專(zhuān)利名稱(chēng)：重力補(bǔ)償器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種重力補(bǔ)償器，特別涉及一種光刻技術(shù)中的重力補(bǔ)償器。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光刻技術(shù)扮演了重要的角色。光刻技術(shù)在 半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線(xiàn)路制作成具有特定形狀可透光的掩模，利用 曝光原理，使光源通過(guò)掩才^1影至硅晶片上，可曝光顯示特定的圖案。
隨著大規(guī)模集成電路器件集成度的不斷提高，光刻分辨力的不斷增強(qiáng)，對(duì) 光刻機(jī)的特征線(xiàn)寬指標(biāo)要求也在不斷提升。目前，光刻機(jī)已經(jīng)發(fā)展成為幾個(gè)分
以工件臺(tái)分系統(tǒng)為例，如何使Chuck微動(dòng)臺(tái)在曝光過(guò)程中免受工件臺(tái)系統(tǒng) 和基礎(chǔ)框架振動(dòng)的干擾至關(guān)重要，需要采用行之有效的方案對(duì)微動(dòng)臺(tái)模塊進(jìn)行 減振和隔振。重力補(bǔ)償器結(jié)構(gòu)就是在此背景下發(fā)^^來(lái)的新型結(jié)構(gòu)，通過(guò)主動(dòng) 減板與被動(dòng)隔振結(jié)合的方式，使工件臺(tái)的微動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)形成一個(gè)獨(dú)立的內(nèi)部系統(tǒng)。
美國(guó)專(zhuān)利號(hào)為US6473161B2的專(zhuān)利公開(kāi)了一種環(huán)形電機(jī)和活塞推桿型的重 力補(bǔ)償器裝置。通過(guò)恒壓室氣體壓力經(jīng)活塞推桿傳遞至微動(dòng)臺(tái)，從而維持其靜 態(tài)重力，通過(guò)環(huán)形電機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)微動(dòng)臺(tái)的垂向位移。該專(zhuān)利方案對(duì)恒壓室氣壓 的控制嚴(yán)格，對(duì)空氣壓力傳感器的精度要求4艮高；另外，環(huán)形電機(jī)的設(shè)計(jì)制造 也是一個(gè)"t支術(shù)壁壘。
而另一美國(guó)專(zhuān)利號(hào)為US6388733B1的專(zhuān)利，通過(guò)水平面的三個(gè)音圈電才幾、 大理石平臺(tái)底面的四個(gè)氣嚢被動(dòng)隔振系統(tǒng)和四個(gè)垂向音圈電機(jī)將工件臺(tái)大理石 模塊隔離成內(nèi)部世界。該方案中的四個(gè)氣嚢的材料較為特珠，且橡膠氣嚢容易 因?yàn)榍昂髩翰钸^(guò)大而影響使用壽命。
請(qǐng)參閱圖1，其顯示現(xiàn)有的層疊式及環(huán)套式一體式重力補(bǔ)償器示意圖，如圖 所示，兩類(lèi)常見(jiàn)的一體式重力補(bǔ)償器501與其動(dòng)態(tài)位移補(bǔ)償電機(jī)502都是設(shè)置
4為一體的，圖中施力點(diǎn)503在疊層式布置中由于電機(jī)或空氣重力補(bǔ)償器遠(yuǎn)離 Chuck微動(dòng)臺(tái)，可能產(chǎn)生傾覆力矩的因素；而在環(huán)套式布置的結(jié)構(gòu)中(如專(zhuān)利 US6473161B2),設(shè)計(jì)和制造環(huán)形電機(jī)存在技術(shù)壁壘，其中需要高精度高響應(yīng)速 度的氣體傳感器來(lái)檢測(cè)氣腔中的氣流狀況。
有鑒于此，如何提供一種重力補(bǔ)償器，來(lái)綜合解決上述問(wèn)題已成為業(yè)界亟 待解決的技術(shù)課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種重力補(bǔ)償器，能夠?qū)ξ?dòng)臺(tái)進(jìn)行調(diào) 平調(diào)焦及隔振，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、容易實(shí)現(xiàn)、使用壽命長(zhǎng)。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種重力補(bǔ)償器，用于對(duì)光刻設(shè)備中 的微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行調(diào)平調(diào)焦和隔振，所述重力補(bǔ)償器從上到下依次包括止推軸承、 浮板、導(dǎo)向柱及壓縮流體容器，其中，所述壓縮流體容器能夠充入壓縮流體且 在Z向具有彈性；所述浮板表面具有高壓流體孔；所述導(dǎo)向柱連接在所述浮板與 所述壓縮流體容器之間以引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)方向，并能夠?qū)⑺鰤嚎s流體引導(dǎo)至浮板表 面的高壓流體孔，從而能夠在所述浮板與所述止推軸承下端形成流體膜，使得 所述止推軸承能夠在X/Y方向運(yùn)動(dòng)；而所述止推軸承上端與所述微動(dòng)臺(tái)下端連 接，且具有柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，能夠在RX/RY向運(yùn)動(dòng)。
其中，所述導(dǎo)向柱外圍具有襯套；所述壓縮流體容器底部固定至一底座， 所述村套通過(guò)連接在底座的支柱支撐；所述導(dǎo)向柱中部外側(cè)面具有高壓流體孑L， 能夠引導(dǎo)高壓流體并在所述襯套內(nèi)側(cè)與所述導(dǎo)向柱之間形成流體膜，使得所述 導(dǎo)向柱能夠在所述襯套的導(dǎo)向下在Z向無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)；所述高壓流體孔上下兩側(cè)開(kāi) 有泄壓槽，所述襯套內(nèi)具有高壓排流孔，流過(guò)所述泄壓槽的氣體通過(guò)該高壓排 流孔排出，所述泄壓槽的垂向槽寬與所述高壓排流孔的孔徑關(guān)系由所述重力補(bǔ) 償器的垂向行程決定。
進(jìn)一步的，所述壓縮流體容器側(cè)面是波紋管結(jié)構(gòu)，所述波紋管結(jié)構(gòu)是金屬 材料，其中設(shè)置有彈簧。所述波紋管結(jié)構(gòu)的上下端分別通過(guò)焊接方式連接至法 蘭，所述法蘭內(nèi)部具有高壓流體通道，所述導(dǎo)向柱、浮板的內(nèi)部也具有高壓流 體通道，所述浮板表面的高壓流體孔的兩側(cè)還開(kāi)有泄壓槽。
5進(jìn)一步的，所迷重力補(bǔ)償器由三個(gè)分離式電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述的三個(gè)分離式電機(jī)呈等邊三角形或等腰三角形設(shè)置，三個(gè)所述重力補(bǔ)償器也呈等邊三角形或等
腰三角形設(shè)置，且上迷?xún)蓚€(gè)三角形的幾何中心與所述微動(dòng)臺(tái)的質(zhì)心重合；另一種排布方式是所迷的三個(gè)分離式電機(jī)呈等腰三角形或等邊三角形設(shè)置，單個(gè)所述重力補(bǔ)償器設(shè)置在上述等腰三角形或等邊三角形的幾何中心，上述幾何中心與所述微動(dòng)臺(tái)質(zhì)心重合。
本發(fā)明的重力補(bǔ)償器，引入側(cè)向浮板和水平浮板解決垂向和水平解耦問(wèn)題，利用高壓流體通路形成高壓流體膜，提供無(wú)摩擦的解耦技術(shù)；釆用的波紋管結(jié)構(gòu)不僅可以通過(guò)其彈性達(dá)到垂向位移跟隨作用，且材料普通、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于設(shè)計(jì)和制造，使用壽命長(zhǎng)；另外，通過(guò)分離式電機(jī)驅(qū)動(dòng)，避免了疊層式布置中由于電機(jī)或空氣重力補(bǔ)償器遠(yuǎn)離Chuck微動(dòng)臺(tái)而產(chǎn)生傾覆力矩的可能因素，同時(shí)另辟蹊徑，跨越了環(huán)套式布置中設(shè)計(jì)和制造環(huán)形電機(jī)的技術(shù)壁壘，有效的達(dá)到了對(duì)Chuck微動(dòng)臺(tái)動(dòng)靜位移補(bǔ)償?shù)墓δ?。分離式電機(jī)和重力補(bǔ)償器分別對(duì)微動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動(dòng)的分布方式，使其可以采用相同的輸入輸出條件。


圖1為現(xiàn)有的層疊式及環(huán)套式一體式重力補(bǔ)償器示意圖。
圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器正面剖面圖。
圖3A為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器流體通道正面剖面圖。
圖3B為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器的浮板俯視圖。
圖3C為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器的壓縮流體容器正面剖面圖。
圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器與其分離式電機(jī)分布示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下通過(guò)具體實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域4支術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)
所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明也可通過(guò)其他不同的具體實(shí)施例加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)
用，在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。
本發(fā)明中所述重力補(bǔ)償器，可以應(yīng)用在光刻設(shè)備中，對(duì)工件臺(tái)系統(tǒng)或掩模臺(tái)系統(tǒng)中的微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行垂向位置補(bǔ)償及隔振。
本發(fā)明基于工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)為獨(dú)立內(nèi)部世界的結(jié)構(gòu)方案，采用靜態(tài)隔振和動(dòng)態(tài)補(bǔ)償分離式的重力補(bǔ)償器均布式結(jié)構(gòu)，具有對(duì)微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行調(diào)平調(diào)焦和隔振的功能。
圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器正面剖面圖，所述重力補(bǔ)償器主要用于Chuck微動(dòng)臺(tái)的靜態(tài)隔振，其位于Chuck微動(dòng)臺(tái)101的下方。所述重力補(bǔ)償器從上到下依次包括止推軸承102、浮板103、導(dǎo)向柱106及壓縮流體容器，整個(gè)重力補(bǔ)償器通過(guò)底座110固連在外部系統(tǒng)平臺(tái)上，在本實(shí)施例中，所述壓縮流體容器側(cè)面是波紋管結(jié)構(gòu)108 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)波紋管)，而壓縮流體容器上下面是連接法蘭107a、 107b，且通過(guò)焊接方式與波紋管108連接在一起形成壓縮流體容器，當(dāng)壓縮流體通過(guò)底座110上的進(jìn)口進(jìn)入壓縮流體容器時(shí)，由于波紋管108具有彈性，故可在壓縮流體作用下產(chǎn)生垂向變形位移。
位于連接法蘭107a上方的為導(dǎo)向柱106,用于對(duì)波紋管108變形進(jìn)行垂向位置引導(dǎo)。圍繞導(dǎo)向柱106—周為襯套105，襯套105和導(dǎo)向柱106側(cè)面都加工有高壓流體孔，使導(dǎo)向柱106可以在襯套105中實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的位移，襯套105通過(guò)3根支桿109支撐，支桿109的上端固聯(lián)于襯套105,下端固聯(lián)于底座IIO。導(dǎo)向柱106的上方固聯(lián)浮板103，浮板103上布置有高壓流體孔(未圖示)，用于將止推軸承102浮起，止推軸承102的上端粘接在Chuck微動(dòng)臺(tái)101底部，下端面與浮板103之間形成流體膜，具有X/Y方向的運(yùn)動(dòng)自由度。由于止推軸承102上部具有柔性鉸鏈的特殊結(jié)構(gòu)，止推軸承102具有RX/RY的運(yùn)動(dòng)自由度。整個(gè)結(jié)構(gòu)中，102、 103、 104、 106、 107、 108組成運(yùn)動(dòng)才莫塊，105、 109、 110為靜止模塊。在這個(gè)結(jié)構(gòu)中，整個(gè)運(yùn)動(dòng)模塊使Chuck微動(dòng)臺(tái)101具有Z向自由度，止推軸承102和浮板103之間形成的流體膜使Chuck微動(dòng)臺(tái)101具有X/Y向自由度，止推軸承102的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)使Chuck微動(dòng)臺(tái)101具有RX/RY向自由度。在本實(shí)施例中，所述壓縮流體為壓縮空氣，且以下都以壓縮空氣為例進(jìn)行說(shuō)明，但不以此為限。
請(qǐng)一并參閱圖3A及圖3B,其中圖3A為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器流體通道正面剖面圖，而圖3B為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器的浮板俯視圖。如圖所示，壓縮空氣從波紋管108上方的連接法蘭107a的氣孔中進(jìn)入導(dǎo)向柱106內(nèi)的高壓流體通道(本實(shí)施例中為高壓氣道)209 (6個(gè))，將壓縮空氣導(dǎo)引至導(dǎo)向柱中部外側(cè)面的高壓流體孔(高壓氣流孔)208 ( 6個(gè))，與襯套105內(nèi)側(cè)形成氣膜，導(dǎo)向柱106可以在襯套105中無(wú)摩擦的上下移動(dòng)。為了防止高壓氣流孔208附近的壓力過(guò)高對(duì)部件產(chǎn)生損傷，高壓氣流孔208的上下兩側(cè)圓周面上開(kāi)有泄壓槽206，泄壓槽206內(nèi)的氣體通過(guò)襯套105內(nèi)的排氣孔207排至大氣。泄氣槽206的垂向槽寬與位于村套105的排氣孔207孔徑關(guān)系與空氣重力補(bǔ)償器的垂向行程有關(guān)，使導(dǎo)向柱106和襯套105相互運(yùn)動(dòng)時(shí)，泄壓槽206和排氣孔207始終相通。同時(shí)，為防止空氣重力補(bǔ)償器周?chē)目諝鈹_動(dòng)，可以在氣浮板103和襯套105中間放置氣體回收裝置。導(dǎo)向柱內(nèi)高壓氣道209也為浮板(氣浮板)103供氣，壓縮空氣通過(guò)氣浮板103和導(dǎo)向柱106之間到達(dá)氣浮板內(nèi)部高壓氣道202 ( 6個(gè))，并通過(guò)氣浮板表面高壓氣流孔201 (6個(gè))在止推軸承102下端和氣浮板103上表面形成氣膜。為了防止氣浮板表面高壓區(qū)對(duì)附近部件的損傷和降低部件的加工精度，氣浮板103表面開(kāi)有泄壓槽203，泄壓槽203底部開(kāi)有排氣孔204 (3個(gè))，將泄壓氣流導(dǎo)引至氣浮板103下端。210為限位距離，保證導(dǎo)向柱106等運(yùn)動(dòng)模塊在該范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)。
圖3C所示本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器的壓縮流體容器正面剖面圖，如圖所示，本實(shí)施例中采用的波纟丈管結(jié)構(gòu)108可以分為具有彈簧(見(jiàn)圖3C左側(cè)結(jié)構(gòu))和不具有彈簧(見(jiàn)圖3C右側(cè)結(jié)構(gòu))兩種形式。波紋管108可以采用金屬或非金屬材料，內(nèi)部可承受壓力在lMPa范圍內(nèi)，優(yōu)選0.2 0.8MPa。波紋管體內(nèi)用于沖入不同的可壓縮流體，包括空氣或者其他。波紋管中是否具有彈簧結(jié)構(gòu)可根據(jù)對(duì)波紋管及沖入氣體的剛度和系統(tǒng)隔振要求進(jìn)行選擇。
如圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的重力補(bǔ)償器與其分離式電機(jī)分布示意圖，如圖所示，空氣重力補(bǔ)償器401與分離式電機(jī)402是優(yōu)選以下兩種方式布設(shè)，其中本實(shí)施例中，分離式電機(jī)402為音圖電機(jī)(VCM, Voice Coil Motor),而本發(fā)明是以重力補(bǔ)償器與該類(lèi)分離式電機(jī)402聯(lián)合差動(dòng)布置實(shí)現(xiàn)調(diào)平調(diào)焦隔振功能的。第一類(lèi)(圖4左側(cè)結(jié)構(gòu))為3個(gè)空氣重力補(bǔ)償器以及3個(gè)VCM呈等邊三角形或等腰三角形的分布，3個(gè)空氣重力補(bǔ)償器401所形成的質(zhì)心、3個(gè)VCM(音圈電機(jī))402形成的質(zhì)心和Chuck微動(dòng)臺(tái)101的質(zhì)心必須在同一點(diǎn)(或盡可能在很小范圍內(nèi))，即各項(xiàng)目形成以質(zhì)心為圓心，同一長(zhǎng)度為半徑的圓周上均布的分布
8方式。第二類(lèi)(圖4右側(cè)結(jié)構(gòu))為3個(gè)VCM呈等邊三角形或等腰三角形的分布，其三角形幾何中心落于Chuck微動(dòng)臺(tái)質(zhì)心處，單個(gè)空氣重力補(bǔ)償器置于質(zhì)心位置，從而達(dá)到3個(gè)VCM的幾何中心，Chuck微動(dòng)臺(tái)中心，空氣重力補(bǔ)償器質(zhì)心都位于同一點(diǎn)。
空氣重力補(bǔ)償器與VCM的分離布置，避免了疊層式布置中由于電機(jī)或空氣重力補(bǔ)償器遠(yuǎn)離Chuck微動(dòng)臺(tái)而產(chǎn)生傾覆力矩的可能因素；也另辟蹊徑，跨越了環(huán)套式布置中設(shè)計(jì)和制造環(huán)形電機(jī)的技術(shù)壁壘，有效的達(dá)到了對(duì)Chuck微動(dòng)臺(tái)動(dòng)靜力補(bǔ)償?shù)墓δ?。另外，?nèi)部充滿(mǎn)可壓縮流體的波紋管結(jié)構(gòu)，在電機(jī)對(duì)Chuck微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)補(bǔ)償后，由于波紋管自身具有的彈性作用，可以迅速的跟蹤電機(jī)的動(dòng)態(tài)位移補(bǔ)償量，所以不需要高精度高響應(yīng)速度的氣體傳感器來(lái)檢測(cè)氣腔中的氣流狀況。
綜上所述，本發(fā)明的重力補(bǔ)償器，引入側(cè)向浮板和水平浮板解決垂向和水平解耦問(wèn)題，利用高壓流體通路形成高壓流體膜，提供無(wú)摩擦的解耦技術(shù)；采用波紋管結(jié)構(gòu)與氣缸和活塞推桿組成的恒壓室相比，不需要精度纟艮高的空氣壓力傳感器來(lái)實(shí)時(shí)檢測(cè)恒壓室的內(nèi)部壓力，不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，其彈性作用可以達(dá)到同樣的垂向位移跟隨作用，而且材料普通，且易于設(shè)計(jì)和制造，使用壽命長(zhǎng)；另外，通過(guò)分離式電機(jī)驅(qū)動(dòng)，避免了疊層式布置中由于電機(jī)或空氣重力補(bǔ)償器遠(yuǎn)離Chuck微動(dòng)臺(tái)而產(chǎn)生傾覆力矩的可能因素，同時(shí)另辟蹊徑，跨越了環(huán)套式布置中設(shè)計(jì)和制造環(huán)形電機(jī)的技術(shù)壁壘，有效的達(dá)到了對(duì)Chuck微動(dòng)臺(tái)動(dòng)靜力補(bǔ)償?shù)墓δ?。質(zhì)心驅(qū)動(dòng)的分布方式使分離式電機(jī)和重力補(bǔ)償器都可以采用相同的輸入輸出條件，簡(jiǎn)化了控制需求。
上述實(shí)施例僅為例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾與變化。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)以權(quán)利要求書(shū)的范圍為依據(jù)。
權(quán)利要求
1、一種重力補(bǔ)償器，用于對(duì)光刻設(shè)備中的微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行調(diào)平調(diào)焦和隔振，其特征在于所述重力補(bǔ)償器從上到下依次包括止推軸承、浮板、導(dǎo)向柱及壓縮流體容器，其中，所述壓縮流體容器能夠充入壓縮流體且在Z向具有彈性；所述浮板表面具有高壓流體孔；所述導(dǎo)向柱連接在所述浮板與所述壓縮流體容器之間以引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)方向，并能夠?qū)⑺鰤嚎s流體引導(dǎo)至浮板表面的高壓流體孔，從而能夠在所述浮板與所述止推軸承下端形成流體膜，使得所述止推軸承能夠在X/Y方向運(yùn)動(dòng)；而所述止推軸承上端與所述微動(dòng)臺(tái)下端連接，且具有柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，能夠在RX/RY方向運(yùn)動(dòng)。
2、 如權(quán)利要求l所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述導(dǎo)向柱外圍具有襯套。
3、 如權(quán)利要求2所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述壓縮流體容器底部 固定至一底座，所述村套通過(guò)連接在底座的支柱支撐。
4、 如權(quán)利要求2或3所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述導(dǎo)向柱中部外側(cè) 面具有高壓流體孔，能夠引導(dǎo)高壓流體在所述襯套內(nèi)側(cè)與所述導(dǎo)向柱之間形成 流體膜，使得所述導(dǎo)向柱能夠在所述襯套的導(dǎo)向下在Z向無(wú)摩搭V運(yùn)動(dòng)。
5、 如權(quán)利要求4所迷的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述高壓流體孔上下兩 側(cè)開(kāi)有泄壓槽。
6、 如權(quán)利要求5所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述襯套內(nèi)具有高壓排 流孔，流過(guò)所述泄壓槽的氣體通過(guò)該高壓排流孔排出
7、 如權(quán)利要求6所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述泄壓槽的垂向槽寬 與所述高壓排流孔的孔徑關(guān)系由所述重力補(bǔ)償器的垂向行程決定。
8、 如權(quán)利要求l所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述壓縮流體容器側(cè)面 是波紋管結(jié)構(gòu)。
9、 如權(quán)利要求8所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述波紋管結(jié)構(gòu)中設(shè)置 有彈簧。
10、 如權(quán)利要求8所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述波紋管結(jié)構(gòu)是金屬 材料。
11、如權(quán)利要求8所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述波紋管結(jié)構(gòu)的上下 端分別連接至法蘭。
12、如權(quán)利要求ll所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述波紋管與法蘭之 間通過(guò)焊接方式連接。
13、 如權(quán)利要求ll所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述法蘭內(nèi)部具有高 壓流體通道。
14、 如權(quán)利要求l所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述導(dǎo)向柱、浮板的內(nèi) 部具有高壓流體通道。
15、 如權(quán)利要求l所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述浮板表面的高壓流 體孔的兩側(cè)開(kāi)有泄壓槽。
16、 如權(quán)利要求l所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述重力補(bǔ)償器由三個(gè) 分離式電才幾驅(qū)動(dòng)。
17、 如權(quán)利要求16所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述的三個(gè)分離式電 機(jī)呈等邊三角形設(shè)置，三個(gè)所述重力補(bǔ)償器也呈等邊三角形設(shè)置，且上述兩等 邊三角形的幾何中心與所述孩史動(dòng)臺(tái)的質(zhì)心重合。
18、 如權(quán)利要求16所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述的三個(gè)分離式電 機(jī)呈等腰三角形設(shè)置，三個(gè)所述重力補(bǔ)償器也呈等腰三角形設(shè)置，且上述兩等 腰三角形的幾何中心與所迷微動(dòng)臺(tái)的質(zhì)心重合。
19、 如權(quán)利要求16所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所迷的三個(gè)分離式電 機(jī)呈等邊三角形設(shè)置，單個(gè)所述重力補(bǔ)償器設(shè)置在上述等邊三角形的幾何中心， 上述幾何中心與所述微動(dòng)臺(tái)質(zhì)心重合。
20、 如權(quán)利要求17所述的重力補(bǔ)償器，其特征在于，所述的三個(gè)分離式電 機(jī)呈等腰三角形設(shè)置，單個(gè)所述重力補(bǔ)償器設(shè)置在上述等腰三角形的幾何中心， 上述幾何中心與所述孩史動(dòng)臺(tái)質(zhì)心重合。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種重力補(bǔ)償器，引入側(cè)向浮板和水平浮板解決垂向和水平解耦問(wèn)題，利用高壓流體通路形成高壓流體膜，提供無(wú)摩擦的解耦技術(shù)；采用的波紋管結(jié)構(gòu)不僅可以通過(guò)其彈性達(dá)到垂向位移跟隨作用，且材料普通、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于設(shè)計(jì)和制造，使用壽命長(zhǎng)；另外，通過(guò)分離式電機(jī)驅(qū)動(dòng)，有效的達(dá)到了對(duì)Chuck微動(dòng)臺(tái)動(dòng)靜位移補(bǔ)償?shù)墓δ堋?br> 文檔編號(hào)G03F7/20GK101477316SQ20091004594
公開(kāi)日2009年7月8日 申請(qǐng)日期2009年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月22日
發(fā)明者潔 方, 齊寧寧, 齊芊楓 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司