2.49。合成例3在具備回流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內，以0.02L/分鐘的速度流入氮，成為氮氣氛，加入3-甲氧基-1-丁醇200份及乙酸3-甲氧基丁酯105份，邊攪拌邊加熱至7(TC。接著，將甲基丙烯酸60份、丙烯酸3，4-環(huán)氧基三環(huán)[5.2.1.026]癸基酯(以摩爾比50:50混合的由式(1-1)表示的化合物及由式(II-l)表示的化合物的混合物。)240份溶解于乙酸3-甲氧基丁酯140份中配制溶液，使用滴液漏斗，用4小時，將該溶解液滴注25到保溫于7(TC的燒瓶內。另一方面，將聚合引發(fā)劑2，2'-偶氮雙(2，4-二甲基戊腈)30份溶解于乙酸3-甲氧基丁酯225份中，將所得溶液使用其他滴液漏斗，用4小時滴注到燒瓶內。在聚合引發(fā)劑的溶液的滴注結束后，保持在7(TC下4小時，然后冷卻至室溫，得到固體成分32.6X、酸價110mg-K0H/g(固體成分換算)的共聚物(樹脂Ac)的溶液。得到的樹脂Ac的重均分子量Mw為13，400，分散度為2.50。使用GPC法，利用以下條件進行了共聚物(樹脂AaAc)的重均分子量(Mw)及數均分子量(Mn)的測定。裝置；K2479((株)島津制作所制)柱；SHIMADZUShim-packGPC-80M柱溫度；40。C溶劑；THF(四氫呋喃)流速；1.0mL/min檢測器；RI將上述條件下得到的聚苯乙烯換算的重均分子量及數均分子量的比作為分散度(Mw/Mn)。實施例19、比較例1混合表1的組合物，得到感光性樹脂組合物110?！挫F不均評價>在邊長15cm的正方形ITO成膜玻璃基板上，使用狹縫涂敷機(卓模_100伊藤忠產機(株)制)，以固化后的膜厚成為5.5iim的條件，分別涂敷在實施例及比較例中得到的感光性樹脂組合物的溶液。然后，利用減壓干燥機(VCDMicrotech(株)制)，將減壓度減壓至0.5torr，使其干燥。在加熱板上，在95。C下預烘焙2分鐘，形成涂膜。冷卻后，利用Na燈(lamp)照射膜表面，經目視確認涂膜表面。可清晰確認霧不均(霧狀的不均)的情況為X，可略微確認的情況為A，幾乎沒有確認到的情況為O。〈釘痕評價>在與上述同樣地形成涂膜之后，減壓干燥。然后，將開有直徑60mm的孔的厚20mm的不銹鋼板載置于設定為9(TC的加熱板上，在其上預烘焙2分鐘，形成涂膜。冷卻后，利用Na燈照射膜表面，經目視確認涂膜表面。可清晰確認釘痕的情況為X，可略微確認的情況為A，幾乎沒有確認到的情況為〇?！椽M縫噴嘴干燥性評價>與上述同樣地形成涂膜。之后，不進行噴嘴頂端的洗滌而直接放置。1分鐘之后，不進行噴嘴頂端的洗滌而進行相同的涂布。接著，利用減壓干燥機(VCDMicrotech(株)制)，將減壓度減壓至0.5torr，使其干燥。在加熱板上，在9(TC下預烘焙2分鐘，形成涂膜。冷卻后，利用Na燈照射膜表面，經目視確認涂膜表面?？汕逦_認縱條紋不均的情況為X，可略微確認的情況為A，幾乎沒有確認到的情況為〇。〈組合物的平均透過率>對各感光性樹脂組合物，使用紫外可見近紅外分光光度計(V-650;日本分光(株)制)(石英池，光程長；lcm)，測定400700nm下的平均透過率(％)。〈圖案的平均透過率>用各感光性樹脂組合物，通過以下步驟制作固化膜，固化后的膜厚味3微米。依次用中性洗滌劑、水及2-丙醇洗滌邊長為5cm的正方形玻璃基板，然后干燥。利用旋轉涂敷，在該基板上涂布組合物，使得后烘焙后的圖案的膜厚成為3.0iim。接著，利用減壓干燥機(VCDMicrotech(株)制)，將減壓度減壓至0.5torr，使其干燥，形成涂膜。將該涂膜，在加熱板中，以9(TC預烘焙2分鐘。使基板與石英玻璃制光掩模之間的間隔成為lOym，使用曝光機(TME-150RSK;拓普康(株)制，光源；超高壓汞燈)，在大氣氣氛下，以100mJ/cm2的曝光量(405nm標準)，對預烘焙后的涂膜進行曝光。該曝光中，使來自超高壓汞燈的放射光通過光學濾波器(LU0400;朝日分光(株)制)進行照射。另外，使用了用于形成100iim的線和空間圖案(lineandspacepattern)的光掩模。在曝光后，利用23t:的四甲基氫氧化銨水溶液(在水溶液100份中含有2.38份四甲基氫氧化銨)浸漬60秒，顯影、水洗后，利用加熱板在235t:后烘焙11分鐘，形成線和空間圖案。對得到的各圖案，使用顯微分光測光裝置(0SP-SP200;OLYMPUS公司制)，測定400700nm下的平均透過率(％)。透過率變高表明吸收變小。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>表1中的各成分如以下所述。聚合性化合物(B);二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARADDPHA;日本化藥(株)制)聚合引發(fā)劑(C)Ca;l-(4-苯基巰基苯基)辛烷_1，2_二酮_2_肟_0_苯甲酸酯(0XE01;汽巴日本公司制)聚合引發(fā)劑(C)Cb;2，2'-雙(2-氯苯基)-4，4'-5，5'-四苯基-l，2'-聯二咪唑(B-CIM;保土谷化學(株)制)引發(fā)助劑C2a;季戊四醇四丙酸酯(SC有機化學(株)制PEMP)引發(fā)助劑C2b;2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉溶劑Da;3-甲氧基-1-丁醇溶劑Db:丙二醇一甲醚溶劑Dc;二甘醇乙基甲基醚溶劑Dd;丙二醇一甲醚乙酸酯溶劑De;乙酸3_甲氧基丁酯溶劑Df;3-乙氧基乙基丙酸酯如上所述，在使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成涂膜時，即使在涂布形成較厚的膜的情況下，也不會發(fā)生霧不均、縱條紋不均及釘痕，可形成涂膜整體均勻且平滑的高質量的涂膜。即，由于沸點較低而可縮短涂布干燥時間，從而可實現生產率的提高，另一方面，還可抑制狹縫噴嘴(slitnozzle)的頂端的干燥，從而防止干燥引起的異物的發(fā)生、向涂布膜中的混入及縱條紋。另外，樹脂及各種成分的溶解性良好，可提高貯存穩(wěn)定性。通過使用這樣的感光性樹脂組合物形成涂膜或圖案并利用這些涂膜或圖案制造顯示裝置，可以提高成品率。產業(yè)上的可利用性如果利用本發(fā)明，則可形成可抑制霧不均、縱條紋不均及釘痕的發(fā)生、涂膜整體均勻的高質量的涂膜。另外，通過利用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以得到高質量的顯示裝置等。權利要求一種感光性樹脂組合物，其中，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)為含有具有碳數1～3的亞烷基及碳數1～4的烷基的二亞烷基二醇二烷基醚和碳數1～6的醇的溶劑。2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)中，相對溶劑總量，含有3090質量％的二亞烷基二醇二烷基醚。3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，溶劑(D)中，相對溶劑總量，含有1050質量％的碳數16的醇。4.根據權利要求13中任意一項所述的感光性樹脂組合物，其中，二亞烷基二醇二烷基醚為二甘醇乙基甲基醚。5.根據權利要求14中任意一項所述的感光性樹脂組合物，其中，碳數16的醇為3-甲氧基丁醇。6.—種涂膜，其是使用權利要求15中任意一項所述的感光性樹脂組合物形成的涂膜。7.—種圖案，其是使用權利要求15中任意一項所述的感光性樹脂組合物形成的圖案。8.—種顯示裝置，其中，包含從權利要求6所述的涂膜及權利要求7所述的圖案中選擇的至少1種。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其中，含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)，溶劑(D)為含有具有碳數1～3的亞烷基及碳數1～4的烷基的二亞烷基二醇二烷基醚和碳數1～6的醇的溶劑。本發(fā)明還提供包含用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的涂膜或/和圖案的顯示裝置。文檔編號G03F7/004GK101738859SQ20091022174公開日2010年6月16日申請日期2009年11月16日優(yōu)先權日2008年11月18日發(fā)明者白川政和申請人:住友化學株式會社