專利名稱：光波導(dǎo)基板及其制備方法、模、以及光電混載模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板及其制備方法、用于該制備方 法的模、以及具有該光波導(dǎo)基板的光電混載模塊。
背景技術(shù)：
伴隨著光通信系統(tǒng)的實(shí)用化，關(guān)于作為其基本構(gòu)成的光波導(dǎo)的技術(shù)引起 了人們的注意。所謂光波導(dǎo)，代表性的有折射率高的中心層被折射率低的 覆蓋層所包圍的包埋型結(jié)構(gòu)，或者在折射率低的下部覆蓋層上形成折射率高 的中心層、并將上部覆蓋層作為空氣層的山脊型的結(jié)構(gòu)；入射到光波導(dǎo)的中 心層的光在該中心層和該覆蓋層之間的界面、或者該中心層和該空氣層之間 的界面反射，同時(shí)在該中心層中傳播。
通常，在用于光通信的光纖的連接部或末端部，為了與其它的光纖連接， 或者與發(fā)光元件或光敏元件授受光信號(hào)，而使用光波導(dǎo)。作為將光纖和光波 導(dǎo)進(jìn)行光耦合的方法，常這樣進(jìn)行為了使光軸調(diào)節(jié)簡便，在形成有光波導(dǎo) 的基部基板上，與光波導(dǎo)的中心層串聯(lián)地設(shè)置光纖固定槽，將光纖插入該固 定槽并固定。
例如，在專利文獻(xiàn)l中，公開了通過反應(yīng)性離子蝕刻在硅基板上形成光 纖固定槽后，在光纖固定槽附近形成由玻璃粒子膜構(gòu)成的光波導(dǎo)的方法。另 外，在專利文獻(xiàn)2和3中，公開了在氧化鋁陶瓷基板上形成有由硅氧烷聚合 物構(gòu)成的光波導(dǎo)后，通過劃片形成光纖固定槽的方法。而且，在專利文獻(xiàn)4 中，公開了在硅基板上形成石英系光波導(dǎo)后，通過各向異性蝕刻(濕法蝕刻) 形成光纖固定槽的方法。
但是，在基部基板上分別形成光波導(dǎo)和光纖固定槽時(shí)，存在需要進(jìn)行光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合，使制備工序變得復(fù)雜的問 題。于是，在專利文獻(xiàn)5中，公開了使用具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和用于形成 光波導(dǎo)的中心層的中心槽的各個(gè)凸部分的母模(7^夕一型)，通過對(duì)基部 基板進(jìn)行壓制成型，制作具有光纖固定槽和中心槽的基部基板的方法。根據(jù) 該方法， 一旦制成母模，在每次形成光波導(dǎo)或光纖固定槽時(shí)，不需要進(jìn)行光 纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合，具有提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)l:特開平8-313756號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:特開2000-105324號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)3:特開2000-131556號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)4:特開2004-198653號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)5:特開2004-347895號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，在專利文獻(xiàn)5中公開的方法中，由于是通過使用了母模的壓制成 型來制作具有光纖固定槽和中心槽的基部基板，因而構(gòu)成基部基板的材料存 在受限于能夠壓制成型的材料(例如，熱塑性樹脂)的問題。另外，在進(jìn)行 使用了母模的壓制成型時(shí)，在母模和基部基板的脫模性差的情況下，存在產(chǎn) 生模缺(型欠^)等尺寸精度降低的問題。而且，涂敷剝離劑來提高母模和 基部基板之間的脫模性后，又存在剝離劑除去困難的問題。
在上述狀況下，本發(fā)明要解決的問題是提供能夠以很好的尺寸精度在任 意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)，且不需要進(jìn)行光纖的中心和 光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板及其簡 便的制備方法、用于該方法的模、以及具有該光波導(dǎo)基板的光電混載模塊。
5本發(fā)明人們進(jìn)行了種種研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)在利用軟光刻技術(shù)，使用由凹 型制作的凸型，所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部、并在 對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰 的凸部，在基部基板上形成下部覆蓋層(所述下部覆蓋層具有光纖固定槽和 中心槽、并在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰)時(shí)，能夠簡便地制備 這樣的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板其不需要限定構(gòu)成基部基板的材料， 能夠以很好的尺寸精度在基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)，不需要進(jìn)行 光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合，從而完成了本發(fā)明。
艮口，本發(fā)明提供了一種帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，該帶有光纖固定 槽的光波導(dǎo)基板具有形成于基部基板上的下部覆蓋層、形成于該下部覆蓋層 上的中心層、以包埋該中心層的方式形成于該下部覆蓋層和該中心層上的上 部覆蓋層、以及與該中心層串聯(lián)地形成于該下部覆蓋層上的光纖固定槽，其 特征在于，該下部覆蓋層具有該光纖固定槽和中心槽，且在該光纖固定槽和 該中心槽之間設(shè)置有堰。
在本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板中，優(yōu)選所述中心槽的上端面 部比所述光纖固定槽的上端面部低。另外，所述下部覆蓋層優(yōu)選為UV固化 型環(huán)氧樹脂的固化物。
本發(fā)明還提供了一種上述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法， 其特征在于，該方法包括(a)由凹型制備凸型的工序所述凹型具有對(duì)應(yīng) 于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng) 于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部；所述凸型具有對(duì)應(yīng)于光纖固 定槽和中心槽的各個(gè)凸部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽 的該凸部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凹部；(b)形成下部覆蓋層的工序，該工序 包括在基部基板上涂敷覆蓋材料，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸 部正對(duì)該基部基板的方式來載置該凸型，使該覆蓋材料固化后，除去該凸型，由此在該基部基板上形成具有該光纖固定槽和該中心槽、且在該光纖固定槽 和該中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層；(C)形成中心層的工序，該工序包 括通過在該中心槽內(nèi)注入并填充中心層材料，并使該中心層材料固化而形 成中心層；(d)形成上部覆蓋層的工序，該工序包括通過以包埋該中心層 的方式在形成有該中心層的區(qū)域的該下部覆蓋層和該中心層上涂敷覆蓋材 料，并使該覆蓋材料固化而形成上部覆蓋層。
在本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法中，也可以替代下 述形成下部覆蓋層的工序，該工序包括在基部基板上涂敷覆蓋材料，以對(duì) 應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部正對(duì)該基部基板的方式來載置凸型，使 該覆蓋材料固化后，除去該凸型，由此在該基部基板上形成具有該光纖固定 槽和該中心槽、且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層； 而采用下述形成下部覆蓋層的工序，該工序包括在基部基板上以對(duì)應(yīng)于光 纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部正對(duì)該基部基板的方式來載置凸型，在該基部 基板和該凸型的間隙中注入并填充覆蓋材料，使該覆蓋材料固化后，除去該 凸型，由此在該基部基板上形成具有該光纖固定槽和該中心槽、且在該光纖 固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層。
在本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法中，優(yōu)選在所述凹 型中，對(duì)應(yīng)于所述中心槽的凹部的上端面部比對(duì)應(yīng)于所述光纖固定槽的凹部 的上端面部低。另外，用于形成所述下部覆蓋層的覆蓋材料優(yōu)選為UV固化 型環(huán)氧樹脂。
本發(fā)明還提供了一種模，該模為用于上述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基 板的制備方法的模，其特征在于，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各 個(gè)凹部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部，所述凸部位于對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和 對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間；或者，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的 各個(gè)凸部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凹部，所述凹部位于對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凸部之間。本發(fā)明還提供了一種光電混載模塊，其特征 在于，該光電混載模塊具有上述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板。
本發(fā)明由于利用軟光刻技術(shù)，使用由凹型制作的凸型，所述凹型具有 對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部、并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和 對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部，在基部基板上形成下部 覆蓋層，所述下部覆蓋層具有光纖固定槽和中心槽、并在光纖固定槽和中心 槽之間設(shè)置有堰；因此能夠簡便地制備這樣的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基 板其能夠以很好的尺寸精度在任意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光 波導(dǎo)，不需要進(jìn)行光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合。
另外，在連續(xù)地抽出輥狀的基部基板并使之移動(dòng)的同時(shí)，使之接觸粘附 有由凹型制作的凸型的輥，所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè) 凹部、并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有 對(duì)應(yīng)于堰的凸部，在基部基板上形成下部覆蓋層，所述下部覆蓋層具有光纖 固定槽和中心槽、并在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰，接著，依次 形成中心層以及上部覆蓋層，由此，按照凹版印刷的要領(lǐng)，在工業(yè)上大量生 產(chǎn)帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板成為可能。
進(jìn)而，由于得到的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，在基部基板上形成有 下部覆蓋層、中心層以及上部覆蓋層，因此只要使用帶有電線的薄膜基板作 為基部基板，通過用切割鋸將安裝發(fā)光元件和/或光敏元件的部分切斷成V
字形，形成45°的反射鏡(mirror),就能夠簡便地制備光電混載模塊。


圖1為示意性地表示本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的代表例的 結(jié)構(gòu)的部分平面圖2為示意性地表示圖1沿AA線切斷后的截面的部分截面圖；圖3為用于說明本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法的代 表例的示意工序圖。 附圖標(biāo)記說明
1、基部基板；2、下部覆蓋層；3、中心層；4、上部覆蓋層；5、光纖
固定槽；6、中心槽；7、堰；8、光纖固定槽的上端面部；9、中心槽的上端 面部；10、上部覆蓋層的上端面部；11、第一模(凹型)；12、對(duì)應(yīng)于光纖 固定槽的凹部；13、對(duì)應(yīng)于中心槽的凹部；14、對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凹部的 上端面部；15、對(duì)應(yīng)于中心槽的凹部的上端面部；16、第二模(凸型)；17、 對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部；18、對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部；19、對(duì)應(yīng)于堰的凸部； 20、對(duì)應(yīng)于堰的凹部
具體實(shí)施方式
《帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板》
本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板(以下稱為"本發(fā)明的光波導(dǎo)基 板"或者簡稱為"光波導(dǎo)基板")為具有形成于基部基板上的下部覆蓋層、 形成于該下部覆蓋層上的中心層、以包埋該中心層的方式形成于該下部覆蓋 層和該中心層上的上部覆蓋層、以及與該中心層串聯(lián)地形成于該下部覆蓋層 上的光纖固定槽的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，其特征在于，該下部覆蓋 層具有該光纖固定槽和中心槽，且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有 堰。
本發(fā)明的光波導(dǎo)由于在基部基板上具有光纖固定槽和光波導(dǎo)，且光纖固 定槽和光波導(dǎo)的中心層以串聯(lián)地形式形成，使安裝于光纖固定槽的光纖的中 心的位置和光波導(dǎo)的中心層的位置一致，因此，能夠在安裝于光纖固定槽的 光纖和光波導(dǎo)的中心層之間授受光信號(hào)。
本發(fā)明的光波導(dǎo)基板的代表例如圖1和圖2所示。本發(fā)明的光波導(dǎo)基板并不僅限于該代表例，可以適當(dāng)?shù)刈兏浣Y(jié)構(gòu)。另外，圖l是從上方看光波導(dǎo)基板的部分平面圖。而圖2是沿圖1的AA線將圖l所示的光波導(dǎo)基板切斷后的部分截面圖。如圖1所示，從上方看光波導(dǎo)基板時(shí)，在左側(cè)形成有光波導(dǎo)固定槽5。 另一方面，在右側(cè)形成有光波導(dǎo)(無標(biāo)記)，尤其是以包埋形成于中心槽6 內(nèi)的中心層3的形式形成有上部覆蓋層4。光纖固定槽5以與中心層3串聯(lián) 的方式形成，并且使光纖(未圖示)的中心的位置與形成于中心槽6內(nèi)的中 心層3的位置一致。在光纖固定槽5和中心槽6之間設(shè)置有堰7。如圖2所示，看沿圖1的AA線將光波導(dǎo)基板切斷后的截面時(shí)，在基部 基板1上首先形成有具有光纖固定槽5和中心槽6的下部覆蓋層2。下部覆 蓋層2沒有經(jīng)由粘著劑等，而直接粘結(jié)在基部基板1上。光纖固定槽5以與 中心層3串聯(lián)的形式形成，并且使光纖(未圖示)的中心的位置與形成于中 心槽6內(nèi)的中心層3的位置一致。因而，優(yōu)選中心槽6的上端面部9比光纖 固定槽5的上端面部8低。光纖固定槽5的上端面部8和中心槽6的上端面 部9的差別優(yōu)選與上部覆蓋層4的厚度相當(dāng)。因此，能夠使光纖固定槽5的 上端面部8和上部覆蓋層4的上端面部10大致平坦。在本發(fā)明的光波導(dǎo)基板上插入光纖并固定時(shí)，將光纖(未圖示)插入光 波導(dǎo)基板的光纖固定槽5中后，在其上方載置用于固定的部件(例如，在光 波導(dǎo)基板上平坦的部件)，例如，用粘著劑等進(jìn)行固定。因而，在光纖固定 槽5的上端面部8和上部覆蓋層4的上端面部10大致平坦時(shí)，能夠提高光 波導(dǎo)基板和用于固定的部件之間的粘接強(qiáng)度。另外，也可以通過將多個(gè)光波 導(dǎo)基板重疊設(shè)置而多層化。另外，在光纖固定槽5和中心槽6之間設(shè)置有堰7，但是由于堰7用構(gòu) 成下部覆蓋層2的覆蓋材料而形成，并具有適度的厚度(光纖固定槽5和中 心槽6之間的間隔)，因此不會(huì)對(duì)在安裝于光纖固定槽5中的光纖(未圖示)的中心和形成于中心槽6內(nèi)的中心層3之間的光信號(hào)的授受造成障礙。堰7的厚度優(yōu)選為5pm以上50pm以下。堰7的厚度過薄時(shí)，在使用具有對(duì)應(yīng)于 堰7的凹部的凸型形成下部覆蓋層2時(shí)，有時(shí)不能很好地復(fù)制堰7。相反， 堰7的厚度過厚時(shí)，在安裝于光纖固定槽5中的光纖(未圖示)的中心和形 成于中心槽6中的中心層3之間的光信號(hào)的傳送損失有時(shí)會(huì)變大。另外，堰 7的高度(即，距中心槽6的地面的高度)，只要根據(jù)安裝于光纖固定槽5 中的光纖的外徑和中心徑等適當(dāng)?shù)卦O(shè)定即可，沒有特別的限定。接著，如圖1和圖2所示，在下部覆蓋層2以及中心層3上，以包埋中 心層3的形式形成有上部覆蓋層4。中心層3以及上部覆蓋層4沒有經(jīng)由粘 接劑層等，而直接粘結(jié)在下部覆蓋層2上。在此，基部基板l、下部覆蓋層 2、中心層3以及上部覆蓋層4各自由各種有機(jī)材料構(gòu)成。下部覆蓋層2優(yōu) 選為UV固化型環(huán)氧樹脂的固化物。另外，在圖l和圖2中，光纖固定槽5以及中心層3各自只形成有一個(gè)， 但是根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途等也可以形成兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，中心層3 相對(duì)于紙面形成為向左右方向延伸的直線狀，但是根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途 等，也可以形成規(guī)定的圖案形狀。 〈基部基板〉本發(fā)明的光波導(dǎo)基板在基部基板上具有光纖固定槽和光波導(dǎo)。作為構(gòu)成 基部基板的材料，可舉出有機(jī)材料(例如環(huán)氧系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、丙 烯酸系樹脂、聚酯系樹脂、聚苯乙烯系樹脂、環(huán)烯烴系樹脂、聚醚砜系樹脂、 聚醚酮系樹脂、聚醚腈系樹脂、氧雜環(huán)丁烷系樹脂、硅烷系樹脂、聚硅氧烷 系樹脂等)以及無機(jī)材料(例如硅、GaAs或InP等III-V族化合物半導(dǎo)體、 石英玻璃等)。由這些材料構(gòu)成的基部基板中，從厚度小或表面平坦等方面 考慮，優(yōu)選硅基板?？紤]到光電混載模塊的制備時(shí)，從耐熱性(尤其是假想 錫焊時(shí)的耐熱性、具體為200-25(TC的耐熱性)的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選由聚酰亞胺系樹脂構(gòu)成的薄膜、即聚酰亞胺薄膜(包括鹵代聚酰亞胺薄膜)。另外， 使用聚酰亞胺薄膜作為基部基板時(shí)，也可以利用市售品。作為聚酰亞胺薄膜 的市售品，可舉出例如東 f 二求y株式會(huì)社的商品名稱為"力7°卜y (注 冊(cè)商標(biāo))"系列?；炕宓暮穸雀鶕?jù)光波導(dǎo)基板的用途等適當(dāng)?shù)剡x擇即可，沒有特別的限定，優(yōu)選為10(im以上，更優(yōu)選為25pm以上，另外，優(yōu)選為100 以 下，更優(yōu)選為50pm以下?；宓暮穸冗^薄時(shí)，存在光波導(dǎo)基板的強(qiáng)度降低 的情況。相反，基部基板的厚度過厚時(shí)，存在在制備光電混載模塊時(shí)，基板 的透明性降低的情況。在本發(fā)明的光波導(dǎo)基板中，由于并非如專利文獻(xiàn)5中公開的那樣，通過 使用了母模的壓制成型，制作具有光纖固定槽和中心槽的基部基板，而是利 用軟光刻技術(shù)，使用由凹型制作的凸型，所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和 中心槽的各個(gè)凹部、并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹 部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部，在基部基板上形成下部覆蓋層，所述下部覆 蓋層具有光纖固定槽和中心槽、并在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有 堰，因此不需要限定構(gòu)成基部基板的材料，能夠以很好的尺寸精度在基部基 板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)。 〈下部覆蓋層〉本發(fā)明的光波導(dǎo)基板在基部基板上形成有具有光纖固定槽和中心槽的 下部覆蓋層。另外，在光纖固定槽和中心槽之間設(shè)置有堰。更詳細(xì)地，下部 覆蓋層具有使用由凹型制作的凸型形成的光纖固定槽和中心槽，且在光纖固 定槽和中心槽之間設(shè)置有堰；其中，所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和形成 了中心層的中心槽的各個(gè)凹部、且在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中 心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部。構(gòu)成下部覆蓋層的覆蓋材料，只要是以往公知的光波導(dǎo)材料即可，沒有舉出紫外線(或光)固化性樹脂、熱固性樹脂等的固化 性樹脂以及熱塑性樹脂。這些樹脂中，優(yōu)選為紫外線(或光)固化性樹脂。 作為紫外線(或光)固化性樹脂，可舉出例如丙烯酸系樹脂和環(huán)氧系樹脂。 丙烯酸系樹脂固化時(shí)收縮較大，另外，固化受氧阻礙的可能性較高，存在固 化性的問題。因而優(yōu)選環(huán)氧系樹脂，從固化時(shí)不易產(chǎn)生彎曲的方面來看，特 別優(yōu)選UV固化型環(huán)氧樹脂。下部覆蓋層的厚度根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途和使用的光的波長等適當(dāng)設(shè) 定即可，沒有特別的限定，但在除了中心槽的下側(cè)之外的光波導(dǎo)區(qū)域，優(yōu)選為10pm以上，更優(yōu)選為20)im以上，另外，優(yōu)選為150pm以下，更優(yōu)選為 100(am以下。下部覆蓋層的厚度過薄時(shí)，存在不能形成足夠的厚度的中心層 的情況。相反，下部覆蓋層的厚度過厚時(shí)，存在在制備光電混載模塊時(shí)，下 部覆蓋層的透明性降低的情況。下部覆蓋層的折射率只要比中心層的折射率低，就沒有特別的限定，例 如通過選擇覆蓋材料的種類，可以在1.45-1.65的范圍內(nèi)任意調(diào)節(jié)。 〈中心層〉在本發(fā)明的光波導(dǎo)基板中，在形成于下部覆蓋層的中心槽內(nèi)形成有中心層。構(gòu)成中心層的中心層材料只要比構(gòu)成下部覆蓋層的覆蓋材料以及構(gòu)成 上部覆蓋材料的折射率高，為以往公知地光波導(dǎo)材料即可，沒有特別的限定， 例如可舉出紫外線(或光)固化性樹脂、熱固性樹脂等的固化性樹脂。這些 樹脂中，優(yōu)選為紫外線(或光)固化性樹脂。作為紫外線(或光)固化性樹 脂，可舉出例如丙烯酸系樹脂或環(huán)氧系樹脂。丙烯酸系樹脂固化時(shí)收縮較大， 另外，固化受氧阻礙的可能性較高，存在固化性的問題。因而優(yōu)選環(huán)氧系樹 脂，從固化時(shí)不易產(chǎn)生彎曲的方面來看，特別優(yōu)選UV固化型環(huán)氧樹脂。中心層的厚度根據(jù)安裝于光纖固定槽的光纖的中心徑和使用的光的波長等適當(dāng)設(shè)定即可，沒有特別的限定。另外，中心層垂直于長度方向的截面的形狀優(yōu)選為矩形，最優(yōu)選為正方 形。艮口，中心層的高寬比(寬度/厚度)優(yōu)選為1/2以上，更優(yōu)選為2/3以上，進(jìn)一步優(yōu)選為5/6以上，另外，優(yōu)選為2/1以下，更優(yōu)選為3/2以下，進(jìn)一 步優(yōu)選為6/5以下。最優(yōu)選為1/1。由于中心層的高寬比過小或過大時(shí)，中 心層垂直于長度方向的截面的形狀變得扁平，因此存在在光入射到中心層或 光從中心層射出時(shí)產(chǎn)生光損失的情況。中心層的折射率只要比下部覆蓋層以及上部覆蓋層的折射率高就沒有 特別的限定，例如通過選擇中心層材料的種類，可以在1.45-1.65的范圍內(nèi) 任意調(diào)節(jié)。〈上部覆蓋層〉在本發(fā)明的光波導(dǎo)基板上，在光波導(dǎo)區(qū)域中的下部覆蓋層以及中心層上 形成有上部覆蓋層。構(gòu)成上部覆蓋層的覆蓋材料，可以與構(gòu)成下部覆蓋層的覆蓋材料相同， 也可以不同，沒有特別的限定，例如可舉出紫外線(或光)固化性樹脂、熱 固性樹脂等的固化性樹脂以及熱塑性樹脂。這些樹脂中，優(yōu)選為紫外線(或 光)固化性樹脂。作為紫外線(或光)固化性樹脂，可舉出例如丙烯酸系樹 脂和環(huán)氧系樹脂。丙烯酸系樹脂固化時(shí)收縮較大，另外，固化受氧阻礙的可 能性較高，存在固化性的問題。因而優(yōu)選環(huán)氧系樹脂，從固化時(shí)不易產(chǎn)生彎 曲的方面來看，特別優(yōu)選UV固化型環(huán)氧樹脂。上部覆蓋層的厚度根據(jù)安裝于光纖固定槽中的光纖的外徑和中心徑等 適當(dāng)設(shè)定即可，沒有特別的限定，優(yōu)選為10pm以上，更優(yōu)選為20^im以上， 另外，優(yōu)選為10(Him以下，更優(yōu)選為50(im以下。上部覆蓋層的厚度過薄或 者過厚時(shí)，在將光纖插入到光纖固定槽中時(shí)，由于不能使光纖的上端面部和 光波導(dǎo)的上端面部大致平坦，因此存在光纖的粘接強(qiáng)度降低的情況。上部覆蓋層的折射率只要比中心層的折射率低就沒有特別的限定，例如 通過選擇覆蓋材料的種類，可以在1.45-1.65的范圍內(nèi)任意調(diào)節(jié)。 〈光纖固定槽以及中心槽〉 本發(fā)明的光波導(dǎo)基板具有使用由凹型制作的凸型而在下部覆蓋層上形成的光纖固定槽以及中心槽，并在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰；所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和用于形成中心層的中心槽的各個(gè)凹部、且 在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于 堰的凸部。在光纖固定槽上，安裝有用于在與形成于基部基板的光波導(dǎo)的中心層之 間進(jìn)行光信號(hào)的授受的光纖。通過將中心槽材料注入并填充到中心槽內(nèi)后， 使該中心層材料固化，來形成光波導(dǎo)的中心層。因而，光纖固定槽以與中心 層串聯(lián)的形式形成，并且使安裝于光纖固定槽的光纖的中心的位置與形成于 中心槽內(nèi)的中心層的位置一致。另外，如上所述，在光纖固定槽和中心槽之 間設(shè)置有堰。另外，雖然在光纖固定槽和中心槽之間設(shè)置有堰，但是不會(huì)對(duì) 安裝于光纖固定槽的光纖的中心和形成于中心槽內(nèi)的中心層之間的光信號(hào) 的授受造成障礙。進(jìn)一步，如上所述，優(yōu)選形成中心層的中心槽的上端面部 比光纖固定槽的上端面部低。在與光纖固定槽的長度方向垂直的方向上的截面形狀沒有特別的限定，可舉出例如矩形、V字形、U字形等。光纖固定槽的寬度以及深度，根據(jù)安裝于光纖固定槽的光纖的外徑等適 當(dāng)設(shè)定即可，沒有特別的限定。中心槽的寬度以及深度，根據(jù)光波導(dǎo)的中心層的寬度以及厚度和安裝于 光纖固定槽的光纖的中心徑等適當(dāng)設(shè)定即可，沒有特別的限定。在本發(fā)明的光波導(dǎo)基板中，由于光纖固定槽以及中心槽是使用由凹型制 作的凸型而形成的，所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部、且在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng) 于堰的凸部，因此，不需要進(jìn)行安裝于光纖固定槽中的光纖的中心和形成于 中心槽內(nèi)的中心層的精密的位置配合。 〈UV固化型環(huán)氧樹脂〉 如上所述，作為構(gòu)成下部覆蓋層的材料、構(gòu)成中心層的中心層材料、構(gòu) 成上部覆蓋層的覆蓋材料，特別優(yōu)選為UV固化型環(huán)氧樹脂。UV固化型環(huán) 氧樹脂可以自己配制，也可以利用市售品。為了調(diào)整折射率和粘度，可以根據(jù)需要在uv固化型環(huán)氧樹脂中摻合雙酚型環(huán)氧樹脂和脂環(huán)式環(huán)氧樹脂。但是，由于較低粘度的環(huán)氧樹脂具有良好 的操作性，因而優(yōu)選。作為雙酚型環(huán)氧樹脂，可舉出例如雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚A-環(huán)氧化 物加合物的二縮水甘油醚、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚F的環(huán)氧化物加合物的 二縮水甘油醚、雙酚AD型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、四甲基雙酚A型 環(huán)氧樹脂、四甲基雙酚F型環(huán)氧樹脂、這些的鹵代雙酚型環(huán)氧樹脂(例如氟 代雙酚型環(huán)氧樹脂、氯代雙酚型環(huán)氧樹脂、溴代雙酚型環(huán)氧樹脂)等。這些 雙酚型環(huán)氧樹脂可以單獨(dú)使用也可以兩種以上并用。這些雙酚型樹脂中，從 容易獲得和操作性方面考慮，優(yōu)選雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、 溴代雙酚A型環(huán)氧樹脂、溴代雙酚F型環(huán)氧樹脂。作為這些雙酚型環(huán)氧樹脂 的市售品，可舉出例如、2卞八° y工求年、乂 " ^ 乂株式會(huì)社制的商品名稱為 "jER (注冊(cè)商標(biāo))828EL"(雙酚A型環(huán)氧樹脂)、"jER (注冊(cè)商標(biāo))5050" (溴代雙酚A型環(huán)氧樹脂)等?？梢赃m當(dāng)調(diào)節(jié)雙酚型環(huán)氧樹脂的摻合量，使得由UV固化型環(huán)氧樹脂得 到的環(huán)氧系樹脂薄膜具有所希望的折射率即可，沒有特別的限定，但是雙酚 型環(huán)氧樹脂的摻合量過多時(shí)，存在由UV固化型環(huán)氧樹脂得到的環(huán)氧系樹脂 薄膜的柔性降低的情況。作為脂環(huán)式環(huán)氧樹脂，可以列舉出例如通過將3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3，，4，-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、1，2-環(huán)氧-乙烯基環(huán)己烯、雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基) 己二酸酯、l-環(huán)氧乙基-3，4-環(huán)氧環(huán)己垸、檸檬烯二環(huán)氧化物、3，4-環(huán)氧環(huán)己 基甲醇、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、低聚物型脂環(huán)式環(huán)氧樹脂(夕'Yir/W七學(xué) 工業(yè)株式會(huì)社制，商品名稱為"工求U — K (注冊(cè)商標(biāo))GT300"、"工求li 一K (注冊(cè)商標(biāo))GT400"、 "EHPE (注冊(cè)商標(biāo))3150")等的鏈烯烴氧化而 得到的環(huán)氧樹脂；將氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F型環(huán)氧樹脂、氫化 雙酚型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚酚醛型環(huán)氧樹脂、氫化甲酚酚醛型環(huán)氧樹脂、氫 化萘型環(huán)氧樹脂等的芳香族環(huán)氧樹脂直接氫化后的環(huán)氧樹脂；或者通過將多 元酚類氫化后與環(huán)氧氯丙垸反應(yīng)而得到的環(huán)氧樹脂等。這些脂環(huán)式環(huán)氧樹脂 可以單獨(dú)使用也可以兩種以上并用。這些脂環(huán)式環(huán)氧樹脂中，從容易獲得、 低粘度下操作性良好的方面來看，優(yōu)選為3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3',4'-環(huán)氧環(huán) 己垸羧酸酯、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F型環(huán)氧樹脂。可以適當(dāng)調(diào)節(jié)脂環(huán)式環(huán)氧樹脂的摻合量，使得UV固化型環(huán)氧樹脂具有 所希望的粘度即可，沒有特別的限定，但是脂環(huán)式環(huán)氧樹脂的摻合量過多時(shí)， 存在由UV固化型環(huán)氧樹脂得到的環(huán)氧系樹脂薄膜變硬變脆的情況。為了使UV固化型環(huán)氧樹脂固化，可以在該UV固化型環(huán)氧樹脂中摻合 光陽離子聚合引發(fā)劑。作為光陽離子聚合引發(fā)劑，可以列舉出例如如美國 專利第3379653號(hào)中所記載的金屬氟硼絡(luò)合物鹽以及三氟化硼絡(luò)合物；如美 國專利第3586616號(hào)中所記載的雙(全氟烷基磺?；?甲烷金屬鹽；如美國專 利第3708296號(hào)中所記載的芳基重氮化合物；如美國專利第4058400號(hào)中所 記載的VIA族元素的芳香族鎗鹽；如美國專利第4069055號(hào)中所記載的VA 族元素的芳香族鐵鹽；如美國專利第4068091號(hào)中所記載的IIIA-VA族元素 的二羰基螯合物(^力》求二A年^7卜)；如美國專利第4139655號(hào)中所 記載的硫代吡喃鐺鹽(于才t， y ，厶塩)；如美國專利第4161478號(hào)中所記載的MF6—陰離子(在此，M選自磷、銻以及砷)與VIB元素所形成的鹽；如美國專利第4231951號(hào)中所記載的芳基锍絡(luò)合物鹽；美國專利第4256828 號(hào)中所記載的芳香族碘鎗絡(luò)合物鹽以及芳香族锍絡(luò)合物鹽；如W.R.Watt等 在"^卞一于/l^'才:/'求！J7—'f"^工y7 (Journal of Polymer Science)、 求jj7—.，^7卜y — (Polymer Chemistry)版"第22巻1789頁(1984 年)中所記載的雙[4-(二苯基磺酸基)苯基]硫醚-雙-六氟代金屬鹽(例如磷酸 鹽、砷酸鹽、銻酸鹽等)；鐵化合物的混合配體金屬鹽；硅垸醇-鋁配位化合 物等。這些光陽離子聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用也可以兩種以上并用。這些光 陽離子聚合引發(fā)劑中，優(yōu)選芳基锍絡(luò)合物鹽、含有鹵素的配位離子的芳香族 碘錄絡(luò)合物鹽或者芳香族锍絡(luò)合物鹽、n族、V族以及VI族元素的芳香族鎿 鹽。這些鹽中的一部分能夠通過商購得到，例如商品名"UVI-6976"、"UVI-6992"(以上為f 夕》 亇$力/W力y八。二一制)；商品名"FX-512"(7j;—工厶.力乂八。二一制);商品名"uVR-6990"、 "UVR-6974"(以上 為工二才y 力一/《< K 〕一求P — 、乂3 乂制)；商品名"UVE-1014"、"UVE-1016"(以上為if氺，^ .工^夕卜y :y夕.力乂八。二一制)；商品 名"KI-85" (f夕'廿.7夕于工y^if/W乂亇7卜制)；商品名"SP-150"、"SP-170"(以上為株式會(huì)社ADEKA制)；商品名"廿乂工一 K (注冊(cè)商標(biāo)) SI-60L"、"寸y工一 K(注冊(cè)商標(biāo))SI-80L"、"寸y工^ K(注冊(cè)商標(biāo))SI-100L"、"廿y工,K (注冊(cè)商標(biāo))SI-110L"、"廿乂工^ K (注冊(cè)商標(biāo))SI-180L"(以上為三新化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)等。另外，這些光陽離子聚合引發(fā)劑中，從操作性良好、潛在性與固化性之 間的平衡性良好的方面考慮，優(yōu)選鎗鹽，特別優(yōu)選重氮鹽、碘鐺鹽、锍鹽、 鱗鹽。光陽離子聚合引發(fā)劑的摻合量，根據(jù)固化的環(huán)氧樹脂成分的摻合量適當(dāng) 調(diào)節(jié)即可，沒有特別的限定，相對(duì)于環(huán)氧樹脂成分的合計(jì)量100質(zhì)量份，優(yōu)18選為0.1質(zhì)量份以上，更優(yōu)選為0.5質(zhì)量份以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1質(zhì)量份以上，另外，優(yōu)選為10質(zhì)量份以下，更優(yōu)選為8質(zhì)量份以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5 質(zhì)量份以下。UV固化型環(huán)氧樹脂在常溫下為液態(tài)。因而在形成下部覆蓋層時(shí)，在將 UV固化型環(huán)氧樹脂涂敷在基部基板上，并以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的 各個(gè)凸部正對(duì)基部基板的方式載置凸型后，或者，在基部基板上以對(duì)應(yīng)于光 纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部正對(duì)基部基板的方式載置凸型，并在基部基板 和凸型的空隙注入并填充UV固化型環(huán)氧樹脂后，通過例如照射照射累積光 量(能量密度)為O.Ol J/cn^以上10 J/ciT^以下的紫外線使之固化，可得到 構(gòu)成下部覆蓋層的固化了的環(huán)氧系樹脂薄膜。在形成中心層時(shí)，在形成于下 部覆蓋層的中心槽中注入并填充UV固化型環(huán)氧樹脂后，通過例如照射照射 累積光量(能量密度)為O.Ol J/cn^以上10 J/cn^以下的紫外線使之固化， 可得到構(gòu)成中心層的固化了的環(huán)氧系樹脂薄膜。在形成上部覆蓋層時(shí)，在以 包埋中心層的方式形成中心層的區(qū)域的下部覆蓋層以及中心層上涂敷UV固 化型環(huán)氧樹脂后，通過例如照射照射累積光量(能量密度)為O.Ol J/cn^以 上10J/cn^以下的紫外線使之固化，可得到構(gòu)成上部覆蓋層的固化了的環(huán)氧 系樹脂薄膜?！稁в泄饫w固定槽的光波導(dǎo)基板的用途》本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，在光纖固定槽中插入光纖后， 在光纖固定槽和光纖的間隙中，通過例如滴加覆蓋材料并使其固化，來將光 纖粘接并固定在光纖固定槽中。這樣安裝了光纖的光波導(dǎo)基板可以廣泛利用 于例如光電混載模塊、光互連等的光通信技術(shù)相關(guān)的光學(xué)部件中。 《帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法》本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法(以下有時(shí)稱為"本 發(fā)明的制備方法")的特征在于(a)由凹型制備凸型的工序所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部 和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部；所述凸型具有對(duì)應(yīng)于 光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于 中心槽的該凸部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凹部；(b)形成下部覆蓋層的工序， 該工序包括在基部基板上涂敷覆蓋材料，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的 各個(gè)凸部正對(duì)該基部基板的方式來載置該凸型，使該覆蓋材料固化后，除去 該凸型，由此在該基部基板上形成具有該光纖固定槽和該中心槽、且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層；(c)形成中心層的工序，該工序包括通過在該中心槽內(nèi)注入并填充中心層材料，并使該中心層材料 固化而形成中心層；(d)形成上部覆蓋層的工序，該工序包括通過以包埋 該中心層的方式在形成有該中心層的區(qū)域的該下部覆蓋層和該中心層上涂 敷覆蓋材料，并使該覆蓋材料固化而形成上部覆蓋層。在本發(fā)明的制備方法中，也可以替代下述形成下部覆蓋層的工序，該工 序包括在基部基板上涂敷覆蓋材料，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè) 凸部正對(duì)該基部基板的方式來載置凸型，使該覆蓋材料固化后，除去該凸型， 由此在該基部基板上形成具有該光纖固定槽和該中心槽、且在該光纖固定槽 和該中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層；而采用下述形成下部覆蓋層的工 序，該工序包括在基部基板上以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部正 對(duì)該基部基板的方式來載置凸型，在該基部基板和該凸型的間隙中注入并填 充覆蓋材料，使該覆蓋材料固化后，除去該凸型，由此在該基部基板上形成 具有光纖固定槽和中心槽、且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰的下 部覆蓋層。通常，在利用壓模法(^夕 >八°法)大量生產(chǎn)帶有光纖的光波導(dǎo)基板時(shí)， 如果在形成光波導(dǎo)的工序的途中設(shè)置光纖，由于需要在長光纜狀的光纖被連 接到了小片狀的光波導(dǎo)上的狀態(tài)下進(jìn)行操作，因此使得場(chǎng)所選取和操作變得非常復(fù)雜?？墒?，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在首先制備了帶有光纖固定槽的光 波導(dǎo)基板后，只要將必要長度的光纖插入光纖固定槽中并固定，就能高效且 簡便地得到帶有光纖的光波導(dǎo)基板。即，本發(fā)明的制備方法，在基部基板上 形成光波導(dǎo)以及光纖固定槽時(shí)，為了使在將光纖插入到最終得到的帶有光纖 固定槽的光波導(dǎo)基板的光纖固定槽中并固定時(shí)不需要進(jìn)行光纖的中心和光 波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合，而在光纖固定槽和中心槽之間設(shè)置堰。本發(fā)明的制備方法，利用軟光刻技術(shù)，使用具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中 心槽的各個(gè)凸部的第二模(凸型)，在基部基板上形成具有光纖固定槽和中 心槽的下部覆蓋層。另外，所謂軟光刻技術(shù)，是壓模法的一種，是使用由聚 硅氧烷系橡膠或聚氨酯系橡膠等的柔軟材料形成的第二模(凸型)來復(fù)制下 部覆蓋層的方法。以下，在參照?qǐng)D3的同時(shí)，對(duì)本發(fā)明的制備方法的代表例進(jìn)行詳細(xì)地說 明，但是，本發(fā)明的制備方法并不僅限于下述的代表例，可適當(dāng)變更而實(shí)施。 首先，如圖3的(a)所示，例如，切削磷青銅等的金屬或合金，形成對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凹部12、對(duì)應(yīng)于中心槽的凹部13、對(duì)應(yīng)于堰的凸部19，來制作第一模(凹型)11。接著，例如，在玻璃基板上，空出間隙，載置第一模ll。在該狀態(tài)下， 在玻璃基板和第一模11的間隙中注入并填充例如二液固化性聚硅氧烷系橡 膠等的固化性聚硅氧烷材料。此時(shí)，需要適當(dāng)調(diào)整玻璃基板和第一模11之 間的間隙，在玻璃基板和第一模11之間放置例如聚硅氧烷系橡膠片等的隔 板來進(jìn)行調(diào)節(jié)即可?；蛘撸部梢蕴娲褂酶舭?，在第一模11上設(shè)置多個(gè) 起隔板作用的凸部。然后，使在玻璃基板和第一模11之間的間隙中注入并填充的固化性聚硅氧烷材料固化后，除去第一模ll，如圖3的(b)所示，制作具有對(duì)應(yīng)于 光纖固定槽的凸部17、對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部18和對(duì)應(yīng)于堰的凹部20的第二模(凸型)16。另外，在制作第二模16時(shí)，為了使第二模16容易地由第一模11脫模， 也可以在第一模11上涂敷剝離劑。作為剝離劑使用以往公知的剝離劑即可， 沒有特別的限定。接著，例如，在聚酰亞胺薄膜等的基部基板1上涂敷覆蓋材料，如圖3的(c)所示，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部17和對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部18正 對(duì)的方式，更詳細(xì)地說，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部17與基部基板1接觸 的方式，來載置第二模16。在該狀態(tài)下，使填充到基部基板1和第二模16 之間的間隙的覆蓋材料固化后，除去第二模16，如圖3的(d)所示，在基 部基板1上形成具有光纖固定槽5、中心槽6和堰7的下部覆蓋層2?；蛘?，例如，在聚酰亞胺薄膜等的基部基板1上，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽 的凸部17和對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部18正對(duì)的方式，更詳細(xì)地說，以對(duì)應(yīng)于光 纖固定槽的凸部17與基部基板1接觸的方式，來載置第二模16。在該狀態(tài) 下，如圖3的(c)所示，在基部基板1和第二模16之間的間隙中注入并填 充覆蓋材料。然后，使注入并填充到基部基板1和第二模16之間的間隙的 覆蓋材料固化后，除去第二模16，如圖3的(d)所示，在基部基板l上形 成具有光纖固定槽5、中心槽6和堰7的下部覆蓋層2。在下部覆蓋層2上，在光纖固定槽5和中心槽6之間設(shè)置有堰7。另外， 優(yōu)選中心槽6的上端面部9比光纖固定槽5的上端面部8低。在本發(fā)明的制備方法中，由于在第一模11上設(shè)置有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5 的凹部12、對(duì)應(yīng)于中心槽6的凹部13以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部19，另外，由于 在第二模16上設(shè)置有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的凸部17、對(duì)應(yīng)于中心槽6的凸 部18以及對(duì)應(yīng)于堰的凹部20，因此通過適當(dāng)設(shè)定光纖固定槽5的深度、即 對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的凹部12的深度或者對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的凸部17的 高度，和中心槽6的深度、即對(duì)應(yīng)于中心槽6的凹部13的深度或者對(duì)應(yīng)于中心槽6的凸部18的高度，使安裝于得到的下部覆蓋層2上的光纖固定槽5 中的光纖的中心的位置與形成于中心槽6內(nèi)的中心層的位置高度一致。艮P，由于在利用軟光刻技術(shù)，使用由凹型制作的凸型，所述凹型具有對(duì) 應(yīng)于光纖固定槽5和中心槽6的各個(gè)凹部、并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的該凹 部和對(duì)應(yīng)于中心槽6的該凹部之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部19，在基部基板1 上形成下部覆蓋層2時(shí)，所述下部覆蓋層2具有光纖固定槽5和中心槽6、 并在光纖固定槽5和中心槽6之間設(shè)置有堰7，因此能夠以很好的尺寸精度 在任意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)，而且不需要進(jìn)行光纖的 中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合。另外，在第二模16由聚硅氧烷系橡膠形成，且下部覆蓋層2由熱固性 樹脂、熱塑性樹脂或者紫外線(或者光)固化性樹脂形成時(shí)，如果使用第二 模16形成數(shù)十次程度的下部覆蓋層2，由于熱和老化等，第二模16會(huì)慢慢 劣化。另外，形成下部覆蓋層2后，存在因覆蓋材料的殘?jiān)斐晌廴镜那?況。這種情況下，由第一模11再次制作第二模16后使用即可。接著，如圖3的(e)所示，在中心槽6中注入并填充中心層材料，使 該中心層材料固化而形成中心層3。另外，在3的(e)中，中心層3只形成 有一個(gè)，但是根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途等，也可以形成有兩個(gè)或兩個(gè)以上。另 外，中心層3形成為相對(duì)于紙面沿左右方向延伸的直線狀，但是根據(jù)光波導(dǎo) 基板的用途等，也可以形成為規(guī)定的圖案形狀。本發(fā)明的光波導(dǎo)基板，如上所述，在光纖固定槽5和中心槽6之間設(shè)置 有堰7。其理由是為了在中心槽6中注入并填充中心層材料時(shí)，使中心層材 料不侵入到光纖固定槽5中。在本發(fā)明的制備方法中，在圖3的(a)所示 的第一模ll中，通過在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的凹部12和對(duì)應(yīng)于中心槽6的 凹部13之間設(shè)置對(duì)應(yīng)于堰的凸部19來實(shí)現(xiàn)。接著，如圖3的(f)所示，以包埋中心層3的形式在形成中心層3的區(qū)域(即，光波導(dǎo)區(qū)域)的下部覆蓋層2以及中心層3上涂敷覆蓋材料后， 使該覆蓋材料固化而形成上部覆蓋層4。本發(fā)明的光波導(dǎo)基板，如上所述，優(yōu)選中心槽3的上端面部9比光纖固 定槽5的上端面部8低。其理由在于，在以包埋中心層3的形式在光波導(dǎo)區(qū) 域的下部覆蓋層2以及中心層3上形成上部覆蓋層4時(shí)，能使光纖固定槽5 的上端面部8和上部覆蓋層4的上端面部10大致平坦，在將光纖插入光纖 固定槽5中并粘接時(shí)，通過例如從上方載置玻璃板等，來提高光纖的粘接強(qiáng) 度。在本發(fā)明的制備方法中，在如圖3的(a)所示的第一模ll中，能夠?qū)?現(xiàn)對(duì)應(yīng)于中心槽6的凹部13的上端面部15比對(duì)應(yīng)于光纖固定槽5的凹部12 的上端面部14低。作為用于本發(fā)明的固化性樹脂以及熱塑性樹脂的具體例子，可舉出例如 環(huán)氧系樹脂、聚酰亞胺樹脂、丙烯酸系樹脂、聚苯乙烯系樹脂、環(huán)烯烴系樹 脂、聚醚砜系樹脂、聚醚酮系樹脂、聚醚腈系樹脂、氧雜環(huán)丁垸系樹脂、硅 烷系樹脂、聚硅氧烷系樹脂等。這些樹脂可以單獨(dú)使用也可以兩種以上并用。 另外，這些樹脂可以是溶解于溶劑后的溶液型，也可以是不含溶劑的無溶劑 型，更優(yōu)選為無溶劑型。而且，在將這些樹脂用作固化性樹脂的情況下，可 以并用固化劑和交聯(lián)劑等。在固化性樹脂中，優(yōu)選為紫外線(或者光)固化 性樹脂，特別優(yōu)選為UV固化型環(huán)氧樹脂。作為覆蓋材料以及中心層材料，在使用紫外線(或者光)固化性樹脂、 熱固化性樹脂等固化性樹脂中粘度較低的固化性樹脂的情況下，在將液態(tài)的 固化性樹脂注入并填充到基部基板1和第二模16之間的間隙或設(shè)置于下部 覆蓋層2上的中心槽6中后，通過紫外線(或者光)或熱，使其固化而形成 下部覆蓋層2或中心層3。另外，在使用熱塑性樹脂的情況下，或者使用紫 外線(或者光)固化性樹脂、熱固性樹脂等的固化性樹脂中粘度較高的樹脂 的情況下，在將加熱成為流動(dòng)狀態(tài)或熔融狀態(tài)的樹脂注入并填充到基部基板1和第二模16之間的間隙或設(shè)置于下部覆蓋層2上的中心槽6中后，為熱塑性樹脂的情況下通過冷卻，為固化性樹脂的情況下通過紫外線(或者光)或熱，使其固化而形成下部覆蓋層2或中心層3。從作業(yè)效率的觀點(diǎn)考慮，填 充時(shí)的各材料的粘度優(yōu)選為0.0001Pa s以上，更優(yōu)選為0.001Pa s以上， 另夕卜，優(yōu)選為100Pa，s以下，更優(yōu)選為50Pa-s以下。另夕卜，填充時(shí)的各材 料的粘度過低時(shí)，由于固化需要較長時(shí)間，有時(shí)作業(yè)效率會(huì)降低。相反，填 充時(shí)的各材料的粘度過高時(shí)，由于操作性變差，有時(shí)作業(yè)效率會(huì)降低，或者 會(huì)因空氣進(jìn)入而產(chǎn)生缺陷部分。這樣，如圖3的(f)所示，得到具有形成于基部基板1上的下部覆蓋 層2、形成于下部覆蓋層2上的中心層3、以包埋中心層3的形式形成于下 部覆蓋層2和中心層3上的上部覆蓋層4、以及與中心層3串聯(lián)地形成于下 部覆蓋層2上的光纖固定槽5的光波導(dǎo)基板。另外，在上述中，對(duì)使用圖3的(a)所示的母模(第一模11)來制備 一個(gè)光波導(dǎo)基板的方法進(jìn)行了說明，但是也可以使用對(duì)應(yīng)于多個(gè)光波導(dǎo)基板 的母模(第一模)來制備多個(gè)光波導(dǎo)基板。此時(shí)，在基部基板l上形成了下 部覆蓋層2的階段，例如通過劃片切出各個(gè)小片，然后，與上述同樣地制備 各個(gè)光波導(dǎo)基板即可。根據(jù)本發(fā)明的制備方法，能夠簡便地制備這樣的帶有光纖固定槽的光波 導(dǎo)基板能夠以很好的尺寸精度在任意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和 光波導(dǎo)，且不需要進(jìn)行光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合。另外，將圖3的(b)所示的樹脂制的模(第二模16)貼到輥表面上， 按照凹版印刷的要領(lǐng)，也能夠大量生產(chǎn)光波導(dǎo)基板。而且，得到的光波導(dǎo)基板由于在基部基板1上形成有下部覆蓋層2、中 心層3以及上部覆蓋層4，因此在使用帶有電線的薄膜基板作為基部基板1 時(shí)，通過用切割鋸將安裝發(fā)光元件和/或光敏元件的部分切斷成V字狀并形成45°的反光鏡，能夠簡便地制備光電混載模塊?！队糜趲в泄饫w固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法的?！?本發(fā)明的用于帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法的模的特征在 于，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部，所述凸部位于對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間；或者，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凹部， 所述凹部位于對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凸部之間。如上所述，在本發(fā)明的制備方法中，利用軟光刻技術(shù)，在基部基板上形 成具有光纖固定槽和中心槽的下部覆蓋層。此時(shí)使用的母模(第一模)的代表例用圖3的(a)的符號(hào)ll來表示，由該母模(第一模)制作的樹脂制的 模(第二模)用圖3的(b)的符號(hào)16來表示。如圖3的(a)所示，第一模11具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凹部12和對(duì) 應(yīng)于中心槽的凹部13，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凹部12和對(duì)應(yīng)于中心槽的 凹部13之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部19。構(gòu)成第一模11的材料可以為有機(jī)材 料(例如永久抗蝕劑、聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)氧系樹脂等)或者無機(jī)材料(例 如磷青銅等的金屬或合金、石英玻璃等)中的任意一者。作為制作第一模11 的方法，在有機(jī)材料的情況下，可舉出例如光刻法、切削等。在無機(jī)材料的 情況下，可舉出例如切削、蝕刻、空氣噴射、貼合等。這些材料以及制作方 法中，如果考慮作為母模(第一模)的耐久性，特別優(yōu)選無機(jī)材料以及切削。另外，在如圖3的(a)所示的第一模ll中，對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凹部 12、對(duì)應(yīng)于中心槽的凹部13以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部19各自只形成有一個(gè)，但 是根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途各自也可以形成有兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，對(duì)應(yīng)于 中心槽的凹部13，相對(duì)于紙面形成為沿左右方向延伸的直線狀，但是根據(jù)光 波導(dǎo)基板的用途等，也可以形成為規(guī)定的圖案形狀。而且，圖3的(a)所 示的第一模11以制備一個(gè)光波導(dǎo)基板的形式而構(gòu)成，但是也可以以制備多個(gè)光波導(dǎo)基板的形式而構(gòu)成。如圖3的(b)所示，第二模16具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部17和對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部18，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部17和對(duì)應(yīng)于中心槽的 凸部18之間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凹部20。作為構(gòu)成第二模16的材料，只要能 夠使用第一模11進(jìn)行成型，就沒有特別的限定，可舉出例如紫外線(或者 光)固化性樹脂、熱(或者二液)固化性樹脂等的固化性樹脂以及熱塑性樹 脂。例如，在使用固化性樹脂的情況下，通過使固化性樹脂以包埋形成于第 一模ll上的凹部的方式流入，并使其固化，能夠制作第二模16。另外，在 使用熱塑性樹脂的情況下，通過將加熱成流動(dòng)狀態(tài)或熔融狀態(tài)的熱塑性樹脂 載置或者以包埋第一模11的凹部的方式流入到形成有第一模11的凹部的一 側(cè)，并根據(jù)需要在加壓的同時(shí)進(jìn)行冷卻，能夠制作第二模16。在構(gòu)成第二模16的材料中，從提高形成的下部覆蓋層的剝離性方面考 慮，特別優(yōu)選聚硅氧垸材料。聚硅氧烷材料中，優(yōu)選為固化后成為聚硅氧烷 系橡膠或聚硅氧垸系樹脂的固化性聚硅氧烷系橡膠低聚物或單體、或者為固 化性聚硅氧烷系樹脂低聚物或單體等的固化性聚硅氧烷材料，特別優(yōu)選為固 化性聚硅氧烷。作為固化性聚硅氧烷材料，通常，使用被稱為液態(tài)聚硅氧烷 的物質(zhì)，但是從形成的下部覆蓋層的剝離性良好且機(jī)械強(qiáng)度良好的觀點(diǎn)考 慮，優(yōu)選為與固化劑組合使用的二液混合型。另外，使用低粘度的固化性聚 硅氧烷材料時(shí)，具有在制作時(shí)除去巻入的泡等的良好的加工性，而且，能夠 進(jìn)行復(fù)制圖案的精確脫模。進(jìn)而，固化性聚硅氧垸可以為一液固化型或二液 固化型，也可以為熱固化型或室溫固化型。作為固化性聚硅氧烷材料的具體例子，可舉出例如含有垸基硅氧垸、鏈 烯基硅氧烷、烷基鏈烯基硅氧垸、聚烷基氫化硅氧垸等的物質(zhì)。從剝離性以 及固化性的觀點(diǎn)考慮，特別優(yōu)選為作為低粘度的室溫固化型的垸基鏈烯基硅 氧烷與聚烷基氫化硅氧烷的兩種成分的混合體系。另外，在如圖3的(b)所示第二模16中，對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部17、 對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部18以及對(duì)應(yīng)于堰的凹部20各自只形成有一個(gè)，但是根 據(jù)光波導(dǎo)基板的用途等，也可以各自形成有兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，對(duì)應(yīng)于 中心槽的凸部18，相對(duì)于紙面形成為沿左右方向延伸的直線狀，但是也可以 根據(jù)光波導(dǎo)基板的用途等，形成為規(guī)定的圖案形狀。進(jìn)而，圖3的(b)所 示的第二模16以制備一個(gè)光波導(dǎo)基板的形式而構(gòu)成，也可以以制備多個(gè)光 波導(dǎo)基板的形式而構(gòu)成。使用由第一模制作的第二模，在下部覆蓋層上形成光纖固定槽和中心槽 的理由如下所述。在下部覆蓋層上形成光纖固定槽和中心槽時(shí)，如果使用具 有對(duì)應(yīng)于各槽的凸部的凸型來形成下部覆蓋層，則在凸型與下部覆蓋層之間 的脫模性差的情況下，會(huì)產(chǎn)生模缺等而使尺寸精度降低。另外，即使涂敷剝 離劑，使凸型和下部覆蓋層之間的脫模性提高，也存在剝離劑的除去困難的 問題。因此，為了形成下部覆蓋層，而使用母模(第一模(凹型))來制作 樹脂的模(第二模(凸型))，使用該第二模是有利的。另外，在第二模由聚硅氧垸系橡膠等的透明并具有柔軟性的材料構(gòu)成 時(shí)，如中心槽那樣，即使是寬度較窄的槽，也不會(huì)依賴于構(gòu)成下部覆蓋層的 覆蓋材料的硬度，能夠很好地復(fù)制。因此，構(gòu)成下部覆蓋層的覆蓋材料的選 擇范圍很廣，另外，在使用了紫外線(或者光)固化性樹脂的情況下，具有 不需要為了在紫外線(或者光)固化時(shí)使紫外線(或者光)透射而將構(gòu)成形 成下部覆蓋層的基部基板的材料限制為透明的材料等的優(yōu)點(diǎn)。如果使用本發(fā)明的模，則能夠制備簡便地制備這樣的帶有光纖固定槽的 光波導(dǎo)基板能夠利用軟光刻技術(shù)，在任意選擇的基部基板上以很好的尺寸 精度形成光波導(dǎo)和光纖固定槽，不需要進(jìn)行光波導(dǎo)的中心層和光纖的中心的 精密的位置配合。《光電混載模塊》本發(fā)明的光電混載模塊的特征在于具有上述的帶有光纖固定槽的光波 導(dǎo)基板。更詳細(xì)地說，本發(fā)明的光電混載模塊具有上述的帶有光纖固定槽 的光波導(dǎo)基板、在光纖固定槽中插入并固定了的光纖、形成于基部基板的背 面的電線、形成于光波導(dǎo)的一端(非正對(duì)于光纖固定槽的端部)的45°反光 鏡、以及安裝于在形成45。反光鏡的位置上的基部基板的背面的光元件。另外，本發(fā)明中，基本上將在光纖固定槽中插入光纖并固定、并在基部 基板的電線側(cè)安裝了光元件的狀態(tài)稱為光電混載模塊；但是，有時(shí)也將包括未在光纖固定槽中插入光纖的狀態(tài)、和/或未在基部基板的電線側(cè)安裝光元件 的狀態(tài)稱為光電混載模塊。本發(fā)明的光電混載模塊由于具有形成于在背面具有電線的基部基板上 的光波導(dǎo)，且具有形成于光波導(dǎo)的一端(非正對(duì)于光纖固定槽的端部)上的45°的反光鏡，因此只要在位于45。的反光鏡的位置上的基部基板的電線側(cè)安裝光元件(發(fā)光元件和/或光敏元件)，例如，通過由發(fā)光元件射出的光被45°的反光鏡反射，在光波導(dǎo)的中心層中傳播后，入射到在光纖固定槽上 插入并固定的光纖中，就能夠進(jìn)行光信號(hào)的授受?；蛘?，通過由在光纖固定槽中插入并固定的光纖入射的光在光波導(dǎo)的中心層中傳播后，被形成于光波導(dǎo)的一端(非正對(duì)于光纖固定槽的端部)上的45°的反光鏡反射，入射到光敏元件，就能夠進(jìn)行光信號(hào)的授受。另外，包括具有多個(gè)光纖固定槽和中心槽的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基 板的光電混載模塊的情況，例如，包括具有兩個(gè)光纖固定槽和中心槽的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的光電混載模塊的情況，通過在基部基板的電線側(cè)安裝發(fā)光元件以及光敏元件，由在光纖固定槽A中插入并固定的光纖A 入射的光在光波導(dǎo)A的中心層A中傳播后，被形成于光波導(dǎo)A的一端(非 正對(duì)于光纖固定槽A的端部)上的45。的反光鏡A反射，入射到光敏元件， 經(jīng)過電路，被45°的反光鏡B反射，在光波導(dǎo)B的中心層B中傳播后，入射到在光纖固定槽B中插入并固定的光纖B中，就能夠進(jìn)行光信號(hào)的授受。 另外，在本發(fā)明的光電混載模塊中的光信號(hào)的授受并不僅限于上述的方 式，根據(jù)光電混載模塊的功能進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計(jì)即可。本發(fā)明的光電混載模塊可以通過下述方法制備例如，使用帶有電線的 薄膜基板作為基部基板，制作上述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板后，用切 割鋸將安裝光元件的部分切斷成V字狀而形成45。的反光鏡，根據(jù)需要， 在基部基板的電線側(cè)安裝光元件，并在光纖固定槽中插入光纖并固定，由此 而制得光電混載模塊。另外，替代在基部基板的電線側(cè)安裝光元件，并在光 纖固定槽中插入光纖并固定，也可以在光纖固定槽中插入光纖并固定后，再 在基部基板的電線側(cè)安裝光元件。[實(shí)施例]以下，舉出實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體地說明，但是本發(fā)明當(dāng)然不僅限 于下述的實(shí)施例，也可以在能夠適合上述，下述的宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)變 更而實(shí)施，這些均包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。 《實(shí)施例1》1) 切削磷青銅板(厚度為10mm)的表面，形成對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的 寬度為13(^m且深度為130pm的凹部、對(duì)應(yīng)于中心槽的寬度為50pm且深 度為50pm的凹部、以及位于這些凹部之間對(duì)應(yīng)于堰的寬度為5(Him且高度 為9(Hmi的凸部，制作成圖3的(a)所示的第一模(凹型)。2) 在玻璃基板(厚度為2mm)上，空出間隙，載置第一模，在玻璃板 和第一模之間的間隙中注入并填充不夾有氣泡的二液固化型聚硅氧烷系橡 膠(東P 夕、、々〕一二y夕、、株式會(huì)社制，商品名稱為"SILPOT184")，在室 溫下靜置24小時(shí)使之固化，制作成聚硅氧烷系橡膠制的第二模(凸型)。得 到的第二模，如圖3的(b)所示，具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部、以及位于這些凸部之間對(duì)應(yīng)于堰的凹部。3) 如圖3的(b)所示，在作為基部基板的聚酰亞胺薄膜(東^ f 二求y株式會(huì)社制，商品名稱為"力7°卜乂 (注冊(cè)商標(biāo))H型"，厚度為25pm)上，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽的凸部正對(duì)的方式，更詳細(xì) 地說，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的凸部與基部基板接觸的方式，載置第二模，如圖3的(c)所示，在基部基板和第二模之間的間隙中注入并填充不夾有氣 泡的作為覆蓋材料的市售的UV固化型環(huán)氧樹脂(工7 亍Y 亍< 7 K /07亍夕乂 口、2株式會(huì)社制，商品名稱為"E3129"，在波長為850nm處 的固化后的折射率11=1.52)，由第二模側(cè)進(jìn)行UV照射使之固化后，除去第 二模，如圖3的(d)所示，在基部基板上形成為具有光纖固定槽和中心槽 的下部覆蓋層。下部覆蓋層的厚度與中心槽的上端面部和基部基板之間的間 隔相等，為90pm (中心槽的下側(cè)的厚度為40pm)。4) 在形成于下部覆蓋層上的中心槽中，滴加作為中心層材料的市售的 UV固化型環(huán)氧樹脂(工只 亍 亍< 7 KZ乂7于夕乂 口、2株式會(huì)社 制，商品名稱為"E3135"，在波長為850nm處的固化后的折射率n=1.53)， 利用毛細(xì)管現(xiàn)象，在中心槽整體中填充中心層材料，進(jìn)行UV照射使之固化， 如圖3的(e)所示，在中心槽內(nèi)形成寬度為50pm、厚度為50jim的中心層。5) 通過在光波導(dǎo)區(qū)域的下部覆蓋層以及中心層上，以包埋從中心層的 上端面部至堰的上端面部的方式滴加必要的量的作為覆蓋材料的市售的UV 固化型環(huán)氧樹脂(工7 亍一 亍一 7 K/《乂7亍夕/ 口-株式會(huì)社制， 商品名稱為"E3129"，在波長為850nm處的折射率r^1.52)，進(jìn)行UV照射 使之固化，形成厚度為40pm的上部覆蓋層，由此得到如圖3的(f)所示的 帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板。6) 在得到的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的光纖固定槽中，插入GI型 光纖(外徑為125pm、中心徑為50|im、長度為lm、 一端部為線芯的狀態(tài)，另一端部連接有FC連接器)的線芯側(cè)，在光纖固定槽和光纖之間的間隙中滴加市售的UV固化型環(huán)氧樹脂(工7 亍< 7 K^乂7于夕乂 口 -株式會(huì)社制，商品名稱為"E3129")，從載置于上面的玻璃板側(cè)，進(jìn)行UV 照射使之固化，將光纖粘接在光纖固定槽上并固定。此時(shí)，由于光纖固定槽 的上端面部與上部覆蓋層的上端面部大致平坦，因此在將光纖插入到光纖固 定槽中并粘接時(shí)，通過例如從上面載置玻璃板等，以提高光纖的粘接強(qiáng)度。另外，在工序3) -6)中，UV固化型環(huán)氧樹脂的固化，是使用波長為 365nm的紫外光，在照度為10mW/cr^下照射15分鐘，即在能量密度為9000 mJ/cmS的條件下迸行的。7)將光纖的FC連接器連接到光源并使波長為850nm的光入射到光纖 中，使用光量計(jì)測(cè)定從帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的光波導(dǎo)端面出射的光 的量。由在光源和光量計(jì)之間插入了帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的情況和 未插入的情況的光量差求出插入損失，顯示為ldB，為很小的值。如上所述，在本實(shí)施例中，簡便地制備得到了這樣的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板能夠以很好的尺寸精度在任意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)，且不需要進(jìn)行光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配 合。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，能夠以很好的尺寸精度在任意 選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)，且不需要進(jìn)行光纖的中心和光 波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合。本發(fā)明的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的 制備方法以及用于該方法的模，由于使簡便地制備這樣的帶有光纖固定槽的 光波導(dǎo)基板成為可能，因此能夠?qū)崿F(xiàn)制備成本的大幅降低。因此，本發(fā)明在 期待帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的應(yīng)用的各種光學(xué)相關(guān)領(lǐng)域或電子設(shè)備 領(lǐng)域中具有巨大的貢獻(xiàn)。
權(quán)利要求
1、一種帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，該帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板具有形成于基部基板上的下部覆蓋層、形成于該下部覆蓋層上的中心層、以包埋該中心層的方式形成于該下部覆蓋層和該中心層上的上部覆蓋層、以及與該中心層串聯(lián)地形成于該下部覆蓋層上的光纖固定槽，其特征在于，該下部覆蓋層具有該光纖固定槽和中心槽，且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，其中，所述 中心槽的上端面部比所述光纖固定槽的上端面部低。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板，其中， 所述下部覆蓋層為UV固化型環(huán)氧樹脂的固化物。
4、 一種權(quán)利要求1所述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法， 其特征在于，該方法包括(a) 由凹型制備凸型的工序所述凹型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心 槽的各個(gè)凹部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之 間設(shè)置有對(duì)應(yīng)于堰的凸部；所述凸型具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè) 凸部，并在對(duì)應(yīng)于光纖固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凸部之間設(shè)置有 對(duì)應(yīng)于堰的凹部；(b) 形成下部覆蓋層的工序，該工序包括在基部基板上涂敷覆蓋材 料，以對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凸部正對(duì)該基部基板的方式來載置 該凸型，使該覆蓋材料固化后，除去該凸型，由此在該基部基板上形成具有 該光纖固定槽和該中心槽、且在該光纖固定槽和該中心槽之間設(shè)置有堰的下 部覆蓋層；(C)形成中心層的工序，該工序包括通過在該中心槽內(nèi)注入并填充 中心層材料，并使該中心層材料固化而形成中心層；(d)形成上部覆蓋層的工序，該工序包括通過以包埋該中心層的方 式在形成有該中心層的區(qū)域的該下部覆蓋層和該中心層上涂敷覆蓋材料，并 使該覆蓋材料固化而形成上部覆蓋層。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其中，在所述凹型中，對(duì)應(yīng)于所 述中心槽的凹部的上端面部比對(duì)應(yīng)于所述光纖固定槽的凹部的上端面部低。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的制備方法，其中，用于形成所述下部覆 蓋層的覆蓋材料為UV固化型環(huán)氧樹脂。
7、 一種模，該模為用于權(quán)利要求4-6中的任意一項(xiàng)所述的帶有光纖固 定槽的光波導(dǎo)基板的制備方法的模，其特征在于，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定 槽和中心槽的各個(gè)凹部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部，所述凸部位于對(duì)應(yīng)于光纖固 定槽的該凹部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凹部之間；或者，該模具有對(duì)應(yīng)于光纖固 定槽和中心槽的各個(gè)凸部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凹部，所述凹部位于對(duì)應(yīng)于光纖 固定槽的該凸部和對(duì)應(yīng)于中心槽的該凸部之間。
8、 一種光電混載模塊，其特征在于，該光電混載模塊具有權(quán)利要求1-3 中任意一項(xiàng)所述的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種能夠以很好的尺寸精度在任意選擇的基部基板上形成光纖固定槽和光波導(dǎo)、且不需要進(jìn)行光纖的中心和光波導(dǎo)的中心層的精密的位置配合的帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板等。帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板在基部基板上形成有光波導(dǎo)，該光波導(dǎo)包括具有光纖固定槽和中心槽、且在光纖固定槽和中心槽之間設(shè)置有堰的下部覆蓋層。帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板是通過使用由凹型制作的凸型，在基部基板上形成下部覆蓋層后，依次形成中心層以及上部覆蓋層而制備的。用于該制備方法的模具有對(duì)應(yīng)于光纖固定槽和中心槽的各個(gè)凹部或各個(gè)凸部、以及對(duì)應(yīng)于堰的凸部或凹部。光電混載模塊具有帶有光纖固定槽的光波導(dǎo)基板。
文檔編號(hào)G02B6/42GK101598837SQ20091014235
公開日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2009年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月3日
發(fā)明者平野光樹, 牛渡剛真, 牧野朋未, 田尻浩三 申請(qǐng)人:日立電線株式會(huì)社;株式會(huì)社日本觸媒