專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及基板檢查裝置。例如涉及水平搬運液晶玻璃基板等那樣 的薄板狀基板并檢査表面缺陷的基板檢查裝置。本申請要求2006年9月11日申請的日本專利申請第2006-245739 號的優(yōu)先權，并在此引用其內容。
背景技術：
近些年伴隨液晶顯示器的大型化，液晶玻璃基板也變得大型。因而， 檢查這種薄板狀基板的表面缺陷的基板檢查裝置大多將處于制造工序中 的基板移載到氣體浮起臺等搬運臺上，對基板的端部進行例如吸附保持 等，將其搬運到檢查部，通過在檢查部水平移動基板，來進行基板表面 的檢查。由此減少了用于基板移動的時間、能量損失和搬運對基板造成 的破壞。例如在日本特開2004-279335號公報中，記載了一種基板搬運裝置， 該基板搬運裝置具有向上吹出空氣使基板浮起的浮起塊，和吸附保持在 浮起塊上浮起的基板的兩端并向一個方向搬運基板的基板搬運部(參照 日本特開2004-279335號公報圖1)。另夕卜，在日本特開2000-9661號公報中，記載了一種平板檢查裝置， 該平板檢查裝置在輥子搬運部的單側沿著搬運方向設置有Y載物臺，通 過把持機構在厚度方向上把持基板的單側進行搬運(參照日本特開 2000-9661號公報圖1 3)。但上述那樣的現有的基板檢查裝置存在如下問題。在日本特開2004-279335號公報所述的技術中，通過沿基板搬運路 徑的兩側平行配置基板搬運部來吸附保持基板的兩端進行搬運。因此， 由于基板的兩側被一對基板搬運部約束，因此，因基板搬運部的平行度
的失調等，薄板上的玻璃基板被從兩側按壓而容易變形，由于基板歪斜， 會影響檢查精度。并且在日本特開2004-279335號公報所述的基板檢查裝置中，雖然 相對于浮起塊設置了共同的基板搬運部。但是，在平板的制造線上，根 據搬運路徑的布局和檢查部的數量等，排列多個浮起塊來形成長大的搬 運路徑。在該搬運路徑中配置有多個制造裝置或檢查裝置。在這樣的情 況下，要在多個浮起塊和各裝置設置共同的兩端保持的基板搬運部，需 要使彼此的配置精度為高精度，因此會增加基板檢查裝置的設置工作和 組裝成本。特別是為了切斷來自外部的振動，基板檢查裝置放置在除振 臺上。在為這樣放置在除振臺上的裝置的情況下，伴隨著基板的移動， 放置在除振臺上的浮起塊的上表面會傾斜，或是由于來自外部的振動而 進行復雜的運動，因而無法設置共同的基板搬運部。為了避免后一個問題，可以考慮按照浮起塊來分割設置基板搬運部， 但這需要用于從上游側的基板搬運部換載到下游側的基板搬運部的搬運 機械手等，這使裝置結構變得復雜。另外在日本特開2000-9661號公報所述的技術中，在將基板交接給 下游側的搬運部的情況下，需要放開基板一次。此時，由于基板在水平 方向上不被約束，因而會有損定位在基準位置上的基板的定位狀態(tài)。所 以存在在交接之后必須再次進行定位調整的問題。發(fā)明內容本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種即使搬運路 徑長，也不會使基板發(fā)生變形，而且能以良好的精度搬運基板的基板檢 査裝置。為了解決上述課題，本發(fā)明基板檢查裝置具有用于搬運作為被檢 體的薄板狀的基板的搬運臺；以及多個單側搬運部，它們配置在搬運臺 的、與搬運方向正交的方向中的任意側，它們保持基板的端部，并對基 板施加搬運力，該基板檢査裝置通過在多個單側搬運部之間依次交接基 板，來進行基板的搬運。
根據本發(fā)明的基板檢查裝置，由于在多個單側搬運部之間交接基板 進行搬運，所以即使搬運路徑長，也不會使基板發(fā)生變形，而且能以良 好的精度搬運基板。


圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯 視圖。圖2A是圖1中的A部的局部放大圖。圖2B是向圖2A中的箭頭B方向觀察的正視圖。圖3是說明本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置的動作的俯視圖。圖4是說明本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置的動作的俯視圖。圖5是表示本發(fā)明的第一實施方式的變形例的基板檢査裝置的概要 結構的俯視圖。圖6是表示本發(fā)明的第二實施方式的基板檢査裝置的概要結構的俯 視圖。 ，圖7是表示本發(fā)明的第三實施方式的基板檢査裝置的概要結構的俯 視圖。圖8是表示本發(fā)明的第四實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯 視圖。
具體實施方式
下面參照

本發(fā)明的實施方式。在所有附圖中，即使在實施 方式不同的情況下，對于相同或者相當的部件也標以相同的標號，并省 略共同的說明。[第一實施方式]說明本發(fā)明第一實施方式的基板檢查裝置。圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯
視圖。圖2A是圖1中的A部的局部放大圖。圖2B是向圖2A中的箭頭 B方向觀察的正視圖。本實施方式是應用于基板檢查裝置100的實施方式，該基板檢查裝 置100將例如由液晶玻璃基板等構成的薄板狀的基板4作為被檢體，在 使基板4浮起的同時沿水平方向對其進行搬運，并檢查基板4的表面。如圖1所示，基板檢査裝置100的概要結構是構成為沿著基板4的 搬運方向依次配置有基板搬入部1、檢查部2和基板搬出部3?；?的俯視形狀以搬運方向的長度為L、與搬運方向正交的方向 (以下簡稱為搬運寬度方向)的寬度為W的矩形形狀進行說明。基板搬入部1通過具有多個頂升銷的升降器從裝置外部接收例如使 用搬運機械手等搬運來的基板4，并將其載置在浮起臺1A上，基板搬入 部l具有基板定位機構，該基板定位機構由基準銷8a、 8a、 8b和按壓銷 8c、 8c構成，該基板定位機構對在浮起臺1A上浮起的基板4在水平面內 在搬運方向和搬運寬度方向上進行定位，而且，基板搬入部1還具有浮 起臺1A和吸附搬運部5 (單側搬運部)。浮起臺1A是用于在水平方向載置基板4并使其在水平方向上可以自 由移動的、以低負荷向恒定方向搬運基板4的搬運臺。本實施方式中， 浮起臺1A由氣體浮起臺構成，該氣體浮起臺在臺表面上設置有多個空氣 噴射孔N，通過從這些空氣噴射孔N噴出空氣，來對基板4進行浮起支 撐。浮起臺1A的大小設定成搬運方向的長度大于基板4的搬運方向長度 L，搬運寬度方向的寬度略小于基板4的寬度W?；鶞输N8a、 8a是用于通過與基板4的搬運寬度方向側的端部頂接， 來進行搬運寬度方向的定位的卡定部件，其朝向浮起臺1A的搬運方向而 固定配置在右側(圖l中的下側、以下簡稱為搬運方向右側)，并且設置 成可相對于基板4的載置面在上下方向出沒?；鶞输N8b是用于通過與基板4的搬運方向側的端部頂接，來進行搬 運方向的定位的卡定部件，在浮起臺1A的搬運方向下游側，該基準銷 8b被設置為可相對于基板4的載置面在上下方向出沒。 另外，由于圖1為示意圖，因而對大小等進行了夸張?zhí)幚?，其結果 為描繪成基準銷8b與滑塊引導件9處于相互干涉的位置關系。但是，基準銷8b設置在與滑塊引導件9略微分開的位置上，而且構成為能夠在基 板4的定位后下降而退避到不與后述的吸附搬運部5干涉的位置上，以 便不與滑塊10干涉。按壓銷8c是用于按壓基板4對其向設置于基準位置的基準銷8a、8a、 8b側施力的按壓部件，其朝向浮起臺1A的搬運方向設置在左側(圖1 中的上側、以下簡稱為搬運方向左側)和浮起臺1A的搬運方向上游側， 并且設置成可以朝向基板4移動。另外，基準銷8a、 8b、按壓銷8c只要是能夠不損傷基板4的端部進 行抵接的卡定部件，則并不限于銷狀部件，例如也可以是塊狀部件。而 且按壓部件也可以用緩沖材料等來覆蓋表面。吸附搬運部5沿著浮起臺1A的搬運方向右側配置，其吸附保持浮起 支撐在浮起臺1A上的基板4的搬運方向右側的背面?zhèn)?，并向搬運方向施 加搬運力。如圖2A、圖2B所示，吸附搬運部5的概要結構由滑塊引導件9、 滑塊IO、升降機構ll、升降基座12、吸附基座13和吸附塊14構成。滑塊引導件9和滑塊10是以滑塊引導件9作為引導部件，并能夠使 滑塊IO在恒定的直線上往復移動的由線性電動機構成的移動機構。在本 實施方式中，雖然釆用了線性電動機作為移動機構，但是也可以采用應 用了滾珠絲杠等的一軸驅動機構。如圖l所示，吸附搬運部5的滑塊引導件9沿著浮起臺1A的搬運方 向右側配置，其從浮起臺1A上的基準定位區(qū)域P!的中間部延伸到浮起 臺2A的上游側的基板交接區(qū)域P2的中間部。升降機構11固定在滑塊10上，在搬運基板4時，升降機構11使吸 附基座13上升，然后交接基板4，在返回原位置時，使吸附基座13下降 以使其不與基板4干涉。升降基座12是對設置在升降機構11的上端面上的吸附基座13進行 保持的保持部件。
吸附基座13是為了將多個吸附塊14固定在上表面?zhèn)榷O置的、長 度略小于基板4的搬運方向長度L的矩形形狀的支撐部件。該吸附基座13以長度方向與浮起臺1A的端面平行的狀態(tài)固定在升降基座12上。吸附塊14是用于在其上端面上從背面?zhèn)任交?的搬運方向右側 的端部的吸附盤，吸附塊14以各上端面整齊排列在平面上的狀態(tài)隔開適 當的間隔在吸附基座13上設置有多個。本實施方式中，在相等地分割基 板4的搬運方向寬度方向上的端部的全長L的位置上設置有6個吸附塊 14，通過吸附塊14整體地吸附了基板4的單側的端部。作為吸附塊14的結構，例如可以采用在俯視為矩形形狀的吸附面上 設置有凹部14a，并且在該凹部14a的中央設置有通過抽吸源進行真空抽 吸的抽吸孔14b的結構。檢查部2是檢查從基板搬入部1搬運來的基板4，并交接給基板搬 出部3的部件。檢查部2由以下部件構成固定在未圖示的基座上的門型的臺架2a; 可移動地設置在該臺架2a的水平臂上的顯微鏡等檢查頭2b;以及浮起臺 2A和吸附搬運部6。檢查部2優(yōu)選設置在除振臺上，以使其在檢查時不 受外部振動的影響。浮起臺2A是用于在水平方向上載置基板4并向恒定方向進行搬運的 搬運臺，在本實施方式中，釆用與浮起臺1A相同的氣體浮起臺。其中， 關于檢查部2的浮起臺2A的大小，雖然搬運寬度方向的寬度與浮起臺 1A為相同寬度，但搬運方向的長度設定為大于等于2'L。因此，當在浮 起臺2A的基板交接區(qū)域P2的下游側設置檢査區(qū)域P3時，只要確保這樣 的長度即可在浮起臺2A上的基板交接區(qū)域P2從吸附搬運部5將基板4 交接給吸附搬運部6的狀態(tài)下，能夠將基板4相對于檢查頭2b的檢査線 從搬運方向的前端移動到后端，以便能夠通過檢査頭2b檢查基板4的整 個面。檢查部2優(yōu)選為，在從基板搬入部1搬入基板4時，將除振臺鎖定， 使浮起臺2A與浮起臺1A為相同高度。吸附搬運部6具有與圖2B所示的吸附搬運部5的結構相同的結構。
如圖1所示，吸附搬運部6沿著吸附搬運部5的相反側的浮起臺2A的搬運方向左側配置，該吸附搬運部6從吸附搬運部5接收在基板搬入部1 進行了定位的基板4并對其進行浮起搬運。吸附搬運部6通過多個吸附塊14來吸附基板4的搬運方向左側的背 面，并能夠對基板4施加搬運力。如圖1所示，檢查部2的滑塊引導件9沿著浮起臺2A的搬運方向左 側配置，并從浮起臺2A的基板交接區(qū)域P2的中間部延伸到基板交接區(qū) 域(檢查區(qū)域)P3的中間部。該滑塊引導件9的長度只要是在相鄰的兩 個基板交接區(qū)域P2、 P3內能夠使滑塊10在浮起臺2A的搬運方向長度的 范圍內進行往復移動的長度即可，也可以是與浮起臺2A的搬運方向長度 大致相同的長度。因此，在俯視時，吸附搬運部5的滑塊引導件9與吸附搬運部6的 滑塊引導件9隔著浮起臺2A彼此平行地對置。對置配置的吸附搬運部5、 6只要能在基板交接區(qū)域P2交接基板4，則滑塊10可以不必一定位于基 板交接區(qū)域P2的中間(L/2)處，但為了正確而且穩(wěn)定地搬運進行了定位 的基板，只要使各個滑塊10移動到基板交接區(qū)域P2的中間(L/2)即可。在本實施方式中，設定為可以在浮起臺2A上的基板交接區(qū)域Ps把 由吸附搬運部5所吸附搬運的基板4交接給吸附搬運部6。如圖2A和圖 2B所示，由于可以通過吸附搬運部5的各吸附塊14和吸附搬運部6的 各吸附塊14來吸附保持基板4的搬運寬度方向上的端部整體。由于吸附 基板搬運部5、 6的移動中心為基板4的長度L的大致中央，因此吸附搬 運部5的滑塊10的移動范圍被設定在與基板4的長度相同的基準定位區(qū) 域Pj和基板交接區(qū)域P2各自的中間位置。同樣地，吸附搬運部6的滑塊10的移動范圍設定在基板交接區(qū)域P2、 P3各自的中間位置?；灏岢霾?是用于例如通過搬運機械手將結束了檢査部2中的檢 查的基板4搬出到裝置外部的部件，其具有浮起臺3A和吸附搬運部7。浮起臺3A和吸附搬運部7分別具有與浮起部1A和吸附搬運部5相 同的結構。吸附搬運部7沿著吸附搬運部6的相反側的浮起臺3A的搬運 方向右側配置。該吸附搬運部7的滑塊引導件9從浮起臺2A的下游側的基板交接區(qū)域P3中間部延伸到浮起臺3A的基板搬出區(qū)域P4的中間部。 吸附搬運部6的滑塊引導件9與吸附搬運部7的滑塊引導件9各自 的一部分隔著浮起臺2A的基板交接區(qū)域P3彼此平行地對置。因此，由 吸附搬運部6吸附搬運來的基板4，可以在浮起臺2A的上游側的與浮起 臺3A相鄰的基板交接區(qū)域P3內交接給對置的吸附搬運部7。這樣，在本實施方式的基板檢查裝置100中，浮起臺1A、 2A、 3A 在搬運方向上依次相鄰地延伸，在該搬運方向的兩側呈鋸齒狀交替配置 有吸附搬運部5、 6、 7。因此構成為能夠在基板交接區(qū)域P2、 P3內，將 進行了定位的基板4分別依次從吸附搬運部5交接搬運到吸附搬運部6、 并從吸附搬運部6交接搬運到吸附搬運部7。下面以基板4的搬運動作為中心說明本實施方式的基板檢查裝置 100的動作。圖3、圖4是說明本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置的動作的 俯視圖。首先如圖1的圖示左端側所示，使吸附搬運部5的滑塊IO移動到成 為搬運開始側的基準定位區(qū)域P〗的中間位置。此時，調整升降機構11的 高度，使吸附塊14的上端面成為低于基板4的背面的浮起高度的狀態(tài)。然后將通過未圖示的搬運機械手等搬入的基板4移載到從浮起臺1A 上突出的升降器的各頂升銷上。升降器從搬運機械手接收到基板4之后 下降，以使基板4載置在浮起臺1A上。移載到了浮起臺1A上的基板4 通過從浮起臺1A向上噴射的空氣而浮起到預定高度?；?由于在浮起 臺1A上浮起，因此，可以在平面方向自由移動，即使基板4的尺寸大， 也能夠以很小的負荷進行移動。然后移動按壓銷8c、 8c，將浮起狀態(tài)下的基板4壓靠在基準銷8a、 8a、 8b上，以將基板4定位在基準位置上。通過這些動作，浮起于浮起臺1A上的基板4的兩邊壓靠在基準銷 8a、 8a、 8b上，由此俯視時的位置分別相對于搬運寬度方向、搬運方向 的基準位置被定位。在該狀態(tài)下，驅動升降機構ll，使吸附塊14上升到
基板4的背面的高度，從而真空吸附定位于基準位置的基板4。真空吸附完成之后，使基準銷8b下降，并且使按壓銷8c向離開基 板4的方向退避。接著，沿搬運方向移動吸附搬運部5的滑塊10移動到基板交接區(qū)域 P2的中間位置，將基板4搬運到檢查部2的基板交接區(qū)域P2。此時，吸附搬運部6的滑塊10使升降機構11下降，使吸附塊14的 上端面低于基板4的背面高度，并且滑塊10移動到浮起臺1A的基板交接區(qū)域P2待機。如圖3所示，其結果為，在移動到了浮起臺2A上的基板交接區(qū)域 P2的基板4的下表面，吸附搬運部5、 6的各滑塊10配置在彼此對置的 位置上。在該狀態(tài)下，使升降機構11上升到吸附搬運部6的吸附塊14 的上端面與基板4的背面抵接。然后在用吸附搬運部5的吸附塊14吸附 保持了基板4的狀態(tài)下，通過吸附搬運部6進行真空吸附。此時，基板4 的與搬運寬度方向對置的兩端部分別通過吸附搬運部5、 6的各吸附塊14 在大致全長的范圍內被吸附保持。結束吸附之后，解除吸附搬運部5的吸附，使吸附搬運部5的升降 機構11下降。吸附搬運部5移動到基板搬入部1的基板定位區(qū)域P!上， 恢復到上述搬運開始時的狀態(tài)，準備搬運下一塊基板4。由此，通過基板定位機構進行了定位的基板4在被定位的狀態(tài)下從 搬運方向右側的吸附搬運部5被交接給搬運方向左側的吸附搬運部6。這樣，通過在用吸附搬運部6吸附保持由吸附搬運部5搬運的基板 4的相反側的狀態(tài)下，解除吸附搬運部5的吸附，基板4的平面方向的基 準位置不變，基板4可以在通過基板定位機構維持了基準位置的狀態(tài)下 被交接給對面的吸附搬運部6。接下來，將吸附搬運部6的滑塊10移動到檢查區(qū)域P3，在浮起臺 2A上向浮起臺3A側搬運基板4 (參照圖4)。此時，以根據檢查部2的 檢査需要而預先設定的恒定速度來進行搬運，或者帶有預定的速度變化 來進行搬運，或者進行預定的位置移動來搬運。本實施方式中，根據基 板4上的各缺陷的坐標數據，搬運基板4并使其停止以使特定的缺陷與
檢査頭2b的檢查線一致，并且沿著臺架2a移動檢查頭2b以使檢查頭2b 的光軸與缺陷一致。這樣通過使基板4和檢查頭2b相對地進行XY移動， 能夠檢查基板4的任意位置。此時，吸附搬運部7的滑塊10使升降機構11下降，使吸附塊14的 上端面低于基板4的背面高度，并且該滑塊10移動到浮起臺2A的基板交接區(qū)域P3待機。然后，當基板4移動到浮起臺2A的搬運方向的端部上時，吸附搬運 部6、 7的滑塊10在基板4的下表面對置配置。在該狀態(tài)下，驅動吸附 搬運部7的升降機構11，使升降機構11上升到吸附搬運部7的吸附塊 14的上端面與基板4的背面抵接。然后在通過吸附搬運部6的吸附塊14 吸附保持了基板4的狀態(tài)下，使用吸附搬運部7進行真空吸附。此時基 板4的與搬運寬度方向對置的兩端部分別通過吸附搬運部6、 7的各吸附 塊14在大致全長的范圍內被吸附保持。結束吸附搬運部7的吸附之后，解除吸附搬運部6的吸附，使吸附 搬運部6的升降機構11下降。吸附搬運部6移動到基板交接區(qū)域P2，恢 復到上述基板接收時的狀態(tài)，準備接收下一塊基板4。接著，移動吸附搬運部7的滑塊10，將基板4搬運到浮起臺3A上。 然后將基板4交接給未圖示的搬運機械手等，并且解除吸附搬運部7的 吸附，為了接收下一塊基板4，使吸附搬運部7的滑塊10恢復到基板交接區(qū)域P3。這樣就結束了基板4的收入、檢査和搬出。這樣，根據本實施方式的基板檢査裝置100，通過吸附搬運部5、 6、 7來交替保持基板4的搬運寬度方向的端部，可以在浮起臺1A、 2A、 3A 上依次搬運基板4。通過這樣保持基板4的單側進行一軸搬運，由吸附搬 運部5、 6、 7吸附支撐的基板4的另一個端部成為自由狀態(tài)，所以不會 像以往那樣保持兩側進行搬運的情況下那樣對基板4施加壓力。通過這 樣僅吸附保持基板4的單側，能夠水平地搬運基板4，能夠防止對基板4的檢査精度降低。而且還可以放寬各單側搬運部的配置精度，或根據需要按照每個搬 運臺來切換搬運方向。而且，通過在基板交接區(qū)域P2、 P3利用吸附搬運部5、 6和吸附搬運 部6、 7來吸附保持搬運寬度方向的兩端部，能夠在維持定位后的狀態(tài)的 情況下在交接基板4的同時進行搬運。由此能省去每次交接時進行位置調整等的麻煩，可以簡化基板檢查裝置100的調整機構，并可以提高檢察效率。而且由于在維持基板4的定位狀態(tài)的情況下將其搬運到基板搬出區(qū)域P4，所以能把基板4正確交接給搬運機械手。所以搬運機械手在將基板4插入到盒體內時，能夠以基板4不會碰到盒體的側壁的方式、并且 在無需重新調整的情況下，將基板4搬運到盒體內。 下面說明本實施方式的變形例。圖5是表示本發(fā)明的第一實施方式的變形例的基板檢查裝置的概要 結構的俯視圖。如圖5所示，本變形例的基板檢查裝置110具有吸附搬運部15 (單 側搬運部)，以代替上述第一實施方式的基板檢查裝置100的吸附搬運部 5、 7。下面以與上述第一實施方式的不同之處為中心進行說明。吸附搬運部15將吸附搬運部5的滑塊引導件9換成延長到吸附搬運 部7的滑塊引導件9的位置的滑塊引導件16，并且取代吸附搬運部5的 滑塊10，在滑塊引導件16上可以移動地設置了由同樣結構構成的兩個滑 塊10A、 IOB。而且如圖2B所示，在滑塊IOA、 10B的上部具有升降機構11、升 降基座12、吸附基座13和吸附塊14。艮口，相當于將上述第一實施方式所示的吸附搬運部5、 7的各滑塊引 導件9連接起來形成為一根的結構。根據本變形例的基板檢查裝置110，通過分別用吸附搬運部15的滑 塊10A、 10B來代替上述第一實施方式的吸附搬運部5、 7的滑塊10，可 以進行完全相同的動作。因此具備與上述第一實施方式相同的作用效果。而且根據本變形例，由于將吸附搬運部5、 7—體形成為吸附搬運部 15，所以能減少部件數量。而且由于滑塊IOA、 10B可以移動到浮起臺
2A側的任意位置上，所以具有這樣的優(yōu)點即使在基板4的長度L發(fā)生 變化的情況下也能夠容易地應對，并且能夠容易地改變浮起臺2A的基板 交接區(qū)域P2、 P3的位置。 [第二實施方式]說明本發(fā)明第二實施方式的基板檢查裝置。圖6是表示本發(fā)明的第二實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯 視圖。如圖6所示，本實施方式的基板檢查裝置120具有吸附搬運部17、 19 (單側搬運部)，以代替上述第一實施方式的基板檢查裝置100的吸附 搬運部5、 6，并且刪除了吸附搬運部7。下面以與上述第一實施方式的 不同之處為中心進行說明。吸附搬運部17將基板檢査裝置100的吸附搬運部5的滑塊引導件9 換成滑塊引導件18，該滑塊引導件18延長到浮起臺2A的基板交接區(qū)域 P3，并且可以在浮起臺2A的搬運方向的大致全長的范圍內來移動滑塊 10。吸附搬運部19將吸附搬運部6的滑塊引導件9延長到浮起臺3A的 基板搬出區(qū)域P4，并且使基板4能夠在浮起臺2A和浮起臺3A之間移動。通過這樣的結構，可以通過吸附搬運部17在基板搬入部1和檢査部 2的范圍內搬運基板4、并通過吸附搬運部19在檢查部2和基板搬出部3 的范圍內搬運基板4。而且，能夠在吸附搬運部17、 19的搬運范圍為共 有的浮起臺2A上的任意位置上，從吸附搬運部17將基板4交接給吸附 搬運部19。即，可以根據需要在浮起臺2A的浮起臺1A側、浮起臺3A 側或者它們的中間位置等任意位置上選擇浮起臺2A上的交接位置。這樣，本實施方式為這樣的例子通過相對于三個搬運臺設置兩個 單側搬運部，實現了在各單側搬運部之間交接基板進行搬運的結構。這 是在本發(fā)明中相對于三個搬運臺使用最小限度的單側搬運部的結構例。根據本實施方式，與第一實施方式相比能夠減少單側搬運部的數量。而且，在本實施方式中，由于吸附搬運部17、 19共有浮起臺2A在 搬運方向上的大致全長的搬運范圍，所以可以在檢查部2內左右輪換所
吸附保持的端部。因此，例如即使在吸附塊14妨礙檢查的檢査中、例如 如圖l所示使檢查頭2b沿著基板4的搬運寬度方向掃描的情況下，當檢查頭2b與吸附保持了基板4的一側的吸附塊14產生干涉時，通過相反 側的吸附塊14來接替保持基板4，也能夠進行在各端部的檢査。 [第三實施方式]說明本發(fā)明第三實施方式的基板檢查裝置。圖7是表示本發(fā)明的第三實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯 視圖。如圖7所示，本實施方式的基板檢查裝置130具有多個檢查部2a、 2b，以代替上述第一實施方式的基板檢查裝置100的檢查部2，并對應地 具有多個吸附搬運部6a、 6b (單側搬運部)以代替吸附搬運部6，而且 在各檢查部2a、 2b之間增加了吸附搬運部70 (單側搬運部)。下面以與 上述第一實施方式的不同之處為中心進行說明。檢查部2a、 2b用于進行圖案檢査、復查、宏觀檢查等檢查，雖然沒 有特別示出，但對應于各種檢查而具有不同的檢查部分。檢查部2a具有 浮起臺2A和吸附搬運部6a，檢查部2b具有浮起臺2A和吸附搬運部6b。而且在基板搬入部1和檢查部2a之間，以與第一實施方式相同的位 置關系配置有吸附搬運部5。并且吸附搬運部70的滑塊引導件90延伸到檢查部2a、 2b相鄰的檢 查區(qū)域P3和基板交接區(qū)域P2的各自的中間部。吸附搬運部70的結構中， 只有滑塊引導件90的長度不同，其余結構與吸附搬運部7相同。而且在檢查部2b與基板搬運部3之間，以與第一實施方式相同的位 置關系配置有吸附搬運部7。通過這種結構，與第一實施方式一樣，能夠將在基板搬入部1進行 了定位的基板4交接給吸附搬運部6a。而且，在檢查部2a進行了檢查之 后，能夠在吸附搬運部6a與吸附搬運部70之間，在搬運范圍共有的浮 起臺2A的檢查區(qū)域P3中，將基板4交接給吸附搬運部70。被吸附搬運部70所吸附保持的基板4同樣地被搬運到相鄰的檢查部 2b的基板交接區(qū)域P2，并且能夠將基板交接給吸附搬運部6b。而且通過吸附搬運部6a將由檢查部2b結束了檢查的基板4搬運到 下游側的基板交接區(qū)域P3，在該基板交接區(qū)域P3能夠將基板4交接給吸 附搬運部7，并通過基板搬出部3的吸附搬運部7將其搬運到基板搬出區(qū) 域P4，然后通過未圖示的搬運機械手將基板搬運到裝置外部。本實施方式是設置了多個檢查部的情況下的例子。這樣，在本發(fā)明 中，可以在基板搬入部1和基板搬出部3之間增設多個檢査部2。因此，即使各搬運臺、單側搬運部的搬運距離短，也能夠通過將它 們相鄰地排列起來，來延長整體的搬運距離。[第四實施方式]說明本發(fā)明第四實施方式的基板檢查裝置。圖8是表示本發(fā)明的第四實施方式的基板檢查裝置的概要結構的俯 視圖。如圖8所示，本實施方式的基板檢查裝置140具有輥子臺1B、 2B、 3B (搬運臺)，以代替上述第一實施方式的基板檢查裝置100的浮起臺 1A、 2A、 3A。下面以與上述第一實施方式的不同之處為中心進行說明。輥子臺1B、 2B、 3B是在俯視時分別與浮起臺1A、 2A、 3A相同大 小的矩形形狀的臺面上，以適當間隔排列多個在恒定高度沿水平方向搬 運基板4的搬運輥子30而構成的。作為搬運輥子30，例如可以采用被支撐為在輥子臺1B、 2B、 3B的 水平面內可向360度方向自由旋轉的圓筒輥子或球狀輥子等。根據這種結構，除了基板4在搬運輥子30上被輥子搬運這點之外， 能夠進行與上述第一實施方式相同的動作，因而具有與上述第一實施方 式相同的作用效果。而且，雖然在上述說明中通過相鄰地配置了多個搬運臺的情況的例 子進行了說明，但也可以構成為，在搬運方向上延伸設置一個搬運臺， 在與搬運方向正交的方向上的任意側配置多個單側搬運部，并在這些多 個單側搬運部之間交接基板進行搬運。例如在上述各實施方式、變形例 中，也可以構成為使浮起臺1A、 2A、 3A或輥子臺1B、 2B、 3B等分別 變形為一體的搬運臺。 此時，由于可以在搬運方向上將確定基板搬運精度的單側搬運部分 為多個，所以例如通過按每個要求搬運精度的檢查部分來分割單側搬運 部，由此與設置一個在搬運路徑全長范圍內進行高精度搬運的單側搬運 部的情況相比，可以構成為簡單且便宜的結構。并且在上述說明中，在搬運臺分割為多個的情況下，通過基板的交 接位置位于相鄰的搬運臺的一個端部側的情況的例子進行了說明。但在 搬運臺的高度差足夠小的情況下，也可以如圖5、 6所示，構成為在基板 跨越相鄰的搬運臺兩方的位置上交接基板。而且在上述說明中，以多個單側搬運部設置于可以在基板的交接位 置上隔著搬運臺對置的位置上的例子進行了說明。但只要可以交接基板， 也可以將多個單側搬運部在搬運臺的相同方向側的側方設置在可以與正 交于搬運方向的方向對置的位置上。另外在上述說明中，雖然優(yōu)選將檢查部2保持在除振臺上，但也可 以根據需要將某個搬運臺、單側搬運部配置在除振臺上。根據本發(fā)明， 由于這種除振臺可以分別按每個搬運臺、每個單側搬運部進行設置，所 以其具有裝置設置容易的優(yōu)點。并且對于上述各實施方式、變形例的各結構要素，只要在技術上可 以實現，就可以在本發(fā)明的技術思想范圍內適當組合來實施。以上說明了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但本發(fā)明不限于這些實施例。 可以在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內進行結構的增加、省略、置換和其他 變更。本發(fā)明不限于上述說明，而僅由所附權利要求的范圍限定。
權利要求
1. 一種基板檢査裝置，該基板檢查裝置具有 用于搬運作為被檢體的薄板狀的基板的搬運臺；以及多個單側搬運部，它們配置在搬運臺的、與搬運方向正交的方向中 的任意側，它們保持基板的端部，并對基板施加搬運力，該基板檢查裝置通過在多個單側搬運部之間依次交接基板，來進行 基板的搬運。
2. 根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于， 在搬運方向上相鄰地配置有多個搬運臺，多個單側搬運部配置成，在各搬運臺的相鄰位置上，在基板位于相 鄰的搬運臺中的任一方的端部上的狀態(tài)下，多個單側搬運部中的一個單 側搬運部能夠將基板交接給多個單側搬運部中的另一個單側搬運部。
3. 根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于， 多個單側搬運部中的一個單側搬運部與多個單側搬運部中的另一個單側搬運部設于在基板的交接位置上隔著搬運臺對置的位置上。
4. 根據權利要求1至3中的任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，搬運臺由通過氣體噴射來使基板浮起的氣體浮起臺構成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置具有用于搬運作為被檢體的薄板狀的基板(4)的浮起臺(1A、2A、3A)；以及吸附搬運部(5、6、7)，它們配置在這些浮起臺的與搬運方向正交的方向中的任意側，保持基板(4)的端部并對基板(4)施加搬運力，該基板檢查裝置通過在這些吸附搬運部之間依次交接基板(4)，來進行基板(4)的搬運。根據本發(fā)明的基板檢查裝置，即使搬運路徑長，也不會使基板變形，而且能夠以良好的精度搬運基板。
文檔編號G02F1/13GK101144920SQ20071014925
公開日2008年3月19日 申請日期2007年9月7日 優(yōu)先權日2006年9月11日
發(fā)明者藤森洋志 申請人:奧林巴斯株式會社