專利名稱：玻璃掩模和掩模保持器的位置對準裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃掩模和掩模保持器的位置對準裝置。
背景技術(shù)：
在用于印刷電路基板的制造等的曝光裝置中，作為描繪了應(yīng)曝光的 圖案即電路基板等的掩模，主要使用玻璃掩模。該玻璃掩模通常固定在 被稱為掩模保持器的框形狀的固定工具上來使用。在將玻璃掩模固定在 掩模保持器上時，進行玻璃掩模端面的定位和使用劃線進行目視的位置 對準等。
專利文獻1日本特開2004—247718號公報
然而，以往分割曝光法等在印刷電路基板的曝光中要求精度高的曝 光，對于玻璃掩模和作為曝光對象物的電路基板等的位置對準，開發(fā)利 用了精密的位置對準方法和裝置。
然而，在玻璃掩模和掩模保持器的位置對準中，由于如上所述進行 玻璃掩模端面的定位和使用劃線進行目視的位置對準等，因而因玻璃掩 模的外形尺寸的偏差等而難以進行精度高的位置對準，妨礙了曝光精度 的提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是解決上述的現(xiàn)有問題。
為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種玻璃掩模和掩模保持器的位 置對準裝置，其特征在于，該位置對準裝置具有基座，其將支撐玻璃 掩模的掩模保持器保持在規(guī)定位置；基準標記，其設(shè)在該基座上，與所 述保持的掩模保持器具有規(guī)定的位置關(guān)系；對準臺，其將所述玻璃掩模 保持成至少可朝xy方向和上下方向移動；位置對準用的掩模標記，其設(shè)在所述玻璃掩模上；定位裝置，其根據(jù)所述掩模標記和所述基準標記， 使所述玻璃掩模移動來定位在針對掩模保持器的預(yù)先決定的規(guī)定位置； 以及將由所述定位裝置所定位的玻璃掩模固定在掩模保持器上的裝置。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可高精度地進行玻璃掩模和掩模保持器的位置對準， 進而可提高曝光精度。
期望的是，所述基準標記構(gòu)成為可描繪在基準標記板上，并與掩模 標記重合。
并且期望的是，所述定位裝置構(gòu)成為具有圖像處理裝置，該圖像處 理裝置拍攝所述掩模標記和所述基準標記，并能顯示該掩模標記和基準 標記的位置關(guān)系。通過使用這種圖像處理裝置，可簡單且精度良好地進 行掩模標記和所述基準標記的重合等的位置對準。
所述掩模保持器一般是框形狀，對準臺構(gòu)成為從框形狀的掩模保持 器的下側(cè)通過該框形狀的中空部延伸到掩模保持器的上方，由此可構(gòu)成 為將玻璃掩模保持在掩模保持器的上方。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，可緊湊地構(gòu)成 裝置整體，可實現(xiàn)裝置的設(shè)置面積的縮小等。
另外期望的是，所述對準臺構(gòu)成為可朝e方向移動，并構(gòu)成為可轉(zhuǎn) 動玻璃掩模。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃掩模和掩模保持器的位置對準裝置，具有可高精 度地進行玻璃掩模和掩模保持器的位置對準的效果。


圖i是示出本發(fā)明的一個實施方式的概略正視圖。 圖2是示出本發(fā)明的一個實施方式的概略俯視圖。
圖3是示出本發(fā)明的一個實施方式的動作的說明圖。 圖4是本發(fā)明的一個實施方式的基準標記板17和CCD相機18的詳 細圖。
圖5是示出本發(fā)明的一個實施方式的動作的說明圖。 標號說明
1:基座；2:對準臺；5:控制裝置；10: X基準位置片；11: Y基準位置片；12:固定氣缸；13:固定氣缸；15:上表面；16:空間；17: 基準標記板；18: CCD相機；19:監(jiān)視器；20:移動機構(gòu)；21:升降器; 22:升降器氣缸；23:吸附墊；50:玻璃掩模；51:掩模保持器；60: 掩模標記；61:基準標記。
具體實施例方式
以下，根據(jù)

本發(fā)明的實施方式。 圖1是正視圖，圖2是俯視圖。
該位置對準裝置具有基座1和對準臺2?；?構(gòu)成為在其上表面 15上放置有裝有玻璃掩模50的掩模保持器51，并定位在規(guī)定位置。
上表面15由相互平行的2個部分構(gòu)成，其間為空間16。
掩模保持器51被放置成架設(shè)在2個上表面15、 15之間。
如圖2所示，在上表面15上設(shè)有X基準位置片10和Y基準位置片 11，通過利用固定氣缸12和固定氣缸13使掩模保持器51壓緊該X基準 位置片10和Y基準位置片11，可使掩模保持器51精度良好地定位在預(yù) 先決定的規(guī)定位置。
在基座1上還設(shè)有基準標記板17，在該基準標記板17上如圖4和 圖5所示設(shè)有基準標記61?；鶞蕵擞洶?7設(shè)在基座1的預(yù)先決定的規(guī)定 位置，從而根據(jù)所述的X基準位置片10和Y基準位置片ll所定位的掩 模保持器51和基準標記板17的位置具有規(guī)定的位置關(guān)系。因此，設(shè)在 基準標記板17上的基準標記61和掩模保持器51也具有規(guī)定的位置關(guān)系， 基準標記61的位置表示掩模保持器51的位置。
基準標記板17在本實施方式中設(shè)置成位于固定在掩模保持器51上 的玻璃掩模50的端部的上方，從而可使設(shè)在玻璃掩模50上的掩模標記 60和基準標記61重合。
在基準標記板17的上方還設(shè)有CCD相機18，該CCD相機18構(gòu)成 為，將掩模標記60和基準標記61重合來拍攝，并如圖5所示將該圖像 反映在與CCD相機18連接的監(jiān)視器19上。
該圖像的信號構(gòu)成為被發(fā)送到控制裝置5，進行各種數(shù)據(jù)處理。另外，在本實施方式中，如圖2所示設(shè)有2個基準標記板17和2個 CCD相機18，然而該數(shù)量可適當增減。
對準臺2安裝在上表面15的下側(cè)，從而將玻璃掩模50保持成通過 移動機構(gòu)20可朝xy方向移動且可朝0方向轉(zhuǎn)動。對準臺2還具有升降 器21,該升降器21可通過升降器氣缸22朝上下方向升降。在升降器21 之上設(shè)有多個吸附墊23，構(gòu)成為可在該吸附墊23上吸附保持玻璃掩模 50。
升降器21上的吸附墊23如圖3所示通過空間16和框形狀的掩模保 持器51的中空部，與放置在掩模保持器51上的玻璃掩模50的下表面接 觸，從而吸附保持該下表面。然后構(gòu)成為，通過移動機構(gòu)20僅使玻璃掩 模50朝xy方向和0方向移動，可進行玻璃掩模50和掩模保持器51的 位置對準。
掩模標記60如圖4所示設(shè)在玻璃掩模50的端部，當與基準標記61 的平面上的位置一致時，玻璃掩模50和掩模保持器51的相互位置形成 在定位于預(yù)先決定的規(guī)定位置的位置上。
掩模標記60和基準標記61由CCD相機18拍攝，并如圖5所示重 合顯示在監(jiān)視器19上。構(gòu)成為，用戶在監(jiān)視器19上進行確認的同時使 對準臺2移動，通過使掩模標記60和基準標記61 —致來使玻璃掩模50 和掩模保持器51的位置對準。另外，上述操作還能構(gòu)成為自動進行。
定位裝置由上述對準臺2、 CCD相機18、監(jiān)視器19、掩模標記60 以及基準標記61形成。
構(gòu)成為，當玻璃掩模50和掩模保持器51的位置對準結(jié)束后，使升 降器21下降，在位置對準后的狀態(tài)下將玻璃掩模50再次放置在掩模保 持器51上，使用規(guī)定的固定裝置將玻璃掩模50和掩模保持器51固定。 該固定期望的是，不僅是固定配件等的物理固定，而且還包括一并使用 真空吸附的固定，由此不會發(fā)生匹配后的位置偏差，可送到下一工序的 曝光裝置。
下面說明動作。
首先，將裝有玻璃掩模50的掩模保持器51裝入到基座1上，利用固定氣缸12和固定氣缸13使掩模保持器51壓緊X基準位置片10和Y 基準位置片11來固定，由此進行掩模保持器51的定位。
然后，使升降器21上升來支撐玻璃掩模50，使用吸附墊23將玻璃 掩模50吸附固定，進一步使升降器21上升，對準CCD相機18的焦點。
然后，在將從CCD相機18發(fā)送的圖像在監(jiān)視器19上進行確認的同 時，控制移動機構(gòu)20來使對準臺2移動，使掩模標記60和基準標記61 匹配。該對準操作如上所述可應(yīng)用手動對準或者自動對準這兩種。
在掩模標記60和基準標記61匹配后，使升降器21下降來將玻璃掩 模50裝在掩模保持器51上，斷開吸附墊23的真空吸附來使玻璃掩模50 和升降器21分離。
然后，使用掩模保持器51將玻璃掩模50固定，斷開固定氣缸12和 固定氣缸13，解除掩模保持器51的固定，將玻璃掩模50和掩模保持器 51從基座1上取出，送到下一工序。
權(quán)利要求
1. 一種玻璃掩模和掩模保持器的位置對準裝置，其特征在于，該位置對準裝置具有基座，其將支撐玻璃掩模的掩模保持器保持在規(guī)定位置；基準標記，其設(shè)在該基座上，與所述保持的掩模保持器具有規(guī)定的位置關(guān)系；對準臺，其將所述玻璃掩模保持成至少可朝xy方向和上下方向移動；位置對準用的掩模標記，其設(shè)在所述玻璃掩模上；定位裝置，其根據(jù)所述掩模標記和所述基準標記，使所述玻璃掩模移動來定位在針對掩模保持器的預(yù)先決定的規(guī)定位置上；以及將由所述定位裝置所定位的玻璃掩模固定在掩模保持器上的裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的位置對準裝置，所述基準標記被描繪在基 準標記板上，并且可與所述掩模標記重合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的位置對準裝置，所述定位裝置具有圖 像處理裝置，該圖像處理裝置拍攝所述掩模標記和所述基準標記，并能 顯示該掩模標記和基準標記的位置關(guān)系。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的位置對準裝置，所述掩模保持器 是框形狀，所述對準臺將玻璃掩模從框形狀的掩模保持器的下側(cè)通過該框形狀 的中空部保持在掩模保持器的上方。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的位置對準裝置，所述對準臺可朝e方向移動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可高精度地進行玻璃掩模和掩模保持器的位置對準的玻璃掩模和掩模保持器的位置對準裝置。將裝有玻璃掩模(50)的掩模保持器(51)裝入到基座(1)上，利用固定氣缸(12、13)使掩模保持器(51)壓緊X基準位置片(10)和Y基準位置片(11)來固定，進行掩模保持器(51)的定位，之后使升降器(21)上升，使用吸附墊(23)將玻璃掩模(50)吸附固定，根據(jù)從CCD相機(18)發(fā)送來的圖像，使對準臺(2)移動來使掩模標記(60)和基準標記61匹配。匹配后，使用掩模保持器(51)將玻璃掩模(50)固定，解除掩模保持器(51)的固定，送到下一工序。
文檔編號G03F9/00GK101533225SQ20091000713
公開日2009年9月16日 申請日期2009年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月11日
發(fā)明者目黑崇 申請人:株式會社阿迪泰克工程