專利名稱：用于存放光罩的光罩架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝置，具體地說，涉及一種用于存放光罩(mask)的光軍架。 背景技木光刻技術(shù)廣泛用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。進行光刻時需要用到光罩對半導(dǎo)體芯 片進行曝光，而且根據(jù)客戶對曝光圖形的不同需要，需要具有不同圖形的光罩。 隨著半導(dǎo)體芯片類型增多，光罩也越來越多，因此光罩如何存放就成為一個比 較關(guān)鍵的問題。目前，業(yè)界用光罩架存放光罩。較常用的光罩架有兩種立拒式光罩架和 圖書館式光罩架。立拒式光罩架一般用于存放經(jīng)常使用的光罩，圖書館式光罩 架一般用于不經(jīng)常使用的光罩。立拒式光罩架包括四個與地面平行的隔板，每 個隔板分為四個區(qū)域，每個隔板上可以橫向(即平行于地平面的方向)放置4塊光 罩，這樣一個立柜式光罩架只能存放16個光罩。由于每個光罩架的成本比較高， 一個立拒式光罩架^f義能存放16個光罩，導(dǎo)致光罩的存放成本升高。另外，立拒 式光罩架存放的光罩是橫向放置的，不方便取出和放入，且安全性不高。圖書館式光罩架，顧名思義，存放光罩的方式類似圖書館存放圖書的方式， 可存放光罩?jǐn)?shù)量較多。圖書館式光罩架包括安裝于倉庫導(dǎo)軌上的數(shù)個并排的架 體，使用時，搖動架體的操作桿，架體沿導(dǎo)軌移動，兩架體間一般只能容一人 進入，受到倉庫空間的限制。另外，某些情況比如清理倉庫時，也需要移出圖 書館式光罩架，但現(xiàn)有的圖書館式是安裝在倉庫的導(dǎo)軌上的，不方便移動。雖 然圖書館式光罩架存放光罩?jǐn)?shù)量較多，但其成本卻是立拒式光罩架的4倍，光罩的存放成本也相對較高。有鑒于此，需要提供一種新的用于存放光罩的光罩架
實用新型內(nèi)容
本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種成本較低且存放光罩安全性較高的光罩架。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于存放光罩的光罩架，其包 括架體及數(shù)個隔板，所述架體包括兩側(cè)板和連接兩側(cè)板的后板，光罩從架體的 前端豎直放置于每層隔4反上，所述隔板以傾斜的方式安裝于兩側(cè)板上，且隔板 靠近架體前端的高度高于靠近架體后板的高度。進一步地，隔板與地平面傾斜的角度為5度。進一步地，該光罩架還包括對應(yīng)每層隔板保護光罩意外掉落的可移動保護桿。進一步地，可移動保護桿的兩端分別可活動的連接于架體的兩側(cè)板上。 進一步地，該光罩架包括安裝于隔板上的數(shù)個倒U型擋架，所述光罩豎直 放置于每兩倒U型擋架之間。進一步地，每一隔板上設(shè)有數(shù)個插孔，所述倒u型擋架的兩端可拆卸地插 入隔板的插孔上。進一步地，該光罩架底部還設(shè)有可移動車輪。進一步地，在光罩架底部設(shè)有4個可移動車輪。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型光罩架通過將隔板傾斜安裝于架體上，增加 了光罩放置的安全性；通過設(shè)置可移動保護桿，進一步增加光罩放置的安全性; 擋架設(shè)置成可拆卸的，根據(jù)光罩形狀、大小選擇最合適方式的放置光罩，增加 了該光罩架的容量；通過設(shè)置可移動車輪方便移動光罩架。


通過以下對本實用新型一實施例結(jié)合其附圖的描述，可以進一步理解其實 用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中，附圖為 圖1為本實用新型光罩架的立體示意圖。 圖2為本實用新型光罩架的正視示意圖。 圖3為本實用新型光罩架的局部剖視示意圖。
具體實施方式
本實用新型提供了一種新的存放光罩的光罩架1。請參閱圖1至圖2,該光罩架1包括大致呈長方體的架體2、位于架體2內(nèi) 的彼此平行的三個隔板3、安裝于隔板3上的若千倒U型擋架4及四個可移動 的車輪6。架體2包括相對設(shè)置的兩側(cè)板22、具有若干通氣孔用于連接兩側(cè)板 22頂端的頂板21、平行于頂板21的底架23和后板24 (如圖3 )。在本實施例 中，三個隔板3兩端是焊接于側(cè)板22的內(nèi)壁上的，顯然地，對于本領(lǐng)域的普通裝于底架23的四個角的底部以方便移動該光罩架1。請參閱圖3，每個隔板3是與地平面傾斜一定角度安裝的，較佳的傾斜角度 是5度，且每個隔板3靠近架體2前端8的高度高于隔板3靠近架體后板的高 度，可有效防止光罩意外掉落。每個隔板3上設(shè)有若干插孔31,所述倒U型擋架4通過兩個插腳41插入 插孔31內(nèi)固定于隔板3上。每兩擋架4之間形成的收容槽7用于存放光罩，光 罩通過架體2的前端8豎直放置于收容槽7內(nèi)。U型擋架4和隔板3的配合方 式可以根據(jù)需要調(diào)節(jié)收容槽7的大小，以占用空間最小的方式放置光罩，可有 效增加存;Jt數(shù)量。該光罩架1的前端8還設(shè)置了用于保護放置在隔板3上的光罩意外掉落的 保護桿5。如圖4所示，光罩架1具有三個保護桿5,每一保護桿5兩端可以采 用螺紋連接于側(cè)板22上，也可以其他方式連接，且該保護桿5安裝后是可移動 的。每一保護桿5保護一層光罩。當(dāng)需要取光罩時，只要移動保護桿5就可以 取到，不影響取置的方便性；不使用時，保護桿5回到原位防止光罩意外掉落 (圖2所示)。
權(quán)利要求1.一種用于存放光罩的光罩架，其包括架體及數(shù)個隔板，所述架體包括兩側(cè)板和連接兩側(cè)板的后板，光罩從架體的前端豎直放置于每層隔板上，其特征在于所述隔板以傾斜的方式安裝于兩側(cè)板上，且隔板靠近架體前端的高度高于靠近架體后板的高度。
2. 如權(quán)利要求1所述的光罩架，其特征在于隔板與地平面傾斜的角度為5度。
3. 如權(quán)利要求1所述的光罩架，其特征在于該光罩架還包括對應(yīng)每層隔板保 護光罩意外掉落的可移動保護桿。
4. 如權(quán)利要求3所述的光罩架，其特征在于可移動保護桿的兩端分別可活動 的連接于架體的兩側(cè)板上。
5. 如權(quán)利要求1所述的光罩架，其特征在于該光罩架包括安裝于隔板上的數(shù) 個倒U型擋架，所述光罩豎直放置于每兩倒U型擋架之間。
6. 如權(quán)利要求5所述的光軍架，其特征在于每一隔板上設(shè)有數(shù)個插孔，所述 倒U型擋架的兩端可拆卸地插入隔板的插孔上。
7. 如權(quán)利要求1所述的光罩架，其特征在于該光罩架底部還設(shè)有可移動車輪。
8. 如權(quán)利要求7所述的光罩架，其特征在于在光罩架底部設(shè)有4個可移動車 輪。
專利摘要本實用新型公開了一種用于存放光罩的光罩架，涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的裝置。該光罩架包括架體及數(shù)個隔板，所述架體包括兩側(cè)板和連接兩側(cè)板的后板，光罩從架體的前端豎直放置于每層隔板上，所述隔板以傾斜的方式安裝于兩側(cè)板上，且隔板靠近架體前端的高度高于靠近架體后板的高度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的光罩架采用傾斜隔板有效增加了存放光罩的安全性。
文檔編號G03F7/20GK201035321SQ200720069180
公開日2008年3月12日 申請日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月20日
發(fā)明者何少平, 穎 楊, 丹 鄭 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司