專利名稱：：相位調(diào)制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種相位調(diào)制裝置以及用于設(shè)置該相位調(diào)制裝置的方法。
背景技術(shù)：
：在現(xiàn)有技術(shù)中，利用硅基液晶(LCoS)的空間光調(diào)制器(SLM)是公知的。當(dāng)將電壓施加到像素電極時，LCoS中的液晶分子在基板的垂直平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從而調(diào)整入射光的相位調(diào)制量。然而，由于該相位調(diào)制量相對于施加到該像素電極的電壓非線性地改變，所以還無法獲得期望的相位調(diào)制量。圖1示出了想得到的LCoS空間光調(diào)制器。由于LCoS硅基板21在半導(dǎo)體加工過程中形成，所以硅基板21不能夠制造得較厚，因此其機(jī)械強(qiáng)度低。因此，如圖l所示，在制造LCoS元件的過程期間產(chǎn)生的應(yīng)力會使硅基板21變形，這會降低LCoS鏡面的平坦度。另外，液晶層27的厚度在該LCoS中是不均勻的，并且各像素的相位調(diào)制量隨著該液晶層27厚度的不同而不同。因此，由于液晶層27的厚度的不規(guī)則性以及反射面的變形，從該LCoSSLM反射的光的波前(wavefront)大大變形，這導(dǎo)致各像素的相位調(diào)制量不同。更具體地講，相位調(diào)制量O(V,x,y)由下面的式(1)表示，其中，x和y方向上的像素位置由(x,y)給出，并且V是電壓。0)(F,x,力-(j)(F,x,力+(D。(;c,力(1)基于該式，通過將依賴于電壓的々(V，x,y)加到與電壓無關(guān)的量Oo(x，y)來獲得O(V，x，y)。這里，())(V,x,y)由下式表示。^7,;c,少)rr2A"(r)^X;/)(2)在上式中，An(V)是其電場在平行于液晶配向方向的方向上振蕩的偏振成分的雙折射率;d(x，y)是位置(x,y)處的液晶層27的厚度。因此，纟(V，x，y)依賴于液晶層的厚度d(x，y)，并且隨著像素的不同而不同。另外，對于每個像素，電壓V和(KV，x,y)之間的關(guān)系是非線性的。另一方面，(Do(x，y)主要?dú)w因于LCoS反射面(硅基板21)的變形。在下文中，相位調(diào)制量相對于電壓的非線性以及由d(x,y)的不規(guī)則性導(dǎo)致的每個像素的相位調(diào)制量的不規(guī)則性將被統(tǒng)稱為電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。換言之，該電壓相關(guān)相位調(diào)制特性表示相位調(diào)制量O(V,x，y)中的(KV，x,y)的性質(zhì)。另外，由0^(x，y)表示的由LCoS反射面的變形導(dǎo)致的各位置(x，y)的相位調(diào)制量的不規(guī)則性將被稱作電壓無關(guān)變形。己經(jīng)提出了多種方法來較正相位調(diào)制特性，諸如"PhaseCalibrationofSpatiallyNonuniformSpatialLightModulator"[AppliedOpt"vol.43,No.35，2004年12月](下文中稱作參考文獻(xiàn)1)、"ImprovingSpatialLightModulatorPerformancethroughPhaseCompensation"[Proc.SPIE,vol.5553，2004年10月](下文中稱作參考文獻(xiàn)2)、或"HighlyStableWavefrontcontrolusingahybridliquid-crystalspatiallightmodulator"[Proc.SPIE,volume6306，2006年8月](下文中稱作參考文獻(xiàn)3)。此外，在國際公開W02003/036386中公開的一種方法中，通過使用用于抵消變形的圖案來校準(zhǔn)電壓無關(guān)變形。通過使用相位調(diào)制型SLM在雙光束干涉儀中測量波前變形來獲得該圖案。在參考文獻(xiàn)1和2中的LCoSSLM中，在使用雙光束干涉儀測量波前變形之后進(jìn)行校準(zhǔn)。然而，利用雙光束干涉儀進(jìn)行的測量組合了電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和電壓無關(guān)變形。另外，參考文獻(xiàn)1中的方法沒有對非線性進(jìn)行正確校準(zhǔn)，而僅從非線性特性中提取相對接近線性的區(qū)域。參考文獻(xiàn)2使用單個查找表來校準(zhǔn)所有像素的非線性。因此，該方法不能校正各像素之中由電壓相關(guān)相位調(diào)制特性導(dǎo)致的相位調(diào)制量的不規(guī)則性。結(jié)果，當(dāng)校準(zhǔn)具有嚴(yán)重變形的LCoSSLM時，該方法較不精確。在參考文獻(xiàn)3中，使用偏振干涉儀來測量確定相位調(diào)制型SLM的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量。在該方法中，將多個塊構(gòu)建為使每個塊包括4x4個像素。針對每個塊創(chuàng)建查找表。從而，采用這些查找表來校正電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種能夠精確地校準(zhǔn)電壓相關(guān)相位調(diào)制特性以及電壓無關(guān)變形的相位調(diào)制裝置以及一種用于設(shè)置該相位調(diào)制裝置的方法。為了實(shí)現(xiàn)以上和其他目的，本發(fā)明提供了一種相位調(diào)制裝置。該相位調(diào)制裝置包括空間光調(diào)制器、輸入值設(shè)置單元、多個參考數(shù)據(jù)集、轉(zhuǎn)換單元以及驅(qū)動單元。該空間光調(diào)制器包括彼此相鄰地按二維排列的多個像素。各像素能夠響應(yīng)于驅(qū)動電壓的施加而對輸入光進(jìn)行相位調(diào)制。輸入值設(shè)置單元設(shè)置各像素的輸入值。每個參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于至少一個像素。轉(zhuǎn)換單元通過參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集把為各像素輸入的輸入值轉(zhuǎn)換成控制值。驅(qū)動單元將該控制值轉(zhuǎn)換成電壓值。該驅(qū)動單元采用與所述電壓值相對應(yīng)的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素。各參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的多個第一值和從其取得控制值的多個第二值相互關(guān)聯(lián)，以確保所述多個第一值與由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系。根據(jù)另一方面，本發(fā)明提供了一種用于設(shè)置相位調(diào)制裝置的方法。該相位調(diào)制裝置包括空間光調(diào)制器，其包括彼此相鄰地按二維排列的多個像素，各像素能夠能夠響應(yīng)于驅(qū)動電壓的施加而對輸入光進(jìn)行相位調(diào)制；輸入值設(shè)置單元，其設(shè)置各像素的輸入值；和驅(qū)動單元，其將控制值轉(zhuǎn)換成電壓值，所述驅(qū)動單元利用與所述電壓值相對應(yīng)的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素。該方法包括產(chǎn)生多個參考數(shù)據(jù)集，該產(chǎn)生步驟包括針對至少一個像素，測量表示所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量；基于所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性產(chǎn)生多個參考數(shù)據(jù)集，使每個參考數(shù)據(jù)集與至少一個像素相對應(yīng)并且使每個參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的多個第一值和從其取得控制值的多個第二值相互關(guān)聯(lián)以確保所述多個第一值和由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系；以及將所述轉(zhuǎn)換單元設(shè)置為針對各像素通過參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集將所述控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值。在這些圖中圖1是示出了可想到的相位調(diào)制裝置的LCoS反射面的變形的說明圖；圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；圖3是示出了LCoS空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的說明圖；圖4(A)是示出了當(dāng)在像素電極和相對電極之間不存在勢差時LCoS空間光調(diào)制器中的液晶分子的狀態(tài)的說明圖；圖4(B)是示出了當(dāng)在像素電極和相對電極之間存在相對較小的勢差時LCoS空間光調(diào)制器中的液晶分子的狀態(tài)的說明圖；圖4(C)是示出了當(dāng)在像素電極和相對電極之間存在相對較大的勢差時LCoS空間光調(diào)制器中的液晶分子的狀態(tài)的說明圖；圖5是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的查找表(LUT)的說明圖；圖6是示出了利用D/A電路進(jìn)行的轉(zhuǎn)換的說明圖；圖7是示出了使用根據(jù)第一實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器的相位調(diào)制方法的步驟的流程圖；圖8是示出了設(shè)置用于驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器的電壓的最小值和最大值的方法的步驟的流程圖；圖9是示出了偏振干涉儀的結(jié)構(gòu)的說明圖；圖IO是示出了DA輸入值和相位調(diào)制量之間的關(guān)系的曲線圖；圖11是示出了設(shè)置了電壓的最小值和最大值之后的DA輸入值和相位調(diào)制量之間的關(guān)系的曲線圖；圖12是示出了產(chǎn)生LUT的方法的步驟的流程圖；圖13是示出了相位調(diào)制量和通過使用LUT對電壓相關(guān)相位調(diào)制特性進(jìn)行校準(zhǔn)而獲得的控制輸入值之間的關(guān)系的曲線圖；圖14是示出了邁克耳遜干涉儀的結(jié)構(gòu)的說明圖；圖15是示出了形成校準(zhǔn)圖案的方法的步驟的流程圖；圖16是示出了根據(jù)圖15中的方法產(chǎn)生的校準(zhǔn)圖案的說明圖；圖17(A)是示出了通過應(yīng)用LUT和校準(zhǔn)圖案來執(zhí)行相位調(diào)制的結(jié)果的說明圖；圖17(D——是示出了不使用LUT和校準(zhǔn)圖案而執(zhí)行相位調(diào)制的結(jié)果的說明圖；圖18是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的第一變型的LCoS空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的說明圖；圖19是示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的第二變型的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；圖20示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的第三變型的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；圖21是根據(jù)第一實(shí)施方式的第七變型的包括校準(zhǔn)圖案數(shù)據(jù)的LUT的說明圖；圖22是示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；圖23是示出了LUT映射的一個實(shí)施例的說明圖；圖24是示出了LUT映射的另一實(shí)施例的說明圖；圖25是示出了LUT映射的另一實(shí)施例的說明圖；圖26是根據(jù)第二實(shí)施方式的LUT的說明圖；圖27是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器的相位調(diào)制方法的步驟的流程圖；圖28是示出了產(chǎn)生LUT映射的方法的步驟的流程圖；圖29是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的產(chǎn)生LUT的方法的步驟的流程圖；圖30是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的第三變型的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；圖31是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的第四變型的LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的框圖；說明書第6/45頁圖32是根據(jù)第二實(shí)施方式的第十一變型的包括校準(zhǔn)圖案數(shù)據(jù)的LUT的說明圖；圖33(A)是示出了LCoS空間光調(diào)制器中的液晶層的厚度的說明圖；圖33(B)是示出了LCoS空間光調(diào)制器中的液晶層的厚度以及玻璃基板的傾斜的說明圖；以及圖34是示出了根據(jù)第二實(shí)施方式的第十二變型的變型的產(chǎn)生LUT映射的方法的步驟的流程圖。具體實(shí)施方式接下來，將參照附圖來描述本方面的優(yōu)選實(shí)施方式。<第一實(shí)施方式>首先，將參照圖2到圖17(B)來描述本發(fā)明的第一實(shí)施方式。如圖2所示，根據(jù)第一實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器l包括LCoS空間光調(diào)制器2;驅(qū)動單元3，用于向LCoS空間光調(diào)制器2施加電壓；和控制單元4，用于將諸如稍后所述的控制輸入值的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動單元3。如圖3所示，LCoS空間光調(diào)制器2包括硅基板21、間隔物26、以及通過間隔物26與硅基板21接合的玻璃基板25。在硅基板21和玻璃基板25之間形成的空間填充有具有液晶分子28的液晶層27。多個像素電極22以及用于控制施加到像素電極22的電壓的電路(未示出)形成在硅基板21上。配向?qū)?3形成于像素電極22上方。玻璃基板25包括相對電極24和另一個配向?qū)?3。電極24通過液晶層27與像素電極22相對。液晶層27中的液晶分子28形成為具有水平配向、垂直配向、或混合配向。LCoS空間光調(diào)制器2中的像素電極22由鋁形成，并且用作用于反射入射光的反射鏡。每個像素電極22在進(jìn)行相位調(diào)制時對應(yīng)于一個像素。在本實(shí)施方式中，將假定LCoS空間光調(diào)制器2總共具有T個像素，其中T是自然數(shù)。每個像素具有唯一的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和唯一的電壓無關(guān)相位調(diào)制特性。因此，本實(shí)施方式中的該LCoS空間光調(diào)制器2滿足式(l)和式(2)。假定x和y方向上的像素位置由(x，y)給出，An(V)是其電場在平行于液晶配向方向的方向上振蕩的偏振成分的雙折射率，并且d(x,y)是位置(x,y)處的液晶層27的厚度。如稍后參照圖6將描述的，各像素能夠在電壓范圍P-S內(nèi)操作，但是在優(yōu)選實(shí)施方式中被控制為在電壓范圍P-S內(nèi)設(shè)定的規(guī)定工作電壓范圍Q-R內(nèi)操作。例如，用于控制施加到該像素電極22的電壓的電路是有源矩陣電路。對于每個像素電極22，該有源矩陣電路包括晶體管和電容器。與該晶體管相連的有沿行方向(x方向)延伸的、用于選擇像素電極22的選通信號線；和沿列方向(y方向)延伸的、用于提供模擬電壓信號的數(shù)據(jù)信號線。通過將Hi信號施加到對應(yīng)的選通信號線來選擇像素電極22，并且通過經(jīng)由數(shù)據(jù)信號線在所選擇的像素電極22的電容器中輸入模擬電壓信號，來控制對應(yīng)的像素電極的電壓。通過順序地切換所選擇的數(shù)據(jù)信號線和選通信號線，可以對于所有像素電極22輸入規(guī)定電壓。如圖4(A)到圖4(C)所示，將期望電壓施加到像素電極22以使對應(yīng)的液晶分子28旋轉(zhuǎn)。圖4(A)示出了當(dāng)在像素電極22和電極24之間不存在電勢差時的液晶分子28的狀態(tài)。圖4(B)示出了當(dāng)存在相對較小的電勢差時的液晶分子28的狀態(tài)，而圖4(C)示出了當(dāng)存在相對較大的電勢差時的液晶分子28的狀態(tài)。當(dāng)所施加電壓變化時，偏振方向上的雙折射率改變。因此，入射光的相位被調(diào)制。從LCoS空間光調(diào)制器2的玻璃基板25側(cè)照射偏振平面平行于液晶的配向方向的線性偏振光，以調(diào)制光的相位。入射到玻璃基板25側(cè)的光傳播通過液晶層27并且被像素電極22反射，從而該光再次傳播通過液晶層27并且從玻璃基板25射出。在傳播通過液晶層27的同時，光的相位被調(diào)制?？梢酝ㄟ^針對每個像素電極22調(diào)制光的相位來控制光的相位分布。因而，LCoS空間光調(diào)制器2能夠控制波前。如圖2所示，控制單元4是個人計(jì)算機(jī)，該個人計(jì)算機(jī)例如具有中央處理單元(CPU)41、通信單元42、存儲器單元43、以及硬盤驅(qū)動器(HDD)44。HDD44存儲有期望圖案13、所有T個像素的查找表(LUT)11(參考數(shù)據(jù)集)、以及校準(zhǔn)圖案12。LUT11與LCoS空間光調(diào)制器2中的每個像素一一對應(yīng)，并且用于對對應(yīng)像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性進(jìn)行校準(zhǔn)。CPU41用于控制整個控制單元4。HDD44還存儲用于實(shí)現(xiàn)稍后描述的圖7的處理流程圖的程序。CPU41從HDD44中讀取該程序并且執(zhí)行該程序，從而使LCoS相位調(diào)制器1能夠執(zhí)行圖7所示的相位調(diào)制處理。期望圖案13包括各像素的位置數(shù)據(jù)以及表示要在各像素中獲得的期望相位調(diào)制量的值(在下文中稱作像素輸入值)。該像素輸入值是具有總計(jì)N個不同的輸入等級(從0到N-1)中的一個的數(shù)字信號。在優(yōu)選實(shí)施方式中，N-256。像素輸入值的從0到N-l的N個等級表示從0到2ti的一個周期的相位調(diào)制量。校準(zhǔn)圖案12用于校正電壓無關(guān)變形。校準(zhǔn)圖案12包括各像素的位置數(shù)據(jù)以及要加到各像素的像素輸入值的值(在下文中稱作像素校正值)。該像素校正值也是具有N個不同等級(從0到N-1)中的一個的數(shù)字信號。從0到N-l的N個等級的像素校正值表示從0到2tc的一個周期的相位校正量。CPU41包括轉(zhuǎn)換器46以及輸入值設(shè)置單元47。輸入值設(shè)置單元47基于像素輸入值和像素校正值來設(shè)置各像素的控制輸入值A(chǔ)。轉(zhuǎn)換器46參考對應(yīng)的LUT11將為各像素設(shè)置的控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成數(shù)字模擬(DA)輸入值B。當(dāng)利用上述LCoS相位調(diào)制器1進(jìn)行相位調(diào)制時，CPU41將LUT11、校準(zhǔn)圖案12以及期望圖案13從HDD44讀入存儲器單元43。輸入值設(shè)置單元47針對各像素將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加，并且將該控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為該和。該控制輸入值A(chǔ)是具有總計(jì)N個等級(從0到N-1)中的一個的數(shù)字信號。在優(yōu)選實(shí)施方式中，N=256。如果得到的和超過N，則輸入值設(shè)置單元47執(zhí)行附加處理以折疊(foldback)控制輸入值A(chǔ)的相位并且將控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為該過程的結(jié)果。換言之，控制輸入值A(chǔ)被設(shè)置為與相位調(diào)制量一致并且與從0到N-1的相位調(diào)制量的一個周期(2兀[弧度])相對應(yīng)。因此，在相位折疊處理中，輸入值設(shè)置單元47將來自上述加法處理的控制輸入值A(chǔ)為負(fù)或超過255的值用將這些值除以256而獲得的余數(shù)來代替。例如，如果該和是512，則控制輸入值A(chǔ)被設(shè)置為O。如果該和是394，則控制輸入值A(chǔ)被設(shè)置為128。為了得到將一負(fù)值除以256的余數(shù)，首先輸入值設(shè)置單元47可以求該負(fù)值的絕對值并且將上述和設(shè)置為可以加到該絕對值從而產(chǎn)生256的整數(shù)倍的最小正值。例如，如果該和是-64，則控制輸入值A(chǔ)被設(shè)置為192。轉(zhuǎn)換器46基于對應(yīng)的LUT11，針對各像素將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。DA輸入值B是具有總計(jì)M個輸入等級(從0到M-l)的數(shù)字信號，其中M是滿足表達(dá)式M〉N的整數(shù)。在優(yōu)選實(shí)施方式中，M=4096。通信單元42將該DA輸入值B和其他數(shù)據(jù)輸出到驅(qū)動單元3。驅(qū)動單元3包括通信單元33、處理單元31、以及數(shù)字模擬(D/A)電路32。通信單元33用于從控制單元4接收諸如DA輸入值的數(shù)據(jù)。處理單元31基于DA輸入值B產(chǎn)生數(shù)字控制信號，該數(shù)字控制信號包括用于驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2所需的垂直同步信號、水平同步信號等。處理單元31還將DA輸入值B輸出到D/A電路32。D/A電路32包括上述的驅(qū)動部321。驅(qū)動部321針對各像素將DA輸入值B轉(zhuǎn)換成在可操作電壓范圍P-S內(nèi)設(shè)置的規(guī)定工作電壓范圍Q-R內(nèi)的電壓值，并且利用具有所獲取電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素。首先，驅(qū)動部321針對各個像素將DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示要施加到LCoS空間光調(diào)制器2的工作電壓的模擬信號C。如圖6所示，D/A電路32被配置為將0與4095之間的DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示工作電壓范圍Q-R(從最小值Q到最大值R)內(nèi)的驅(qū)動電壓值的模擬信號C。這里，DA輸入值B(0-4095)被線性地分配到工作電壓范圍Q-R，并且工作電壓范圍Q-R是在其中可以操作該LCoS空間光調(diào)制器2的操作電壓范圍P-S的一部分。各像素根據(jù)其自身的相位調(diào)制特性將光的相位調(diào)制一與施加到該像素的驅(qū)動電壓相對應(yīng)的相位量。轉(zhuǎn)換器46使用為各像素設(shè)置的LUT11針對各像素將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。驅(qū)動部321進(jìn)一步將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示工作電壓范圍Q-R內(nèi)的電壓值的模擬信號C，并且將該電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2。如圖5所示，LUT11表示能夠被選為控制輸入值A(chǔ)的值ta(第一值)與能夠被選為DA輸入值B的值tb(第二值)之間的相互關(guān)系。通過使用LUT11，把要選為DA輸入值B的值tb設(shè)置為使能夠被選為控制輸入值A(chǔ)的值ta與通過該DA輸入值B獲得的電壓相關(guān)相位調(diào)制量纟具有線性關(guān)系。圖5還示出了當(dāng)驅(qū)動部321將為DA輸入值B選擇的值tb轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的電壓值C并且將為該值的電壓施加到像素時，控制輸入值(ta)與由對應(yīng)像素獲得的測得相位調(diào)制量())之間的關(guān)系。然而，LUTll沒有與該相位調(diào)制量巾相對應(yīng)的數(shù)據(jù)。如圖5所示，值ta和相位調(diào)制量())具有線性關(guān)系。此外，為DA輸入值B選擇的值tb被設(shè)置為使得與為控制輸入值A(chǔ)選擇的各個ta相對應(yīng)的相位調(diào)制量(t)在所有LUT中基本相等。具體地講，用于DA輸入值B的值tb被設(shè)置為使得當(dāng)ta^0時小-1.5，當(dāng)ta二l時())=1.5078，等等。因此，如果針對各像素使用對應(yīng)的LUTll將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B并將該DA輸入值B進(jìn)一步轉(zhuǎn)換成用于施加電壓的模擬信號C，則相對于控制輸入值A(chǔ)，針對各像素而獲得的相位調(diào)制量c()基本呈線性。LUTll可以包括與相位調(diào)制量c[)相對應(yīng)的數(shù)據(jù)。如圖5所示，通過該處理獲得的相位調(diào)制量纟相對于控制輸入值A(chǔ)呈線性，在像素之間沒有變化。具有上述結(jié)構(gòu)的LCoS相位調(diào)制器1根據(jù)圖7所示的操作來進(jìn)行相位調(diào)制。在圖7所示的步驟1中(在下文中步驟將縮寫為"S")，控制單元4的CPU41將校準(zhǔn)圖案12從HDD4'4讀入存儲器單元43中。同時，在S2中CPU41執(zhí)行一并行處理，將期望圖案13從HDD44讀入存儲器單元43中。然而，此時，CPU41還可以產(chǎn)生期望圖案13并將該期望圖案13存儲在存儲器單元43中。在S3中，輸入值設(shè)置單元47針對各像素將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加，當(dāng)必要時折疊該和的相位，以找到各像素的控制輸入值A(chǔ)。在S4中，CPU41將與各像素相對應(yīng)的LUT11從HDD44讀入存儲器單元43中。在S5中，轉(zhuǎn)換器46通過參考對應(yīng)的LUT11為各像素的控制輸入值A(chǔ)找到DA輸入值B。在S6中，CPU41經(jīng)由通信單元42將該DA輸入值B發(fā)送到驅(qū)動單元3中的通信單元33。隨后，處理單元31從通信單元33接收該DA輸入值B，并將該DA輸入值B傳送到D/A電路32，在此時處理單元31產(chǎn)生數(shù)字控制信號。驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C并將該模擬信號C輸出到LCoS空間光調(diào)制器2。同時，從處理單元31向LCoS空間光調(diào)制器2輸出所述數(shù)字控制信號。據(jù)此，LCoS空間光調(diào)制器2對入射光的相位進(jìn)行調(diào)制。當(dāng)制造該LCoS相位調(diào)制器l時，將驅(qū)動部321、LUT11以及校準(zhǔn)圖案12設(shè)置為與設(shè)置在該LCoS相位調(diào)制器1中的LCoS空間光調(diào)制器2相對應(yīng)。HDD44還存儲用于實(shí)現(xiàn)圖7的處理流程圖的程序。進(jìn)行該設(shè)置的順序如下。首先，為D/A電路32的工作電壓范圍Q-R設(shè)置最小電壓Q和最大電壓R。接下來，為各像素設(shè)置LUTll，之后產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。最后，HDD44存儲用于實(shí)現(xiàn)圖7的處理流程圖的程序。將參照圖8來描述設(shè)置工作電壓的最小值Q和最大值R的方法。首先，在圖8的S11中，使用圖9所示的偏振干涉儀60來測量多個(例如，5個)任意選擇的像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性(小)。如圖9所示，偏振干涉儀60由以下部件構(gòu)成:氙氣燈61、準(zhǔn)直透鏡62、偏振片63、分束器64、LCoS相位調(diào)制器l、分析器65、成像透鏡66和67、帶通濾光片68、以及圖像傳感器69。在S11中，將驅(qū)動部321初始設(shè)置為，針對能夠施加到LCoS空間光調(diào)制器2的電壓的操作電壓范圍P-S的整個部分，分配DA輸入值B(0-4095)，如圖10所示。在偏振干涉儀60測量相位調(diào)制量的同時，D/A電路32的驅(qū)動部321針對所有像素將相同的DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C，并且利用相同的模擬信號C來驅(qū)動該LCoS空間光調(diào)制器2。針對從0到4095的各個DA輸入值B重復(fù)進(jìn)行該測量。圖像傳感器69對已利用LCoS空間光調(diào)制器2進(jìn)行了相位調(diào)制的光進(jìn)行測量。由于偏振片63的偏振方向從LCoS空間光調(diào)制器2中的液晶分子的配向方向偏移45°，所以入射到LCoS空間光調(diào)制器2的光(入射光)相對于液晶分子28的配向方向偏移45°。該入射光穿過液晶層27，這會在入射光的經(jīng)相位調(diào)制的部分(平行于液晶分子28的配向方向的成分)與未經(jīng)相位調(diào)制的部分之間產(chǎn)生相位差。因此，被LCoS空間光調(diào)制器2反射的光(反射光)的偏振方向取決于入射光中經(jīng)相位調(diào)制的成分的相位調(diào)制量。此外，分析器65的朝向相對于偏振片63偏移了90度。穿過分析器65的光的強(qiáng)度取決于反射光的偏振方向。因此，圖像傳感器69測量電壓相關(guān)相位調(diào)制特性作為強(qiáng)度數(shù)據(jù)I。例如，可以基于下式根據(jù)由圖像傳感器69測得的強(qiáng)度數(shù)據(jù)I來找到某像素的相位調(diào)制量—2sin-'(((/-/min)/(/max-/J1")這里，/^是當(dāng)在操作電壓范圍內(nèi)改變施加到同一像素的電壓時測得的強(qiáng)度數(shù)據(jù)的最大值，而/1,,是這種強(qiáng)度數(shù)據(jù)的最小值。在S12中，CPU41基于利用圖像傳感器69進(jìn)行測量的結(jié)果，找到各像素的DA輸入值電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。圖10是示出了針對5個像素獲得的DA輸入值和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的關(guān)系的曲線圖。圖10中的曲線圖確認(rèn)了以下幾點(diǎn)(A)到(D)。(A)相位調(diào)制量超過了2;r[弧度]。(B)存在一區(qū)域(DA輸入值的范圍為0-800)，在該區(qū)域中，盡管電壓改變，但是相位調(diào)制量改變得非常小。該范圍的上限將稱作閾值電壓。(C)在這五個像素之間，相位調(diào)制量不同。(D)相位調(diào)制量相對于DA輸入值是非線性的。如果該LCoS空間光調(diào)制器2能夠?qū)崿F(xiàn)0-2兀[弧度]范圍或最大值與最小值之差是2兀[弧度]的范圍內(nèi)的相位調(diào)制量，則可以通過執(zhí)行相位折疊處理而獲得大于2TT[弧度]的相位調(diào)制量。因此，只要能夠確保相位調(diào)制量的2兀[弧度]的范圍，施加到液晶的驅(qū)動電壓的范圍就足夠了。然而，當(dāng)實(shí)際校正變形時，需要具有一定程度的相位調(diào)制量余量(裕量)，以用于應(yīng)對各像素的相位調(diào)制量的不規(guī)則性。因此，應(yīng)該將驅(qū)動電壓的范圍設(shè)置為能夠?qū)崿F(xiàn)大于2兀[弧度]的相位調(diào)制量的值。在優(yōu)選實(shí)施方式中，將該值設(shè)置為3.5兀[弧度]，即，將驅(qū)動電壓的范圍設(shè)置為實(shí)現(xiàn)3.57T[弧度]的相位調(diào)制量。這里，相位折疊處理與用于折疊控制輸入值的相位的處理相似。換言之，如果相位大于或等于2;t[弧度]或者小于0，則用將該相位除以2tu[弧度]而獲得的余數(shù)值來代替該相位。更具體地講，在S13中，將施加到LCoS空間光調(diào)制器2的工作電壓的最小值Q設(shè)置為大于或等于液晶開始操作的閾值電壓，將最大值R設(shè)置為小于或等于液晶的操作飽和的飽和電壓，并且將該工作電壓的最小值Q和最大值R之間的相位調(diào)制范圍設(shè)置為大約3.57u。這樣，對于該工作電壓的最小值Q和最大值R之間的區(qū)域，DA輸入值B與4096個等級相關(guān)聯(lián)。圖11示出了當(dāng)根據(jù)上述條件設(shè)置了最小值Q和最大值R時的DA輸入值B、相位調(diào)制量以及工作電壓范圍Q-R之間的關(guān)系。當(dāng)使用圖10的示例中的LCoS空間光調(diào)制器2的整個可操作電壓范圍時，對于從0.5tt到4Tt[弧度]的相位調(diào)制量范圍，該DA輸入值具有大約1100到1800之間的約700個等級。在圖11的示例中，對于相同的相位調(diào)制量范圍(0.5兀到4tc[弧度])，能夠以4096個等級控制電壓。換言之，對于相同的相位調(diào)制量范圍，該DA輸入值具有約為五倍數(shù)量的等級，從而使得能夠以更高的精度控制電壓。因此，通過設(shè)置最小值Q和最大值R，可以轉(zhuǎn)換DA輸入值的工作電壓范圍的規(guī)模。驅(qū)動部321被配置為將DA輸入值0-4095線性轉(zhuǎn)換成模擬信號C，該模擬信號C指定工作電壓范圍Q-R內(nèi)的電壓值。針對所有像素，將最小電壓Q和最大電壓R設(shè)置為相同的值。接下來，將參照圖12來描述產(chǎn)生LUT11的方法。在設(shè)置工作電壓Q-R之后，執(zhí)行該產(chǎn)生LUTll處理。在完成對驅(qū)動部321的設(shè)置之后，為各像素產(chǎn)生LUT11。在S21中，使用圖9所示的偏振干涉儀60，在LCoS空間光調(diào)制器2中針對各像素獲得DA輸入值和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的關(guān)系。具體地講，偏振干涉儀60測量當(dāng)針對所有像素輸入相同的DA輸入值B時獲得的各像素的相位調(diào)制量。因此，在偏振干涉儀60測量相位調(diào)制量的同時，D/A電路32的驅(qū)動部321針對所有像素將相同的DA輸入值B轉(zhuǎn)換成相同的模擬信號C，并且利用該模擬信號C來驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2。針對從0到4095的各DA輸入值B，重復(fù)進(jìn)行該測量。在S22中，CPU41基于在S21中找到的測量值，找到各像素的DA輸入值電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。該結(jié)果與上述圖11中的結(jié)果相似，示出了在像素之間具有不規(guī)則性的相位調(diào)制量與控制輸入值之間的非線性。在S23中，CPU41基于上面找到的DA輸入值電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，為各像素產(chǎn)生LUTll。具體地講，使用最小二乘方法等，利用將相位調(diào)制量用作變量的多項(xiàng)式來近似DA輸入值和相位調(diào)制量之間的關(guān)系。對于每個像素獲得了這種關(guān)系。針對各像素獲得該關(guān)系。這種近似能夠減輕由光源、圖像傳感器等引起的測量噪聲的影響。在S21中，還可以對DA輸入值B的間隔而非對所有DA輸入值B執(zhí)行測量，并且利用該近似對在測量中未使用的DA輸入值B的數(shù)據(jù)進(jìn)行估計(jì)。該近似如在下式中那樣將DA輸入值tb表示為相位調(diào)制量(j)的K次多項(xiàng)式在上式中，下標(biāo)(1)表示基于第一測量找到的近似多項(xiàng)式的值。按此方式，針對各像素，找到表示DA輸入值和相位調(diào)制量之間的關(guān)系的近似。然而，為了將0.0-2.07i[弧度]表示為控制輸入值A(chǔ)的256個等級并且使控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的關(guān)系為線性的，用下式表示控制輸入值A(chǔ)與相位調(diào)制量纟的關(guān)系，其中ta(D表示控制輸入值A(chǔ)。=(2冗/256)x+cowW(4)這里，tw)是從0到255的整數(shù)，const是偏移值。對于所有像素，該偏移值被設(shè)置為能夠?qū)崿F(xiàn)式(4)的相同值。通過將式(4)代入式(3)，得到該控制輸入值tad)和tb之間的關(guān)系。由于tb應(yīng)該是整數(shù)，所以需要舍入到最接近的整數(shù)。因此，通過下式(5)來表示ta(D和tb之間的關(guān)系，其中ROUND表示舍入操作。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>(5)通過針對tad)值0-255來關(guān)聯(lián)在式(5)中得到的tbd)的值，從而產(chǎn)生LUT11。在S24中，CPU41將上面產(chǎn)生的LUT11保存在HDD41中。通過根據(jù)從干涉儀輸出的強(qiáng)度來計(jì)算相位，獲得了上面的LUTll。當(dāng)將測得的千涉強(qiáng)度的最小值和最大值用于產(chǎn)生LUTll時，這些值有可能包含誤差。在S25至S27中，評價(jià)這些值的誤差的程度。具體地講，在S25中，如在S21中所述，對于所有像素測量控制輸入值ta和相位調(diào)制量纟之間的關(guān)系。然而，在S25中，轉(zhuǎn)換器46首先基于在S24中剛獲得的各像素的LUT11，將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，之后驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C并且基于該模擬信號C來驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2中的對應(yīng)像素。通過該處理，針對所有像素測量控制輸入值A(chǔ)(ta)和電壓相關(guān)相位調(diào)制量d)之間的關(guān)系。在S26中，CPU41基于S25中的結(jié)果，找到控制輸入值相位調(diào)制特性。在S27中，CPU41基于S26中的結(jié)果來確定LUT11是否以期望精度校正了電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。例如，如果控制輸入值電壓相關(guān)相位調(diào)制特性接近線性的，則CPU41可以確定獲得了期望精度，但是確定方法不限于此實(shí)施例。如果在S27中CPU41確定沒有獲得期望精度，則CPU41返回到S23并且基于S26中的結(jié)果來更新LUT11，以提高利用LUT11來校正該電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的精度。當(dāng)?shù)诙螆?zhí)行S23時，CPU41根據(jù)下面的式(6)來近似控制輸入值A(chǔ)(ta)和相位調(diào)制量纟之間的關(guān)系，其中M是大于或等于2的自然數(shù)。這里，M表示執(zhí)行S23的次數(shù)。當(dāng)?shù)诙螆?zhí)行S23(M=2)時，式(6)變成下面的表達(dá)式。如式(4)的情況，控制輸入值必須與相位調(diào)制量具有線性關(guān)系。因此，必須滿足下式。^X(m))-(27t/256)x〖,+固燈(7)這里，ta(M)表示以256個等級表示的控制輸入值?；谑?6)和式(7)，先前的控制輸入值A(chǔ)(ta(1))和當(dāng)前控制輸入值A(chǔ)(ta(2))之間的關(guān)系可以如下地表示。f。(m-D-幾WC)))(8)通過將式(8)代入式(5)，如下地表示tb和ta②之間的關(guān)系。使用式(9)來得到新控制輸入值A(chǔ)(ta。》和DA輸入值B(tb)之間的關(guān)系。如果CPU41執(zhí)行了S23J次(其中J是大于2的自然數(shù))，則CPU41得到tb和t柳的以下關(guān)系。"-io,L規(guī)力("掘w))))」(10)這里，每次當(dāng)返回并執(zhí)行S23時，獲得式(6)到式(8)。即，針對從2到J的所有M，獲得式(6)到式(8)。因此，根據(jù)從2到J的所有M的這些式(6)到式(8)獲取式(10)。在S23中，CPU41基于這些值產(chǎn)生新的LUT11，并且在S24中，用該新的LUT11來覆寫HDD44中的LUT11。然而，當(dāng)CPU41確定在S27中獲得了期望精度，或者當(dāng)CPU41確定采用新LUT11獲得的精度改善沒有超過先前的LUT11時，CPU41結(jié)束該LUT產(chǎn)生過程。圖5中的表格示出了針對特定像素而在上述處理中獲得的Vtb和相位調(diào)制量巾之間的關(guān)系。通過利用LUT11進(jìn)行的轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)了控制輸入值和相位調(diào)制量之間的高精度的線性關(guān)系。圖13中的曲線圖示出了當(dāng)使用對應(yīng)的LUTll進(jìn)行相位調(diào)制時LCoS空間光調(diào)制器2的各像素的控制輸入值A(chǔ)和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的關(guān)系。虛線表示控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的理想線性關(guān)系。粗線表示具有最靠近該虛線的值的像素的控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的關(guān)系，而正常線表示具有離該虛線最遠(yuǎn)的值的像素的控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的關(guān)系?？梢钥闯觯褂酶鶕?jù)優(yōu)選實(shí)施方式的LUT11執(zhí)行的校準(zhǔn)校正了像素間相位調(diào)制量的不規(guī)則性，從而實(shí)現(xiàn)了控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的線性關(guān)系。在上述處理中為各像素產(chǎn)生了LUT11之后，CPU41產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。盡管不能夠獨(dú)立于電壓相關(guān)相位調(diào)制量來正常地測量電壓無關(guān)變形，但是當(dāng)使用LUT11校正了電壓相關(guān)相位調(diào)制特性時，能夠通過測量LCoS相位調(diào)制器1的輸出波前來測量這種變形。使用雙光束干涉儀來測量包含電壓無關(guān)變形的光的波前。在優(yōu)選實(shí)施方式中，將圖14所示的邁克耳遜干涉儀80用作該雙光束干涉儀。邁克耳遜干涉儀80由以下部件構(gòu)成激光源81、空間濾光片82、準(zhǔn)直透鏡83、偏振片84、分束器85、LCoS相位調(diào)制器l、反射鏡86、成像透鏡87和88、以及CCD89。偏振片84的偏振方向平行于液晶的配向方向。邁克耳遜干涉儀80測量由從反射鏡86反射的波前和從LCoS相位調(diào)制器1中的LCoS空間光調(diào)制器2反射的波前之間的干涉產(chǎn)生的干涉圖案。使用在"Fourier-transformmethodoffringepatternanalysisforcomputer-basedtopographyandinterferometry"(M.Takeda,H.Ina，S.Kobayashi,J.Opt.Soc.Am.,Vol.72,156-160，1982)中描述的干涉圖案分析方法，可以根據(jù)測得的干涉圖案得到LCoS相位調(diào)制器1的輸出波前。即，電壓無關(guān)變形圖案形成在被LCoS空間光調(diào)制器2反射的波前中，并且被反射鏡86反射的波前是平面波。因此，可以通過對該干涉圖案進(jìn)行傅立葉變換并且去除載波成分來獲得電壓無關(guān)變形。接下來，將參照圖15來描述產(chǎn)生用于校正電壓無關(guān)變形的校準(zhǔn)圖案12的方法。在S31中，CPU41將校準(zhǔn)圖案12初始化為所有像素的值為0的圖案。在S32中，CPU41將期望圖案13設(shè)置為在其中所有像素的控制輸入值A(chǔ)對于從0到255的任何值等同的相位圖像。在S33中，輸入值設(shè)置單元47針對各像素將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加，并且將該控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為執(zhí)行了相位折疊處理之后的結(jié)果。在S34中，轉(zhuǎn)換器46基于與各像素相對應(yīng)的LUTll將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，并且將該DA輸入值B傳送到驅(qū)動單元3。在S35中，驅(qū)動部321基于該DA輸入值B產(chǎn)生模擬信號C，以將工作電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2。在S36中，CPU41基于從邁克耳遜千涉儀80的CCD89輸出的結(jié)果來測量LCoS相位調(diào)制器1的輸出波前。由于已利用LUT11校正了電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，所以在S36中測得的波前僅包括電壓無關(guān)變形。在S37中，CPU41產(chǎn)生了在其中測得的電壓無關(guān)變形的符號被反轉(zhuǎn)的圖案。在S38中，CPU41對在S37中獲得的圖案中的相位值進(jìn)行相位折疊處理。在S39中，在該圖案已經(jīng)經(jīng)過相位折疊過程之后，CPU41參照LUT11將該圖案中的各像素的相位值表示為256個等級之一，并且將這些等級轉(zhuǎn)換成控制輸入值以獲得校準(zhǔn)圖案12。例如，通過使用表示相位調(diào)制量和控制輸入值之間的理想關(guān)系的式(4)或(7)來實(shí)現(xiàn)該轉(zhuǎn)換。還可以將測得的相位調(diào)制量和控制輸入值之間的關(guān)系存儲在如圖5所示的LUT11中，并且通過使用這些LUT11來實(shí)現(xiàn)該轉(zhuǎn)換。圖16示出了一個示例，在該示例中校準(zhǔn)圖案12被表現(xiàn)為256個等級的圖像。在S40中，CPU41將校準(zhǔn)圖案12保存在HDD44中。與產(chǎn)生LUT11時一樣，在上述處理中，對干涉的測量會包含誤差。在S41到S45中分析這些誤差的程度。具體地講，與在上述S33中一樣，在S41中，輸入值設(shè)置單元47將上述期望圖案13中的像素輸入值與剛在S40中獲得的校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加，將該結(jié)果設(shè)置為控制輸入值A(chǔ)并且在必要時對該控制輸入值A(chǔ)進(jìn)行相位折疊。步驟S42到S44與S34到S36相同。在S42中，轉(zhuǎn)換器46找到與在S41中獲得的控制輸入值A(chǔ)相對應(yīng)的DA輸入值B。在S43中，驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C，該模擬信號C用于將驅(qū)動電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2。在S44中，CPU41基于從CCD89輸出的結(jié)果來測量輸出波前。在S45中，CPU41基于這些測量的結(jié)果來確定在S40中剛獲得的校準(zhǔn)圖案12是否能夠進(jìn)行所需精度的校正。例如，如果該波前具有期望的平坦度，則CPU41確定獲得了期望精度，但是該確定方法不限于這個實(shí)施例。當(dāng)在S45中確定了校準(zhǔn)圖案12獲得了所需精度或者沒有獲得在先前校準(zhǔn)圖案12之上的精度提高時，CPU41結(jié)束該校準(zhǔn)圖案產(chǎn)生處理。如果沒有獲得所需精度，則CPU41返回到S37并且基于在來自S44的結(jié)果中表示的電壓無關(guān)變形重新產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。具體地講，在S40中，CPU41針對各像素將先前獲得的校準(zhǔn)圖案12的像素校正值和剛獲得的校準(zhǔn)圖案12的像素校正值相加，并且將該和保存在HDD44中。換言之，為了獲得新的校準(zhǔn)圖案12，CPU41針對各像素將當(dāng)前在S39中獲得的校準(zhǔn)圖案12的像素校正值和先前在S39中獲得的校準(zhǔn)圖案12的像素校正值相加。按這種方式，CPU41重復(fù)地更新校準(zhǔn)圖案12。在小于可操作電壓范圍的確保所需相位調(diào)制量的工作電壓范圍內(nèi)，根據(jù)上述優(yōu)選實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器1針對以4096個等級表示的DA輸入值B，來控制LCoS空間光調(diào)制器2。因此，LCoS相位調(diào)制器l能夠十分精確地控制施加到LCoS空間光調(diào)制器2的電壓。此外，LCoS相位調(diào)制器1利用LUT11來實(shí)現(xiàn)控制輸入值A(chǔ)和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的基本線性關(guān)系，并且校正由于電壓相關(guān)所導(dǎo)致的像素間不規(guī)則性，從而十分精確地獲得期望的相位調(diào)制量。此外，LCoS相位調(diào)制器l使用校準(zhǔn)圖案12來校正電壓無關(guān)變形以實(shí)現(xiàn)更加精確的相位調(diào)制。圖17(A)示出了使用LUT11和校準(zhǔn)圖案12的拉蓋爾-高斯光束的相位調(diào)制的測量結(jié)果。圖17(B)示出了當(dāng)沒有進(jìn)行校正時的相同光束。如所預(yù)期的，在圖17(A)中能夠看見同心圓圖案。此外，當(dāng)產(chǎn)生LUT11時以及當(dāng)產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12時，重復(fù)該處理，直到獲得了所需精度或者沒有獲得精度提高為止。因此，可以獲得高度精確的LUT11和高度精確的校準(zhǔn)圖案12，其能夠精確地校正電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和電壓無關(guān)變形。<第一實(shí)施方式的第一變型>盡管在上述LCoS空間光調(diào)制器2中像素電極22還用作反射鏡，但是可以使用諸如在圖18示出的在像素電極22上層疊有介質(zhì)鏡29的LCoS空間光調(diào)制器120的裝置來代替LCoS空間光調(diào)制器2。這里，LCoS空間光調(diào)制器120的與LCoS空間光調(diào)制器2中相似的部件和組件用相同的附圖標(biāo)號指定以避免重復(fù)描述。<第一實(shí)施方式的第二變型>雖然LUT11和校準(zhǔn)圖案12存儲在根據(jù)第一實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器1中的控制單元4的HDD44中，但是LUT11可以保存在驅(qū)動單元130而不是HDD44中，像在圖19所示的LCoS相位調(diào)制器100中那樣。具體地講，控制單元4不將LUT11存儲在HDD44中。此外，CPU41沒有設(shè)置轉(zhuǎn)換器46，而是驅(qū)動單元130具有用作轉(zhuǎn)換器的LUT處理器135。更具體地講，驅(qū)動單元130包括處理單元131、D/A電路132、通信單元133、用于保存LUTll的RAM134、以及LUT處理器135。LUT11保存在驅(qū)動單元130中的ROM(未示出)中，并且在LCoS空間光調(diào)制器100啟動時被讀入RAM134中。該LCoS空間光調(diào)制器2的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器1中的LCoS空間光調(diào)制器2的結(jié)構(gòu)相同。另外，通信單元133和D/A電路132的結(jié)構(gòu)與圖2所示的通信單元33和數(shù)字模擬(D/A)電路32的結(jié)構(gòu)相同。對于相位調(diào)制，輸入值設(shè)置單元47通過將期望圖案13和校準(zhǔn)圖案12相加來為各像素設(shè)置控制輸入值A(chǔ)，并且將該控制輸入值A(chǔ)發(fā)送到驅(qū)動單元130。該控制輸入值A(chǔ)經(jīng)由通信單元133和處理單元131而傳送到LUT處理器135。LUT處理器135基于RAM134中的LUT11，將該控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。LUT處理器135將該DA輸入值B傳送到D/A電路132，D/A電路132將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C，該模擬信號C表示用于驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2的操作電壓值。<第一實(shí)施方式的第三變型>像圖20所示的LCoS相位調(diào)制器200那樣，還可以用保持LUT11和校準(zhǔn)圖案12的驅(qū)動單元230來代替驅(qū)動單元3。在該實(shí)施例中，CPU41既未設(shè)置轉(zhuǎn)換器46也未設(shè)置輸入值設(shè)置單元47。代替地，驅(qū)動單元230具有用作輸入設(shè)置單元47的加法器235和用作轉(zhuǎn)換器的LUT處理器236。此外，校準(zhǔn)圖案12和LUT11沒有存儲在HDD44中。更具體地講，驅(qū)動單元230具有處理單元231、D/A電路232、通信單元233、用于保持LUT11和校準(zhǔn)圖案12的RAM234、加法器235、以及LUT處理器236。LUT11和校準(zhǔn)圖案12被保存在驅(qū)動單元230的ROM(未示出)中，并且在LCoS相位調(diào)制器200啟動時被讀入RAM234中。通信單元233和D/A電路232的結(jié)構(gòu)與圖2中的通信單元33和D/A電路32的結(jié)構(gòu)相同。當(dāng)控制單元4將表示期望圖案的像素輸入值發(fā)送到驅(qū)動單元230時，加法器235將RAM234中的校準(zhǔn)圖案12和該像素輸入值相加以產(chǎn)生控制輸入值A(chǔ)并且將該控制輸入值A(chǔ)發(fā)送到LUT處理器236。LUT處理器236通過參考LUT11將該控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，并且將該DA輸入值B發(fā)送到D/A電路232。在D/A電路232中，驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示操作電壓的模擬信號C并且將該模擬信號C輸出到LCoS空間光調(diào)制器2。也可將控制單元4的功能并入驅(qū)動單元230中。在這種情況下,RAM234還存儲期望圖案13。期望圖案13和校準(zhǔn)圖案12都保存在驅(qū)動單元230中的ROM(未示出)中，并且在LCoS相位調(diào)制器200啟動時被讀入RAM234中。<第一實(shí)施方式的第四變型>盡管圖2所示的驅(qū)動單元3僅設(shè)置有一個D/A電路32，但是驅(qū)動單元3也可以設(shè)置多個D/A電路32，用于同時將多個模擬信號輸出到LCoS空間光調(diào)制器2，以同時將模擬信號寫到多個像素。在具有這種構(gòu)造的驅(qū)動單元3中，驅(qū)動單元3的處理電路被配置為同時向D/A電路32輸出多個像素的DA輸入值B。<第一實(shí)施方式的第五變型>盡管在上述第一實(shí)施方式中針對每個像素產(chǎn)生一個LUT11，但是可以形成多個塊(每個塊包括多個相鄰像素)并且針對每個塊產(chǎn)生一個LUT11。例如，一個塊可以由2X2個像素或4X4個像素構(gòu)成，針對每個塊產(chǎn)生一個LUTll。這里，測量了塊中至少一個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，并且基于該塊中的所述至少一個像素的測量值的平均值，為該塊產(chǎn)生LUTll。然而，當(dāng)僅針對該塊中的一個像素測量了電壓相關(guān)相位調(diào)制量時，可以僅基于該像素的測量值而非平均值來產(chǎn)生LUTll。由于不必為每個像素準(zhǔn)備LUT11，所以這種結(jié)構(gòu)能夠減少用于LUT11的存儲數(shù)據(jù)量。還可以改變構(gòu)成塊的像素的數(shù)量。在這種情況下，基于對應(yīng)塊的控制輸入值電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，為各個塊產(chǎn)生LUTll。由于相位調(diào)制量隨著液晶層的厚度的變化而變化，所以在液晶層厚度大大改變的區(qū)域中可以減少構(gòu)成塊的像素的數(shù)量(例如，將塊設(shè)置為等同于一個像素)，并且在液晶層厚度變化輕微的區(qū)域中可以增加構(gòu)成塊的像素的數(shù)量(例如，將塊設(shè)置為等同于8X8個像素)。采用這種構(gòu)造，能夠精確有效地進(jìn)行校正，同時能夠減少用于LUTll的保存數(shù)據(jù)量。<第一實(shí)施方式的第六變型>還可以將校準(zhǔn)圖案12設(shè)置為以塊為單位來保持值。在這種情況下，針對塊中的至少一個像素測量相位調(diào)制特性，并將該塊中的各像素的校正值設(shè)置為在該塊中找到的各像素的校正值的平均值。然而，當(dāng)僅針對塊中的一個像素測量了相位調(diào)制特性時，可將該塊的校正值簡單地設(shè)置為該像素的校正值而非平均值。<第一實(shí)施方式的第七變型>此外，如圖21所示，校準(zhǔn)圖案12的值可以包括在LUT11中。這里，對于給定像素，t表示期望圖案13的像素輸入值，p表示校準(zhǔn)圖案12的像素校正值。在優(yōu)選實(shí)施方式中，在通過將像素輸入值t和像素校正值p相加來設(shè)置該控制輸入值A(chǔ)之后，通過利用LUTll將該控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值。S卩，當(dāng)參考LUT11時，值t+p是控制輸入值A(chǔ)的參考位置。按照需要改變期望圖像，即，根據(jù)期望圖案13改變像素輸入值t。然而，像素校正值p是固定值。因此，該參考位置總是從輸入值t偏移一值p。這等同于將LUT中的參考開始位置移動了值p。因此，通過將各像素的LUT11中的參考位置移動同一像素在校準(zhǔn)圖案中的值，可將用于校正電壓無關(guān)變形的數(shù)據(jù)包括在LUT11中。圖21包括了用于校正電壓無關(guān)變形的數(shù)據(jù)以及圖5中的數(shù)據(jù)，其中p=128。例如，在圖5的表中，當(dāng)ta為0時tb的值是1030，而在圖21中，當(dāng)k為128時出現(xiàn)tb的該值。這里，將針對p二l和p^—1的情況來描述另外的示例。在圖5所示的LUT11中，與為255、O以及l(fā)的控制輸入值ta相對應(yīng)的DA輸入值tb分別是3036、1030以及1035。當(dāng)p-l時，可以產(chǎn)生這樣的LUT11，該LUT11將為1030、1035以及1056的DA輸入值tb與為255、0以及1的相同控制輸入值ta相關(guān)聯(lián)。另選的是，當(dāng)p--l時，可以產(chǎn)生如下的LUT11，該LUT11將為3028、3036以及1030的DA輸入值tb與相同控制輸入值ta相關(guān)聯(lián)。在這種情況下，在參照圖7描述的相位調(diào)制方法中不需要步驟Sl和S3。在圖7的S1中，CPU41讀取期望圖案13，并且輸入值設(shè)置單元47將期望圖案13中各像素的值設(shè)置為控制輸入值A(chǔ)。在S4中，CPU41針對各像素讀取圖21中的LUT11。在S5中，轉(zhuǎn)換器46針對各像素，通過參照圖21中的LUT11，將該控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。因此，控制單元4僅通過利用包括校準(zhǔn)圖案的LUT11，也能夠校正電壓無關(guān)變形，從而不需要保存校準(zhǔn)圖案以及執(zhí)行將校準(zhǔn)圖案和期望圖像相加的處理。還能夠以塊為單位來產(chǎn)生包括校準(zhǔn)圖案的LUT11。在這種情況下，根據(jù)上述的相同方法將LUT11和校準(zhǔn)圖案12分成塊。更具體地講，LUT11和校準(zhǔn)圖案12中的塊的大小和位置彼此相同。校準(zhǔn)圖案12中的各個塊的值簡單地反映在構(gòu)成LUT11的對應(yīng)塊中。按這種方式，可將校準(zhǔn)圖案12中的數(shù)據(jù)包括在LUT11中，用于校正電壓無關(guān)變形，而LUT11用于將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。因此，可以省略加入校準(zhǔn)圖案12的處理，這實(shí)現(xiàn)了更有效的相位調(diào)制。<第一實(shí)施方式的第八變型〉盡管在上述第一實(shí)施方式中的驅(qū)動單元3中設(shè)置了D/A電路32，但是該D/A電路可以與驅(qū)動單元3分離，并且LCoS空間光調(diào)制器2可以設(shè)置有DA電路和用于接收DA輸入值B的新接收電路。采用這種構(gòu)造，驅(qū)動單元3將DA輸入值B傳送到LCoS側(cè)的接收電路。<第一實(shí)施方式的第九變型>還可以用脈沖調(diào)制電路來代替D/A電路32。采用這種構(gòu)造，脈沖調(diào)制電路輸出用于驅(qū)動LCoS空間調(diào)制器的數(shù)字脈沖調(diào)制信號。<第一實(shí)施方式的第十變型>在上述第一實(shí)施方式中，針對5個像素測量了電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，并且基于該測量結(jié)果來設(shè)置最小電壓Q和最大電壓R。然而，假定測量了至少一個像素，則測量的像素的數(shù)量是任意的，并且基于測量的至少一個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性來設(shè)置最小電壓和最大電壓。<第一實(shí)施方式的第十一變型>此外，可以將在式(3)、(4)以及(6)中得到的近似多項(xiàng)式的數(shù)據(jù)(系數(shù)ak(D，其中1《I《J，并且值為"const")而不是LUT11作為參考數(shù)據(jù)集存儲在HDD44中，并且在測量相位調(diào)制量時基于該數(shù)據(jù)將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。因此，如在第一實(shí)施方式中產(chǎn)生LUTll的方法(S23)中那樣，取決于返回到S23的次數(shù)，可以通過得到式(5)、(9)或(10)從而根據(jù)存儲在HDD44中的數(shù)據(jù)以及式(4)和(7)獲得控制輸入值A(chǔ)和DA輸入值B之間的關(guān)系?？梢圆捎闷渌煌愋偷膮⒖紨?shù)據(jù)集來替代LUT11或近似多項(xiàng)式的系數(shù)。<第二實(shí)施方式>接下來，將參照圖22到圖29來描述本發(fā)明的第二實(shí)施方式。在上述第一實(shí)施方式中，為每個像素準(zhǔn)備LUTll以校準(zhǔn)該像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。在第二實(shí)施方式中，將具有相似的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的多個像素組合成一組，并且為每個組準(zhǔn)備一個LUT51。如圖22所示，根據(jù)本實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器500包括LCoS空間光調(diào)制器2、用于用電壓來驅(qū)動該LCoS空間光調(diào)制器2的驅(qū)動單元530、以及控制單元4。用相同的附圖標(biāo)號來表示與上述第一實(shí)施方式相似的部件和組件以避免重復(fù)描述。在第二實(shí)施方式中，總計(jì)T個像素基于它們的電壓相關(guān)相位調(diào)制牛寺性被分成r個組。(這里，T和r是滿足TX)，rX)且T^的正整數(shù)。在優(yōu)選實(shí)施方式中，r是20。)因此，每個組包括具有相似的相位調(diào)制特性的像素。如圖22所示，控制單元4的構(gòu)造與第一實(shí)施方式中的控制單元4的構(gòu)造相同，但是HDD44不存儲LUT11或校準(zhǔn)圖案，而僅存儲期望圖案13。當(dāng)利用LCoS相位調(diào)制器500進(jìn)行相位調(diào)制時，CPU41將期望圖案13從HDD44讀入存儲器單元43中。CPU41經(jīng)由通信單元42將期望圖案13作為輸入數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動單元530。期望圖案13的輸入數(shù)據(jù)包括各像素的像素位置數(shù)據(jù)和像素輸入值。如在第一實(shí)施方式中那樣，該像素輸入值是具有從0到N-l的N個等級之一的數(shù)字信號。驅(qū)動單元530包括通信單元533、處理單元531、加法器535、LUT處理器536、像素位置檢測器537、D/A電路532、RAM538以及RAM539。D/A電路532包括了在第一實(shí)施方式中描述的驅(qū)動部321。RAM538存儲校準(zhǔn)圖案12。校準(zhǔn)圖案12包括各像素的像素校正值(具有從0到N-l的N個等級的數(shù)字信號)和像素位置數(shù)據(jù)。驅(qū)動單元530還將用于實(shí)現(xiàn)稍后描述的圖27的流程圖所示的處理的程序存儲在ROM(未示出)中。處理單元531從該ROM(未示出)中讀取該程序，并且通過在相位調(diào)制過程中執(zhí)行該程序來完全地控制LCoS相位調(diào)制器500。RAM539存儲一個LUT映射15和r個LUT51(參考數(shù)距集)。LUT映射15表示各像素屬于r個組中的哪一個組。所述r個LUT51與這r個組一一對應(yīng)。各LUT51用來校正屬于對應(yīng)組的像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。通過采用與像素所屬的組相對應(yīng)的LUT51來校正該組中各像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，對于各像素，可以將非線性特性轉(zhuǎn)換成線性特性，并且可以校正像素間的這些特性的不規(guī)則性。通信單元533從控制單元4接收期望圖案13(像素輸入值和像素位置)的輸入數(shù)據(jù)和其他數(shù)據(jù)，并且將該數(shù)據(jù)傳送到處理單元531。處理單元531基于期望圖案13產(chǎn)生數(shù)字控制信號，該數(shù)字控制信號包括驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2所需的垂直同步信號和水平同步信號。同時，處理單元531將期望圖案13傳送到加法器535。另外，同時，處理單元531將期望圖案13中的像素的位置數(shù)據(jù)輸出到像素位置檢測器537。加法器535針對各像素將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值進(jìn)行相加，并且將與這些像素相對應(yīng)的控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為該和。如果該和超過N，則加法器535還對該和執(zhí)行相位折疊處理并且將控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為該結(jié)果。加法器535將各像素的控制輸入值A(chǔ)與該像素的位置數(shù)據(jù)一起發(fā)送到LUT處理器536。像素位置檢測器537參考LUT映射15，并且基于期望圖案13中的像素的位置數(shù)據(jù)來確定各像素所屬的組的組號。像素位置檢測器537將各像素的位置數(shù)據(jù)和與指定組號相對應(yīng)的LUT51(換言之，與該像素的位置數(shù)據(jù)相對應(yīng)的LUT51)傳送到LUT處理器536。LUT處理器536參考各像素的位置數(shù)據(jù)和所獲取的LUT51，并且將與該位置數(shù)據(jù)一起接收到的控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。這里，該DA輸入值B是具有總計(jì)M個等級(從0到M-1)之一的數(shù)字信號。LUT處理器536針對各像素利用LUT51將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，并且驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示工作電壓范圍Q-R內(nèi)的電壓值的模擬信號C，并且將該電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2?；谠O(shè)置在LCoS相位調(diào)制器500中的LCoS空間光調(diào)制器2的特性，根據(jù)稍后描述的方法來產(chǎn)生LUT映射15。圖23至25示出了LUT映射15的示例。為了簡化描述，這些示例中的r值在圖23中為4，在圖24中為8，而在圖25中為5。在圖23至25中示出的LUT映射15的示例中，粗線畫出了包括所有像素的區(qū)域，而細(xì)線畫出了與一個像素相對應(yīng)的區(qū)域。在圖23中，組號A至D之一被分配給各個像素。在圖24中，組號A至H之一被分配給各個像素。在圖25中，組號A至E之一被分配給各個像素。在圖24和圖25中，相同的組號被分配給位于由虛線畫出的區(qū)域中的像素。圖26示出了r個LUT51之一的示例。如圖26所示，該LUT51示出了可從其選擇控制輸入值A(chǔ)的值ta(第一值)和選擇出的與該控制輸入值A(chǔ)相對應(yīng)的DA輸入值B的值tb(第二值)之間的相互關(guān)系。圖26還示出了當(dāng)驅(qū)動部321把為DA輸入值B選擇的值tb轉(zhuǎn)換成對應(yīng)電壓值并且將該值的電壓施加到屬于與該LUT51相對應(yīng)的組的像素時，利用屬于該組的全部像素獲得的相位調(diào)制量小的平均值4)ave。圖26中的平均值4ave由測量的相位調(diào)制量4>的平均值給出。要注意的是，LUT51不包括該平均值CI)^。被當(dāng)作控制輸入值A(chǔ)的值ta和相位調(diào)制量的平均值4)ave具有線性關(guān)系。此外，把為DA輸入值B選擇的值tb設(shè)置為使得與被當(dāng)作控制輸入值A(chǔ)的各個ta相對應(yīng)的相位調(diào)制量的平均值(Kve在所有r個LUT51中基本相等。具體地講，將值tb設(shè)置為使得當(dāng)ta二O時4>ave=1.5，當(dāng)ta二l時(Kve二1.508，等等。因此，針對屬于該組的像素，驅(qū)動單元530利用對應(yīng)的LUT51將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，并且將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C并將該模擬信號C輸入到LCoS空間光調(diào)制器2。結(jié)果，在該像素處獲得的相位調(diào)制量4>與控制輸入值A(chǔ)具有基本線性的關(guān)系，這些組之中的不規(guī)則性很小。校準(zhǔn)圖案12、LUT51以及LUT映射15存儲在驅(qū)動單元530中的ROM(未示出)中，并且在LCoS相位調(diào)制器500啟動時被讀入RAM538和RAM539中。另選的是，校準(zhǔn)圖案12、LUT51以及LUT映射15可以保存在控制單元4的HDD44上并且在LCoS相位調(diào)制器500啟動時會被傳送到驅(qū)動單元530并且加載在RAM538和RAM539中。此外，可將RAM538和RAM539集成為一個用于加載校準(zhǔn)圖案12、LUT映射15以及LUT51的RAM。具有以上構(gòu)造的LCoS相位調(diào)制器500根據(jù)圖27所示的操作進(jìn)行相位調(diào)制。在圖27的S101中，通信單元533從控制單元4接收期望圖案13的輸入數(shù)據(jù)并且將該期望圖案13的輸入數(shù)據(jù)傳送到處理單元531。在S102中，處理單元531將各像素的位置數(shù)據(jù)發(fā)送到像素位置檢測器537。在S103中，像素位置檢測器537基于各像素的位置數(shù)據(jù)來參考LUT映射15，從而識別各像素所屬的組的組號。在S104中，像素位置檢測器537向LUT處理器536發(fā)送像素的位置數(shù)據(jù)以及與針對該像素所識別的組號相對應(yīng)的LUT51。像素位置檢測器537對所有像素進(jìn)行該發(fā)送。與S102中的處理并行地，在S105中，處理單元531還將期望圖案13的輸入數(shù)據(jù)發(fā)送到加法器535。在S106中，加法器535針對各像素將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的校正輸入值相加，并且在必要時折疊該和的相位。將在該處理中獲得的值設(shè)置為與對應(yīng)像素的位置數(shù)據(jù)相對應(yīng)的控制輸入值A(chǔ)。在S107中，LUT處理器536參照在S104中從像素位置檢測器537接收到的LUT51，針對各像素將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。在S108中，驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C，并且將該模擬信號C輸出到LCoS空間光調(diào)制器2。與S101和S105中的處理并行地，在S109中，處理單元531產(chǎn)生驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2所需的數(shù)字信號。在SI10中，LCoS空間光調(diào)制器2基于在S108中從驅(qū)動部321接收到的模擬信號C以及在S109中從處理單元531接收到的數(shù)字信號，對入射光的相位進(jìn)行調(diào)制。當(dāng)制造LCoS相位調(diào)制器500時，將驅(qū)動部321、LUT映射15、LUT51以及校準(zhǔn)圖案12分別設(shè)置為對應(yīng)于設(shè)置在LCoS相位調(diào)制器500中的LCoS空間光調(diào)制器2。驅(qū)動單元530還將用于實(shí)現(xiàn)圖27的流程圖所示的處理的程序存儲在ROM(未示出)中?；诎唇o定順序執(zhí)行的下面的過程來進(jìn)行這些設(shè)置。首先，為D/A電路532的工作電壓范圍Q-R設(shè)置最小電壓Q和最大電壓R。接下來，產(chǎn)生LUT映射15，之后基于該LUi:映射15產(chǎn)生LUT51。此外，產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。最后，將用于實(shí)現(xiàn)圖27中的流程圖所示的處理的程序存儲在驅(qū)動單元530的ROM(未示出)中。對驅(qū)動部321進(jìn)行設(shè)置的方法與第一實(shí)施方式的圖8中所述的方法相同。具體地講，驅(qū)動部321被設(shè)置為線性地將從0到4095的DA輸入值B轉(zhuǎn)換成表示工作電壓范圍Q-R內(nèi)的電壓值的模擬信號C。接下來，將參照圖28來描述產(chǎn)生LUT映射15的方法。在圖28的Slll中，將LCoS相位調(diào)制器500布置在圖9所示的偏振干涉儀60中，并且使用該偏振千涉儀60來尋找LCoS空間光調(diào)制器2的各像素的DA輸入值B和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的關(guān)系。該測量處理與圖12中所述的S21相同。具體地講，在使DA輸入值B從0到4095變化的同時重復(fù)地進(jìn)行測量。在S112中，將最小二乘法等用于下面的式(11)的多項(xiàng)式中，以基于在Slll中針對各像素找到的DA輸入值-相位調(diào)制特性，來近似相位調(diào)制量4)和DA輸入值(tb)之間的關(guān)系。針對所有像素，找到式(11)中的關(guān)系tb(4>)。在S113中，獲得DA輸入值B與通過對所有像素在被施加了與該DA輸入值B相對應(yīng)的電壓時獲得的相位調(diào)制量4)求平均值而獲得的值之間的關(guān)系。更具體地講，首先，針對各個DA輸入值B獲得所有像素的相位調(diào)制量的平均值。根據(jù)這些值，通過近似來得到各個DA輸入值B和相位調(diào)制量的平均值》之間的關(guān)系。例如，可以使用K次多項(xiàng)式(諸如下面的式(12)中的K次多項(xiàng)式)來獲得該關(guān)系，其中tb，ave(4))表示DA輸入值B。在S114中，使用下面式(13)為各個像素找到在式(12)中得到的平均相位調(diào)制量的DA輸入值tb,ave(4>)和DA輸入值tb^)的均方根(RMS)值s,(在下文中稱作第一RMS值)。(13)接下來，找到所有像素中具有最大的第一RMS值s,的像素(最大RMS像素)。將該最大RMS像素確定為其相位調(diào)制量4)與所有像素的平均相位調(diào)制量相離最遠(yuǎn)的像素。在S115中，使用下面的式(14)為各個像素找到該最大RMS像素的DA輸入值(在下文中稱作tMAx(^)與DA輸入值t^)的均方根值^(在下文中稱作第二RMS值)。f2="tf卻(14)在S116中，找到所有像素之中第二RMS值^的最大值。由于對于最大RMS像素tb(4>)=tmax(d>)，所以針對所有像素找到的第二RMS值^的最小值是0。將第二RMS值^的最大值和最小值之間的范圍以均勻間隔分成r個區(qū)間。接下來，將具有屬于同一區(qū)間的第二RMS值^的像素對于每個區(qū)間組合成單個組，從而配置成每區(qū)間一個組，并且在r二20個的組中分配所有像素。接下來，將像素和該像素所屬的組之間的關(guān)系保存在LUT映射15中。按這種方式，通過將屬于相同區(qū)間的像素組合成單個組來配置LUT映射15，其中一個區(qū)間中的像素具有相似的表示該像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的量^。因此，該方法使得可以將具有相似的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的像素組合成單個組。針對LCoS空間光調(diào)制器2的其中具有相似的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的像素基本均勻地分布在整個像素區(qū)域上的一個示例，產(chǎn)生了圖23所示的LUT映射15的示例。因此，屬于組A至D的像素基本均勻地分布在整個像素區(qū)域上。針對LCoS空間光調(diào)制器2的其中相鄰像素具有相似特性的另一個示例，產(chǎn)生了圖24所示的LUT映射15的示例。用虛線畫出的區(qū)域內(nèi)的像素具有相似的特性，因而屬于相同的組。此外，根據(jù)LCoS空間光調(diào)制器2的相位調(diào)制特性，相鄰像素以及分離區(qū)域中的像素可以包括在相同的組內(nèi)，諸如圖25所示的組A、B和c。上述的在S116中釆用的對像素進(jìn)行分組的方法可被修改為下面的方法[1]到[5]中的一種方法。[l]當(dāng)根據(jù)上述方法將像素劃分成組時，基于LCoS空間光調(diào)制器2的特性，存在所有像素并非均勻地分布在r個組中的一些情況。換言之，屬于各組的像素的數(shù)量可能大大偏離T/r。禾U用方法[l]，可以相對均勻地將所有像素分布在該r個組中。即，可將屬于各組的像素的數(shù)量設(shè)置為約T/r。具體地講，對在S116中將像素劃分成組的方法進(jìn)行如下修改。首先，按升序(或降序)來排列針對所有像素所獲得的第二RMS值^。換言之，-將所有像素的第二脂3值^排成一序列。以基本固定的間隔劃分該序列，從而形成整個序列的r個段。結(jié)果，包括在一個段中的像素的數(shù)量約為T/r，并且各段中的像素的數(shù)量近似相等。[2]還可以預(yù)先設(shè)置基準(zhǔn)值tmax(，在這種情況下，不執(zhí)行S113和S114。[3]當(dāng)在制造LCoS空間光調(diào)制器2時知道特定像素具有與其他像素顯著不同的特性時，這個像素具有所有第一RMS值e,中的最大值。在這種情況下，可將針對該像素根據(jù)式(11)獲得的值設(shè)置為基準(zhǔn)值tm^，并且不執(zhí)行S113和S114。[4]在S114中，還可以找到各像素的僅某單個DA輸入值B(例如，最小值0)的相位調(diào)制量4)。在這種方法中，省略S112到S115中的處理，并且基于測得的相位調(diào)制量小在S116中對像素進(jìn)行分組。這里，按升序(或降序)排列所有像素的相位調(diào)制量4)，即，將相位調(diào)制量4)排成一序列。以固定間隔劃分該相位調(diào)制量4)序列，從而產(chǎn)生r個段。因此，在單個段中排列有T/r個相位調(diào)制量4>。將獲得包括在相同段中的相位調(diào)制量4)的像素組合在相同的組中。因此，能夠?qū)⑾鄬τ谙嗤腄A輸入值B獲得相似的相位調(diào)制量的T/r個像素組合在相同的組中，從而將基本相同數(shù)量的像素分布在各個組中。此外，不按升序或降序排列所有像素的相位調(diào)制量4)，而是可將相位調(diào)制量的最大值和最小值之間的范圍分成r個段或相等的長度。將具有為相同段中的值的相位調(diào)制量》的像素組合在相同的組中。然而，在這種情況下，屬于單個組的像素的數(shù)量可能大大偏離T/r。[5]在S111中，可以使用指定像素的DA輸入值而不是DA輸入平均值tb,^(4))。在這種情況下，通過如下面S;所示地對式(13)進(jìn)行修改來獲得第一RMS值。這里，tb,oO)表示指定像素的DA輸入值。<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>在上述實(shí)施方式中，通過標(biāo)量量化對像素進(jìn)行分組。然而，對像素進(jìn)行分組的方法不限于上述方法。例如，在針對所有像素找到式(11)的結(jié)果之后，可以使用矢量量化或其他類型的標(biāo)量量化將具有相似特性的像素劃分到r個組中。接下來，將參照圖29來描述產(chǎn)生各組的LUT51的方法。在圖29中，當(dāng)產(chǎn)生各像素的LUT11時，S121到S127與第一實(shí)施方式中的S21到S27相同。因此，按與在第一實(shí)施方式中產(chǎn)生LUTll的方式相同的方式來為各像素產(chǎn)生LUT11。因此，如在第一實(shí)施方式中所描述的，在S121到S127中，使用式(3)到式(10)求值。將通過式(3)到式(10)為各像素獲取的數(shù)據(jù)臨時存儲在HDD44中。更具體地講，在S124中，針對各像素將LUT11保存在HDD44中，并且這些LUTll臨時用于尋找各個組的LUT51。當(dāng)隨后在S125中測量相位調(diào)制量時，將與由像素位置檢測器537指定的像素的位置相對應(yīng)的LUT11從HDD44中讀取出來并傳送到驅(qū)動單元530的RAM539。在S125中，LUT處理器536基于在S124中剛獲得的各像素的LUT11將控制輸入值A(chǔ)(O到255)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，之后驅(qū)動部321將該DA輸入值B轉(zhuǎn)換成模擬信號C，該模擬信號C用于驅(qū)動LCoS空間光調(diào)制器2中的對應(yīng)像素。在S128中，基于在S121到S127中找到的各像素的LUT11來產(chǎn)生各個組的LUT51。在S128中，針對各個組，基于針對屬于該組的所有像素所獲得的LUTll來產(chǎn)生LUT51。具體地講，針對各個DA輸入值(tb)，獲得針對一組內(nèi)的所有像素而獲取的相位調(diào)制量4)的平均值(在下文中稱作平均相位調(diào)制量4)g-ave)。即，使用各像素的LUT11來測量相位調(diào)制量4)。通過將一組內(nèi)所有像素的測得相位調(diào)制量》求平均值而獲得該平均相位調(diào)制量4)g-ave。然而，當(dāng)存在其相位調(diào)制量4)的特性與相同組內(nèi)的像素相比不尋常的像素時，通過將組內(nèi)除該不尋常像素以外的像素的測得相位調(diào)制量^求平均值來獲得平均相位調(diào)制量4)g-ave。針對各個組，獲得平均相位調(diào)制量^g-ave。接下來，針對各個組，通過近似獲得DA輸入值tb或控制輸入值ta與平均相位調(diào)制量4)g-ave之間的關(guān)系。基于該近似，找到各個組的表示控制輸入值ta和DA輸入值tb之間的關(guān)系的LUT51。將按這種方式為各個組找到的LUT51存儲在驅(qū)動單元3中的ROM(未示出)中。此外，從HDD44中刪除LUT11。接下來，將針對以下三種情況(1)到(3)詳細(xì)描述一種方法，該方法為各個組找到表示DA輸入值tb或控制輸入值ta與平均相位調(diào)制量4)g^e之間的關(guān)系的近似，以及基于該近似找到控制輸入值ta和DA輸入值tb之間的關(guān)系。(1)在一些情況下，圖29中的處理不會從S127返回到S123，而是會前進(jìn)到S128，而不用對根據(jù)S122中的測量結(jié)果而獲得的LUT11進(jìn)行更新。在這些情況下，基于第一測量的結(jié)果來獲得LUTll。(2)在一些情況下，圖29中的處理會從S127返回到S123—次，在執(zhí)行了S125中的處理一次之后前進(jìn)到S128。在這種情況下，通過基于第二測量(即，在S125中執(zhí)行的第一測量)對LUT11進(jìn)行更新來獲得LUT11。(3)在一些情況下，圖29中的處理會兩次或更多次地重復(fù)地從S127循環(huán)回S123，在兩次或更多次地執(zhí)行了S125中的處理之后前進(jìn)到S128。在這些情況下，在基于第M(其中M是大于或等于3的自然數(shù))測量(即，在S125的處理中執(zhí)行的第(M-l)測量)進(jìn)行更新之后獲得LUTll。<情況(1)>首先，如下地找到表示在第一測量中獲得的DA輸入值tb和平均相位調(diào)制量4)g.ave之間的關(guān)系的近似。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>(15)為了實(shí)現(xiàn)在第一測量中找到的控制輸入值ta和平均相位調(diào)制量dV^之間的線性關(guān)系以及用256個等級的控制輸入值A(chǔ)來表示0.0-2.07T[弧度]，如下表示控制輸入值、和平均相位調(diào)制量4^.^之間的關(guān)系，其中t"M)表示控制輸入值并且M二1。《-ave(Xw)=(2;r/256)x^o(16)ta(M)是從0到255的整數(shù)值，并且const是對于所有組都相同的偏移值。通過將式(16)代入式(15)可以獲得下面的式(17)中的關(guān)系。、i)=入s老(《，(~("))(17)通過對式(17)的右側(cè)進(jìn)行舍入而獲得下面的式(18-1)?！?=^WVD[,，g_。re(U,。(,)))](18-1)式(18—1)表示DA輸入值(tbw)和控制輸入值(taW)之間的關(guān)系?；谟墒?18-1)表示的這種關(guān)系來產(chǎn)生LUT51。<情況(2)>首先，如下地找到示出先前控制輸入值ta和當(dāng)前平均相位調(diào)制量小，之間的關(guān)系的近似，其中，M=2。^—1)=，g—彥der)=ZA7)，g—ai't'(19)當(dāng)M=2時，通過將式(16)代入式(19)，獲得下面的式(20)中的關(guān)系。通過將式(20)代入式(18-1)，獲得下面的式(18-2)。,A(2)=廳腦[H(H』。(2)))))](18-2)式(18-2)表示DA輸入值(tb(2))和控制輸入值(ta(2))之間的關(guān)系?；谟墒?18-2)表示的關(guān)系來產(chǎn)生LUT51。<情況(3)〉根據(jù)在情況(2)中描述的相同方法來獲得下面的式(18-3)。因此，如下是獲得的式(18-3)。,A(M)=加"M)[入g，(U/2，g—。ve(.,./M,g_ave(()g_avA(M)))))〗(18-3)式(18-3)表示DA輸入值(tb(M))和控制輸入值(ta同)之間的關(guān)系，其中M大于2?；谟稍撌?18-3)表示的關(guān)系來產(chǎn)生LUT51。代替獲得一組內(nèi)的相位調(diào)制量4)的平均值4g.ave，可以獲得生成該組內(nèi)的相位調(diào)制量4>的分散量最小的值并且基于該值來產(chǎn)生LUT51。圖26中的LUT51保持有在上述處理中針對對應(yīng)組獲得的ta、tb以及平均相位調(diào)制量4>8.^之間的關(guān)系。通過在S107(圖27)中執(zhí)行轉(zhuǎn)換時參照該LUT51,能夠在屬于對象組的像素的控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量4)之間獲得線性關(guān)系。使用LUT51能夠校正組中各像素之間的相位調(diào)制量的不規(guī)則性，從而實(shí)現(xiàn)控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的關(guān)系為基本線性關(guān)系。此外，由于式(18-1)、(18-2)或(18-3)被產(chǎn)生為使得對于所有組滿足式(16)，所以能夠校正像素之間的相位調(diào)制量的不規(guī)則性，以跨所有像素將控制輸入值A(chǔ)和相位調(diào)制量之間的關(guān)系實(shí)現(xiàn)為基本線性關(guān)系，并且針對相同的控制輸入值A(chǔ)實(shí)現(xiàn)基本相同的相位調(diào)制量。在根據(jù)以上方法產(chǎn)生了各個組的LUT51之后，產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12的方法與根據(jù)參照圖15所述的第一實(shí)施方式來產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案的方法相同。即，在S31中，驅(qū)動單元530將所有像素值為0的圖案存儲在RAM538中作為初始的校準(zhǔn)圖案12。在S32中，CPU41將期望圖案13設(shè)置為在0到255內(nèi)所有像素值相同的圖像，并且將該期望圖案13發(fā)送到驅(qū)動單元530。在驅(qū)動單元530中接收到的期望圖案13中的像素輸入值被傳送到加法器535，同時該期望圖案13中的像素的位置數(shù)據(jù)被傳送到像素位置檢測器537。像素位置檢測器537基于該位置數(shù)據(jù)來識別對應(yīng)的LUT51。在S33和S41中，加法器535將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加，并且如果需要的話在折疊該和的相位之后將控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為該和。在S34和S42中，LUT處理器536基于所識別的LUT51將該控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B并且將該DA輸入值B傳送到D/A電路532。在S35中，驅(qū)動部321基于該DA輸入值B產(chǎn)生模擬信號C，并且基于該模擬信號C將工作電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2。在S39中，參照式(4)或(7)將校準(zhǔn)圖案12中的各像素的相位值(相位調(diào)制量)轉(zhuǎn)換成控制輸入值，將其數(shù)據(jù)存儲在HDD44中并且重新表示為256個等級之一。還可以將平均相位調(diào)制量的數(shù)據(jù)存儲在如圖26所示的LUT51中，并且使用該LUT51來獲得以256個等級表示的校準(zhǔn)圖案。在S40中，將表示所獲取的256個等級的相位值的校準(zhǔn)圖案12存儲在ROM(未示出)中。在根據(jù)上述第二實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器500中，所有像素基于它們的相位調(diào)制特性被分布在多個組中，并且針對單個組內(nèi)的所有像素使用相同的LUT51。由于不需要使每個像素都具有一個LUT51，所以可以利用較少的數(shù)據(jù)來有效地校正所有像素的相位調(diào)制特性。因此，即使當(dāng)驅(qū)動單元3是不能夠容易地配備高容量存儲器(RAM)的類型時，也可將LUT51存儲在該驅(qū)動單元3上。此外，由于LUT51存儲在該驅(qū)動單元530中，所以使用專用硬件(加法器535、像素位置檢測器537以及LUT處理器536)來執(zhí)行以下處理(i)將期望圖案13與校準(zhǔn)圖案12相加并且在必要時折疊相位(在加法器535上執(zhí)行)；(ii)獲得像素位置數(shù)據(jù)(在像素位置檢測器537上執(zhí)行)；以及(iii)基于LUT51將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B并且將該DA輸入值B輸出到LCoS空間光調(diào)制器2(在LUT處理器536上執(zhí)行)。在驅(qū)動單元3上執(zhí)行的處理(i)到(iii)所需的處理時間例如與由控制單元4上的CPU41執(zhí)行的相同處理所需的時間相比減少了，從而使這些處理能夠在一個幀內(nèi)完成。LUT映射15提供像素位置數(shù)據(jù)和組號之間的相互關(guān)系，從而使得在執(zhí)行相位調(diào)制時可以可靠地選擇適于像素的特性的LUT51。在小于可操作電壓范圍的確保所需相位調(diào)制量的工作電壓范圍內(nèi)，根據(jù)上述第二實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器500針對以4096個等級表示的DA輸入值B，來控制LCoS空間光調(diào)制器2。因此，LCoS相位調(diào)制器500能夠十分精確地控制施加到LCoS空間光調(diào)制器2的電壓。此外，LCoS相位調(diào)制器500利用LUT51來實(shí)現(xiàn)控制輸入值A(chǔ)和電壓相關(guān)相位調(diào)制量之間的基本線性關(guān)系，并且校正由電壓相關(guān)相位調(diào)制量所導(dǎo)致的像素間不規(guī)則性，從而十分精確地獲得期望的相位調(diào)制量。此外，LCoS相位調(diào)制器500使用校準(zhǔn)圖案12來校正電壓無關(guān)變形以實(shí)現(xiàn)更加精確的相位調(diào)制。發(fā)現(xiàn)了與(0不執(zhí)行校正的情況或(ii)針對所有像素使用單一LUT51和校準(zhǔn)圖案12進(jìn)行校正的情況相比，當(dāng)在優(yōu)選實(shí)施方式中使用LUT映射15、LUT51以及校準(zhǔn)圖案12來進(jìn)行校正時能夠以更高的精度測量輸出波前。例如，在下表中示出了控制輸入值-測得相位調(diào)制特性以及控制輸入值-理想相位調(diào)制特性的RMS值。<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>如該表所示，使用LUT11或51以及校準(zhǔn)圖案12使相位調(diào)制特性變得精確。盡管第一實(shí)施方式的校正給出了最高精度，但第二實(shí)施方式的校正對測量給出了足夠的精度。實(shí)際上，當(dāng)使用LUT51和校準(zhǔn)圖案12在LCoS相位調(diào)制器500上測量拉蓋爾-高斯光束的相位調(diào)制時，能夠看到與圖17(A)相似的同心圓圖案。此外，當(dāng)產(chǎn)生LUT51時以及當(dāng)產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12時，重復(fù)該處理，直到獲得所需精度或者直到?jīng)]有獲得精度提高為止。因此，可以獲得高度精確的LUT51以及高度精確的校準(zhǔn)圖案12，其能夠精確地校正電壓相關(guān)相位調(diào)制特性以及電壓無關(guān)變形。<第二實(shí)施方式的第一變型>還可以使用圖18所示的LCoS空間光調(diào)制器120，而不是使用LCoS空間光調(diào)制器2。<第二實(shí)施方式的第二變型〉也可將控制單元4的功能并入驅(qū)動單元530中。在這種情況下，RAM538還存儲期望圖案13。期望圖案13被保存在驅(qū)動單元530的ROM(未示出)中，并且在LCoS相位調(diào)制器500啟動時被讀入RAM538中。<第二實(shí)施方式的第三變型>在根據(jù)上述優(yōu)選實(shí)施方式的LCoS相位調(diào)制器500中，校準(zhǔn)圖案12存儲在驅(qū)動單元530的RAM538中，并且加法器535將期望圖案13中的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12中的像素校正值相加。然而，如圖30所示的LCoS相位調(diào)制器600的實(shí)施例那樣，期望圖案13和校準(zhǔn)圖案12可以被存儲在HDD44中，被讀入存儲器單元43中并在控制單元4中相加。在這種情況下，CPU41包括輸入值設(shè)置單元47，該輸入值設(shè)置單元47用于將期望圖案13的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12的像素校正值相加。LCoS相位調(diào)制器600的驅(qū)動單元630沒有設(shè)置加法器或用于存儲校準(zhǔn)圖案的RAM。具體地講，驅(qū)動單元630包括通信單元633、處理單元631、像素位置檢測器637、LUT處理器636、D/A電路632以及RAM639。在這些部件之中，通信單元633和D/A電路632與圖2所示的通信單元33和D/A電路32相同。RAM639存儲有LUT映射15和LUT51，并且D/A電路632設(shè)置有驅(qū)動部321。對于相位調(diào)制，輸入值設(shè)置單元47將期望圖案13的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12的像素校正值相加，并且在當(dāng)必要時折疊這些和的相位之后，將控制輸入值A(chǔ)設(shè)置為這些和。通信單元42將該控制輸入值A(chǔ)和像素位置數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動單元630。通信單元633將該控制輸入值A(chǔ)和像素位置數(shù)據(jù)傳送到處理單元631。處理單元631將像素的位置數(shù)據(jù)傳送到像素位置檢測器637并且將這些像素的控制輸入值A(chǔ)傳送到LUT處理器636。之后，LUT處理器636和D/A電路632執(zhí)行與根據(jù)第二實(shí)施方式的處理器536和D/A電路532相同的處理，以在LCoS空間光調(diào)制器2上對入射光的相位進(jìn)行調(diào)制。由于上述LCoS相位調(diào)制器600不需要在驅(qū)動單元630中將校準(zhǔn)圖案12和期望圖案13相加，所以可以減少設(shè)置在驅(qū)動單元630中的RAM的容量。<第二實(shí)施方式的第四變型〉如圖31所示的LCoS相位調(diào)制器700那樣，還可以將期望圖案13、校準(zhǔn)圖案12、LUT51以及LUT映射15保存在HDD44中，將該數(shù)據(jù)讀入存儲器單元43中，以及找到DA輸入值B并將其發(fā)送到驅(qū)動單元3。在這種構(gòu)造中，CPU41包括轉(zhuǎn)換器46、輸入值設(shè)置單元47以及像素位置檢測器48。驅(qū)動單元3與圖2所示的驅(qū)動單元3相同。對于相位調(diào)制，輸入值設(shè)置單元47將期望圖案13的像素輸入值與校準(zhǔn)圖案12的像素校正值相加，并且在當(dāng)必要時執(zhí)行相位折疊之后將該和設(shè)置為控制輸入值A(chǔ)。像素位置檢測器48參考LUT映射15以識別與像素位置數(shù)據(jù)相對應(yīng)的組號。轉(zhuǎn)換器46使用與所識別的組號相對應(yīng)的LUT51將各像素的控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。通信單元42將該DA輸入值B發(fā)送到驅(qū)動單元3。通信單元33將從通信單元42接收到的DA輸入值B傳送到處理單元31。其余的處理與在第一實(shí)施方式中描述的用于在LCoS空間光調(diào)制器2上對入射光的相位進(jìn)行調(diào)制的處理相同。采用具有這種構(gòu)造的LCoS相位調(diào)制器700，驅(qū)動單元13不需要設(shè)置用于保存期望圖案13、LUT51、LUT映射15以及校準(zhǔn)圖案12的RAM，從而降低了裝置的成本。<第二實(shí)施方式的第五變型>盡管在上述第二實(shí)施方式中將D/A電路532設(shè)置在驅(qū)動單元530中，但是D/A電路532可以與驅(qū)動單元530分離，并且LCoS空間光調(diào)制器可以設(shè)置有D/A電路以及用于接收DA輸入值B的接收電路。采用這種構(gòu)造，驅(qū)動單元530將DA輸入值B傳送到LCoS側(cè)的該接收電路。<第二實(shí)施方式的第六變型>此外，在第二實(shí)施方式的驅(qū)動單元530中，RAM539存儲LUT映射15和LUT51。然而，另一RAM可以直接連接到LUT處理器536并且可以存儲LUT51。在這種情況下，RAM539僅存儲LUT映射15。在第二實(shí)施方式中，LUT51經(jīng)由像素位置撿測器537而被讀入LUT處理器536中。然而，在該變型中，LUT處理器536直接從該另一RAM讀取LUT51。采用這種構(gòu)造，像素位置檢測器537將表示參照LUT映射15而識別的LUT51的數(shù)據(jù)發(fā)送到LUT處理器536。LUT處理器536根據(jù)從像素位置檢測器537接收到的數(shù)據(jù)，參照存儲在該另一RAM中的LUT51來執(zhí)行LUT處理(用于將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B的處理)。<第二實(shí)施方式的第七變型>盡管圖22所示的驅(qū)動單元530僅設(shè)置有一個D/A電路32，但是驅(qū)動單元530可以設(shè)置有多個D/A電路532，所述多個D/A電路532用于同時將多個模擬信號C輸出到LCoS空間光調(diào)制器2，以同時將多個模擬信號寫到多個像素。在具有這種構(gòu)造的驅(qū)動單元530中，將驅(qū)動單元530的處理電路配置為將多個像素的DA輸入值B同時輸出到多個D/A電路532。<第二實(shí)施方式的第八實(shí)施方式>還可以用脈沖調(diào)制電路來代替D/A電路532。采用這種構(gòu)造，該脈沖調(diào)制電路輸出用于驅(qū)動LCoS空間調(diào)制器的數(shù)字脈沖調(diào)制信號。<第二實(shí)施方式的第九變型>此外，可以將在式(15)、(16)和(19)中得到的近似多項(xiàng)式的數(shù)據(jù)(系數(shù)ak(D，g，，其中1《1《J，并且值為"const")作為參考數(shù)據(jù)集保存在驅(qū)動單元530的ROM(未示出)中，而不是LUT51中。與在第二實(shí)施方式中產(chǎn)生LUT51的方法(S128)相似，根據(jù)返回到S123的次數(shù)，利用該數(shù)據(jù)來獲得式(18-1)到式(18-3)。因此，能夠根據(jù)式(18-1)到式(18-3)來獲得控制輸入值A(chǔ)和DA輸入值B之間的關(guān)系。當(dāng)測量相位調(diào)制量時，LUT處理器536基于該數(shù)據(jù)將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B(S107)?？梢圆捎闷渌鞣N類型的參考數(shù)據(jù)集來代替LUT51或近似多項(xiàng)式的系數(shù)。<第二實(shí)施方式的第十變型>當(dāng)在上述優(yōu)選實(shí)施方式中產(chǎn)生LUT51以及LUT映射15時，對所有像素進(jìn)行了測量。然而，也可以僅針對有代表性的像素而不是所有像素來測量相位調(diào)制量。例如，可以由多個相鄰像素構(gòu)成塊，其中一個塊例如包括4X4個像素。將每個塊中的一個像素設(shè)置為基準(zhǔn)像素，并且僅針對有代表性的像素進(jìn)行測量?；谶@些測量的結(jié)果將所有的塊分成幾個組，并且產(chǎn)生指示這些組的LUT映射15。更具體地講，LUT映射15指示塊與對應(yīng)于這些塊的LUT51之間的關(guān)系。在該實(shí)施例中，相同的LUT51適用于單個塊內(nèi)的所有像素。<第二實(shí)施方式的第十一變型>如圖32所示，校準(zhǔn)圖案12的值可以包括在LUT51中。該變型與圖21所示的第一實(shí)施方式的第七變型的變型相似。即，通過將各個組的LUT51中的參考位置移動屬于該對象組的該一個像素在校準(zhǔn)圖案中的值，可將用于校正電壓無關(guān)變形的數(shù)據(jù)包括在該LUT51中。或者，該移動值可以是該對象組的校準(zhǔn)圖案中的所有像素的平均值。圖32已將用于校正電壓無關(guān)變形的數(shù)據(jù)包括在圖26的數(shù)據(jù)中，其中p-64。例如，在圖26的表中，當(dāng)ta是0時，tb的值是1050;而在圖21中，當(dāng)ta是64時，tb的值是1050。在這種情況下，圖22中的驅(qū)動單元530不需要包括加法器535和RAM538。此外，在參照圖27描述的相位調(diào)制方法中不需要步驟S106。因此，處理單元531將輸入值發(fā)送到LUT處理單元536。包括如圖32所示的校準(zhǔn)圖案12的值的LUT51用于S103、S104以及S107中。因此，驅(qū)動單元530還可僅通過應(yīng)用包括校準(zhǔn)圖案的LUT51來校正電壓無關(guān)變形，從而不需要保存校準(zhǔn)圖案以及執(zhí)行將校準(zhǔn)圖案與期望圖像相加的處理。可以以塊為單位地產(chǎn)生包括校準(zhǔn)圖案的LUT51。根據(jù)上述的相同方法將LUT51分成多個塊。在這種情況下，針對塊中的至少一個像素測量相位調(diào)制特性，并且將塊中的各像素的校正值設(shè)置為在該塊中找到的各像素的校正值的平均值。另選的是，當(dāng)僅針對塊中的一個像素測量相位調(diào)制特性時，可將該塊的校正值簡單地設(shè)置為該像素的校正值而不是平均值。LUT51以及校準(zhǔn)圖案12中的塊的大小和位置彼此相同。校準(zhǔn)圖案12中的各個塊的值簡單地反映在構(gòu)成LUT51的對應(yīng)塊中。按此方式，可將校準(zhǔn)圖案12中的數(shù)據(jù)包括在LUT51中用于校正電壓無關(guān)變形，同時該LUT51用于將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B。因此，可以省略加入校準(zhǔn)圖案12的處理，從而實(shí)現(xiàn)了更有效的相位調(diào)制。<第二實(shí)施方式的第十二變型>由于玻璃基板25被制造得相當(dāng)厚(例如，3毫米)，所以在LCoS空間光調(diào)制器2的玻璃基板25中不會發(fā)生變形。如圖33(A)所示，變形問題僅會發(fā)生在硅基板21中。已經(jīng)從圖33(A)(和稍后描述的圖33(B))中省略了配向?qū)?3和電極24。圖33(A)所示的液晶層27的厚度隨著硅基板21的變形而改變，如由距離dl和d2所表示的。當(dāng)液晶層27的對應(yīng)區(qū)域具有相同厚度從而施加相等的電壓時，像素具有相同的相位調(diào)制量?；谠撝R，如果將玻璃基板25形成得較厚并且硅基板21的變形的形狀己知，則可以確定哪些像素具有相同的相位調(diào)制量。因此，代替圖28所示的產(chǎn)生LUT映射15的方法，可以通過根據(jù)例如下面三種方法1至3之一來測量表示硅基板21的變形形狀的量來得到LUT映射15。1.將參照圖34來描述該方法。在圖34的S131中，為所有像素產(chǎn)生LUTll。具體地講，執(zhí)行圖29所示的S121到S127的處理。在S132中，使用圖14所示的邁克耳遜干涉儀80來測量相位調(diào)制量4)。更具體地講，使用LUT11將對于所有像素相同的控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B，該DA輸入值B被轉(zhuǎn)換成模擬信號C，并且該模擬信號C被施加到LCoS空間光調(diào)制器2。在S133中，找到獲得最大相位調(diào)制量的像素和獲得最小相位調(diào)制量的像素。在S134中，將相位調(diào)制量的最大值和最小值之間的范圍以均勻的間隔分成r個段，并且將具有相同段內(nèi)的相位調(diào)制量的像素組合在相同組中。將如上構(gòu)成的組與它們的像素之間的關(guān)系保存在LUT映射15中。在這種方法中，在利用各像素的LUT11將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B之后，使用邁克耳遜干涉儀80來測量相位調(diào)制量4>，從而校正電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。因此，這種方法校正了如式O)所示的取決于電壓V的相位調(diào)制量4)，去除了像素之間的不規(guī)則性。因此，各像素的測得相位調(diào)制量4)的不規(guī)則性意味著各像素的Oo的不規(guī)則性，其中Oo是表示硅基板的變形的量。因此，根據(jù)表示硅基板的變形的電壓無關(guān)相位調(diào)制特性，對根據(jù)這種方法產(chǎn)生的LUT映射15中的所有像素進(jìn)行了分組。2.在該變型中，對在圖28中描述的產(chǎn)生LUT映射15的方法進(jìn)行了如下修改。根據(jù)第二實(shí)施方式，在圖28的SU1中，在基于相同的DA輸入值B將相同電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2中的所有像素的同時，使用圖9中的偏振干涉儀60來測量相位調(diào)制量。在使DA輸入值B從0至4095變化的同時，重復(fù)進(jìn)行這些測量。在該變型中，使用圖14所示的邁克耳遜干涉儀80來代替偏振干涉儀60。此外，在基于相同的DA輸入值B將相同電壓施加到LCoS空間光調(diào)制器2中的所有像素的同時，邁克耳遜干涉儀80測量相位調(diào)制量。在施加僅與落入0和4095之間的單個DA輸入值B相對應(yīng)的電壓值時進(jìn)行這種測量，并且不執(zhí)行S112到S115的處理。在S116中，從在Slll中針對所有像素獲得的相位調(diào)制量中找到最小值和最大值，并且將相位調(diào)制量的最小值和最大值的范圍分成r個段。將與屬于相同段的相位調(diào)制量相對應(yīng)的像素組合在單個組中。然后，通過找到這些像素與它們的組之間的關(guān)系來產(chǎn)生LUT映射15。在這種方法中，使用邁克耳遜干涉儀80來測量相位調(diào)制量O，而不使用各像素的LUT11。因此，該測得的相位調(diào)制量O包括式(1)中的取決于電壓的量4)。如式(2)所示，4)取決于液晶層27的厚度d(x，y)。對于玻璃基板25沒有變形的LCoS空間光調(diào)制器2，液晶層27的厚度d(x，y)是表示反射面的變形的量。因此，得到式(1)中的①等同于得到與硅基板21的變形相關(guān)的量。因此，這種方法基于像素的表示硅基板21的變形的電壓無關(guān)相位調(diào)制特性，對這些像素進(jìn)行分組。3.與上面的方法2相似，在S111中，使用圖14的邁克耳遜干涉儀80來測量由各像素實(shí)現(xiàn)的相位調(diào)制量O。基于這些測量的結(jié)果，產(chǎn)生用于實(shí)現(xiàn)使相位調(diào)制量O的值在所有像素中一致的圖案，并且使用該圖案來產(chǎn)生LUT映射15。具體地講，將DA輸入值B順序地設(shè)置為從0到4095的所有值。每次當(dāng)DA輸入值B被設(shè)置為0到4095的值之一時，利用對應(yīng)的模擬信號C來驅(qū)動各像素?；谒@得的相位調(diào)制量，找到表示DA輸入值B的分布的圖案。該圖案是已使像素獲得相同的相位調(diào)制量的DA輸入值B的分布。在該方法中不執(zhí)行S112到S115的處理。在S116中，針對分布于在Slll中找到的圖案中的DA輸入值B，找到最小值和最大值，并且將該DA輸入值B的最小值和最大值之間的范圍分成r個段，并且將獲得相同段內(nèi)的相位調(diào)制量的像素組合在相同的組中。然后，通過找到這些像素與它們的組之間的關(guān)系來產(chǎn)生LUT映射15。該方法能夠根據(jù)像素的表示硅基板21的變形的電壓無關(guān)相位調(diào)制特性對這些像素進(jìn)行分組。在上述的方法1至3中，利用該邁克耳遜干涉儀80來測量電壓無關(guān)變形，并且基于液晶層27的液晶層厚度d(x,y)來對像素進(jìn)行分組。然而，測量方法不限于上述方法?？梢酝ㄟ^測量表示液晶層厚度d(x，y)的差的量來對像素進(jìn)行分組。因此，基于該測得的量，按照與上述方法1至3相同的方法來產(chǎn)生LUT映射。例如，可以針對各像素位置對液晶層厚度d(x，y)進(jìn)行光學(xué)測量。方法1至3能夠按反映表示硅基板21的變形的量的方式對像素進(jìn)《亍分組。<第二實(shí)施方式的第十三變型>如圖33(B)所示，如果在上述第十二變型中的三種方法的任一方法中玻璃基板25傾斜，則優(yōu)選地執(zhí)行考慮玻璃基板傾斜的校正。如果玻璃基板25沒有傾斜，則硅基板21的變形表現(xiàn)出液晶層27的厚度差，即，硅基板27的變形表現(xiàn)出像素之間的相位調(diào)制量的差。因此，基于硅基板21的變形來對像素進(jìn)行分組。然而，如圖33(B)所示，如果玻璃基板25傾斜，則硅基板21的變形不代表液晶層的厚度差。因此，當(dāng)對像素進(jìn)行分組時需要考慮玻璃基板25的傾斜。當(dāng)玻璃基板25傾斜時，不僅考慮與一部分液晶層厚度(ds(x,y))相關(guān)的硅基板21的變形并且考慮由于玻璃基板25的傾斜而導(dǎo)致的一部分液晶層厚度(dg(x，y))的不規(guī)則性，將像素分成多個組。要注意的是，0X和ey分別表示玻璃基板25的底表面相對于x方向和y方向的傾斜角度。在圖33(B)中，基準(zhǔn)平面Sl是平行于硅基板21的底表面的平面。當(dāng)玻璃基板25不傾斜時，玻璃基板25的底表面與基準(zhǔn)假象平面Sl—致。從硅基板21的頂表面到基準(zhǔn)平面S1的這部分液晶層厚度用ds(x，y)表示，而從基準(zhǔn)平面Sl到玻璃基板25的這部分液晶層厚度用dg(x,y)表示。通過將4(x,y)與dg(x,y)相加，給出總的液晶層厚度d(x,y)。當(dāng)傾斜角度0x和0y已知時，可以計(jì)算歸因于液晶層厚度部分dg(X，y)的電壓相關(guān)相位調(diào)制量(4)g(V,x，y))。因此，通過計(jì)算下面的式(21)獲得dg(x,y)?！?x,力-i^tan《+、tan《(21)這里，基準(zhǔn)點(diǎn)O是dg(x,y)=0處的點(diǎn)。U和Ly分別是從基準(zhǔn)點(diǎn)O到像素位置(x,y)的在x方向和y方向上的距離。根據(jù)下式計(jì)算電壓相關(guān)相位調(diào)制量4g(V，x,y)。^(7,x，力-2A"(7)^0,;;)(22)因此，在該變型中，將相位調(diào)制量Oo(X，y)測量為指定硅基板21的變形的量。為了獲得LUT映射15，首先，與圖29所示的S121到S127中的處理相似地，為所有像素產(chǎn)生LUT11。接下來，使用圖14中的邁克耳遜千涉儀80，在利用每個像素的LUT11將控制輸入值A(chǔ)轉(zhuǎn)換成DA輸入值B之后，通過施加驅(qū)動電壓來測量相位調(diào)制量O)(V，x,y)。這里，施加到每個像素(x,y)的驅(qū)動電壓由式(22)中的V表示。由于在測量之前使用LUT11，所以抵消了電壓相關(guān)相位調(diào)制量4)(V，x，y)的不規(guī)則性。因此，測得的相位調(diào)制量(O(V,x，y))的不規(guī)則性僅取決于電壓無關(guān)相位調(diào)制量Oo(x，y)的不規(guī)則性。要注意的是，測得的量0)(V，x,y)與4)g(V,x，y)不相關(guān)。換言之，測得的相位調(diào)制量O(V，x，y)(=0>o(x，y))表示液晶層厚度部分cUx,y)的分布。另一方面，通過指示液晶層厚度部分dg(x,y)的分布的計(jì)算，給出4)g(V,x,y)。因此，通過將由邁克耳遜干涉儀80測得的相位調(diào)制量Oo(x,y)與根據(jù)式(22)得到的(V,x,y)相加并且對該和執(zhí)行相位的折疊處理，找到傾斜所致相位調(diào)制量。與上述第十二變型相似，基于該折疊的相位調(diào)制量(在下文中稱作傾斜所致相位調(diào)制量)對像素進(jìn)行分組。例如，當(dāng)按與第十二變型相似的方式對像素進(jìn)行分組時，首先，識別傾斜所致相位調(diào)制量的最大值和最小值。將傾斜所致相位調(diào)制量的最小值和最大值之間的范圍以均勻的間隔分成r個段。將具有相同段中的傾斜所致相位調(diào)制量的像素組合在一起，并且基于這些組來產(chǎn)生LUT映射15。因此，按反映表示硅基板21的變形以及玻璃基板25的傾斜的量的方式，對像素進(jìn)行分組。盡管已參照本發(fā)明的以上實(shí)施方式對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)描述，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，在不脫離本發(fā)明的精神的情況下，可以在其中進(jìn)行各種改變和修改。可以使用其他相位調(diào)制空間光調(diào)制器來代替LCoS空間光調(diào)制器2，諸如可光學(xué)尋址相位調(diào)制器、MEMS相位調(diào)制器、可變形反射鏡、以及模擬磁光裝置。在"HighEfficiencyElectrially-AddressablePhase-OnlySpatialLightModulator"(YasunoriIgasaki等，OpticalReview,Vol.6，No,4,pp.339-334,1999)中描述了一種可能的可光學(xué)尋址相位調(diào)制器。在"OneMegapixelSLMwithhighopticalfillfactorandlowcreepactuators"(M.Friedrichs等,OpticalMEMSandTheirApplicationsConference2006，IEEE/LEOSInternationalConferenceon)中描述了一種可能的MEMS相位調(diào)制器。在"Magnetophotiniccrystals-anovelmagneto-opticmaterialwithartificialperiodicstructures"(MitsuteruInoue等,J.Mater.Chem.Vol.16，pp678-684,2006)中描述了一種模擬磁光裝置。當(dāng)使用MEMSSLM時，電壓無關(guān)變形表現(xiàn)為不施加電壓時獲得的波前變形。如果在式(1)中V=0，則4)(V,x，y)-0且O(TO(0,x，y)。因此，能夠通過采用圖14中的邁克耳遜干涉儀80在不施加電壓的情況下進(jìn)行的測量，來找到歸因于反射面變形的0)Q?；?。產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12。此外，電壓相關(guān)相位調(diào)制特性表現(xiàn)為施加電壓時像素之間的相位調(diào)制量的不規(guī)則性。可以釆用根據(jù)第二實(shí)施方式中的方法產(chǎn)生的LUT51來校正這些電壓相關(guān)相位調(diào)制特性。當(dāng)施加電壓時，模擬磁光裝置使入射光的偏振方向旋轉(zhuǎn)。電壓無關(guān)相位調(diào)制特性表示在不施加電壓的情況下由圖14中的邁克耳遜干涉儀80測得的光的偏振方向的旋轉(zhuǎn)在像素之間的不規(guī)則性。電壓相關(guān)相位調(diào)制特性表示當(dāng)施加電壓時利用邁克耳遜干涉儀80測得的光的偏振方向的旋轉(zhuǎn)量在像素之間的不規(guī)則性。因此，基于在不施加電壓的情況下由邁克耳遜干涉儀80測得的偏振方向的旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生校準(zhǔn)圖案12，同時能夠基于當(dāng)施加電壓時由邁克耳遜干涉儀80測得的偏振方向的旋轉(zhuǎn)量來產(chǎn)生LUT11或51。在第一和第二實(shí)施方式中，驅(qū)動部321被設(shè)置為，基于電壓相關(guān)相位調(diào)制特性將DA輸入值B(0-4094)線性地分配到工作電壓范圍Q-R。然而，驅(qū)動部321可以保持在初始設(shè)置下。即，將驅(qū)動單元321設(shè)置為使DA輸入值B(0-4096)線性地分配到操作電壓P-S。上述實(shí)施方式和變型的相位調(diào)制裝置適于用在激光加工、光鑷、自適應(yīng)光學(xué)、成像光學(xué)系統(tǒng)、光通信、非球面透鏡檢查、短脈沖激光的脈沖形狀控制、光存儲器裝置等中。權(quán)利要求1、一種相位調(diào)制裝置，該相位調(diào)制裝置包括空間光調(diào)制器，其包括彼此相鄰地按二維排列的多個像素，各像素能夠以操作電壓范圍內(nèi)的電壓值進(jìn)行驅(qū)動并且能夠響應(yīng)于驅(qū)動電壓的施加而對輸入光進(jìn)行相位調(diào)制；輸入值設(shè)置單元，其設(shè)置各像素的輸入值；多個參考數(shù)據(jù)集，每個參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于至少一個像素；轉(zhuǎn)換單元，其通過參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集把針對各像素輸入的輸入值轉(zhuǎn)換成控制值；和驅(qū)動單元，其將所述控制值轉(zhuǎn)換成設(shè)置在所述操作電壓范圍內(nèi)的工作電壓范圍內(nèi)的電壓值，所述驅(qū)動單元利用與所述電壓值相對應(yīng)的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素；各參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的多個第一值和從其取得控制值的多個第二值相互關(guān)聯(lián)，以確保所述多個第一值與由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系，以及基于所述多個像素中的至少一個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性來設(shè)置所述工作電壓范圍。2、如權(quán)利要求1所述的相位調(diào)制裝置，其中，各參考數(shù)據(jù)集為查找表的形式，所述查找表存儲所述多個第一值與所述多個第二值之間的一一對應(yīng)關(guān)系。3、如權(quán)利要求l所述的相位調(diào)制裝置，其中，與塊單位相對應(yīng)地設(shè)置所述多個參考數(shù)據(jù)集，每個塊包括至少一個像素。4、如權(quán)利要求3所述的相位調(diào)制裝置，其中，每個塊包括彼此相鄰地排列的至少一個像素。5、如權(quán)利要求1所述的相位調(diào)制裝置，其中，所述輸入值設(shè)置單元通過針對各像素將表示期望相位量的期望值和表示電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)量的校正值相加在一起來確定其和，并且將所述和設(shè)置為各像素的所述輸入值。6、如權(quán)利要求l所述的相位調(diào)制裝置，其中，所述輸入值設(shè)置單元將表示期望相位圖案的期望值設(shè)置為各像素的所述輸入值，各參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的所述多個第一值和從其取得控制值的所述多個第二值相互關(guān)聯(lián)，以確保通過將所述第一值和表示電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)量的校正值相加而確定的和與由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系。7、如權(quán)利要求1所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于通過參考已經(jīng)產(chǎn)生的參考數(shù)據(jù)集將所述多個輸入值轉(zhuǎn)換成多個控制值、將所述多個控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值、并在由為對應(yīng)電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動至少一個對應(yīng)像素的同時測量表示所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量而獲得的測量結(jié)果，來重復(fù)地重新產(chǎn)生各參考數(shù)據(jù)集。8、如權(quán)利要求5所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于通過使用各像素的已經(jīng)產(chǎn)生的校正值和相位指示值之和、參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集將所述和轉(zhuǎn)換成控制值、將所述控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值、并在由為所述電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動所述各像素的同時測量所述電壓無關(guān)變形而獲得的測量結(jié)果，來重復(fù)地重新產(chǎn)生各像素的表示電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)圖案的校正值。9、如權(quán)利要求1所述的相位調(diào)制裝置，該裝置還包括參考數(shù)據(jù)映射，其基于各像素的相位調(diào)制特性將所述各像素與多個組中的一個相互關(guān)聯(lián)；和識別單元，其使用所述參考數(shù)據(jù)映射來識別對應(yīng)于與各像素相關(guān)聯(lián)的組的一個參考數(shù)據(jù)集，其中，所述多個參考數(shù)據(jù)集與所述多個組具有一一對應(yīng)關(guān)系。10、如權(quán)利要求9所述的相位調(diào)制裝置，其中，所述參考數(shù)據(jù)映射將各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。11、如權(quán)利要求10所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于表示各像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和基準(zhǔn)像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性之間的差的值，所述參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。12、如權(quán)利要求ll所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于表示所述各像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和所述多個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的平均值之間的差的值，從所述多個像素中選擇所述基準(zhǔn)像素。13、如權(quán)利要求9所述的相位調(diào)制裝置，其中，所述空間光調(diào)制器是包括玻璃基板和硅基板的硅基液晶(LCoS)型空間光調(diào)制器；以及基于表示所述硅基液晶型空間光調(diào)制器的所述硅基板的變形的值，所述參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。14、如權(quán)利要求13所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于由所述硅基板的變形而導(dǎo)致的電壓無關(guān)變形，所述參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。15、如權(quán)利要求13所述的相位調(diào)制裝置，其中，基于所述硅基液晶型空間光調(diào)制器的所述玻璃基板的傾斜和所述硅基板的變形，所述參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。16、一種用于設(shè)置相位調(diào)制裝置的方法，所述相位調(diào)制裝置包括空間光調(diào)制器，其包括彼此相鄰地按二維排列的多個像素，各像素能夠以操作電壓范圍內(nèi)的電壓值進(jìn)行驅(qū)動并且能夠響應(yīng)于驅(qū)動電壓的施加而對輸入光進(jìn)行相位調(diào)制；輸入值設(shè)置單元，其設(shè)置各像素的輸入值；和驅(qū)動單元，其將控制值轉(zhuǎn)換成電壓值，所述驅(qū)動單元利用與所述電壓值相對應(yīng)的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素，所述方法包括以下步驟基于所述多個像素中的至少一個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性來設(shè)置所述操作電壓范圍內(nèi)的工作電壓范圍；以及設(shè)置所述驅(qū)動單元以將所述控制值轉(zhuǎn)換成所述工作電壓范圍內(nèi)的電壓值；產(chǎn)生多個參考數(shù)據(jù)集，該產(chǎn)生步驟包括針對至少一個像素，測量表示所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)帝懂；基于所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性產(chǎn)生多個參考數(shù)據(jù)集，使每個參考數(shù)據(jù)集與至少一個像素相對應(yīng)并且使每個參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的多個第一值和從其取得控制值的多個第二值相互關(guān)聯(lián)，以確保所述多個第一值和由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系；以及將所述轉(zhuǎn)換單元設(shè)置為針對各像素通過參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集將所述控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值。17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述產(chǎn)生步驟產(chǎn)生査找表形式的各參考數(shù)據(jù)集，所述查找表存儲所述多個第一值與所述所述多個第二值之間的一一對應(yīng)關(guān)系。18.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述產(chǎn)生步驟產(chǎn)生與塊單位相對應(yīng)地設(shè)置的所述多個參考數(shù)據(jù)集，每個塊包括至少一個像素。19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，每個塊包括彼此相鄰地排列的至少一個像素。20.如權(quán)利要求16所述的方法，所述方法還包括以下步驟產(chǎn)生電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)圖案，該產(chǎn)生所述校準(zhǔn)圖案的步驟包括參考已經(jīng)產(chǎn)生的參考數(shù)據(jù)集將控制值轉(zhuǎn)換成電壓值；在由為對應(yīng)電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素的同時測量表示電壓無關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量；以及基于所述電壓無關(guān)相位調(diào)制特性，產(chǎn)生所述電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)圖案。21.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述輸入值設(shè)置單元通過針對各像素將表示期望相位量的期望值和表示電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)量的校正值相加在一起來確定其和，并且將所述和設(shè)置為各像素的所述輸入值。22.如權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述輸入值設(shè)置單元將表示期望相位圖案的期望值設(shè)置為各像素的所述輸入值，所述方法還包括將所述參考數(shù)據(jù)集中的所述第一值移動一校正值，該校正值表示所述至少一個像素的電壓無關(guān)變形校準(zhǔn)量。23、如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述產(chǎn)生步驟還包括確定是否應(yīng)重新產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)集；如果該確定步驟確定應(yīng)重新產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)集，則重新產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)集，該重新產(chǎn)生步驟包括參考已經(jīng)產(chǎn)生的參考數(shù)據(jù)集將控制值轉(zhuǎn)換成電壓值；將所述多個控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值；在由為對應(yīng)電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動至少一個對應(yīng)像素的同時，測量表示所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量；以及基于通過該重新產(chǎn)生步驟中的該測量步驟而獲得的所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性，重新產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)集。24、如權(quán)利要求20所述的方法，該方法還包括確定是否應(yīng)重新產(chǎn)生所述電壓無關(guān)校準(zhǔn)圖案；以及如果該確定步驟確定應(yīng)重新產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)集，則重新產(chǎn)生所述電壓無關(guān)校準(zhǔn)圖案，該重新產(chǎn)生步驟包括求各像素的已經(jīng)產(chǎn)生的校正值和相位指示值之和；參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集，將該和轉(zhuǎn)換成控制值；將所述控制值轉(zhuǎn)換成所述電壓值；在由為所述電壓值的驅(qū)動電壓來驅(qū)動對應(yīng)塊中的所述至少一個像素的同時，測量所述電壓無關(guān)變形；以及基于通過該重新產(chǎn)生步驟中的該測量步驟而獲得的所述電壓無關(guān)變形，重新產(chǎn)生電壓無關(guān)校準(zhǔn)圖案。25、如權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述相位調(diào)制裝置包括識別單元，所述方法還包括以下步驟產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)映射，該產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟包括針對至少一個像素，測量表示所述電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的相位調(diào)制量；以及基于測得的所述像素的相位調(diào)制特性，將所述像素劃分到多個產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射以將各像素和多個組之一相互關(guān)聯(lián)，其中所述多個參考數(shù)據(jù)集與所述多個組具有一一對應(yīng)關(guān)系，將識別單元設(shè)置成利用所述參考數(shù)據(jù)映射來識別一個參考數(shù)據(jù)集，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。'26、如權(quán)利要求25所述的方法，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟產(chǎn)生如下的參考數(shù)據(jù)映射，該參考數(shù)據(jù)映射將各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。27、如權(quán)利要求25所述的方法，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟包括選擇基準(zhǔn)像素；以及獲得表示所述各像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和所述基準(zhǔn)像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性之間的差的第一值，其中，所述產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)映射的步驟基于所述第一值產(chǎn)生如下的參考數(shù)據(jù)映射，該參考數(shù)據(jù)映射將各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。28、如權(quán)利要求27所述的方法，其中，所述選擇步驟包括獲得表示所述各像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性和所述多個像素的電壓相關(guān)相位調(diào)制特性的平均值之間的差的第二值，其中，所述選擇步驟基于所述第二值從所述多個像素中選擇所述基準(zhǔn)像素。29、如權(quán)利要求25所述的方法，其中，所述空間光調(diào)制器是包括玻璃基板和硅基板的硅基液晶(LCoS)型空間光調(diào)制器，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟包括獲得表示所述硅基液晶型空間光調(diào)制器的硅基板的變形的值，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟基于所述值產(chǎn)生如下的參考數(shù)據(jù)映射，該參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。30、如權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟包括獲得由所述硅基板的變形而導(dǎo)致的電壓無關(guān)變形，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟基于電壓無關(guān)變形產(chǎn)生如下的參考數(shù)據(jù)映射，該參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。31、如權(quán)利要求29所述的方法，其中，所述產(chǎn)生所述參考數(shù)據(jù)映射的步驟基于所述硅基液晶型空間光調(diào)制器的所述玻璃基板的傾斜和所述硅基板的變形來產(chǎn)生如下的參考數(shù)據(jù)映射，該參考數(shù)據(jù)映射將所述各像素的位置數(shù)據(jù)與一個參考數(shù)據(jù)集相互關(guān)聯(lián)，該參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于與所述各像素相關(guān)聯(lián)的一個組。全文摘要本發(fā)明提供了一種相位調(diào)制裝置。該相位調(diào)制裝置包括空間光調(diào)制器、輸入值設(shè)置單元、多個參考數(shù)據(jù)集、轉(zhuǎn)換單元以及驅(qū)動單元。各像素能夠利用操作電壓范圍內(nèi)的電壓值進(jìn)行驅(qū)動。每個參考數(shù)據(jù)集對應(yīng)于至少一個像素。轉(zhuǎn)換單元通過參考對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)集把為各像素輸入的輸入值轉(zhuǎn)換成控制值。驅(qū)動單元將該控制值轉(zhuǎn)換成設(shè)置在所述操作電壓范圍內(nèi)的工作電壓范圍內(nèi)的電壓值。該驅(qū)動單元采用與所述電壓值相對應(yīng)的驅(qū)動電壓來驅(qū)動各像素。各參考數(shù)據(jù)集將從其取得輸入值的多個第一值和從其取得控制值的多個第二值相互關(guān)聯(lián)，以確保所述多個第一值與由對應(yīng)的至少一個像素獲得的相位調(diào)制量之間的關(guān)系為規(guī)定的線性關(guān)系。文檔編號G02F1/133GK101226292SQ200710149268公開日2008年7月23日申請日期2007年9月10日優(yōu)先權(quán)日2007年1月19日發(fā)明者井上卓,勉原,小林祐二,松本直也,福智昇央申請人:濱松光子學(xué)株式會社