專利名稱：光罩驗證系統(tǒng)及程序的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及到一種為了進行所希望的曝光而進行是否制作了光罩
數(shù)據(reticle data)的驗證的光罩驗證系統(tǒng)，尤其涉及到一種進行平板 顯示器制作用光罩數(shù)據的驗證的光罩驗證系統(tǒng)。
背景技術：
平板顯示器(FPD)制作用光罩數(shù)據在面板布局數(shù)據上規(guī)定拍攝 框，作為曝光要素(以下也稱為重復要素)剪切制作，包括上述曝光 要素的圖形數(shù)據及表示面板基板上的曝光位置的坐標信息。
利用上述光罩數(shù)據轉印到FPD面板基板上時，使用上述光罩數(shù)據 的配置曝光要素的坐標信息，在曝光裝置中轉印到FPD的面板基板上。
此時，當光罩上設置的曝光要素的圖形數(shù)據或上述坐標信息中存 在錯誤時，不僅浪費光罩，而且浪費面板基板。尤其是在制作平板顯 示器用的光罩數(shù)據時，需要人力進行曝光區(qū)域分割的情況較多，易產 生錯誤。
為了防止這一點，考慮根據光罩圖像數(shù)據和坐標信息模擬曝光裝 置并進行驗證的方法。其中，在曝光裝置和模擬的關系中，例如包括
實現(xiàn)曝光裝置的成本優(yōu)化的技術。專利文獻1提供如下方法使用模 擬器，在曝光裝置中降低時間和勞力，優(yōu)化測量條件的測量條件優(yōu)化 方法。但是，專利文獻l僅僅公開了想要進行測量條件優(yōu)化的發(fā)明。
一般情況下，平板顯示器用的面板基板的大小是遠遠超過曝光裝 置的曝光范圍的大小。因此，安裝在曝光裝置的光罩小于面板基板，
在光罩上將剪切了面板基板上的一部分的要素作為曝光要素配置。
使用光罩通過曝光裝置曝光時，反復配置光罩上的曝光要素進行 曝光，從而制造出平板顯示器用面板基板。
因此，在制作光罩時，進行顯示面板區(qū)域的分割和顯示器布局數(shù) 據的切斷，制作光罩的曝光要素等，另一方面，制作顯示面板時，通 過反復曝光制作面板基板，因此在布局數(shù)據切斷和曝光要素反復配置 時，易產生錯誤。
并且，即使在不伴隨布局數(shù)據切斷的情況下，也需要顯示面板區(qū) 域的分割，因此必須實施曝光要素的反復配置的指定。此時，存在產 生反復配置的指示錯誤的情況非常多。因此，要求在制造的前工序中 預先驗證曝光結果的驗證單元。
專利文獻l:日本特開2006-140204號公報
發(fā)明內容
本發(fā)明的課題在于提供一種可預先驗證光罩上設置的曝光要素的 曝光結果的光罩驗證系統(tǒng)。
并且，本發(fā)明的課題在于提供一種通過模擬曝光裝置的動作可預 先驗證曝光要素的曝光結果的光罩驗證系統(tǒng)。
并且，本發(fā)明的課題在于提供一種由計算機執(zhí)行、適于構建上述 光罩驗證系統(tǒng)的光罩驗證用程序。
根據本發(fā)明，提供一種光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，具有存儲 單元，存儲平板顯示器曝光用光罩中含有的曝光要素的圖形數(shù)據； 以及由網格格子點的坐標表現(xiàn)，表示顯示面板上的上述曝光要素的曝
光位置的坐標信息；布局圖形要素生成單元，根據上述存儲單元中存 儲的曝光要素的圖形數(shù)據及坐標信息，生成和上述曝光要素對應的上 述顯示面板上的布局圖形要素；驗證單元，根據上述布局圖形要素生 成單元生成的上述顯示面板上的多個布局圖形要素的位置關系，驗證 上述曝光要素；以及顯示單元，顯示上述驗證單元驗證的結果。
布局圖形要素生成單元根據存儲單元中存儲的曝光要素的圖形數(shù) 據及坐標信息，生成與上述曝光要素對應的上述顯示面板上的布局圖 形要素。檢測單元根據上述布局圖形要素生成單元生成的上述顯示面 板上的多個布局圖形要素的位置關系，驗證上述曝光要素。顯示單元 顯示上述驗證單元驗證的結果。
其中，上述顯示單元至少具有顯示驗證結果的窗口，上述驗證單 元通過進行與上述多個布局圖形要素對應的網格格子之間的計算處 理，驗證上述多個曝光要素，上述顯示單元將上述驗證單元的驗證結 果所獲得的圖形顯示到上述窗口上。
并且，上述光罩的數(shù)據將定義晶體管圖形的中間層、或定義了晶 體管圖形的外部程序庫作為中間層持有，并且具有使定義上述晶體管 圖形的中間層或外部程序庫通過指針構造根據需要而展開的、具有表 格構造的展開單元。
并且，上述驗證單元具有差異抽取單元，其在進行了二個布局圖 形要素的邏輯OR處理后，進行上述任意一個布局圖形要素和與上述邏 輯OR結果所獲得的圖形要素中的該布局圖形要素所對應的區(qū)域的邏 輯XOR處理或差分處理，從而抽取上述二個布局圖形要素的差異。
并且，上述驗證單元具有重疊量檢測單元，通過進行二個布局圖 形要素的邏輯AND處理，檢測出上述二個布局圖形要素的重疊量。
并且，上述驗證單元具有偏移驗證單元，驗證上述重疊量檢測單 元檢測出的重疊量是否滿足所指示的偏移值。
并且，上述驗證單元具有要素判斷單元，在上述重疊量檢測單元 檢測出沒有上述二個布局圖形要素的重疊量后，進行邏輯OR處理，當 確認了二個布局圖形要素形成關閉的一個圖形的結果時，判斷上述二
個布局圖形要素是連續(xù)的圖形要素。
并且，上述各曝光要素中含有圖形要素及包圍上述圖形要素的預 定寬的百葉框，上述驗證單元具有終點驗證單元，對于與上述百葉框 內邊緣對應的上述顯示面板上的網格格子，驗證在規(guī)定偏移值的范圍 內是否存在上述圖形要素的布局圖形要素的終點。
并且，具有指定單元，指定含有錯誤的驗證結果的錯誤層，當上 述顯示單元在表示上述驗證結果的窗口上顯示錯誤圖形信息時，以層 單位在上述窗口上顯示上述指定單元指定的錯誤層的錯誤圖形信息。
并且，上述顯示單元具有與顯示上述驗證結果的窗口不同的對話 框，上述指定單元在上述對話框上指定上述錯誤層，上述顯示單元在 上述對話框上顯示錯誤個數(shù)，并且響應上述指定單元對錯誤層的指定， 將該層的錯誤圖形信息顯示到上述窗口上。
并且，根據本發(fā)明，提供一種程序，使計算機起到上述任意一項 所述的光罩驗證系統(tǒng)的作用。
計算機通過執(zhí)行上述程序，作為上述任意一項所述的光罩驗證系 統(tǒng)起作用。
本發(fā)明的光罩驗證系統(tǒng)可預先驗證光罩上設置的曝光要素的曝光 結果。 并且，通過模擬曝光裝置的動作可預先驗證曝光要素的曝光結果。
并且，本發(fā)明的程序由計算機執(zhí)行，從而可構筑上述光罩數(shù)據曝 光驗證系統(tǒng)。
圖1是表示本發(fā)明的實施方式中的平板顯示器用面板基板和光罩 的關系的圖。
圖2是表示本發(fā)明的實施方式中的面板基板上的面板布局數(shù)據和 光罩上的光罩布局數(shù)據的關系的圖。
圖3是表示在本發(fā)明的實施方式中生成光罩數(shù)據時的整體的顯示 內容的圖。
圖4是表示在本發(fā)明的實施方式中生成光罩數(shù)據時的整體處理的 流程圖。 圖5是表示本發(fā)明的實施方式中的面板布局數(shù)據的構造的圖。 圖6是表示本發(fā)明的實施方式中的光罩數(shù)據的構造的圖。 圖7是本發(fā)明的實施方式中的光罩數(shù)據的表格。 圖8是表示本發(fā)明的實施方式中的坐標信息輸出處理的圖。 圖9是表示本發(fā)明的實施方式中的坐標信息輸出處理的圖。 圖10是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光區(qū)域的分割處理方法的 說明圖。
圖11是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光區(qū)域的分割處理方法的 說明圖。
圖12是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光區(qū)域的分割處理方法的 說明圖。
圖13是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光要素的圖。 圖14是本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)的框圖。 圖15是表示本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)的處理的流 程圖。
圖16是表示本發(fā)明的實施方式中的各種數(shù)據的關系的圖。
圖17是本發(fā)明的實施方式中的數(shù)據的表格。
圖18是表示本發(fā)明的實施方式中的面板基板上的數(shù)據構造的圖。 圖19是表示本發(fā)明的實施方式中的面板基板上的數(shù)據構造所對 應的表格構造的圖。
圖20是表示本發(fā)明的實施方式中的圖形的各種處理的說明圖。 圖21是表示本發(fā)明的實施方式中的圖形的各種處理的說明圖。 圖22是表示本發(fā)明的實施方式中的單側曝光區(qū)域檢測的OR處理 的說明圖。
圖23是表示本發(fā)明的實施方式中的單側曝光區(qū)域檢測的OR處理 的說明圖。
圖24是表示本發(fā)明的實施方式中的單側曝光區(qū)域檢測的OR處理 的說明圖。
圖25是表示本發(fā)明的實施方式中的排他邏輯和處理或差分處理 的說明圖。
圖26是表示本發(fā)明的實施方式中的排他邏輯和處理或差分處理 的說明圖。
圖27是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光數(shù)據的重疊的說明圖。 圖28是表示本發(fā)明的實施方式中的曝光數(shù)據的重疊的說明圖。 圖29是表示本發(fā)明的實施方式中的配置在面板基板上的重復要 素的圖。
圖30是表示本發(fā)明的實施方式中的配置在面板基板上的重復要 素的圖。
圖31是表示本發(fā)明的實施方式中的配置在面板基板上的重復要 素的邏輯積的說明圖。
圖32是表示本發(fā)明的實施方式中的配置在面板基板上的重復要 素的邏輯值表。
圖33是表示本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光區(qū)域的例子的圖。 圖34是表示本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光區(qū)域的例子的圖。 圖35是表示本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光區(qū)域的例子的圖。
圖36是表示本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光區(qū)域的例子的圖。 圖37是本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光處理的說明圖。
圖38是本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光處理的說明圖。 圖39是本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光驗證處理的說明圖。 圖40是本發(fā)明的實施方式中的雙重曝光驗證處理的說明圖。 圖41是本發(fā)明的實施方式中的非曝光區(qū)域驗證處理的說明圖。 圖42是本發(fā)明的實施方式中的非曝光區(qū)域驗證處理的說明圖。 圖43是本發(fā)明的實施方式中的驗證結果的說明圖。 圖44是本發(fā)明的實施方式中的驗證結果的說明圖。 圖45是表示在本發(fā)明的實施方式中檢測出的錯誤圖形的數(shù)據構 造的圖。
具體實施例方式
以下說明本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)及光罩驗證用程序。
并且，本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)由一臺或多臺計算 機、及通過上述計算機的執(zhí)行而構建光罩驗證系統(tǒng)的光罩驗證用程序 構成，對此稍后詳述。上述計算機通過執(zhí)行光罩數(shù)據制作用程序，從 而作為用于制作光罩數(shù)據的光罩數(shù)據制作系統(tǒng)而起作用。并且，在各 圖中，對同一部分標以同一標號。
圖1是表示本實施方式中的平板顯示器(FPD)用面板基板和光 罩的關系的圖，圖(a)是平面圖，圖(b)是側面圖。
在圖1中，101是面板基板，102是保證了特性的曝光裝置(未圖 示)的曝光區(qū)域，103是曝光裝置的可曝光區(qū)域，104是光源系統(tǒng)機構， 105是遮光系統(tǒng)機構，106是光罩，107是曝光面。其中，面板基板IOI 的材質可使用玻璃、塑料膜等。
近些年的平板顯示器，像液晶顯示器、等離子體顯示器這樣變得 大型化，曝光裝置無法統(tǒng)一曝光面板基板101 (參照圖1 (a)的平面 圖)。因此，需要以某種形式來分割曝光區(qū)域，進行反復曝光。曝光
裝置和面板基板101的位置關系從光源一側來看，是光源系統(tǒng)機構104、 遮光系統(tǒng)機構105、光罩106、曝光面107、面板基板101，在圖1中 雖然未記載，但還在其中添加有透鏡系統(tǒng)機構(參照圖1 (b)的側面 圖)。
此外，遮光系統(tǒng)機構105是指機械性屏蔽來自光源的光的長方形 的機械機構。
圖2是表示本發(fā)明的實施方式中的面板基板上的面板布局數(shù)據和 光罩上的光罩布局數(shù)據的關系的圖。
在圖2中，液晶面板201是作為面板布局數(shù)據211在面板基板210 上存在一種大型面板布局數(shù)據Al的例子。在液晶面板201的情況下， 分割面板布局數(shù)據Al，將具有重復構造的數(shù)據群對應拍攝框213抽取， 并將其配置在光罩205上，作為光罩布局數(shù)據206。
通常這種情況下，進行伴隨著面板布局數(shù)據Al的切斷的曝光區(qū)域 的分割。在本實施方式中，將面板布局數(shù)據的各個被分割的要素(面 板布局要素)所對應的光罩布局數(shù)據的各要素稱為曝光要素或重復要 素。光罩布局數(shù)據由多個曝光要素構成。并且，212是保證了特性的曝 光區(qū)域。
液晶面板202是作為面板布局數(shù)據存在中型面板布局數(shù)據A2和 A3的情況。這種情況下，也對面板布局數(shù)據A2和A3進行伴隨著面板 布局數(shù)據的切斷的曝光區(qū)域分割，通常將具有重復構造的數(shù)據群與拍 攝框213對應制作。
液晶面板203是作為面板布局數(shù)據，多個小型面板布局數(shù)據A4
和A5排列在面板基板上的情況。這種情況下，使多個面板布局數(shù)據 A4和多個面板布局數(shù)據A5與各拍攝框213對應生成，需要將該生成 的光罩布局數(shù)據206配置在光罩205上以減少曝光次數(shù)的操作。因此， 通常這種情況下，需要曝光區(qū)域的分割，但不進行面板布局數(shù)據的切 斷。
液晶面板204是中型面板布局數(shù)據A2和小型面板布局數(shù)據A4、 A5三種面板布局數(shù)據存在于面板基板上的情況。這種情況下，中型面 板布局數(shù)據A2進行伴隨著面板布局數(shù)據切斷的曝光區(qū)域分割，與拍攝 框213對應生成，小型布局數(shù)據A4、 A5進行不伴隨面板布局數(shù)據切斷 的曝光區(qū)域分割，與拍攝框213對應生成，作為光罩布局數(shù)據206。
因此，制作光罩時，從面板基板210的面板布局數(shù)據211等中抽 取具有重復構造的數(shù)據群，將其作為多個拍攝框213配置在光罩205 上，制作光罩布局數(shù)據。此時，通用性較強，抽取出較大的拍攝框區(qū) 域。
在任意一種情況下，通過進行曝光裝置模擬來確認沒有錯誤數(shù)據 這一點是很重要的。這是因為，即使在不伴隨面板布局數(shù)據的切斷的 情況下，進行重復配置的曝光區(qū)域的分割也是必須的，指定該重復配 置時，易產生錯誤。此外，光罩數(shù)據中的拍攝框數(shù)據成為設定了百葉 框的圖形要素，將其稱為曝光要素或重復要素。
在說明本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)前，首先簡要說明 光罩數(shù)據的制作順序。
圖3及圖4是表示由面板布局數(shù)據制作光罩數(shù)據時的一般的處理 順序的圖，圖3是表示光罩驗證系統(tǒng)(制作光罩時，作為光罩制作系 統(tǒng)起作用)的顯示部1的顯示內容的圖，圖4是表示構成光罩制作系
統(tǒng)的CPU (未圖示)的處理步驟的流程圖。
圖3 (a)表示面板基板210上的面板布局數(shù)據211，圖(b)表示 對面板基板210上的拍攝框213的設定、及對光罩205上的拍攝框213 的配置，圖(c)表示通過進行面板基板210上的面板布局數(shù)據211的 切斷(例如沿著拍攝框213的切斷)而產生的抽取、進行校正圖案(未 圖示)生成及百葉框(未圖示)生成時的處理。
并且，圖(d)表示從光罩設計系統(tǒng)輸出的光罩的坐標信息。上述 坐標信息包括作為曝光要素數(shù)據的與各拍攝框對應的光罩布局數(shù)據 (在本實施方式中也稱為曝光要素或重復要素)的寬和高的信息、重 復配置重復要素的位置的信息(重復配置信息)。
使用圖3及圖4概要說明光罩數(shù)據的制作處理，制作光罩數(shù)據時， 首先CPU讀入面板布局數(shù)據211 (步驟S401)，在面板基板210上對 面板布局數(shù)據211設定多個拍攝框213，將拍攝框213配置在光罩205 上，制作光罩布局數(shù)據206 (步驟S402)。
接著，根據拍攝框213進行曝光區(qū)域的分割。此時，通常在指定 的拍攝框213的正下方存在布線數(shù)據，因此必須將其切斷。其中包括 在數(shù)據切斷部分產生比上述切斷部分寬的圖案(校正圖案)的情況(步 驟S403、 S404)及不產生的情況(步驟S405)。
不產生校正圖案時，使拍攝框213重疊并定義后，前進到處理步 驟S406 (步驟S405)。通過這一構成，在曝光時，通過使曝光數(shù)據本 身多重曝光，可防止微小偏差引起的數(shù)據的誤切斷。
生成校正圖案時，在校正圖案生成后，前進到處理步驟S406 (步 驟S403、 S404)。生成校正圖案時，校正圖案本身一般被多重曝光， 結果防止了微小偏差引起的誤切斷。
在處理步驟S402中，不伴隨數(shù)據切斷的曝光區(qū)域的分割中，直接
移動到包圍曝光區(qū)域的規(guī)定寬的框(百葉框)的生成處理(步驟S406)。
在處理步驟S406的百葉框生成處理中，以指定的寬生成百葉框。 校正圖案由比布線圖案寬的圖案構成，并且百葉框的內邊緣與上述校 正圖案的外邊緣對應構成。
由此能夠制作由曝光區(qū)域的數(shù)據和百葉框構成的曝光要素(重疊 要素)。并且，制作與上述曝光要素建立了對應的坐標信息。
最后，輸出光罩布局數(shù)據及與上述布局數(shù)據對應的坐標信息，結 束處理(步驟S407)。上述布局數(shù)據是光罩布局數(shù)據、及追加了拍攝 框213的數(shù)據的面板布局數(shù)據。
其中，光罩布局數(shù)據是定義曝光要素的圖形的信息，是作為圖形 數(shù)據由長方形圖形、 一筆成形圖形、中心線上定義了寬的圖形、及構 成這些圖形數(shù)據的中間模塊構成的數(shù)據文件。
坐標信息如上所述，是定義光罩布局數(shù)據中含有的曝光要素的曝 光位置的信息，是記載了曝光要素的名稱、高、寬、重復配置信息(重 復次數(shù)和配置坐標的信息)的文本文件。
并且，光罩數(shù)據是指由上述光罩布局數(shù)據及坐標信息構成的信息。
圖5是表示面板基板上形成的面板布局數(shù)據的構造的圖。將最上 位的模塊稱為頂級模塊511，存在一個。其他模塊均隸屬于該頂級模塊 511。它們是布局數(shù)據下位模塊512 515，也可使其分層。模塊具有的 布局數(shù)據例如在液晶面板中的情況下包括薄膜晶體管、液晶驅動部的 各晶體管的配置數(shù)據516、布線數(shù)據517、通孔配置數(shù)據518。
這些晶體管、布線、通孔具有名稱(配置數(shù)據為程序庫名，布線 數(shù)據為布線類型名，通孔數(shù)據為通孔名)，其內容收容在程序庫文件 (配置模塊程序庫、布線類型程序庫、通孔程序庫)519，通過與程序 庫名稱一致而得到確認。
并且，晶體管數(shù)據應用較多，因此也存在以程序庫形式獨立于面 板布局數(shù)據而被管理的情況。
圖6是表示光罩數(shù)據構造的圖?；旧鲜呛兔姘宀季謹?shù)據相同的
構造。頂級模塊521同樣存在一個。頂級模塊521下，多個重復要素 522、 523作為下位模塊存在，成為光罩數(shù)據的基本單位。
作為構成作為曝光要素的重復要素的數(shù)據，首先，作為曝光對象 數(shù)據包括百葉框數(shù)據524、校正圖案數(shù)據525、切斷的數(shù)據及未成為切 斷對象的數(shù)據526、拍攝框數(shù)據527。此外，包括重復要素的寬和高數(shù) 據528、重復要素配置數(shù)據529、切斷后的拍攝框內布局的下位模塊數(shù) 據530、配置數(shù)據535、通孔數(shù)據536。
模塊具有的布局數(shù)據和面板布局數(shù)據一樣，例如在液晶面板的情 況下，包括薄膜晶體管或液晶驅動部的各晶體管的配置數(shù)據531、布線 數(shù)據532、通孔數(shù)據533。這些晶體管等的配置數(shù)據531、布線數(shù)據532、 通孔數(shù)據533具有名稱，其內容收容在程序庫文件(配置模塊程序庫、 布線類型程序庫、通孔程序庫、對準標記程序庫)534中，通過與程序 庫名稱一致而被確認。
在面板的情況下，同樣是與所有程序庫文件名稱一致地確定的數(shù) 據構造。并且，曝光時不使用，但也保持拍攝框數(shù)據。
并且，晶體管數(shù)據應用較多，因此也存在以程序庫形式獨立于光
罩數(shù)據而被管理的情況。
圖7是對光罩布局數(shù)據的物理層、各數(shù)據級及層代碼的例子在金 屬一層和二層的情況下表示的表格。
例如，金屬一層(鋁第1層)時，拍攝框數(shù)據為層代碼101，百
葉框數(shù)據為層代碼102，圖案數(shù)據為層代碼104，校正圖案為層代碼105， 對金屬二層(鋁第2層)也同樣來規(guī)定，使各層代碼獨立，可獨立地 處理。這些層代碼在各重復要素中通用。即，只要物理層和數(shù)據級相 同，在各重復要素之間，層代碼通用。
圖6及圖7所示的光罩的數(shù)據最終被文件輸出，其內容由長方形 圖形、 一筆成形圖形、中心線上定義了寬的圖形、及將集中了這些圖 形數(shù)據的模塊作為中間層模塊或程序庫模塊持有的模塊構成。作為中 間層模塊或程序庫模塊使用的是晶體管模塊。
晶體管模塊的數(shù)量多，展開并持有時，數(shù)據量龐大，因此通常在 作為程序庫模塊定義了中間層的形式下輸出。
其中，圖形數(shù)據與在本實施方式相關的領域中作為事實標準使用 的GDS格式相比，長方形圖形為矩形(RectA.ngle)， 一筆成形圖形為 邊界(Boundary)，中心線上定義了寬的圖形為路徑(path)，集中了
這些圖形數(shù)據的模塊稱為單元。
圖8是表示光罩制作系統(tǒng)執(zhí)行坐標信息輸出程序而進行的坐標信 息輸出處理的圖，表示對于面板基板及光罩的重復要素的數(shù)值表現(xiàn)和 配置規(guī)定(包括對準標記)。
在圖8中，801是面板基板，802是面板布局數(shù)據，803是面板基 板的XY中心坐標(在本例中與四個拍攝框A的中心坐標一致)(0,0)，
804是對準標記(其坐標是以面板基板801的中心坐標(O，O)為基準 的坐標(X0， Y0))。
805、 808、 811是光罩，807是保證了特性的曝光區(qū)域。并且，806、 809、 810、 812、 813分別是和拍攝框A、 Bl、 Cl、 B2、 C2對應的重 復要素。
在圖8的例子中， 一個重復要素806形成在光罩805上，二個重 復要素809、 810形成在光罩808上，二個重復要素812、 813形成在 光罩811上。
包含了百葉框的曝光數(shù)據作為重復要素806、 809、 810、 812、 813 制作在各光罩805、 808、 811上。目卩，重復要素是通過由百葉框、切 斷的數(shù)據、校正圖案及未成為切斷對象的數(shù)據構成的曝光數(shù)據而構成 的。這是拍攝信息的基礎。
在本實施方式中，即使沒有重復也稱為重復要素。沒有重復時的 重復數(shù)為0。在圖8的例子中，和拍攝框A對應的重復要素806的個 數(shù)為2X2(二4)(重復次數(shù)2X2—1)(由此形成作為重復要素A的 集合的重復集合814)，與拍攝框Bl、 Cl、 B2、 C2對應的重復要素 809、 810、 812、 813的重復次數(shù)是0。
各重復要素具有名稱。各重復要素相對于各重復要素自身的坐標 中心具有寬(W)和高(H)。各重復要素以由其重復要素構成的重復 集合的中心坐標為基準而配置。在圖示例子中，面板基板801的中心 坐標(0,0)相當于此，配置在以中心坐標(0,0)為基準的位置上。
另一方面，作為光罩的布局數(shù)據，各重復要素配置在其中心位置 以光罩的中心坐標位置為基準坐標上。
關于對準標記，對于面板基板801，配置在以面板基板801的中
心坐標(o，o)為基準的位置，對于光罩，配置在以光罩的中心坐標為
基準的位置。對準標記在程序庫文件中存儲并定義。
圖9和上述同樣，是表示光罩制作系統(tǒng)執(zhí)行坐標信息輸出程序從 而進行的坐標信息輸出處理的圖，表示坐標信息輸出的例子。如圖9 所示，表示由面板基板801上的面板布局數(shù)據802生成配置有重復要 素的三個光罩805、 808、 811時的輸出結果。
其中表示以下例子作為曝光拍攝信息，作為面板基板上的拍攝 信息排列指定了重復要素的名稱和重復次數(shù)及高與寬的配置位置、及 作為光罩上的拍攝信息排列指定了同一重復要素名稱和寬及高的配置 位置，作為坐標信息提供給用戶。
圖10 圖12是表示曝光區(qū)域的分割處理方法的圖，表示二個分 割方式，圖11是分割圖10的面板布局數(shù)據1003并切斷時生成校正圖 案1004的例子，圖12是分割圖10的面板布局數(shù)據1003并切斷時未 生成校正圖案的例子。
艮口，生成校正圖案1004時，在圖10及圖11中，在拍攝框1002 正下方切斷數(shù)據(例如布線數(shù)據)1003，在切斷部位連續(xù)生成以規(guī)定 長度A伸長的校正圖案1004、 1004。此時，校正圖案1004也可以構成 為從比上述切斷部位靠近規(guī)定長度內側的位置開始，比上述切斷部位 寬規(guī)定長度。這樣一來，在進行雙重曝光的部位1007上形成校正圖案 1004。
形成規(guī)定寬的百葉框1005，使得校正圖案1004的外側位置和百 葉框1005的內側位置具有規(guī)定量的偏差，并以規(guī)定量重疊，這樣一來， 制作具有校正圖案的曝光要素數(shù)據。百葉框1005的內邊緣1006是比 拍攝框1002以規(guī)定A伸長的部位。百葉框1005的內邊緣成為曝光區(qū)
域的外邊緣。
因此，生成校正圖案1004并切斷時，數(shù)據1003的切斷在拍攝框
1002正下方進行，校正圖案1004成為相鄰的曝光要素兩者曝光的雙重
曝光區(qū)域，通過相鄰的曝光要素形成的面板布局數(shù)據通過校正圖案
1004確保了連接。
另一方面，不生成校正圖案而切斷時，使布局數(shù)據重疊。重疊時， 如圖12所示，通過比拍攝框1002以規(guī)定長度A伸長的部分進行切斷。 對于相鄰的拍攝框1001，同樣也通過以規(guī)定長度A伸長的部分進行切 斷來形成光罩。這樣一來，進行雙重曝光的部位1007上形成重疊部 1008。
形成規(guī)定寬的百葉框1005，使得重疊部1008的外側位置和百葉 框1005的內側位置具有規(guī)定量的偏差，并以規(guī)定量重疊。這樣一來， 制作具有重疊部1008的曝光要素數(shù)據。百葉框1005的內邊緣1006成 為比拍攝框1002伸長A的部位。百葉框1005的內邊緣成為曝光區(qū)域 的外邊緣。
圖13是表示在具有斜線部1301的拍攝框1002中切斷的曝光要素 的圖，是形成了校正圖案1004的曝光要素的例子。
在圖13中，可以設定具有斜線部1301的拍攝框1002時，有時容 易抽取重復構造，是有效的。
校正圖案1004、 1004沿著切斷的布線數(shù)據1003的長度方向，在 內側方向和外側方向上設定為規(guī)定的校正值。并且，對夾持布線數(shù)據 1003的寬度方向的兩側，分別設定規(guī)定的校正值。百葉框1005的寬可 在水平方向Wh和垂直方向Wv中指定。
和水平切斷的端部對應的校正圖案1004是矩形，和斜線部1301 對應的校正圖案1004是平行四邊形。
如圖13所示，在具有內邊緣1006含有斜線部1301的百葉框1005 時，數(shù)據切斷部位需要校正圖案1004、 1004的雙重曝光。
以上，圖1 圖13說明了如何制作光罩布局數(shù)據和坐標信息。本 實施方式進行由這樣制作的光罩布局數(shù)據和坐標信息所合成的面板布 局數(shù)據的驗證，作為結果，進行光罩數(shù)據曝光驗證。
圖14是表示本實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)構造的框圖，是由計 算機及上述計算機執(zhí)行的程序構成的例子。本實施方式涉及的光罩驗 證系統(tǒng)具有中央處理裝置(CPU)、在上述CPU上運行的多個程序 群、存儲程序群及數(shù)據的存儲裝置、由鍵盤及鼠標構成的輸入裝置、 以及顯示裝置。
如果說明本實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)的概要，則本實施方式 涉及的光罩驗證系統(tǒng)作為曝光裝置模擬器起作用，因此使光罩窗口上 顯示的光罩布局數(shù)據根據坐標信息顯示到面板基板窗口上。對其進行
圖形計算處理并進行驗證，且如果加入顯示錯誤圖形的功能，則構成 光罩驗證系統(tǒng)。其中，顯示錯誤圖形的窗口例如是面板基板窗口。
作為程序構造分為以下三個階段作為初始設定，光罩布局數(shù)據 和坐標信息的讀入及內部表格的制作；圖形和圖形的網格格子之間的 計算處理及伴隨它們的驗證處理；驗證結果圖形的顯示。這些程序功 能均可通過操作顯示在菜單窗口上的命令來進行。
作為圖形的顯示窗口，至少需要作為驗證結果圖形的顯示的面板 基板窗口，輸入部分和計算部分不一定需要圖形顯示功能，但從操作 確認的角度而言，具有圖形顯示功能較為方便。
在圖14中，光罩驗證系統(tǒng)具有由液晶顯示面板等構成的顯示部 1;由鍵盤2或鼠標3構成的操作部16;中央處理裝置(CPU) 7;由 磁盤裝置、半導體存儲器等構成的存儲部8。
顯示部1上至少可顯示下述三個窗口 操作面板基板12上的面板
布局數(shù)據的面板基板窗口 9、操作光罩13上的光罩布局數(shù)據的光罩窗 口 10、指示操作部16的操作的菜單窗口 11。面板基板窗口 9上設定 的拍攝框在光罩窗口 IO上作為拍攝框設定的操作在窗口之間進行。
光罩數(shù)據的驗證結果顯示到顯示部1，也可顯示到面板基板窗口 9、光罩窗口 10、菜單窗口 11的任意一個上。并且，顯示光罩數(shù)據的 驗證結果時，也可去掉上述各窗口 9 11，在上述各窗口 9 11存在的 區(qū)域中僅顯示驗證結果。
光罩的制作作業(yè)、驗證作業(yè)通過操作部16選擇菜單窗口 11上顯 示的命令，使操作部16具有該命令的功能，操作操作部16進行在面 板基板窗口 9上拍攝框的設定、面板基板9和光罩窗口 IO之間的移動、 和光罩窗口 IO上對應的拍攝框的設定等各種作業(yè)。
存儲部8具有程序存儲部4，存儲CPU7執(zhí)行的光罩數(shù)據生成用 程序、光罩驗證用程序；數(shù)據文件存儲部5，存儲輸入輸出數(shù)據、處理 中的中間數(shù)據等數(shù)據文件；以及文件存儲部6，存儲規(guī)則文件、程序庫 文件這樣的參照文件。
作為上述程序的構成，作為光罩制作用的程序，由以下程序構成 拍攝框設定程序、重復構造驗證程序、百葉框間最小間隔驗證程序、 數(shù)據切斷程序、校正圖案生成程序、百葉框生成程序、坐標信息清單 輸出程序、各種數(shù)據的輸入輸出程序。
這些拍攝框設定、重復構造驗證、百葉框間最小間隔驗證、數(shù)據 切斷、校正圖案生成、百葉框生成、坐標信息清單輸出的功能均通過 操作部16選擇菜單窗口上顯示的命令來進行。
并且，作為光罩數(shù)據驗證用的程序包括輸入處理部用程序、圖形 計算處理的驗證處理部用程序、驗證結果顯示部用程序。
作為文件構成，作為光罩制作用的文件構成，由以下構成除了 作為輸入文件的面板布局數(shù)據文件和作為輸出文件的光罩布局數(shù)據文 件及坐標信息清單文件外，作為參照文件的程序庫文件和規(guī)則文件。 并且，作為數(shù)據文件的面板布局數(shù)據文件、光罩布局數(shù)據文件及坐標 信息清單文件存儲到數(shù)據文件存儲部5。作為參照文件的程序庫文件及 規(guī)則文件存儲到參照文件存儲部6。
并且，作為光罩驗證用的文件構成，由以下構成除了作為輸入 文件的光罩布局數(shù)據和坐標信息文件、作為輸出文件的光罩數(shù)據文件 和坐標信息清單文件外，作為參照文件的程序庫文件和規(guī)則文件。
這樣一來，構成執(zhí)行光罩布局的光罩設計系統(tǒng)或進行光罩數(shù)據的 驗證的光罩數(shù)據驗證系統(tǒng)。
其中，顯示部1、操作部16、存儲部8分別構成顯示單元、操作 單元、存儲單元。
上述顯示單元、操作單元、存儲單元作為光罩制作系統(tǒng)起作用時， 可起到如下作用。
例如，顯示單元至少可顯示顯示面板基板的面板布局數(shù)據的面 板基板窗口、顯示光罩布局數(shù)據的光罩窗口、及顯示上述操作單元的 命令的菜單窗口。
操作單元選擇菜單窗口上顯示的命令并輸入。這樣一來，可對于 面板基板的面板布局數(shù)據上設定的拍攝框，進行指定重復排列等操作。
存儲單元可作為主存儲裝置及外部存儲裝置起作用。存儲單元中 可存儲可切斷面板布局數(shù)據的條件、含有校正圖案的寬及百葉框間 的最小距離的生成條件。并且，存儲單元中可存儲通過操作單元設定 的生成條件。
并且，CPU17在光罩制作系統(tǒng)中，構成光罩數(shù)據生成單元、重復 驗證單元、百葉框間隔驗證單元。光罩數(shù)據生成單元通過上述操作單 元切取與上述面板基板窗口上設定的拍攝框對應的面板布局數(shù)據，作 為部分面板布局數(shù)據抽取，上述部分面板布局數(shù)據中含有切斷數(shù)據時， 在該切斷數(shù)據的端部形成校正圖案，并且通過形成內邊緣和上述校正 圖案的外邊緣對應的百葉框，可將與上述部分面板布局數(shù)據對應的曝 光要素數(shù)據生成在上述光罩窗口上。并且，光罩數(shù)據生成單元可生成 上述曝光要素數(shù)據，以滿足上述生成條件。
上述光罩數(shù)據生成單元具有以下單元切取通過上述操作單元在 上述面板基板窗口上設定的拍攝框所對應的面板布局數(shù)據，作為部分 面板布局數(shù)據抽取的抽取單元；上述部分面板布局數(shù)據中含有切斷數(shù) 據時，在該切斷數(shù)據的端部形成校正圖案的校正圖案生成單元；及形 成內邊緣和上述校正圖案的外邊緣對應的百葉框的百葉框生成單元。 可將與上述部分面板布局數(shù)據對應的曝光要素數(shù)據生成在上述光罩窗 口上。
并且，重復驗證單元可比較對照拍攝框和指定了重復排列的區(qū)域 所對應的面板布局數(shù)據是否一致。
并且，百葉框間隔驗證單元在存在多個上述百葉框時，可驗證百
葉框之間是否隔開規(guī)定的最小間隔以上。
另一方面，上述顯示單元、操作單元、存儲單元作為光罩驗證系 統(tǒng)其作用時，可起到如下作用。
例如，顯示單元可顯示驗證單元驗證的結果。并且，顯示單元可 至少具有顯示驗證結果的窗口。并且，顯示單元可將驗證單元的驗證 結果所獲得的圖形顯示到上述窗口上。
并且，顯示單元在顯示驗證結果的窗口上顯示錯誤圖形信息時， 可將指定單元指定的錯誤層的驗證結果圖形信息以層單位顯示在窗口 上。并且，顯示單元具有與顯示驗證結果的窗口不同的對話框，在上 述對話框上顯示錯誤個數(shù)，并響應指定單元對錯誤層的指定，將該層 的驗證結果圖形信息顯示到上述窗口上。
操作單元可作為指定單元起作用。指定單元可指定錯誤的驗證結 果含有的錯誤層。并且，指定單元可以在與窗口不同的對話框上指定 錯誤層。
存儲單元可存儲平板顯示器曝光用光罩中含有的曝光要素的圖 形數(shù)據；由網格格子點的坐標表現(xiàn)、表示顯示面板上的上述曝光要素 的曝光位置的坐標信息。
并且，CPU7可作為布局圖形要素生成單元、驗證單元、展開單元 起作用。
布局圖形要素生成單元可根據存儲單元中存儲的曝光要素的圖形 數(shù)據及坐標信息，生成與曝光要素對應的顯示面板上的布局圖形要素。
驗證單元可根據布局圖形要素生成單元生成的顯示面板上的多個
布局圖形要素的位置關系，驗證曝光要素。并且，曝光要素的圖形數(shù) 據至少由線信息中定義了寬的線數(shù)據、長方形數(shù)據、描述各頂點的多 角形數(shù)據這三種構成，驗證單元可通過進行上述多個布局圖形要素所 對應的網格格子之間的計算處理，驗證上述多個曝光要素。
驗證單元可具有差異抽取單元，其在進行二個布局圖形要素的邏 輯OR處理后，進行上述任意一個布局圖形要素與上述邏輯OR的結果 可獲得的圖形要素的邏輯XOR處理或差分處理，從而抽取上述二個布 局圖形要素的差異。
驗證單元可具有重疊量檢測單元，通過進行二個布局圖形要素的
邏輯AND處理，檢測出上述二個布局圖形要素的重疊量。
驗證單元可具有偏差驗證單元，驗證重疊量檢測單元檢測出的重 疊量是否滿足指示的偏差值。
驗證單元可具有要素判斷單元，在重疊量檢測單元檢測出沒有二 個布局圖形要素的重疊量后，進行邏輯OR處理，當確認了二個布局圖 形要素形成關閉的一個圖形的結果時，判斷上述二個布局圖形要素是 連續(xù)的圖形要素。
并且，光罩的數(shù)據可將定義晶體管圖形的中間層或定義了晶體管 圖形的外部程序庫作為中間層具有，這種情況下，展開單元可具有將 定義上述晶體管圖形的中間層或外部程序庫通過指針構造根據需要展 開的表格構造。
并且，各曝光要素中含有圖形要素及包圍上述圖形要素的預定寬 的百葉框，驗證單元可具有終點驗證單元，其對和上述百葉框內邊緣 對應的上述顯示面板上的網格格子，驗證在規(guī)定偏移值的范圍內是否 存在上述圖形要素的布局圖形要素的終點。
并且，存儲單元中存儲的程序可使具有顯示單元、操作單元、存 儲單元及CPU的計算機作為具有上述功能的光罩驗證系統(tǒng)起作用。
圖15是表示本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)的處理的流 程圖。
在圖15中，輸入的光罩布局數(shù)據是所謂GDS格式下的表現(xiàn)形式 的數(shù)據，是由作為坐標值已知的點的多個網格格子點表現(xiàn)的形式的數(shù) 據，是允許中間層構造的形式的數(shù)據。上述光罩數(shù)據文件中含有平板 顯示器曝光用光罩中含有的曝光要素的圖形數(shù)據。
通常情況下，作為中間層采用晶體管層。根據情況不同，也存在 晶體管層作為外部程序庫與光罩布局數(shù)據文件獨立安裝的情況。但是， 即使獨立安裝，實際上是和中間層同等的。
描述光罩布局數(shù)據文件中記載的重復要素的重復配置位置等的坐 標信息通常是文本文件。上述坐標信息中含有由網格格子點坐標表示、 表示顯示面板上的曝光要素的曝光位置的信息。
處理由以下三個階段構成輸入處理階段(步驟S151)，執(zhí)行程 序存儲部4中存儲的輸入處理程序；驗證處理階段(步驟S152、 S153)， 執(zhí)行圖形計算處理的驗證處理程序，進行圖形和圖形的網格格子點之 間的計算處理；以及顯示階段(步驟S154)，執(zhí)行驗證結果顯示程序， 顯示驗證結果。
在輸入處理階段(步驟S151)中，CPU7進行從數(shù)據文件存儲部5 讀入光罩布局數(shù)據文件及坐標信息文件的輸入處理，由基于上述坐標 信息的重復要素的配置信息，制作面板基板上的曝光要素數(shù)據構造。
其中，在具有與一個重復要素空間上連接的其他重復要素可以輕 易地拾取的表格構造(下述圖17的表格構造1)的方式下進行制作。 并且，光罩數(shù)據具有中間層時，由于數(shù)據量的減少，在具有維持中間 層的同時易于拾取到最下層的表格構造(下述表格構造2)的方式下進 行制作。
之后，CPU7進入到圖形的計算處理的驗證處理(步驟S152、 S153)。計算包括邏輯計算和差分計算。稍后詳述，應驗證的對象從
大的方面分為雙重曝光區(qū)域的驗證、連接曝光l的驗證、連接曝光2
的驗證、非曝光區(qū)域的驗證。
進行這些驗證所需的邏輯計算是AND、 OR及XOR。也可用差分 計算替代XOR。該邏輯處理或差分處理全部是網格格子點之間的計算 處理。這些計算處理結果作為圖形數(shù)據存儲。CPU7對所有層進行處理 步驟S153的處理(步驟S153)。
最后，CPU7進行將計算處理的結果的圖形顯示在顯示部1的顯示 處理(步驟S154)。應驗證的對象是雙重曝光區(qū)域的驗證、連接曝光 l的驗證、連接曝光2的驗證、非曝光區(qū)域的驗證，因此根據由操作部 16設定的判斷基準(參數(shù))，以圖形數(shù)據形式表示與其中之一對應的 驗證。該圖形數(shù)據是表示錯誤的數(shù)據。
其中重要的是，邏輯處理或差分處理的計算處理以層單位進行， 制作的曝光錯誤數(shù)據也以層單位存儲到數(shù)據文件存儲部5中。這是因 為，曝光以層單位進行，因此必須以層單位進行驗證。還因為，由于 顯示部1顯示時也變?yōu)閷訂挝?，因此以層單位存儲錯誤數(shù)據時，存取 時間較快。
并且，CPU7將處理結果顯示到顯示部1時，也可以構成為，當設 定了是否是錯誤數(shù)據的判斷基準時，僅顯示錯誤數(shù)據，當未設定是否
是錯誤數(shù)據的判斷基準時，僅顯示處理結果。并且，CPU7將處理結果 顯示到顯示部l時，不一定顯示圖形，也可通過文字等顯示錯誤內容， 或者在不進行是否是錯誤的判斷時僅顯示處理結果。
圖16是說明光罩13上的光罩布局數(shù)據162、光罩布局數(shù)據162 中的重復要素163、坐標信息、面板基板12上的面板布局數(shù)據161的 關系的說明圖。
并且，圖17是表示在圖16所示的重復要素163中可能是多重曝 光、連接曝光l、連接曝光2的重復要素163的表格構造1，存儲在存 儲部8的數(shù)據文件存儲部5。
上述表格含有地址、實例名、重復要素名、雙重曝光或連接曝光 1或連接曝光2的指針個數(shù)及指針信息。
其中，地址是表示配置的重復要素數(shù)據的順序的地址，實例名是 配置的重復要素的固有名，重復要素名是光罩數(shù)據中記載的重復要素 的程序庫名。并且，實例是由單一或多個圖形要素(例如單元、設備 等)構成的一個集中的單位的圖形要素。
配置在光罩13上的光罩布局數(shù)據162中含有的各重復要素163根 據坐標信息在面板基板12上的規(guī)定位置曝光，在面板基板上形成對應 的面板布局要素。如重復要素A1—l所示，在重復曝光的重復要素163 的情況下，在由坐標信息確定的位置上進行規(guī)定次數(shù)的曝光。這樣一 來，面板基板12上形成由多個面板布局要素構成的面板布局數(shù)據。
面板基板12上配置的重復要素163之間的邏輯處理或差分處理是 主要處理，因此優(yōu)選是如下構造從某個給予的重復要素163易于拾 取相鄰的重復要素163。
其中，利用光罩布局數(shù)據162中的重復要素163具有的寬W和高
H的數(shù)據。寬W和高H表示超過它數(shù)據就不存在的最小區(qū)域，在表格 構造1中，各重復要素163的寬W和高H保持向相鄰的重復要素163 的指針。上述指針是地址指針，賦予相關的重復要素163的地址作為 指針使用。
其中，相鄰包括以下三種方式寬W方向區(qū)域及高H方向區(qū)域的 至少一個重疊；連接；隔1網格格子間隔相鄰存在。由于外部輪廓形 狀的寬W和高H相鄰，它們相鄰時實際的曝光數(shù)據是否相鄰是另一個 問題，但只要寬W和高H不相鄰，實際的曝光數(shù)據就不相鄰。簡單來 說，制作出易于對可疑處進行檢索的表格構造，采用每次不以全部對 象物為驗證對象的結構。從而縮短處理時間。
圖18是表示由光罩布局數(shù)據和坐標信息制作的面板基板上的數(shù) 據構造的圖，圖19是表示與圖18的數(shù)據構造對應的表格構造2的圖， 表示維持了階層化構造的表格構造。
在圖18中，唯一位于階層構造最上位的頂級模塊的下層中，設有 配置的重復要素182、 188。配置的重復要素182、 188例如是晶體管層。
在配置的重復要素182的下層并列設置由圖形數(shù)據183、晶體 管(TR1) 184及圖形數(shù)據185構成的串聯(lián)層構造，及由晶體管(TR2) 186及圖形數(shù)據187構成的串聯(lián)層構造。
在配置的重復要素188的下層并列設置由圖形數(shù)據189、晶體 管(TR1) 190及圖形數(shù)據191構成的串聯(lián)層構造，及由晶體管(TR2) 192及圖形數(shù)據193構成的串聯(lián)層構造。
并且，在圖19中，上述表格具有地址、實例名、重復要素名或程 序庫名、到圖形數(shù)據的指針、中間層模塊實例名、中間層模塊程序庫
名、及到中間層模塊程序庫的指針。
重復要素存在具有中間層的情況，大多情況下是晶體管層。該晶 體管層展開時，數(shù)據量龐大，因此在本實施方式中，不預先展開中間 層，而在中間層的狀態(tài)下，以指針構造將數(shù)據作為程序庫保持，進行 根據需要而展開的動態(tài)處理。
采用即使在二個不同的中間層中出現(xiàn)相同的更下位的中間層時， 也不使其通用的方法。這是因為，即使重視的重復要素中出現(xiàn)的晶體 管出現(xiàn)在其他重復要素，也可僅在重視的要素中完全展開。在圖19中 是以下示例晶體管TR1和TR2出現(xiàn)在不同的重復要素中，但獨立地 注冊表格。
圖20、圖21是說明圖形的邏輯處理或差分處理和驗證處理的圖， 表示用于單側曝光區(qū)域檢測的圖形邏輯處理或圖形差分處理。其中，
單側曝光是指，比較相鄰的重復要素時，在相鄰的部分中，具有僅單 側的重復要素曝光的要素的情況。
例如在圖20中，光罩的重復要素A和光罩的重復要素B配置在 面板基板上的指定的坐標上時，與重復要素A和重復要素B對應的面 板布局要素重疊，作為區(qū)域A'、 B'配置在面板基板上。
區(qū)域A'是與重復要素A對應的面板基板上的區(qū)域時，在該區(qū)域中， 與重復要素B對應的面板基板上的區(qū)域B'的一部分投影。S卩，區(qū)域A' 是在面板基板上的區(qū)域中，相當于重復要素A的區(qū)域和重疊部2001的 邏輯和區(qū)域，與重復要素B對應的面板布局要素B'的一部分的投影到 其中。
同樣地，區(qū)域B，是在面板基板上的區(qū)域中，相當于重復要素B的 區(qū)域和重疊部2001的邏輯和區(qū)域，與重復要素A對應的面板布局要素
A'的一部分投影到其中。
因此，如圖21所示，對與重復要素A對應的面板基板上的面板布
局要素A和區(qū)域A'的面板布局要素取XOR時，抽取出了存在于一側 而不存在于另一側的區(qū)域(單側曝光區(qū)域)2101的數(shù)據。
這通常是重疊指定錯誤。該錯誤是光罩數(shù)據制作時的拍攝框指定 錯誤、或制作光罩數(shù)據時的百葉框指定錯誤、或配置坐標的指定錯誤 等。通常，重疊部位的曝光數(shù)據必須被兩者完全重疊。
此外，在取XOR差分的表現(xiàn)也是同樣的。該情況下，取差分(A 一A')，結果為正時，使存在于重復要素A而不存在于重復要素B的 數(shù)據重疊，結果為負時，相反使不存在于重復要素A而存在于重復要 素B的數(shù)據重疊。
在本例中為后者。如要根據XOR結果獲得同一信息，則取XOR 結果和重復要素A、 XOR結果和重復要素B的各AND,前者的結果為 邏輯1時，使存在于重復要素A而不存在于重復要素B的數(shù)據重疊， 后者結果為邏輯1時，使不存在于重復要素A而存在于重復要素B的 數(shù)據重疊。
差分結果具有標記，和單一的邏輯處理相比信息量大，在XOR結 果中如果要獲得與差分處理完全同等的信息，則需要追加的AND處理。 總之，如是邏輯處理，則用OR和XOR及AND,如是差分處理則是 OR和差分處理，從而作為信息獲得完全等價的驗證結果。
圖22 圖24是使用網格格子說明單側曝光區(qū)域檢測的OR處理的圖。
邏輯處理及差分處理全部通過網格格子之間來進行。其中，OR的
定義表示，結果為邏輯1時，該網格格子曝光，邏輯0時，該網格不 曝光。
在圖22中，進行與重復要素A對應的面板基板上的面板布局要素 A和與重復要素B對應的面板基板上的面板布局要素B的邏輯OR處 理，結果是，重復要素A、 B的面板布局要素A、 B通過重疊部2001 獲得重疊狀態(tài)的結果。在圖22中，重疊部2001的中心線2201顯示在 網格上。
圖23將圖22對應的顯示用網格格子點來表示，為了易于理解附 圖，記載了對應的重疊部的中心線2201。 S卩，表示取重復要素A的曝 光數(shù)據L、重復要素B的曝光要素R、及它們的邏輯OR的處理結果。
圖24是表示對圖23所示的各網格格子點的邏輯和(OR)的定義 的邏輯值表。O的邏輯值是0，是未曝光的網格格子點。參的邏輯值是 1，是曝光的網格格子點。參包圍的區(qū)域成為曝光的區(qū)域。
圖23所示的邏輯OR處理結果的圖顯示在顯示部1中。顯示部位 可以是面板基板窗口 9、光罩窗口 IO中任意一個。并且，也可去掉面 板基板窗口 9、光罩窗口 IO及菜單窗口 11，在顯示部1的全部區(qū)域中 顯示圖23的處理結果。并且，也可由文字顯示，這種情況下，可顯示 在面板基板窗口 9、光罩窗口 IO及菜單窗口 11的任意一個中，或者去 掉這些窗口，在顯示部1的整個區(qū)域中用文字顯示處理結果。
圖25、圖26是使用網格格子點進行圖21的排他邏輯和(XOR) 處理或差分處理時的說明圖。
圖25中，光罩上的重復要素A的曝光數(shù)據(面板布局要素)為L， 面板基板上的區(qū)域A'的曝光數(shù)據(面板布局要素)為R，表示這些邏 輯XOR或差分的處理結果。
圖26是表示對圖25所示的曝光數(shù)據L、 R的各網格點的排他邏 輯和(XOR)、使用了曝光數(shù)據L、 R的各網格格子點的(L一R)差 分處理的定義的邏輯值表。
O的邏輯值是O，表示曝光數(shù)據L、 R兩者中存在曝光數(shù)據、或曝 光數(shù)據L、 R兩者中不存在曝光數(shù)據的網格。并且，參的邏輯值是l， 表示曝光數(shù)據L、 R的任意一個單側中存在曝光數(shù)據的網格。并且，正 參表示曝光數(shù)據L中存在曝光數(shù)據的情況，負攀表示曝光數(shù)據R中存在曝光數(shù)據的情況。
這樣一來，檢測出僅在單側區(qū)域中存在的曝光的格子點。差分處 理時，通過正負標記附加曝光的格子點存在于哪一側的信息。因此， 在XOR時，僅可判斷出結果有差異，而在差分時，通過正負標記，可 附加哪個區(qū)域中單側存在曝光數(shù)據的信息，較便利。
進行XOR或差分處理的結果是，在邏輯1的情況下，其網格表示 曝光數(shù)據僅存在于單側的圖形數(shù)據，邏輯0的情況下，表示曝光數(shù)據 存在或不存在于兩側的網格。
圖27、圖28是表示最一般的面板布局要素的重疊的說明圖。
圖27是將光罩的想要曝光數(shù)據2707用未曝光的網格格子點2704 和曝光的網格格子點2705表示的圖。
并且，圖28是表示將分割的光罩的重復要素根據坐標信息進行曝 光，從而根據獲得的曝光數(shù)據A、 B重現(xiàn)數(shù)據2707的形態(tài)的圖。
對于分割區(qū)域和位于其正下方的要切斷的曝光數(shù)據2707，指定重 疊區(qū)域2703的重疊量，制作光罩布局數(shù)據，因此需要驗證其是否正確
的進行了復原。
重疊量作為偏差值由操作部16指定時，存儲到存儲部8， CPU7
當其在該范圍內時判斷其不是錯誤。在圖27、圖28中為了便于理解， 記載了重疊部2703的中心線2706。在該例中，中心線2706是基于網 格的，但根據重疊方法不同，也存在不基于網格的情況。
圖29是表示配置在面板基板上的重復要素(面板布局要素)A(L) 的圖，圖30是表示配置在面板基板上的重復要素B (R)的圖，圖31 是表示配置在面板基板上的重復要素A、 B的邏輯積(AND)的說明 圖。并且，圖32是配置在面板基板上的重復要素A、 B的AND的邏 輯值表，表示對于各網格格子點的AND的定義。
在圖29 圖32中，配置的重復要素A、 B通過以O表示的未曝光 的網格格子點2901和以參表示的曝光的網格格子點2902來表示非曝 光區(qū)域和曝光區(qū)域。
并且，在圖31中，配置的重復要素A、 B通過重疊部2703重疊。 這是生成重疊產生的雙重曝光的最一般的例子。檢測出的重疊部2703 不是指定的寬正負內的規(guī)定的偏差值時，則不是錯誤。
圖33 圖36是表示通過AND處理抽取的雙重曝光區(qū)域的示例 圖。并且，通過以O表示的未曝光的網格格子點、及以參表示的曝光 的網格格子點，表示非曝光區(qū)域和曝光區(qū)域。
圖33與圖29 圖32所示的例相同，是配置在面板基板上的二個 重復要素A、 B以重疊部2703的重疊量配置的例子。通過配置的重復 要素A、 B的AND處理，重疊量(偏差值)為3網格格子，通常判斷 為正常。
圖34是配置在面板基板上的二個重復要素A、 B作為重疊部2703 僅共享一個網格格子，未進入指定的寬正負的規(guī)定的偏差值的范圍， 通常判斷為錯誤的例子。在本實施方式中，如圖34所示，重疊區(qū)域為 1網格格子時稱為連接曝光1。
圖35的例子是配置在面板基板上的二個重復要素A、 B隔一個網 格格子的間隔而相鄰的數(shù)據配置。在本實施方式中，將該例稱為連接 曝光2，通常判斷為錯誤。在本例中，AND處理結果的區(qū)域不被抽取， 但通過進行OR處理抽取了一個關閉的圖形時，可判斷是連接曝光2 的類型。
圖36的例子是配置在面板基板上的二個重復要素A、 B隔開2個 網格格子以上的間隔的數(shù)據配置。在本例中，AND處理結果的區(qū)域不 被抽取，并且面板基板上配置的二個重復要素A、B在2網格格子之間， 存在一個以上的非曝光區(qū)域網格格子點3601。其通過下述非曝光區(qū)域 3601的抽取來檢測。
圖37及圖38是對具有附加了校正圖案的重復要素的光罩數(shù)據進 行雙重曝光時的說明圖。
在圖37中，通過設定的拍攝框1002，剪切面板布局數(shù)據中的第l 層金屬布線3702及第2層金屬布線3703。
設置校正圖案時，如圖38所示，在第1層金屬布線3702及第2 層金屬布線3703的各端部分別以比第1層金屬布線3702、第2層金屬 布線3703的寬大規(guī)定長度的大小，在其長度方向上連續(xù)一體形成具有 規(guī)定長度的校正圖案1004。
形成規(guī)定寬的百葉框1005，使其內邊緣1006與校正圖案1004的 外邊緣側重疊預定長度(例如l個網格格子)。
形成規(guī)定寬的百葉框1005，使百葉框1005的內邊緣1006和校正 圖案1004的外邊緣重疊預定長度(例如1網格格子)。
并且，也可使百葉框1005和校正圖案1004不重疊、百葉框1005 內邊緣和校正圖案1004連接地形成。
其中，生成的校正圖案1004變?yōu)閰^(qū)域1007，該區(qū)域是雙重曝光 的對象。
因此，如圖39、圖40所示，還使用AND處理的結果來驗證校正 圖案1004是否正確地成為雙重曝光區(qū)域。
艮口，在圖39中，配置在面板基板上的重復要素A、 B配置成與拍 攝框1002中指定的拍攝框區(qū)域3903、 3904重疊。這樣一來，重復要 素A的校正圖案1004與重復要素B的校正圖案1004重疊，并雙重曝 光，在面板基板上，重復要素A的金屬布線3901和重復要素B的金屬 布線3902連續(xù)形成。
圖40是用網格格子點表示其形態(tài)的說明圖。在圖40中，重疊重 復要素A的拍攝框區(qū)域3903和重復要素B的拍攝框區(qū)域3卯4，在重 復要素A、 B的網格格子點之間進行AND邏輯處理的結果，形成了連 續(xù)的區(qū)域A'、 B'。此外，參是邏輯1，表示曝光的網格格子點，〇是 邏輯0，表示未曝光的網格格子點。
并且，圖38也說明了百葉框內邊緣1006和圖形數(shù)據的雙重曝光 驗證。B卩，驗證圖形數(shù)據(圖38的情況下為校正圖案1004)以什么程 度進入到百葉框1005內部，此時通常是作為連接曝光l (參照圖34) 的"1"，即以l個網格格子重疊連接。即，通常情況下，作為重疊量 的偏差值以1個網格格子的情況作為正常。
但此時，適用了 AND處理，雙重曝光區(qū)域比上述指定的偏差值大 或小時，為錯誤。
并且，圖38的百葉框內邊緣1006和圖形數(shù)據的雙重曝光驗證在
此次的驗證中多少不同。即，僅有光罩布局數(shù)據時，可進行驗證，因
此無需坐標信息。但如圖15所示，進行一系列的處理時，當然可對根
據坐標信息展開配置的結果一并進行驗證處理。
圖41及圖42是說明非曝光區(qū)域的有無的驗證處理、即面板基板 所有區(qū)域是否被光罩布局數(shù)據162覆蓋的驗證處理的說明圖。
如圖41所示，使光罩13上設置的光罩布局數(shù)據162內的重復要 素163根據坐標信息模擬地在面板基板12上進行曝光處理，在面板基 板12上模擬地形成配置面板布局數(shù)據161。
使光罩布局數(shù)據162內的重復要素163根據坐標信息配置在面板 基板12上時，如圖42所示，取在重復要素163的百葉框的內邊緣中 包含的曝光對象區(qū)域、及與該曝光對象區(qū)域對應的面板基板12的區(qū)域 的邏輯OR。其對所有重復要素163進行，如果面板基板12上存在變 為邏輯0的網格格子，則其區(qū)域是未成為曝光對象的區(qū)域，是錯誤。
圖41表示以下例子缺少重復要素R1，因此在面板基板12上， 產生未被光罩數(shù)據覆蓋(未形成面板布局數(shù)據)的區(qū)域4101，此時CPU7 識別為錯誤。
對以上說明的光罩數(shù)據的邏輯處理和驗證項目的關系進行如下整理。
單側曝光驗證時，邏輯處理或差分處理對圖形A和圖形B取A和
B的邏輯和(A OR B)，取含有其結果的圖形A的區(qū)域A'和圖形 A的排他邏輯和(A'XORA)?；蛘呷『猩鲜鲞壿嫼偷慕Y果的圖形 A的區(qū)域A'和圖形A的差分。作為檢測項目，檢測出僅存在于含有圖 形A的區(qū)域、存在于圖形B的區(qū)域的數(shù)據(參照圖20 圖26)。
在雙重曝光驗證(含有連接曝光1)時，邏輯處理或差分處理對 圖形A和圖形B取A和B的邏輯積(AANDB)。作為檢測項目，進 行雙重曝光區(qū)域檢測，根據設定的參數(shù)判斷是否是錯誤，當判斷為錯 誤時，將該判斷結果作為錯誤報告輸出(參照圖27 圖36、圖39、圖 40)。
連接曝光2的情況下，邏輯處理或差分處理對圖形A和圖形B取 A和B的邏輯積(AANDB)。其結果為邏輯0 (無圖形)、且A和B 的邏輯和(A ORB)的結果形成一個圖形時，作為檢測項目，進行連 接曝光2區(qū)域的檢測，根據設定的參數(shù)判斷是否錯誤，當判斷是錯誤 時，將該判斷結果作為錯誤報告輸出(參照圖39、圖40)。
非曝光驗證時，邏輯處理或差分處理將全部光罩布局數(shù)據配置展 開在面板基板上，進行邏輯和(OR)處理。作為檢測項目，將OR的 位不成立(OR處理的結果為邏輯0)的網格格子點作為非曝光區(qū)域檢 測(參照圖41、圖42)。
圖43及圖44是說明驗證結果的圖表表示的說明圖，圖43是表示 顯示部1中顯示的對話框431的圖，圖44是表示顯示部1的面板基板 窗口 12中顯示的圖表數(shù)據形式的錯誤顯示的圖。
驗證條件等的設定通過操作部16操作對話框431內的操作按鈕來 設定。例如，驗證全部以層單位來進行，因此操作部16進行在對話框 431中要顯示的層的指定，接著指定要顯示的錯誤類型，來指示檢索。
其中，要顯示的錯誤類型包括單側曝光、雙重曝光、連接曝光l、 連接曝光2、非曝光五種。各錯誤類型可指定顯示的顏色。在圖44中， 參表示具有上述五種錯誤中的任意一個錯誤的網格格子點(錯誤網格
格子點)，O表示不具有上述錯誤的網格格子點。
CPU7根據設定的條件向用戶顯示錯誤有幾處。
接著，用戶通過操作部16操作顯示操作區(qū)域432內的各操作按鈕， 對錯誤地點指示下一個、前、最初、最后，則此時對于面板基板窗口 12上顯示的錯誤區(qū)域顯示所指示的內容。
通常錯誤地點顯示多個，例如，如指定下一個，則在所顯示的分 辨度下，以上方左側為起點，向右側移動，如右側無區(qū)域，則跳到下 方左側進行顯示。并且當指示放大、縮小時，則對此時顯示的中心坐 標顯示放大或縮小的圖表數(shù)據。
圖45是表示檢測出的錯誤圖形的數(shù)據構造的圖。錯誤數(shù)據在頂級 模塊451中，自動生成錯誤模塊452、 454、 456、 458的模塊名，并進 行鏈接。錯誤的圖形數(shù)據453、 455、 457、 459鏈接在各錯誤模塊452、 454、 456、 458的正下方。錯誤模塊452、 454、 456、 458的實例名、 程序庫名均相同，因此即使是同樣形狀的錯誤數(shù)據也不會共享。這是 因為，錯誤在面板基板上基本獨立產生。
如上所述，在本發(fā)明的實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)中，CPU7 參照存儲部8的數(shù)據文件存儲部5中存儲的曝光要素的圖形數(shù)據及坐 標信息，生成與上述曝光要素對應的顯示面板上的面板布局要素(布 局圖形要素)，將基于多個上述面板布局要素的位置關系的驗證結果 顯示到顯示部l。并且，當設定了是否是錯誤的判斷基準時，通過判斷 多個上述面板布局要素的位置關系，驗證上述曝光要素是否錯誤，將 驗證結果顯示在顯示部1。在顯示部1中，面板基板窗口 9或光罩窗口
10內，或與這些窗口無關的顯示區(qū)域中，顯示上述驗證結果。
因此，本實施方式涉及的光罩驗證系統(tǒng)輸入光罩布局數(shù)據和曝光 要素(重復要素)的配置信息，模擬曝光裝置的動作，且進行圖形計 算處理，從而模擬進行曝光處理，進行是否通過光罩在面板基板上形 成了適當?shù)拿姘宀季謹?shù)據的驗證，換言之，進行光罩是否適當?shù)尿炞C。
艮P，制作的光罩數(shù)據是否正確，通過模擬曝光裝置及進行圖形計 算處理，可驗證光罩數(shù)據。尤其在制造平板顯示器時，對使用的光罩 數(shù)據的驗證可發(fā)揮威力，根據本實施方式，可對由光罩布局數(shù)據和坐 標信息制作的面板基板數(shù)據是否是應正確曝光的數(shù)據進行驗證。
并且，可加入基于曝光裝置的動作模擬和圖形計算處理的驗證功 能，因此在進入制造工序前就可驗證。
其結果是，在平板顯示器的制造中，在包括作業(yè)時間的費用方面 具有很大的效果。即，通過在制造前實施本發(fā)明的實施方式涉及的光 罩驗證系統(tǒng)，確認光罩是否是正確的數(shù)據，則可對多余的費用負擔的 產生防患于未然。
其原因是，這是光罩制作費用、面板基板制作費用、包括錯誤制 造時的勞務費在內的制造時間和解析時間的費用等，不用多出這些多 余的費用即可。該效果在僅需要區(qū)域分割的單純的重復配置指定的情 況下也完全一樣。這是因為，重復指定中人為指示錯誤的情況較多。
并且，根據本實施方式，可提供一種通過由具有顯示部1、操作 部16、CPU7及存儲部8的計算機執(zhí)行來構建上述光罩驗證系統(tǒng)的光罩 驗證用程序。并且提供一種起到上述效果的光罩驗證方法。
此外，在上述實施方式中，使用一臺計算機構建光罩驗證系統(tǒng)，
也可使用多臺計算機來構建。此時，上述各程序可根據系統(tǒng)構成來適 當?shù)胤指睢?br>
本發(fā)明可應用于進行液晶顯示器等各種顯示器制造用光罩的驗證 的光罩驗證系統(tǒng)。并且，也可應用于作為進行各種顯示器制造用光罩 的驗證的光罩驗證系統(tǒng)而起作用的程序。
權利要求
1. 一種光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，具有存儲單元，存儲平板顯示器曝光用光罩中含有的曝光要素的圖形數(shù)據；以及由網格格子點的坐標表現(xiàn)，表示顯示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐標信息；布局圖形要素生成單元，根據上述存儲單元中存儲的曝光要素的圖形數(shù)據及坐標信息，生成和上述曝光要素對應的上述顯示面板上的布局圖形要素；驗證單元，根據上述布局圖形要素生成單元生成的上述顯示面板上的多個布局圖形要素的位置關系，驗證上述曝光要素；以及顯示單元，顯示上述驗證單元驗證的結果。
2. 根據權利要求l所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于， 上述顯示單元至少具有顯示驗證結果的窗口 ，上述驗證單元通過進行與上述多個布局圖形要素對應的網格格子 之間的計算處理，驗證上述多個曝光要素，上述顯示單元將上述驗證單元的驗證結果所獲得的圖形顯示到上 述窗口上。
3. 根據權利要求1或2所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，上述光罩的數(shù)據將定義晶體管圖形的中間層、或定義了晶體管圖形的外部程序庫作為中間層持有，并且具有使定義上述晶體管圖形的中間層或外部程序庫通過指針構造根據需要而展開的、具有表格構造的展開單元。
4. 根據權利要求1至3中任一項所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在 于，上述驗證單元具有差異抽取單元，其在進行了二個布局圖形要素 的邏輯OR處理后，進行上述任意一個布局圖形要素和上述邏輯OR結 果所獲得的圖形要素中的該布局圖形要素所對應的區(qū)域的邏輯XOR處 理或差分處理，從而抽取上述二個布局圖形要素的差異。
5. 根據權利要求1至4中任一項所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在 于，上述驗證單元具有重疊量檢測單元，通過進行二個布局圖形要素的邏輯AND處理，檢測出上述二個布局圖形要素的重疊量。
6. 根據權利要求5所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，上述驗證 單元具有偏移驗證單元，驗證上述重疊量檢測單元檢測出的重疊量是否滿足所指示的偏移值。
7. 根據權利要求5或6所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，上述 驗證單元具有要素判斷單元，在上述重疊量檢測單元檢測出沒有上述 二個布局圖形要素的重疊量后，進行邏輯OR處理，當確認了二個布局 圖形要素形成關閉的一個圖形的結果時，判斷上述二個布局圖形要素 是連續(xù)的圖形要素。
8. 根據權利要求1至7中任一項所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，上述各曝光要素中含有圖形要素及包圍上述圖形要素的預定寬的 百葉框，上述驗證單元具有終點驗證單元，對于與上述百葉框內邊緣對應 的上述顯示面板上的網格格子，驗證在規(guī)定偏移值的范圍內是否存在 上述圖形要素的布局圖形要素的終點。
9. 根據權利要求1至8中任一項所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于，具有指定單元，指定含有錯誤的驗證結果的錯誤層， 當上述顯示單元在表示上述驗證結果的窗口上顯示錯誤圖形信息 時，以層單位在上述窗口上顯示上述指定單元指定的錯誤層的錯誤圖形信息。
10. 根據權利要求9所述的光罩驗證系統(tǒng)，其特征在于， 上述顯示單元具有與顯示上述驗證結果的窗口不同的對話框， 上述指定單元在上述對話框上指定上述錯誤層，上述顯示單元在上述對話框上顯示錯誤個數(shù)，并且響應上述指定 單元對錯誤層的指定，將該層的錯誤圖形信息顯示到上述窗口上。
11. 一種程序，使計算機起到權利要求1至10中任一項所述的光 罩驗證系統(tǒng)的作用。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光罩驗證系統(tǒng)及程序，可預先驗證光罩上設置的曝光要素的曝光結果，其中，CPU(7)參照存儲部(8)的數(shù)據文件存儲部(5)中存儲的曝光要素的圖形數(shù)據及坐標信息，生成和上述曝光要素對應的顯示面板上的面板布局要素，通過判斷上述顯示面板上的多個面板布局要素的位置關系，驗證上述曝光要素是否錯誤，顯示部(1)在面板基板窗口(9)或光罩窗口(10)內顯示上述驗證結果。
文檔編號G03F1/68GK101382736SQ20081014456
公開日2009年3月11日 申請日期2008年8月22日 優(yōu)先權日2007年9月4日
發(fā)明者千田英樹 申請人:株式會社績達特