專利名稱：：抗蝕溶液以及使用其制作薄膜圖案和液晶顯示器件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及到一種抗蝕溶液和使用該抗蝕溶液制作用于顯示板的薄膜圖案的方法。更特別的，本發(fā)明涉及提高橡皮布的壽命以減少成本并提高形成薄膜圖案的可靠性。
背景技術(shù)：
：平板顯示器件由于其相對于陰極射線管器件更小且更輕而受到歡迎。平板顯示器件的實例包括液晶顯示器件、場致發(fā)射顯示器件、等離子顯示板器件和電致發(fā)光(EL)顯示器。在液晶顯示器件中，由控制通過液晶的光透射來顯示圖像映像。通過使用電場來控制光透射。因此，液晶顯示器件可包括具有通常為矩陣排列的液晶單元的液晶顯示板和用于驅(qū)動液晶顯示板的驅(qū)動電路。液晶顯示板可包括薄膜晶體管陣列基板、濾色片陣列基板、位于這兩個基板之間以保持盒間隙的襯墊料以及填充在盒間隙內(nèi)的液晶。薄膜晶體管陣列基板和濾色片陣列基板彼此相對。薄膜晶體管陣列基板可包括柵線、數(shù)據(jù)線和形成在柵線和數(shù)據(jù)線彼此交叉的部分處的薄膜晶體管。薄膜晶體管用作開關(guān)器件。薄膜晶體管陣列基板也可包括像素電極，該像素電極形成在液晶單元的單位中并與薄膜晶體管相連接。還可以在基板上設(shè)置定向膜以覆蓋上述元件。柵線和數(shù)據(jù)線通過其各自的焊盤部分提供有來自驅(qū)動電路的信號。薄膜晶體管響應(yīng)于施加到柵線的掃描信號而將施加到數(shù)據(jù)線的像素信號提供到像素電極。濾色片陣列基板可包括形成在液晶單元的單位中的濾色片、用于將濾色片彼此區(qū)別開并且反射外部光線的黑矩陣、向液晶單元共同提供基準電壓的公共電極以及沉積在丄:述元件上的定向膜。薄膜晶體管陣列基板和濾色片陣列基板可以單獨形成并隨后將其彼此粘結(jié)。在基板粘結(jié)以后，將液晶材料注入到粘結(jié)的基板之間，然后將該基板密封。因此，完成了相關(guān)技術(shù)的液晶顯示板。相關(guān)技術(shù)的液晶顯示板內(nèi)的薄膜圖案可由光刻工藝和蝕刻工藝來形成。光刻工藝包括多種工藝，例如曝光、顯影、清洗和檢査。這些工藝增加了液晶顯示板的制作成本。從而，薄膜圖案工藝可使用反向防印工藝來代替光刻圖1示出了相關(guān)技術(shù)的反向防印裝置。如圖l中所示，相關(guān)技術(shù)的反向防印裝置包括其中纏繞有橡皮布15的輥式印刷輥10、注射抗蝕樹脂溶液14a的抗蝕溶液注射器12和雕刻印版20。雕刻印版20包括凹槽20a和凸起20b，其中凹槽20a與要形成的薄膜圖案具有相同的圖案。橡皮布15由聚二甲基硅氧垸(PDMS)制成。在相關(guān)技術(shù)的反向防印裝置中，在從抗蝕溶液注射器12注射的抗蝕溶液14a涂覆在纏繞于印刷輥IO上的橡皮布15上時，抗蝕溶液14a只從印刷輥10轉(zhuǎn)引至凸起20b...匕。隨后，抗蝕圖案14b形成在印刷輥IO上并且是所需的薄膜圖案。該薄膜圖案保留在印刷輥10上，然后被轉(zhuǎn)引至基板上，因此在基板上形成抗蝕圖案。用于反向防印裝置的抗蝕溶液14a可包括基聚合物，例如酚醛、載體溶劑、印刷溶劑、表面活性溶劑等。抗蝕溶液14a從抗蝕溶液注射器12進行注射。載體溶劑是用于通過降低抗蝕溶液14a的粘性而將抗蝕溶液14a均勻涂覆在橡皮布15上的溶劑。印刷溶劑也影響到涂覆在橡皮布15上的抗蝕溶液14a的粘性，并允許抗蝕溶液14a印刷在印刷板20或基板上。表面活性劑是用于降低抗蝕溶液14a的表面張力和另一表面的表面張力以使得溶液Ma能夠黏附在該另一表面上。如果使用前述的抗蝕溶液14a和由PDMS制成的橡皮布15進行涂覆工藝，抗蝕溶液14a的溶劑會浸入到橡皮布15內(nèi)并使橡皮布15膨脹。因此，不能正確地執(zhí)行印刷工藝。形成薄膜圖案的可靠性降低，橡皮布15的壽命明顯降低。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明涉及一種能夠充分避免由于相關(guān)技術(shù)的局限和缺點造成的一個或多個問題的抗蝕溶液、制作薄膜圖案的方法和制作LCD器件的方法。本發(fā)明的優(yōu)勢是提供一種抗蝕溶液、制作薄膜圖案的方法和制作LCD器件的方法，其屮橡皮布的壽命得到提高，因此減少了制作成本并且提高了制作的可靠性。本發(fā)明的附加特征和優(yōu)勢將在隨后的說明書中部分的闡述，在說明書中部分的顯而易見，或通過本發(fā)明的實踐被學習。本發(fā)明的這些或其他優(yōu)勢將會通過在本發(fā)明書中特別指出的結(jié)構(gòu)和方法、權(quán)利要求以及附圖實現(xiàn)和獲得。為了達到這些和其他優(yōu)勢并根據(jù)本發(fā)明的目的，如具體和廣泛描述的，一種抗蝕溶液包括基聚合物；印刷溶劑，該印刷溶劑滿足條件6>5自或5.^>11，其中5,是該溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6<5s。lvt:nt<11并且^K2(D)，其中，)a是偶極距；載體溶劑；和表面活性劑。在本發(fā)明的另一方面，一種制作薄膜圖案的方法包括將抗蝕溶液注入到印刷輥上的橡皮布中，其中抗蝕溶液包括印刷溶劑，該印刷溶劑滿足條件6>&別或5溶劑>11，其中5溶劑是該溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6<Ss。lvent<11并且p<2(D)，其中，p是該溶劑的偶極距；旋轉(zhuǎn)印刷輥以將抗蝕溶液均勻涂覆在橡皮布上；在印版上滾動涂覆有抗蝕溶液的印刷輥以對該抗蝕溶液構(gòu)圖，由此形成抗蝕圖案；將抗蝕圖案從印刷輥轉(zhuǎn)印至基板；硬化抗蝕圖案；使用抗蝕圖案在基板上形成所需薄膜圖案。在本發(fā)明的另一方面，一種制作LCD器件的方法包括制備薄膜晶體管基板，該基板包括將抗蝕溶液注入到印刷輥上的橡皮布中，其中該抗蝕溶液包括印刷溶劑，該印刷溶劑滿足條件6>&,或>11，其中5,是該溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6<5s。lvent<11并且|1<2(D)，其中，p是該溶劑的偶極距；旋轉(zhuǎn)印刷輥以將抗蝕溶液均勻涂覆在橡皮布上；在印版上滾動涂覆有抗蝕溶液的印刷輥以對該抗蝕溶液構(gòu)圖，由此形成抗蝕圖案；將抗蝕圖案從印刷輥轉(zhuǎn)印至基板；硬化抗蝕圖案；使用抗蝕圖案在基板上形成所需薄膜圖案；制備濾色片基板；在薄膜晶體管基板和濾色片基板之間提供液晶層；粘結(jié)薄膜晶體管基板和濾色片基板。容易理解，上述的概要描述和以下詳細的描述都是示例性和解釋性的，并提供所要求保護的本發(fā)明的更進--歩說明。引入并作為本說明書的-部分并提供本發(fā)明的進一步說明的附圖，結(jié)合用于說明本發(fā)明原理的描述，示出r本發(fā)明的實施例。在附圖中圖1示出了相關(guān)技術(shù)的反向防印裝置；圖2示出了溶劑的溶解參數(shù)5和PDMS的溶脹比的圖表；圖3示出了二甲苯酚(Xylenol)和三甲基苯酚(TMP)的分子結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)式；圖4A、4B、4C、4D和4E示出了根據(jù)本發(fā)明實施方式制作薄膜圖案的裝置和方法。具體實施例方式現(xiàn)將參照附圖所示的實施例而詳細描述本發(fā)明的實施方式。盡可能的，在整個附圖中使用相同的附圖標記表示相同或相似的部件。根據(jù)本發(fā)明實施方式制作薄膜圖案的的裝置和方法可以使用不會損害印刷輥上的橡皮布的抗蝕溶液。從而，提高了薄膜圖案的可靠性，同時提高了橡皮布的壽命。本發(fā)明使用不會浸入到橡皮布內(nèi)的用于抗蝕溶液中的溶劑的材料。圖2示出了一張圖表，其中水平軸代表溶劑的溶解參數(shù)5,垂直軸代表PDMS的溶脹比。PDMS的溶解參數(shù)S約為7.3(cal1/2cm—3/2)。如圖所示，溶解參數(shù)5約為7.3(cal1/2cm，-)的溶劑對應(yīng)于相對較大的溶脹比。例如，二異丙基乙胺溶劑和三乙胺溶劑的溶解參數(shù)5約為7.3。如圖所示，對應(yīng)的PDMS中的溶脹比對于二異丙基乙胺為0.33(s)，而對于三乙胺為0.23(s)。這些比率相對較高。在表示Flory-Huggins原理的公式1中說明了這一點。公式1<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(x:相互作用系數(shù))如果相互作用系數(shù)X變得接近于"O"，則積極發(fā)生相互作用，反之如果相互作用系數(shù)X變大，則不發(fā)生相互作用。因此，如果在溶液14a中使用溶解參數(shù)5約為7.3(Cal1/2Cm—3/2)的溶劑，同時橡皮布15由PDMS制成，則表面親合力增加以允許積極相互作用。從而，隨著溶劑浸入到橡皮布15中，橡皮布15很可能發(fā)生膨脹。因此，在本發(fā)明中，使用滿足公式2條件的溶劑以防止橡皮布的膨脹。公式26>5溶劑5溶劑>11如在圖表2中所示，滿足公式2條件的溶劑具有較低的溶脹比。當將這些溶劑代入公式l時，相互作用系數(shù)x變大。這表明防止了橡皮布的膨脹。同樣，在圖2的A區(qū)域和B區(qū)域中的溶劑具有較低的溶脹比，盡管它們的溶解參數(shù)5不滿足公式2。在A區(qū)域和B區(qū)域中的這些溶劑通常具有小于2(D)的偶極矩p。因此，盡管A區(qū)域和B區(qū)域中的溶劑的溶解參數(shù)5不滿足公式2的條件，但是如果使用滿足下面公式3的條件的溶劑，也能夠避免橡皮布的膨脹。公式36>5溶劑<11并且}i<2(D)如果使用滿足公式2和3中任一個的溶劑形成抗蝕溶液14a，能夠避免橡皮布的膨脹。滿足公式2和3中任一個的溶劑將在下面進行描述。甲醇、乙醇、異丙醇和丁醇中的任一個或其組合可被用來作為載體溶劑。這些醇的沸點小于100°C。載體溶劑降低了抗蝕溶液14a的粘性，以將抗蝕溶液14a均勻涂覆在橡皮布15上，并在將抗蝕溶液14a涂覆在橡皮布15上之后可直接將其移除。當載體溶劑的沸點小于100°C時，能夠獲得載體溶劑的最佳移除。因此，任何具有小于100°C沸點的溶劑都可用作載體溶劑。用作印刷溶劑的材料包括NMP(l-甲基l-2-吡咯垸酮)、二苯醚、碳酸丙烯和二甲基甲酰胺(DMF)中的任一個或其組合。以上列出的印刷溶劑的特性在表1中示出。表1<table>complextableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table><table>complextableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>印刷溶劑影響了涂覆在橡皮布15上的抗蝕溶液14a的粘性，并允許溶液14a印刷在印版20或基板30上。同樣，由于印刷溶劑在完成印刷之前應(yīng)當保留在溶液14a中，具有相對較高沸點的溶劑可用作印刷溶劑。以上列出的溶劑具有相對較高的沸點151°C或更高。包括前述載體溶劑和前述印刷溶劑的抗蝕溶液的成分將在下面進行描述?？刮g溶液14a可包括基聚合物、載體溶劑、印刷溶劑、表面活性劑和染料?；酆衔锟删哂谢诿?00w/抗蝕溶液中3wt。/。到30wt。/。范圍內(nèi)的含量并且分子重量在2000到100000范圍內(nèi)。包括甲酚紅酚醛和對位甲酚酚酸中至少一種的材料可用作為基聚合物。同樣，在圖3中示出的二甲苯酚和/或TMP也可用作基聚合物。包括硬脂酸、棕櫚酸、十二(烷)酸和十八烯酸中的任一種或其組合的酸基材料可用作表面活性劑。同樣，例如二辛基(2-乙基)磺基琥珀酸酯、磷酸酉旨、FOS100(CF3(CF2)4(CH2CH20)10)或FSN-100(CF3(CF2)5(CH2CH20)14)的磺酸酯基材料中的任何一種或其組合可用作表面活性劑。表面活性劑可具有基于每100w/抗蝕溶液中0.01wt。/o到3wtn/。范圍內(nèi)的含量。將染料部分地加入到抗蝕溶液種，以在通過反向印刷方法在基板上形成抗蝕溶液之后獲得可見度。染料可具有基于每100抗蝕溶液中0.01wtM到1.0wtM范圍內(nèi)的含量?；诙谆被?苯基的材料和/或基于乙基氨基-苯基的材料可用作染料。例如，二(4-N-N-二甲氨基-苯基)-2-氟苯基)-甲烷和/或二(4-N-N-二甲氨基-苯基)—2-氟苯基)乙酰(acetonitrrle)可用作染料?；诿?00m/抗蝕溶液在該抗蝕溶液中包含的溶劑中，載體溶劑可占有50voiy。-90vol。/。范圍內(nèi)的含量，印刷溶劑可占有10vol。/。-50vol。/。范圍內(nèi)的含量。具有上述成分的抗蝕溶液可具有3-6cp范圍內(nèi)的粘性和18-27mN/m范圍內(nèi)的表面張力。同樣，抗蝕溶液14a以約50。或更小的角度與橡皮布15接觸。如果使用包括上述材料的抗蝕溶液形成薄膜圖案，可防止對橡皮布的損害，從而提高橡皮布的壽命并形成可靠的薄膜圖案。使用本發(fā)明的抗蝕溶液制作薄膜圖案的裝置和方法將參考圖4A至圖4E進行描述。如圖4A屮所示，將來自抗蝕溶液注射器12的抗蝕溶液14a注入到纏繞在印刷輥10h的橡皮布15中。旋轉(zhuǎn)印刷輥10以將抗蝕溶液14a均勻涂覆在橡皮布15.匕用于抗蝕溶液14a的溶劑滿足公式2或公式3。然后，如圖4B中所示，在印版20上旋轉(zhuǎn)涂覆有抗蝕溶液14a的印刷輥10并同時與印版20接觸，以使抗蝕溶液14a僅從印刷輥10轉(zhuǎn)印至凸起20b。因此，如圖4C中所示，具有所需薄膜圖案的抗蝕圖案14b保留在印刷輥10中。然后，如圖4D中所示，將轉(zhuǎn)引至印刷輥10上的抗蝕圖案14b然后轉(zhuǎn)印至基板30匕該基板30具有形成在其上的預(yù)定金屬層32a。金屬層32a可以是例如柵金屬層。然后進行硬化工藝。結(jié)果如圖4E中所示，可以形成用于構(gòu)圖金屬層32a的抗蝕圖案14c。然后，對沒有與抗蝕圖案14c交疊的金屬層32a進行構(gòu)圖以在基板30上形成所需的薄膜圖案。在前述根據(jù)本發(fā)明實施方式制作薄膜圖案的裝置和方法中，可以形成特別是用于液晶顯示器件的薄膜圖案。該薄膜圖案也可用于場致發(fā)射器件、等離子顯示板和有機發(fā)光器件。如上所述，根據(jù)本發(fā)明實施方式的制作薄膜圖案的裝置和方法具有如下優(yōu)點。薄膜圖案可由使用抗蝕溶液的反向印刷方法形成，該抗蝕溶液具有溶解參數(shù)5滿足條件"6>5翻或5翻>11"或具有偶極矩p小于2(D)的溶劑。因而，提高了橡皮布的壽命并減少了制作成本。同樣，提高了形成薄膜圖案的可靠性。顯而易見，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下，可以對本發(fā)明進行多種修改和變更。因此，本發(fā)明覆蓋落入所附權(quán)利要求及其等價物的范圍之內(nèi)的所有修改和變更。權(quán)利要求1、一種抗蝕溶液，包括基聚合物；印刷溶劑，其滿足條件6＞δ溶劑或δ溶劑＞11，其中，δ溶劑為該溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6＜δ溶劑＜11并且μ＜2(D)，其中μ為偶極矩；載體溶劑；和表面活性劑。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，還進一歩包括由基于二甲基氨基-苯基的材料和/或基于乙基氨基-苯基的材料制成的染料。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，所述印刷溶劑包括NMPd-甲基"2—吡咯垸酮)、二苯醚、碳酸丙烯和二甲基甲酰胺(DMF)中的任一種或其組合。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，所述基聚合物包括甲酚紅酚醛和對位甲酚酚醛中的至少一種。5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，所述載體溶劑為甲醇、乙醇、異丙醇和丁醇中的任一種或其組合。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，所述表面活性劑包括硬脂酸、棕櫚酸、十二(烷)酸、十八烯酸或例如二辛基(2-乙基)磺基琥珀酸酯、磷酸酯、FOS100(CF3(CF2)4(CH2CH20)1())或FSN-100(CF3(CF2)5CH2CH20)14)的基于磺酸酯的材料中的至少一種。7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，所述聚合物的含量在約3wty。到30wtn/。的范圍內(nèi)，所述印刷溶劑的含量在約10vol"/。到50vol。/。的范圍內(nèi)，所述載體溶劑的含量在約5090vol。/。到90voP/。的范圍內(nèi)，所述表面活性劑的含量在約0.01wt。/。到3wtc/。的范圍內(nèi)。8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕溶液，其特征在于，其具有約3到6cp范圍內(nèi)的粘性和約18到27mN/m范圍內(nèi)的表面張力。9、一種制作薄膜圖案的方法，包括將抗蝕溶液注入到印刷輥上的橡皮布中，其中所述抗蝕溶液包括印刷溶劑，所述印染溶劑滿足條件6>5，或5」>11，其中S,是所述溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6<5溶劑<11并且^<2(D)，其中^為所述溶劑的偶極矩；旋轉(zhuǎn)所述印刷輥以將所述蝕刻溶液均勻涂覆在所述橡皮布上；在印版上滾動涂覆有所述抗蝕溶液的所述印刷輥至，以對所述抗蝕溶液構(gòu)圖從而形成抗蝕圖案；將所述抗蝕圖案從所述印刷輥轉(zhuǎn)印至基板；硬化所述抗蝕圖案；并且使用所述抗蝕圖案在所述基板上形成所需薄膜圖案。10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在所述基板上形成傳導層，并且該傳到層為柵極層、源極層、漏極層或像素電極層屮的至少一種。11、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，通過蝕刻形成所需薄膜圖案，并移除所述抗蝕圖案。12、根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述薄膜圖案為柵極、源極、漏極或像素電極中的至少一種。13、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一歩包括由基于二甲基氨基-苯基材料和/或基于乙基氨基-苯基材料形成的染料。14、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述印刷溶劑包括NMPU—甲基"24J比咯烷酮)、二苯醚、碳酸丙烯和二甲基甲酰胺(DMF)中的任一種或其組合。15、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一步包括由甲酚紅酚醛和對位甲酚酚醛中的至少一種制成的基聚合物。16、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一歩包括由甲醇、乙醇、異丙醇和丁醇中的任一種或其組合制成的載體溶劑。17、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一步包括由硬脂酸、棕櫚酸、十二(烷)酸、十八烯酸中或例如二辛基(2-乙基)磺基琥珀酸酯、磷酸酯、FOS100(CF3(CF2)4(CH2CH20)1())或FSN-100(CF3(CF2)5(CH2CH20)14)的基于磺酸酯的材料中的至少一種制成的表面活性劑。18、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一歩包括含量在約3wt。/。到30wt。/。范圍內(nèi)的基聚合物，含量在約10vol。/。到50vol。/。范圍內(nèi)的印刷溶劑，含量在約50volM到90voiy。范圍內(nèi)的載體溶劑，和含量在約0.01Wt。/。到30wt。/。范闈內(nèi)的表面活性劑。19、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液具有約3到6cp范圍內(nèi)的粘性和約18到27mN/m范圍內(nèi)的表面張力。20、一種制作液晶顯示器件的方法，包括制備薄膜晶體管基板，包括將抗蝕溶液注入印染輥上的橡皮布中，其中所述抗蝕溶液包括印刷溶劑，所述印染溶劑滿足條件6>5,或5目>11，其中5自為所述溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6<5郝'<11并且^<2(D)，其中p為所述溶劑的偶極矩；旋轉(zhuǎn)所述印刷輥以將所述溶液均勻涂覆在所述橡皮布上；在印版上滾動涂覆有所述抗蝕溶液的印刷輥以對所述抗蝕溶液構(gòu)圖，由此形成抗蝕圖案；將所述抗蝕圖案從所述印刷輥轉(zhuǎn)印至基板；硬化所述抗蝕圖案；并且使用所述抗蝕圖案在所述基板上形成所需薄膜圖案；制備濾色片基板；在薄膜晶體管基板和濾色片基板之間提供液晶層；粘結(jié)所述薄膜晶體管基板和濾色片基板。21、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述制備的薄膜晶體管基板包括柵極、源極、漏極和像素電極。22、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，通過蝕刻形成所述所需薄膜圖案，并移除所述抗蝕圖案。23、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述薄膜圖案是柵極、源極、漏極或像素電極中的至少一種。24、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一步包括基于二甲基氨基-苯基材料和/或基于乙基氨基-苯基材料的染料。25、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述印刷溶劑包括NMP(1_甲基1-2-吡咯垸酮)、二苯醚、碳酸丙烯和二甲基甲酰胺(DMF)中的任一種或組合。26、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一步包括由甲酚紅酚醛和對位甲酚酚醛中至少一種制成的基聚合物。27、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進-歩包括由甲醇、乙醇、異丙醇和丁醇中的任一種或其組合制成的載體溶劑。28、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一歩包括由硬脂酸、棕櫚酸、十二(烷)酸、十八烯酸中或例如二辛基(2-乙基)磺基琥珀酸酯、磷酸酯、FOS100(CF3(CF2)4(CH2CH20)10)或FSN-100(CF3(CF2)5(CH2CH20),4)的基r磺酸酯的材料中的至少一種制成的表面活性劑。29、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液進一步包括含量在約3wt。/。到30wt。/。范圍內(nèi)的基聚合物，含量在約10voP/。到50vol。/。范圍內(nèi)的印刷溶劑，含量在約5vol。/。0到90vol。/。范圍內(nèi)的載體溶齊IJ，和含量在約0.01wt。/o到30wt。/。范圍內(nèi)的表面活性劑。30、根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述抗蝕溶液具有約3到6cp范圍內(nèi)的粘性和約18到27mN/m范圍內(nèi)的表面張力。全文摘要本發(fā)明公開了一種制作薄膜圖案的方法，其能夠提高橡皮布的壽命、減少成本并提高形成薄膜圖案的可靠性。所述方法包括將抗蝕溶液注入到印刷輥上的橡皮布中，其中所述抗蝕溶液包括印刷溶劑，所述印刷溶劑滿足條件6＞δ_溶劑或δ_溶劑＞11，其中δ_溶劑是所述溶劑的溶解參數(shù)，或滿足條件6＜δ_溶劑＜11并且μ＜2(D)，其中μ為所述溶劑的偶極矩；旋轉(zhuǎn)所述印刷輥以將所述抗蝕溶液均勻涂覆在所述橡皮布上；在印版上滾動涂覆有所述抗蝕溶液的印刷輥以將對所述抗蝕溶液構(gòu)圖，由此形成抗蝕圖案；將所述抗蝕圖案從所述印刷輥轉(zhuǎn)印至基板；硬化所述抗蝕圖案；并且使用所述抗蝕圖案在所述基板上形成所需薄膜圖案。文檔編號G03F7/00GK101196684SQ200710195638公開日2008年6月11日申請日期2007年12月4日優(yōu)先權(quán)日2006年12月4日發(fā)明者金珍郁申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會社