專利名稱：底射式激光修補(bǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種基板的修補(bǔ)設(shè)備，特別是涉及一種底射式激光修補(bǔ)裝置。
背景技術(shù)：
液晶基板在電極圖型化(electrode patterning)制程中，常因?yàn)楣罨蛭?染產(chǎn)生缺陷，造成最終產(chǎn)品的畫面在缺陷點(diǎn)處恒亮或恒暗。所以要透過檢測設(shè) 備尋找出每一個缺陷點(diǎn)的座標(biāo)位置，再利用激光修補(bǔ)裝置將各缺陷點(diǎn)一一修 補(bǔ)。如圖l所示，現(xiàn)有一種底射式液晶激光修補(bǔ)裝置，包含有一個基座1、 一 個設(shè)置在該基座1上的承臺2、 一個設(shè)置在該承臺2其中一側(cè)的X軸移載夾具 3、 一個設(shè)置在該承臺2下方的Y軸移載夾具4及一個架設(shè)在該Y軸移載夾具4 上的激光發(fā)射器5。該承臺2用以承載一個液晶基板6，且由多數(shù)支長形板體 201共同界定出一個承接面202，所述板體201均設(shè)有多數(shù)個氣孔203，且該承 臺2借由所述氣孔203噴氣以讓液晶基板6氣浮在該承接面202上方，且該承 接面202中段具有一道沿Y軸向延伸的縫隙204。該X軸移載夾具3具有一個 沿一個X軸向設(shè)于該承臺1側(cè)邊上的線性滑軌301、 一支沿該線性滑軌301位 移的長臂302及二支設(shè)于該長臂302兩側(cè)的夾臂303，所述夾臂303用以夾持 液晶基板6。該Y軸移載夾具4具有一個固設(shè)在該基座1上且沿一垂直于該X 軸向的Y軸向位移的線性滑軌401。該激光發(fā)射器5是正對于該縫隙204。借此，利用氣孔203噴氣以讓液晶基板6氣浮在該承接面202上方，以及 利用該X軸移載夾具3夾持液晶基板6于X軸向產(chǎn)生位移，配合該激光發(fā)射器 5由下朝上發(fā)射，對液晶基板6的Y軸向進(jìn)行修補(bǔ)工作。雖然，這種液晶激光修補(bǔ)裝置可達(dá)到預(yù)期的修補(bǔ)目的，但是實(shí)際應(yīng)用時仍 然有下列缺失一、前段檢測是在該液晶基板6固定狀態(tài)取得缺陷點(diǎn)座標(biāo)，但是修補(bǔ)工作 卻必須使該液晶基板6沿該X軸向移動，只要稍有誤差，就無法準(zhǔn)確重現(xiàn)缺陷 點(diǎn)的座標(biāo)，例如因?yàn)橹圃旖M配的公差或使用一段后產(chǎn)生摩耗，導(dǎo)致X軸移載夾 具3的長臂302相對于該承臺2并非平直，或是夾臂303相對于該長臂302產(chǎn) 生歪斜時，則利用X軸移載夾具3搬移該液晶基板6，并不能與該縫隙204完 全正交，就無法達(dá)到準(zhǔn)確修補(bǔ)缺陷點(diǎn)的目的。二、 該液晶基板6是利用氣孔203噴氣以氣浮在該承接面202上方，并配 合該X軸移載夾具3搬運(yùn)產(chǎn)生移動，所以液晶基板6是在氣浮狀態(tài)下產(chǎn)生位移， 位移且停止后仍會產(chǎn)生微震動，若立刻進(jìn)行修補(bǔ)，會造成該激光發(fā)射器5對焦 不準(zhǔn)、激光修補(bǔ)不準(zhǔn)確的缺失。三、 為了克服該液晶基板6在氣浮位移后需要穩(wěn)住定位，在由動態(tài)轉(zhuǎn)成靜 態(tài)時需要一定時間，則也會產(chǎn)生修補(bǔ)效率低的缺失。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是在提供一種準(zhǔn)確重現(xiàn)缺陷點(diǎn)座標(biāo)且激光修補(bǔ)準(zhǔn)確、效 率高的底射式激光修補(bǔ)裝置。本實(shí)用新型的底射式激光修補(bǔ)裝置，是適用于對 一個基板的一個修補(bǔ)面進(jìn)行激光修補(bǔ)，并包含一個機(jī)架、 一個設(shè)置在該機(jī)架的 夾持單元、 一個設(shè)置在該機(jī)架的支撐單元、 一個設(shè)置在該機(jī)架的移載單元及一 個安裝在該移載單元上且位在該基板下方的激光發(fā)射單元。該夾持單元具有一 個定出一條基準(zhǔn)線的定位組、二個對應(yīng)該定位組的夾制組及一個與該定位組相 對設(shè)置的推抵組，該基準(zhǔn)線是沿一個第一方向延伸且供該基板其中一側(cè)邊抵靠 定位，所述夾制組各具有多數(shù)個間隔設(shè)置的夾制部，所述夾制部是沿該第一方 向?qū)υ摶辶硗鈨蓚€相對側(cè)邊夾制定位，該推抵組具有一個與該基準(zhǔn)線配合以 使基板沿一個垂直于該第一方向的第二方向定位的推抵件。該支撐單元是由多 數(shù)個支撐件共同界定出一個沿水平設(shè)置的承托面，該承托面支撐該基板的修補(bǔ) 面，所述支撐件沿垂直方向相對于基板產(chǎn)生升降，以及沿水平方向相對于該機(jī) 架產(chǎn)生位移，以相對于該基板改變支撐位置。該移載單元具有一個沿該第一方 向延伸的第一線性滑軌組、 一個設(shè)置在該第一線性滑軌組上的滑板、 一個組設(shè) 在該滑板且沿第二方向延伸的第二線性滑軌組、 一個設(shè)置在該第二線性滑軌組 上的基座、 一個驅(qū)動該滑板沿該第一方向相對于機(jī)架移動的第一驅(qū)動組及一個 驅(qū)動該基座沿該第二方向相對于該滑板移動的第二驅(qū)動組。該激光發(fā)射單元受 該移載單元運(yùn)載沿該第一方向及第二方向相對于該基板產(chǎn)生位移，并具有一個對應(yīng)該修補(bǔ)面的激光發(fā)射部。本實(shí)用新型的有益效果在于利用該夾持單元將基板沿水平方向夾制定位， 利用該支撐單元的承托面使基板獲得穩(wěn)固定位，再配合該移載單元運(yùn)載該激光 發(fā)射單元依缺陷點(diǎn)座標(biāo)進(jìn)行修補(bǔ)，達(dá)到準(zhǔn)確重現(xiàn)缺陷點(diǎn)及準(zhǔn)確修補(bǔ)的目的。
圖1是現(xiàn)有一種底射式液晶激光修補(bǔ)裝置的俯視組合示意圖； 圖2是本實(shí)用新型第一個較佳實(shí)施例的立體組合圖； 圖3是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的俯視組合示意圖；圖4是沿圖3中的直線IV-IV所取的剖視示意圖；圖5是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明一個中、大尺寸液 晶基板以機(jī)械手臂移入一個機(jī)架頂部；圖6是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明一個夾持單元對該 液晶基板夾制、 一個支撐單元對液晶基板吸真空固定；圖7是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明該支撐單元的支撐 組位移以修補(bǔ)未能修補(bǔ)的區(qū)域；圖8是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明該支撐單元的支撐組破真空且回復(fù)至原位、夾持單元取消夾制且以機(jī)械手臂取片；圖9是本實(shí)用新型上述較佳實(shí)施例的另一個操作流程示意圖，說明適用于 對一個中尺寸液晶基板進(jìn)行修補(bǔ)；圖10是本實(shí)用新型第二個較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明一個中、小尺 寸液晶基板以機(jī)械手臂移入一個機(jī)架頂部；圖11是本實(shí)用新型第二個較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明一個夾持單元 對該液晶基板夾制及一個支撐單元對液晶基板吸真空固定；圖12是本實(shí)用新型第二個較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明該支撐單元的 支撐組位移以修補(bǔ)未能修補(bǔ)的區(qū)域；圖13是本實(shí)用新型第二個較佳實(shí)施例的操作示意圖，說明該支撐單元的 支撐組破真空且回復(fù)至原位、夾持單元取消夾制且以機(jī)械手臂取片。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明如圖2、圖3及圖4所示，本實(shí)用新型底射式激光修補(bǔ)裝置的第一個較佳 實(shí)施例，是適用于對一個大、中尺寸(例如47吋 17吋)的液晶基板100的一 個修補(bǔ)面110進(jìn)行激光修補(bǔ)，該液晶基板100具有平行設(shè)置的一個第一長側(cè)邊 120、 一個第二長側(cè)邊130及銜接于該第一、二長側(cè)邊120、 130間的一個第一 短側(cè)邊140與一個第二短側(cè)邊140'，且其中三個周角處各設(shè)有一個歸零記號 150、 150' 、 150"(見圖6)，該激光修補(bǔ)裝置包含一個機(jī)架10、 二支組設(shè) 在該機(jī)架10的導(dǎo)軌20、 二支設(shè)置在該機(jī)架10且分別平行并設(shè)在所述導(dǎo)軌20 側(cè)邊的螺桿30、 一個設(shè)置在該機(jī)架10的夾持單元40、 一個設(shè)置在該夾持單元 40間的支撐單元50、 一個設(shè)置在該機(jī)架10的移載單元60及一個安裝在該移 載單元60上的激光發(fā)射單元70。該機(jī)架10是以多數(shù)支框桿11構(gòu)成矩型立方框架狀，并具有一個頂部12 及一個設(shè)于該頂部12下方的底部13，該頂部12具有一個對應(yīng)進(jìn)料方向的第一 側(cè)邊14及一個與該第一側(cè)邊14相反設(shè)置的第二側(cè)邊15，該第一、二側(cè)邊14、 15是沿一個第一方向X延伸。另外，在該第一、二側(cè)邊14、 15間又具有一個第一端部16及一個與該第一端部16相反設(shè)置的第二端部17。所述導(dǎo)軌20是呈長桿狀，分別組設(shè)在該機(jī)架10的第一、二側(cè)邊14、 15， 且由該第一端部16沿該第一方向X延伸至該第二端部17。所述螺桿30分別設(shè)置在該機(jī)架10的第一、二側(cè)邊14、 15且沿該第一方 向X延伸。該夾持單元40是設(shè)置在該機(jī)架10的頂部12，并具有一個定位組41、對 應(yīng)該定位組41的一個第一夾制組42、 一個第二夾制組43及一個與該定位組 41相對設(shè)置的推抵組44。該定位組41具有一個固設(shè)在該機(jī)架10的第二側(cè)邊15的固定架411、四支 固設(shè)在該固定架411頂端且沿一個垂直于該第一方向X的第二方向Y延伸的定 位桿412及多數(shù)個軸設(shè)在所述定位桿412末端底部的滾輪413，且所述滾輪413 的外側(cè)周緣共同界定出一個供該液晶基板100第一長側(cè)邊120抵靠定位的基準(zhǔn) 線L(如圖5所示)，也就是說，該基準(zhǔn)線L是沿該第一方向X延伸，且相切 于滾輪413的外周緣上。該第一、二夾制組42、 43分別對應(yīng)于該第一、二端部16、 17，并各具有 二個分別沿導(dǎo)軌20滑動的滑座421、 431、 一個連接在所述滑座421、 431間且 沿該第二方向Y延伸的橫桿422、 432、多數(shù)支間隔設(shè)置在該橫桿422、 432上 的夾桿423、 433、多數(shù)個固設(shè)在該橫桿422、 432上且驅(qū)動所述夾桿423、 433 沿第一方向X移動的壓力缸424、 434及二個組設(shè)在滑座421、 431內(nèi)部且螺合 在螺桿30上的伺服驅(qū)動器425、 435。所述夾桿423、 433的末端各設(shè)有一個以 滾輪為例的夾制部426、 436，所述夾制部426、 436沿該第一方向X共同對該 液晶基板100第一、二短側(cè)邊140、 140'夾制定位(如圖6所示)。該推抵組44具有二支組設(shè)在該機(jī)架10頂部12且沿該第一方向X延伸的 導(dǎo)引件441、 一支與所述導(dǎo)引件441平行設(shè)置的螺桿442、 一個驅(qū)動該螺桿442 轉(zhuǎn)動的馬達(dá)442，、 一個沿導(dǎo)引件441且受該螺桿442驅(qū)動的定位座443、 一 個安裝在該定位座443上的Z向壓力缸444、 一個設(shè)置在該定位座443下方且 受該Z向壓力缸444驅(qū)動沿一個垂直于該第一、二方向X、 Y的第三方向Z升 降的固定板445、 一支軸設(shè)在該固定板445底部且沿該第二方向Y延伸的螺桿 446、 一個驅(qū)動該螺桿446轉(zhuǎn)動的馬達(dá)447、 一個螺設(shè)在該螺桿446上且受該馬 達(dá)447驅(qū)動沿該第二方向Y移動的移動塊448、 一個安裝在該移動塊448底部 的驅(qū)動壓缸448'及一個受該驅(qū)動壓缸448'連動的推抵件449，該推抵件449 為兩個間隔設(shè)置的滾輪。該支撐單元50是設(shè)置在該機(jī)架10頂部12，并具有套設(shè)在導(dǎo)桿20上且位 在夾制組40間的一個第一支撐組51、 一個位在該第一支撐組51與該第二夾制 組43間的第二支撐組52、 一個位在該第一支撐組51與該第一夾制組42間的第三支撐組53及一個位在該第二支撐組52與該第二夾制組43間的第四支撐 組54。該第一、二、三、四支撐組51、 52、 53、 54各具有二個分別沿導(dǎo)軌20滑 動的滑動塊511、 521、 531、 541、 一支連接在所述滑動塊511、 521、 531、 541 間的支撐件512、 522、 532、 542、 二個組設(shè)在滑動塊511、 521、 531、 541內(nèi) 部且螺合于螺桿30上的伺服驅(qū)動器513、 523、 533、 543及二個安裝在滑動塊511、 521、 531、 541與支撐件512、 522、 532、 542間的壓力缸514、 524、 534、 544，該第一、二、三、四支撐組51、 52、 53、 54的支撐件512、 522、 532、 542都是沿該第二方向Y延伸且呈長桿狀，且支撐件512、 522、 532、 542受所 對應(yīng)的壓力缸514、 524、 534、 544驅(qū)動沿第三方向Z產(chǎn)生升降。所述支撐件512、 522、 532、 542共同界定出一個沿水平設(shè)置且支撐該液晶基板100的修補(bǔ) 面110的承托面55，并各具有多數(shù)個對該液晶基板100吹氣或吸真空的氣孔 56及多數(shù)個由頂面凹設(shè)的凹槽57，所述凹槽57供滾輪413及夾制部426、 436 穿過。該移載單元60是組設(shè)在該機(jī)架10底部13，并具有一個沿該第一方向X延 伸的第一線性滑軌組61、 一個設(shè)置在該第一線性滑軌組61上的滑板62、 一個 組設(shè)在該滑板62且沿該第二方向Y延伸的第二線性滑軌組63、 一個設(shè)置在該 第二線性滑軌組63上的基座64、 一個驅(qū)動該滑板62沿該第一方向X相對于機(jī) 架10移動的第一驅(qū)動組66、 一個驅(qū)動該基座64沿該第二方向Y相對于該滑板 62移動的第二驅(qū)動組67。該激光發(fā)射單元70是安裝在該移載單元60的基座64上且位在該液晶基 板100下方，受該第一、二驅(qū)動組66、 67驅(qū)動沿該第一方向X及第二方向Y 相對于該液晶基板100產(chǎn)生位移，并具有二個對應(yīng)該修補(bǔ)面100且具有不同放 大倍率的攝影鏡頭71及二個發(fā)射不同光斑大小的激光發(fā)射部72。該液晶基板100在進(jìn)行修補(bǔ)以前，已預(yù)先經(jīng)過前一個工作站的檢測，缺陷 點(diǎn)座標(biāo)也已經(jīng)定址取得。再如圖2及圖5所示，當(dāng)欲對大尺寸(例如47吋、 37吋)液晶基板100進(jìn)行修補(bǔ)時，該夾持單元40的第一、二夾制組42、 43朝 外退移，利用機(jī)械手臂200將液晶基板100送進(jìn)該機(jī)架10頂部12時，該液晶 基板100的第一長側(cè)邊120尚未抵靠定位在該定位組41的基準(zhǔn)線L上，此時， 該支撐單元50的氣孔56吹氣，機(jī)械手臂200下降放片、移出。接著，如圖2、 圖4及6所示，該推抵組44的Z向壓力缸444驅(qū)動該固定板445向下位移后， 再利用該驅(qū)動壓缸448'驅(qū)動該推抵件449推抵該液晶基板100的第二長側(cè)邊 130，且使液晶基板100沿Y向移動，直到該第一長側(cè)邊120抵靠定位在該基 準(zhǔn)線L上，繼續(xù)，該第一、二夾制組42、 43分別向右、左位移，使得夾制部 426、 436夾持該液晶基板100的第一、二短側(cè)邊140、 140'，隨即該驅(qū)動壓缸448'再驅(qū)動該推抵件449往反方向退移，該Z向壓力缸444再驅(qū)動該固定 板445向上升起，再操作該支撐單元50的氣孔56吸真空以固定該液晶基板100， 利用該移載單元60運(yùn)載該激光發(fā)射單元70，以攝影鏡頭71讀取該液晶基板 100的歸零記號150、 150' 、 150"后，就依各缺陷點(diǎn)的座標(biāo)位移，以激光發(fā) 射部72對缺陷點(diǎn)逐一進(jìn)行修補(bǔ)。再如圖2及7所示，為了修補(bǔ)該第一、二、 三、四支撐組51、 52、 53、 54對該液晶基板100遮蔽的部份，該第三、四支 撐組53、 54同時破真空，并利用該壓力缸534、 544驅(qū)動支撐件532、 542先 下降再分別相對向內(nèi)位移，再向上升起頂持在液晶基板IOO上后吸真空(此時， 仍然有該第一、二支撐組51、 52對液晶基板100支撐)，之后，該第一、二 支撐組51、 52也在破真空后，利用該壓力缸514、 524驅(qū)動該支撐件512、 522 先下降再分別相對向內(nèi)位移，再向上升起頂持在液晶基板100上后吸真空(此 時，仍然有該第三、四支撐組53、 54對液晶基板100支撐)，如此一來，利 用該激光發(fā)射部72修補(bǔ)原先該第一、二、三、四支撐組51、 52、 53、 54所遮 蔽的區(qū)域。最后如圖2及圖8所示，該第三、四支撐組53、 54破真空后，利 用壓力缸534、 544驅(qū)動支撐件532、 542先下降再分別相對向外位移，再向上 升起頂持在液晶基板100上(就是回復(fù)至圖5、圖6的原始位置)，該第一、 二支撐組51、 52也在破真空后，利用該壓力缸514、 524驅(qū)動該支撐件512、 522先下降再分別相對向外位移，再向上升起頂持在液晶基板100上(就是回 復(fù)至圖5、圖6的原始位置)，且再操作該第一、二夾制組42、 43向外移出， 以取消對該液晶基板100的夾持，等待該機(jī)械手臂200取片。再如圖2及圖9所示，當(dāng)欲對中尺寸(例如32吋 17吋)液晶基板100進(jìn) 行修補(bǔ)時，操作動作與圖5~圖8類似不再多加說明，差異處只在于利用該第 一、二支撐組51、 52對液晶基板100就足以穩(wěn)定支撐，而該第三、四支撐組 53、 54并無作用，只會在該夾持單元40進(jìn)行夾制、釋放操作時，隨該第一、 二夾制組42、 43朝內(nèi)、外產(chǎn)生位移，且為適用不同尺寸的液晶基板100，該推 抵組44利用馬達(dá)447驅(qū)動螺桿446，使移動塊448間接帶動推抵件449沿第二 方向Y位移。因此，本實(shí)用新型的功效歸納如下一、 經(jīng)預(yù)先檢測，缺陷點(diǎn)座標(biāo)已定址取得，而該液晶基板ioo移至該機(jī)架 10時，利用該夾持單元40及該支撐單元50的配合穩(wěn)固定位，并準(zhǔn)確地重現(xiàn)缺 陷點(diǎn)座標(biāo)，進(jìn)行激光修補(bǔ)后達(dá)到完全修補(bǔ)的目的。二、 由于該液晶基板100穩(wěn)固定位在該機(jī)架10頂部12，且該激光發(fā)射單 元70利用該移載單元60運(yùn)載準(zhǔn)確對焦、準(zhǔn)確修補(bǔ)。三、 因?yàn)闊o微振動的產(chǎn)生，該液晶基板ioo也無由動態(tài)轉(zhuǎn)成靜態(tài)的問題， 修補(bǔ)效率高。再如圖10所示(未見于圖10 13的元件請配合參閱圖2)，本實(shí)用新型的 第二實(shí)施例與第一實(shí)施例的構(gòu)成組件大致相同，差異只在于該支撐單元50只 具有一個第一支撐組51及一個第二支撐組52。且適用于對中、小尺寸(例如 26吋~12. 1吋)液晶基板100進(jìn)行修補(bǔ)，利用機(jī)械手臂200將液晶基板100送 至該機(jī)架10頂部12，第一短側(cè)邊140尚未抵靠定位在該基準(zhǔn)線L上，此時， 該第一、二支撐組51、 52對液晶基板100產(chǎn)生支撐，且利用氣孔56吹氣，機(jī) 械手臂200下降放片、移出。接著，如圖11所示，該推抵組44的推抵件449 推抵該液晶基板100的第二短側(cè)邊140'，且使第一短側(cè)邊140抵靠定位在該 定位組41的基準(zhǔn)線L上，繼續(xù)，該第一、二夾制組42、 43向右、左位移，夾 制部426、 436夾制在該液晶基板100第一、二長側(cè)邊120、 130后，該推抵組 44隨即退移，再操作該第一、二支撐組51、 52的氣孔56吸真空以固定該液晶 基板IOO，利用該移載單元60運(yùn)載該激光發(fā)射單元70，以攝影鏡頭71讀取該 液晶基板100的歸零記號150、 150' 、 150"后，依各缺陷點(diǎn)的座標(biāo)位移，以 激光發(fā)射部72對缺陷點(diǎn)逐一進(jìn)行修補(bǔ)。再如圖12所示，為了修補(bǔ)該第一、二支撐組51、 52對該液晶基板100遮 蔽的部份，該第一支撐組51破真空，該壓力缸514驅(qū)動該支撐件512先下降 再朝該第二支撐組52位移，再向上升起頂持在液晶基板100上后吸真空(此 時，仍然有該第二支撐組52對液晶基板100支撐)，該第二支撐組52也在破 真空后，利用該壓力缸524驅(qū)動該支撐件522先下降再朝該第一支撐組51位 移，再向上升起頂持在液晶基板100上后吸真空(此時，仍然有該第一支撐組 51對液晶基板100支撐)，如此一來，利用該激光發(fā)射部72修補(bǔ)原先該第一、 二支撐組51、 52所遮蔽的區(qū)域。最后如圖13所示，該第一、二支撐組51、 52 也在破真空后，利用該壓力缸514、 524驅(qū)動該支撐件512、 522先下降再分別 相對向外位移，再向上升起頂持在液晶基板100上(就是回復(fù)至圖10、圖11 的原始位置)，且再操作該第一、二夾制組42、 43向外移出，并取消對該液 晶基板100的夾持，等待該機(jī)械手臂200取片。因此，本實(shí)用新型第一、二實(shí)施例適用多種尺寸的液晶基板100由下方進(jìn) 行修補(bǔ)作業(yè)。值得說明的是，雖然上述實(shí)施例是以修補(bǔ)液晶基板作為應(yīng)用范例，但是只要 是有激光修補(bǔ)需求的任何基板(substrate)，均為本實(shí)用新型適用的范圍。
權(quán)利要求1. 一種底射式激光修補(bǔ)裝置，是適用于對一個基板的一個修補(bǔ)面進(jìn)行激光修補(bǔ)，并包含一個機(jī)架、一個設(shè)置在該機(jī)架的夾持單元、一個設(shè)置在該機(jī)架的支撐單元、一個設(shè)置在該機(jī)架的移載單元及一個安裝在該移載單元上的激光發(fā)射單元；該底射式激光修補(bǔ)裝置的特征在于該夾持單元，具有一個定出一條基準(zhǔn)線的定位組、二個對應(yīng)該定位組的夾制組及一個與該定位組相對設(shè)置的推抵組，該基準(zhǔn)線是沿一個第一方向延伸且供該基板其中一側(cè)邊抵靠定位，所述夾制組各具有多數(shù)個間隔設(shè)置的夾制部，所述夾制部是沿該第一方向?qū)υ摶辶硗鈨蓚€相對側(cè)邊夾制定位，該推抵組具有一個與該基準(zhǔn)線配合以使基板沿一個垂直于該第一方向的第二方向定位的推抵件；該支撐單元，是由多數(shù)支支撐件共同界定出一個沿水平設(shè)置的承托面，該承托面支撐該基板的修補(bǔ)面，所述支撐件沿垂直方向相對于基板產(chǎn)生升降，以及沿水平方向相對于該機(jī)架產(chǎn)生位移，且相對于該基板改變支撐位置；該移載單元，具有一個沿該第一方向延伸的第一線性滑軌組、一個設(shè)置在該第一線性滑軌組上的滑板、一個組設(shè)在該滑板且沿第二方向延伸的第二線性滑軌組、一個設(shè)置在該第二線性滑軌組上的基座、一個驅(qū)動該滑板沿該第一方向相對于機(jī)架移動的第一驅(qū)動組及一個驅(qū)動該基座沿該第二方向相對于該滑板移動的第二驅(qū)動組；該激光發(fā)射單元，是設(shè)置在該移載單元的基座上且位在該基板下方，且受該移載單元運(yùn)載沿該第一方向及第二方向相對于該基板產(chǎn)生位移，并具有一個對應(yīng)該修補(bǔ)面的激光發(fā)射部。
2. 如權(quán)利要求l所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該機(jī)架具有一個第 一側(cè)邊及一個與該第一側(cè)邊相反設(shè)置的第二側(cè)邊，且該激光修補(bǔ)裝置還包含 有二支分別組設(shè)在該機(jī)架的第一、二側(cè)邊且沿該第一方向延伸的導(dǎo)軌，該夾 持單元的每一夾制組還各具有二個分別沿所述導(dǎo)軌滑動的滑座、 一個連接在 所述滑座間且沿該第二方向延伸的橫桿及多數(shù)支安裝在該橫桿上的夾桿，所 述夾制部是設(shè)在夾桿的末端。
3. 如權(quán)利要求2所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于:該夾持單元的每一 夾制組還具有多數(shù)個固設(shè)在該橫桿上且驅(qū)動夾桿沿第一方向移動的壓力缸。
4. 如權(quán)利要求3所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于還包含有至少一支 設(shè)置在該機(jī)架且沿該第一方向延伸的螺桿，該夾持單元的每一夾制組還具有 至少一個組設(shè)在其中一個滑座內(nèi)部且螺合該螺桿上的伺服驅(qū)動器。
5. 如權(quán)利要求4所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該支撐單元具有多數(shù)個套設(shè)在導(dǎo)桿上且位在夾制組間的支撐組，所述支撐組各具有二個沿導(dǎo)軌 滑動的滑動塊、 一個連接在所述滑動塊間的支撐件及一個組設(shè)在該滑動塊內(nèi) 部且螺合于該螺桿上的伺服驅(qū)動器，每一支撐組的支撐件是沿該第二方向延 伸且呈長桿狀。
6. 如權(quán)利要求5所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該支撐單元的每一 支撐組還具有至少一個安裝在滑動塊與該支撐件間的壓力缸，且壓力缸沿一 個垂直于該第一、二方向的第三方向驅(qū)動。
7. 如權(quán)利要求6所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該支撐單元的支撐 件均具有多數(shù)個氣孔。
8. 如權(quán)利要求3所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該夾持單元的定位 組具有一個固設(shè)在該機(jī)架的第二側(cè)邊的固定架、多數(shù)支固設(shè)在該固定架且懸設(shè)在支撐件上方的定位桿及多數(shù)個軸設(shè)在所述定位桿末端的滾輪，該基準(zhǔn)線 相切于所述滾輪的外周緣上。
9. 如權(quán)利要求8所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該支撐單元的支撐 件還各具有多數(shù)個由一個頂面凹設(shè)的凹槽，所述凹槽供滾輪及夾制部穿過。
10. 如權(quán)利要求9所述的底射式激光修補(bǔ)裝置，其特征在于該夾持單元的推 抵組還具有二個組設(shè)在該機(jī)架且沿該第一方向延伸的導(dǎo)引件、 一支與所述導(dǎo) 引件平行設(shè)置的螺桿、 一個沿導(dǎo)引件且受該螺桿驅(qū)動的定位座、 一個安裝在 該定位座上的壓力缸、 一個設(shè)置在該定位座下方且受該壓力缸驅(qū)動的固定 板、 一支軸設(shè)在該固定板底部且沿該第二方向延伸的螺桿、 一個驅(qū)動該螺桿 轉(zhuǎn)動的馬達(dá)、 一個螺設(shè)在該螺桿上且受該馬達(dá)驅(qū)動的移動塊及一個安裝在該 移動塊底部的驅(qū)動壓缸，該推抵件是受該驅(qū)動壓缸連動。
專利摘要一種底射式激光修補(bǔ)裝置，是適用于對一個基板的一個修補(bǔ)面進(jìn)行激光修補(bǔ)，并包含一個機(jī)架、一個設(shè)置在該機(jī)架的夾持單元、一個設(shè)置在該機(jī)架的支撐單元、一個設(shè)置在該機(jī)架的移載單元及一個安裝在該移載單元上且位在該基板下方的激光發(fā)射單元。借此，當(dāng)基板送至該機(jī)架時，利用該夾持單元沿水平方向夾制定位，利用該支撐單元界定出一個支撐該修補(bǔ)面的承托面，促使基板獲得穩(wěn)固定位，再以該移載單元運(yùn)載該激光發(fā)射單元依缺陷點(diǎn)座標(biāo)進(jìn)行修補(bǔ)，達(dá)到準(zhǔn)確修補(bǔ)的目的。
文檔編號G02F1/13GK201107495SQ20072012955
公開日2008年8月27日 申請日期2007年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月14日
發(fā)明者周培頌, 彭志誠, 林益民, 范沛琦, 陳貴榮 申請人:揚(yáng)朋科技股份有限公司