專利名稱：防止鏡片碰撞的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種防止鏡片碰撞的裝置，特別涉及一種光刻技術(shù)中的防止鏡 片碰撞的裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)光刻技術(shù)扮演了重要的角色。光學(xué)光 刻技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的掩 模，利用曝光原理，使光源通過掩模投影至硅晶片上，可曝光顯示特定的圖案。
光刻設(shè)備已經(jīng)能夠在晶片上形成越來(lái)越小的圖形，而在光刻工藝中，為滿 足所需要的工藝條件，需要對(duì)照明模式進(jìn)行設(shè)置。而用于設(shè)置照明模式的同軸 光學(xué)鏡片之間存在行程干涉，即不同鏡片之間的移動(dòng)區(qū)域有重疊情況。因此， 如果不對(duì)鏡片進(jìn)行防止碰撞處理，同軸的可動(dòng)透鏡會(huì)發(fā)生碰撞而損毀。
實(shí)際情況為，在光刻過程中，由于需要得到各種不同的工藝條件(如獲得 不同的焦深)，需要設(shè)置不同的照明模式。設(shè)置照明模式是通過移動(dòng)照明系統(tǒng)中 的幾片可動(dòng)透鏡實(shí)現(xiàn)的，通過對(duì)可動(dòng)透鏡之間的距離進(jìn)行不同的設(shè)置組合，得 到符合各種光刻工藝需要的不同照明模式。而可動(dòng)透鏡的行程之間有交疊區(qū)域， 因此可動(dòng)透鏡會(huì)發(fā)生碰撞導(dǎo)致?lián)p毀。
有鑒于此，如何提供一種防止鏡片碰撞的裝置，來(lái)減少上述弊端已成為業(yè) 界亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種防止鏡片碰撞的方法，能夠有效避 免鏡片在移動(dòng)過程中出現(xiàn)碰撞的情況發(fā)生，而且無(wú)需在設(shè)備內(nèi)部添加機(jī)械裝置， 可以避免機(jī)械摩擦產(chǎn)生碎屑影響光學(xué)性能。
本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種防止鏡片碰撞的裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，不需要嚴(yán)格的機(jī)械安裝條件的限制，并且不會(huì)出現(xiàn)誤判的情況，即使在斷 電裝調(diào)過程中也不會(huì)出現(xiàn)誤操作導(dǎo)致可動(dòng)鏡片損毀。
本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種防止鏡片碰撞的裝置，能夠在不影 響光學(xué)性能的前提下，提高光刻設(shè)備的可靠性并且同時(shí)降低維護(hù)和修理成本。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種防止鏡片碰撞的方法，應(yīng)用于光 刻設(shè)備的照明系統(tǒng)中，所述照明系統(tǒng)中至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片， 且所述的兩片可移動(dòng)鏡片的行程之間具有交疊區(qū)域，所述防止鏡片碰撞的方法
包括
設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式后所述的兩片可移動(dòng)鏡片移動(dòng)后停止 的位置不會(huì)交疊，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片不同時(shí)移動(dòng)； 判斷其中 一 片可移動(dòng)鏡片的移動(dòng)方向；
若該鏡片的移動(dòng)方向是背向相鄰的可移動(dòng)鏡片的，則控制該鏡片先移動(dòng)， 再控制相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)；
若該鏡片的移動(dòng)方向是朝向相鄰的可移動(dòng)鏡片的，則控制相鄰可移動(dòng)鏡片 先移動(dòng)，再控制該鏡片移動(dòng)。
其中，在具體實(shí)施例中，上述方法中所述判斷是當(dāng)其中一片可移動(dòng)鏡片處 于交疊區(qū)域內(nèi)時(shí)進(jìn)行的。
本發(fā)明還提供了 一種防止鏡片碰撞的裝置，應(yīng)用于光刻設(shè)備的照明系統(tǒng)中， 所述照明系統(tǒng)中至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片，且所述的兩片可移動(dòng)鏡 片的行程之間具有交疊區(qū)域，所述防止鏡片碰撞的裝置包括驅(qū)動(dòng)所述可移動(dòng)鏡 片移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊，以及控制模塊，其中所述控制模塊根據(jù)所述的兩片可移動(dòng) 鏡片的相對(duì)移動(dòng)方向，控制所述驅(qū)動(dòng)才莫塊驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)鏡片按先后順序移動(dòng)。
在具體實(shí)施例中，所述控制模塊還用于設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式 后所述的兩片可移動(dòng)鏡片移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，且所述的兩片可移動(dòng)鏡 片不同時(shí)移動(dòng)，判斷其中一片可移動(dòng)鏡片的移動(dòng)方向，若該鏡片的移動(dòng)方向是 背向相鄰的可移動(dòng)鏡片的，則所述控制^^塊控制驅(qū)動(dòng)模塊先驅(qū)動(dòng)該鏡片移動(dòng)， 再控制驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)；若該鏡片的移動(dòng)方向是朝向相鄰 的可移動(dòng)鏡片的，則所述控制模塊控制驅(qū)動(dòng)模塊先驅(qū)動(dòng)相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)， 再控制驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)該鏡片移動(dòng)。而所述控制模塊是當(dāng)其中一片可移動(dòng)鏡片處于交疊區(qū)域內(nèi)時(shí)判斷兩片可移動(dòng)鏡片的相對(duì)移動(dòng)方向的。
在另外的實(shí)施例中，所述防止鏡片碰撞的裝置還包括分別安裝在所述的兩片 可移動(dòng)鏡片相鄰的表面上的探測(cè)模塊，所述探測(cè)模塊用于探測(cè)兩片可移動(dòng)鏡片 間的距離，并根據(jù)探測(cè)結(jié)果控制驅(qū)動(dòng)模塊。
此外，所述可移動(dòng)鏡片的行程范圍的邊界處還設(shè)有限位開關(guān)，以防止可移動(dòng) 鏡片移動(dòng)至行程范圍以外。
本發(fā)明的防止鏡片碰撞的方法，通過判斷鏡片的運(yùn)動(dòng)方向，合理安排鏡片的 運(yùn)動(dòng)順序，從而達(dá)到防止鏡片發(fā)生碰撞的效果，無(wú)需在設(shè)備內(nèi)部添加機(jī)械裝置， 可以避免機(jī)械摩擦產(chǎn)生碎屑影響光學(xué)性能。本發(fā)明的防止鏡片碰撞的裝置，其 通過控制模塊去控制驅(qū)動(dòng)鏡片移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊來(lái)合理安排鏡片的移動(dòng)順序，達(dá) 到防止鏡片發(fā)生碰撞。另外，可增設(shè)探測(cè)模塊來(lái)加以保障，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，不 需要嚴(yán)格的機(jī)械安裝條件的限制，并且不會(huì)出現(xiàn)誤判的情況，即使在斷電裝調(diào) 過程中也不會(huì)出現(xiàn)誤操作導(dǎo)致可動(dòng)鏡片損毀，同時(shí)能夠降低維護(hù)和修理成本。


圖1為一種可能出現(xiàn)鏡片碰撞的照明系統(tǒng)的筒略的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明的防止鏡片碰撞的方法流程圖。
圖3為本發(fā)明防止鏡片碰撞的裝置的一實(shí)施例示意圖。
圖4為本發(fā)明防止鏡片碰撞的裝置的另一實(shí)施例示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下通過特定的具體實(shí)例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說 明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明也可通過其他
不同的具體實(shí)例加以實(shí)施或應(yīng)用，本i兌明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與 應(yīng)用，在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。
本發(fā)明中所述防止鏡片碰撞的方法及裝置，可以應(yīng)用在光刻設(shè)備的照明系統(tǒng)
中，該照明系統(tǒng)至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片，且兩片可移動(dòng)^:片的行
程之間具有交疊區(qū)域。 一種可能的情況如圖1所示，鏡片6和鏡片8為相鄰設(shè) 置的可移動(dòng)鏡片，其中，鏡片6的行程范圍為b，至b之間的距離，而鏡片8的
6行程范圍是a，至a之間的距離，可見，鏡片6和鏡片8的行程范圍有交疊，即 圖中a-b之間的區(qū)域(以陰影表示)。當(dāng)鏡片8尚處在a-b之間，而鏡片6向下 運(yùn)動(dòng)，并且其停止位置超越鏡片8所處位置時(shí)，將發(fā)生鏡片碰撞。同樣的，當(dāng) 鏡片6尚處在a-b之間，而鏡片8向上運(yùn)動(dòng)，并且其停止位置超越鏡片6所處位 置時(shí)，也會(huì)發(fā)生鏡片碰撞。本發(fā)明的方法和裝置即是用于防止如前所述的這類 鏡片碰撞的發(fā)生。
圖2為本發(fā)明的防止鏡片碰撞的方法流程圖，請(qǐng)配合參照?qǐng)D1，本發(fā)明所述 的防止鏡片碰撞的方法包括
步驟Sll,設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式后所述的兩片可移動(dòng)鏡片6、 8移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片6或8不同時(shí)移動(dòng)；
步驟S13，判斷其中一片可移動(dòng)鏡片6/8的移動(dòng)方向，在本實(shí)施例中是判斷 處于交疊區(qū)域內(nèi)鏡片的移動(dòng)方向；
步驟S15，若該鏡片6/8的移動(dòng)方向是背向相鄰的可移動(dòng)鏡片8/6的，則控 制該鏡片6/8先移動(dòng)，再控制相鄰的可移動(dòng)鏡片8/6移動(dòng)；
步驟S17，若該鏡片6/8的移動(dòng)方向是朝向相鄰的可移動(dòng)鏡片8/6的，則控 制相鄰的可移動(dòng)鏡片8/6先移動(dòng)，再控制該鏡片6/8移動(dòng)。
請(qǐng)參閱圖3，是本發(fā)明防止鏡片碰撞的裝置的一實(shí)施例示意圖，如圖所示， 本發(fā)明的防止鏡片碰撞的裝置，應(yīng)用于光刻設(shè)備的照明系統(tǒng)中，所述照明系統(tǒng) 中至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片，本實(shí)施例中為三片3、 6、 8,且可移動(dòng) 鏡片6和8的行程之間具有交疊區(qū)域(a-b之間的陰影區(qū)域)，所述防止鏡片碰 撞的裝置包括驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于各個(gè)可移動(dòng)鏡片3、 6、 8移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊2、 5、 7,以 及控制模塊l,其中所述控制模塊l能夠控制所述驅(qū)動(dòng)模塊2、 5、 7驅(qū)動(dòng)各鏡片 3、 6、 8按先后順序移動(dòng)。需要說明的是，由于不涉及所有鏡片的計(jì)算和判斷， 為了示意，鏡片組未在圖中詳細(xì)繪制，且固定方式也同樣未詳細(xì)繪出，例如鏡 片4;鏡片3的行程沒有與其他鏡片交疊，因此鏡片3無(wú)需防止碰撞；鏡片6和 鏡片8的行程范圍有交疊，為防止可移動(dòng)透鏡超出行程范圍，處于失控狀態(tài)， 可以設(shè)置兩個(gè)限位開關(guān)9、 IO保證鏡片運(yùn)動(dòng)不超過可控范圍。
由于本實(shí)施例主要著重描述可移動(dòng)鏡片6和8，因此對(duì)于其它鏡片不再加以 描述。所述控制模塊1能夠設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式后所述可移動(dòng)鏡片6、 8移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，且所述可移動(dòng)鏡片6或8不會(huì)同時(shí)移動(dòng)。 在設(shè)置完照明模式后，控制模塊1判斷可移動(dòng)鏡片的移動(dòng)方向，若其運(yùn)動(dòng)方向 是背向相鄰鏡片的，則控制該鏡片對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)模塊先驅(qū)動(dòng)該鏡片移動(dòng)；若其運(yùn) 動(dòng)方向是朝向相鄰鏡片的，則控制相鄰鏡片的驅(qū)動(dòng)才莫塊先移動(dòng)相鄰鏡片。如圖 所示，由于設(shè)置照明模式后所述鏡片6、 8移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，所以例 如鏡片8要進(jìn)行移動(dòng)，這時(shí)，判斷鏡片8的移動(dòng)方向，若其是向鏡片6移動(dòng)， 則控制模塊1便控制驅(qū)動(dòng)模塊5去驅(qū)動(dòng)鏡片6先進(jìn)行移動(dòng)，由于所述鏡片6、 8 移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，所以待鏡片6停止移動(dòng)后，再移動(dòng)鏡片8便不會(huì) 發(fā)生碰撞。
另外，在本實(shí)施例中，所述防止鏡片碰撞的裝置還包括分別安裝在鏡片6、 8上的探測(cè)模塊11、 12,其用于探測(cè)鏡片間的距離，并根據(jù)探測(cè)結(jié)果控制驅(qū)動(dòng) 模塊。如圖所示，所述探測(cè)模塊ll、 12是非接觸式探測(cè)設(shè)備，本實(shí)施例中，設(shè) 備12與鏡片8固連，可以隨鏡片8上下移動(dòng)，設(shè)備12可以為光電式、磁電式 等感測(cè)器，在鏡片8上方形成保護(hù)探測(cè)面。設(shè)備ll為被探測(cè)物質(zhì)，與鏡片6相 固連，可以隨設(shè)備6上下移動(dòng)。當(dāng)然，上述設(shè)備11與設(shè)備12可以互換位置。 設(shè)備12與兩個(gè)驅(qū)動(dòng)模塊5、 7相連，用于傳遞停止信號(hào)，當(dāng)設(shè)備11進(jìn)入設(shè)備12 的保護(hù)探測(cè)面，即鏡片6、 8距離很近時(shí)，設(shè)備12向驅(qū)動(dòng)模塊5、 7發(fā)出停止信 號(hào)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)模塊5、 7接收到該信號(hào)后立即停止鏡片6和鏡片8的運(yùn)動(dòng)，從而達(dá) 到保護(hù)的目的。采用上述非接觸式探測(cè)設(shè)備最大優(yōu)點(diǎn)在于，不會(huì)出現(xiàn)鏡片支撐 由于接觸等原因被偏離原始位置而影響照明精度的問題。
請(qǐng)參閱圖4，是本發(fā)明防止鏡片碰撞的裝置的另一實(shí)施例示意圖，所述探測(cè) 模塊ll、 12是接近式探測(cè)設(shè)備，例如接近式開關(guān)。如圖所示，接近式行程開關(guān) ll通過一連桿固定于鏡片6上，可以隨鏡片6上下移動(dòng)；接近式開關(guān)12通過另 一連桿固定于鏡片8上，可以隨鏡片8上下移動(dòng)。兩根連桿的長(zhǎng)度之和大于等 于兩鏡片6、 8間允許的最小距離。當(dāng)接近式開關(guān)11和12相接觸時(shí)，接近式開 關(guān)觸發(fā)，此時(shí)控制器l會(huì)停止驅(qū)動(dòng)模塊5和驅(qū)動(dòng)模塊7轉(zhuǎn)動(dòng)，相應(yīng)的鏡片6、 8 會(huì)停止運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到防止碰撞的效果。
上述兩個(gè)實(shí)施例中的探測(cè)模塊11、 12屬于防止鏡片碰撞的輔助措施，主要 用于單獨(dú)或者聯(lián)合判斷鏡片所在位置是否安全，除了所列舉的非接觸式或接近
8式探測(cè)設(shè)備外，還可采用其它具有距離探測(cè)功能的設(shè)備加以替代。即使所迷裝 置不安裝探測(cè)模塊，也可以在系統(tǒng)標(biāo)定確認(rèn)交疊區(qū)后，通過驅(qū)動(dòng)模塊中的機(jī)電 傳動(dòng)設(shè)備(如電機(jī)，絲杠等)自帶的編碼器來(lái)判斷鏡片是否出現(xiàn)在交疊區(qū)內(nèi)。
綜上所述，本發(fā)明的防止4fe片碰撞的方法，通過判斷鏡片的運(yùn)動(dòng)方向，合理 安排鏡片的運(yùn)動(dòng)順序，從而達(dá)到防止鏡片發(fā)生碰撞的效果，無(wú)需在設(shè)備內(nèi)部添 加機(jī)械裝置，可以避免機(jī)械摩擦產(chǎn)生碎屑影響光學(xué)性能。本發(fā)明的防止鏡片碰 撞的裝置，是通過具有的控制模塊去控制驅(qū)動(dòng)鏡片移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊來(lái)合理安排 鏡片的移動(dòng)順序，達(dá)到防止鏡片發(fā)生碰撞。另外，可增設(shè)探測(cè)模塊來(lái)加以保障， 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，不需要嚴(yán)格的機(jī)械安裝條件的限制，并且不會(huì)出現(xiàn)誤判的情況， 即使在斷電裝調(diào)過程中也不會(huì)出現(xiàn)誤操作導(dǎo)致可動(dòng)鏡片損毀，同時(shí)能夠降低維 護(hù)和f務(wù)理成本。
上述實(shí)施例僅為例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。 任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行 修飾與變化。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)以權(quán)利要求書的范圍為依據(jù)。
權(quán)利要求
1、一種防止鏡片碰撞的方法，應(yīng)用于光刻設(shè)備的照明系統(tǒng)中，所述照明系統(tǒng)中至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片的行程之間具有交疊區(qū)域，其特征在于，所述方法包括設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式后所述的兩片可移動(dòng)鏡片移動(dòng)后停止的位置不會(huì)交疊，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片不同時(shí)移動(dòng)；判斷其中一片可移動(dòng)鏡片的移動(dòng)方向；若該鏡片的移動(dòng)方向是背向相鄰的可移動(dòng)鏡片的，則控制該鏡片先移動(dòng)，再控制相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)；若該鏡片的移動(dòng)方向是朝向相鄰的可移動(dòng)鏡片的，則控制相鄰的可移動(dòng)鏡片先移動(dòng)，再控制該鏡片移動(dòng)。
2、 如權(quán)利要求l所述的防止鏡片碰撞的方法，其特征在于，所述判斷是當(dāng) 其中一片可移動(dòng)鏡片處于交疊區(qū)域內(nèi)時(shí)進(jìn)行的。
3、 一種防止鏡片碰撞的裝置，應(yīng)用于光刻設(shè)備的照明系統(tǒng)中，所述照明系 統(tǒng)中至少包括兩片相鄰設(shè)置的可移動(dòng)鏡片，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片的行程之 間具有交疊區(qū)域，其特征在于所述裝置包括驅(qū)動(dòng)所述可移動(dòng)鏡片移動(dòng)的驅(qū)動(dòng) 模塊，以及控制模塊，其中所述控制模塊根據(jù)所述的兩片可移動(dòng)鏡片的相對(duì)移 動(dòng)方向，控制所述驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)鏡片按先后順序移動(dòng)。
4、 如權(quán)利要求3所述的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，所述控制模塊 還用于設(shè)置照明模式，保證在設(shè)置照明模式后所迷的兩片可移動(dòng)鏡片移動(dòng)后停 止的位置不會(huì)交疊，且所述的兩片可移動(dòng)鏡片不同時(shí)移動(dòng)。
5、 如權(quán)利要求3所述的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，所述控制模塊 判斷其中一片可移動(dòng)鏡片的移動(dòng)方向，若該鏡片的移動(dòng)方向是背向相鄰的可移 動(dòng)鏡片的，則所述控制模塊控制驅(qū)動(dòng)模塊先驅(qū)動(dòng)該鏡片移動(dòng)，再控制驅(qū)動(dòng)模塊 驅(qū)動(dòng)相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)；若該鏡片的移動(dòng)方向是朝向相鄰的可移動(dòng)鏡片的， 則所述控制模塊控制驅(qū)動(dòng)模塊先驅(qū)動(dòng)相鄰的可移動(dòng)鏡片移動(dòng)，再控制驅(qū)動(dòng)模塊 驅(qū)動(dòng)該鏡片移動(dòng)。
6、 如權(quán)利要求3所述的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，所述控制模塊是當(dāng)其中一片可移動(dòng)鏡片處于交疊區(qū)域內(nèi)時(shí)判斷兩片可移動(dòng)鏡片的相對(duì)移動(dòng)方 向的。
7、 如權(quán)利要求3所迷的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，還包括分別安 裝在所述的兩片可移動(dòng)鏡片上的探測(cè)模塊，所述探測(cè)模塊用于探測(cè)兩片可移動(dòng) 鏡片間的距離，并根據(jù)探測(cè)結(jié)果控制驅(qū)動(dòng)模塊。
8、 如權(quán)利要求7所述的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，所述探測(cè)模塊 安裝在所述的兩片可移動(dòng)鏡片相鄰的表面上。
9、 如權(quán)利要求3所述的防止鏡片碰撞的裝置，其特征在于，所述可移動(dòng)鏡 片的行程范圍的邊界處設(shè)有限位開關(guān)，以防止可移動(dòng)鏡片移動(dòng)至行程范圍以外。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種防止鏡片碰撞的方法及裝置，通過判斷鏡片的運(yùn)動(dòng)方向，合理安排鏡片的運(yùn)動(dòng)順序，從而達(dá)到防止鏡片發(fā)生碰撞的效果。另外，所述防止鏡片碰撞的裝置還可增設(shè)探測(cè)模塊來(lái)加以保障，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，不需要嚴(yán)格的機(jī)械安裝條件的限制，并且不會(huì)出現(xiàn)誤判的情況，即使在斷電裝調(diào)過程中也不會(huì)出現(xiàn)誤操作導(dǎo)致可動(dòng)鏡片損毀，同時(shí)能夠降低維護(hù)和修理成本。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101566801SQ20091005218
公開日2009年10月28日 申請(qǐng)日期2009年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月27日
發(fā)明者文 徐, 潮 江, 聞 羅 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司