專利名稱：蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)及其制作方法，特別有關(guān)于一種蝕 刻機(jī)臺(tái)下電極結(jié)構(gòu)及其制作方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)光電相關(guān)技術(shù)不斷地推陳出新，加上數(shù)字化時(shí)代的到來(lái)，進(jìn)而推 動(dòng)了液晶顯示器市場(chǎng)的蓬勃發(fā)展。液晶顯示器具有高畫質(zhì)、體積小、重量輕、
低驅(qū)動(dòng)電壓、與低消耗功率等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于個(gè)人數(shù)字助理(Personal Digital Assistant; PDA)、移動(dòng)電話、攝錄放影機(jī)、筆記本電腦、臺(tái)式顯示器、 車用顯示器、及投影電視等消費(fèi)性通訊或電子產(chǎn)品，并逐漸取代陰極射線管 而成為顯示器的主流。
液晶顯示器(Liquid Crystal Display; LCD)是一種利用液晶特性來(lái)達(dá)到顯 示效果的顯示裝置，由于其較傳統(tǒng)常用的陰極射線管顯示器在尺寸與重量方 面有更大的彈性，因此，液晶顯示器目前常被使用在各種的個(gè)人系統(tǒng)上，小 從移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理及數(shù)字相機(jī)上的顯示屏，大到電視機(jī)及廣告看板， 處處都可以見到液晶顯示器的影子。
在生產(chǎn)液晶顯示器的過程中，等離子體蝕刻工藝被大量的應(yīng)用以在基板 上形成所需要的元件。等離子體蝕刻工藝中，下電極長(zhǎng)時(shí)間受到等離子體的 破壞，常會(huì)發(fā)生電弧放電(Arcing)的情況，以致于使下電極報(bào)廢或造成顯示 器面板污染。尤其是下電極周圍的氣孔，因保護(hù)不易，特別容易破損，以致 于產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象，進(jìn)而成為下電極或顯示器面板報(bào)廢的重要原因。

發(fā)明內(nèi)容
在上述現(xiàn)有技術(shù)中，由于等離子體蝕刻工藝中，下電極長(zhǎng)時(shí)間受到等離 子體的破壞，常會(huì)發(fā)生電弧放電的情況，特別是下電極的氣孔周圍最常產(chǎn)生 電弧放電的情況，以致于使下電極或顯示器面板報(bào)廢。 本發(fā)明的目的之一在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以改善蝕 刻等離子體破壞下電極的氣孔的情況。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以增加蝕 刻機(jī)臺(tái)的電極壽命。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以降低液 晶顯示器制造過程中微粒污染的問題。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種具有陶瓷通氣環(huán)的電極基板，以提高液 晶顯示器的工藝合格率。
根據(jù)以上所述的目的，本發(fā)明提供一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其包含有電 極基板與多個(gè)陶瓷通氣環(huán)。電極基板具有多個(gè)氣孔，而陶瓷通氣環(huán)則分別安 裝于氣孔之中。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含表面處理層，該 表面處理層部分介于所述陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之間。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板可為包含鋁材質(zhì)的電極 基板。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該表面處理層包含陽(yáng)極處理層。 如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該表面處理
層之上的第一陶瓷層。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該第一陶瓷
層之上的金屬層。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于該金屬層之 上的第二陶瓷層。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該金屬層包含鎢。
本發(fā)明的另一方案揭示一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，其先提供電極基 板，然后形成多個(gè)氣孔于此電極基板，并將陶瓷通氣環(huán)分別安裝于氣孔之中。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成表面處理層于該電極基 板表面，且該表面處理層進(jìn)一步形成于所述氣孔內(nèi)的該電極基板表面。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成第一陶瓷層于該表面處 理層之上。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成金屬層于該第一陶瓷層
之上。
如上所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成第二陶瓷保護(hù)層于該金 屬層之上。
因此，本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，可以利用上述陶瓷通氣環(huán)，有效地 改善蝕刻等離子體破壞下電極氣孔的情況，以使電極及顯示器面板報(bào)廢的情 況有效地被降低。


圖1為本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)的示意圖2為本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)與玻璃基板的相關(guān)位置示意圖；以及 圖3為本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)的制作流程圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下
110:電極基板170:氣孔
120:陽(yáng)極處理層210:氣孔
130:第一陶瓷層220:玻璃基板
140:金屬層230:下電極
150:第二陶瓷層310 -370:步驟
跳陶瓷通氣環(huán)
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)及其制作方法利用陶瓷通氣環(huán)保護(hù)下電極 的氣孔，使電極及顯示器面板報(bào)廢的情況有效地被降低，進(jìn)而大幅降低液晶 顯示器的制造成本。以下將以附圖及詳細(xì)說明清楚說明本發(fā)明的精神，本領(lǐng) 域技術(shù)人員在了解本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教導(dǎo)的技術(shù)，加 以改變及修飾，其并不脫離本發(fā)明之精神與范圍。
一般而言，蝕刻機(jī)臺(tái)常因離子轟擊效應(yīng)的關(guān)系，導(dǎo)致玻璃基板的溫度偏 高，因此，蝕刻機(jī)臺(tái)的電極常設(shè)計(jì)有氣孔，以利用通氣方式來(lái)冷卻玻璃基板。 然而，因氣孔周圍的電極表面不易形成保護(hù)，以致于當(dāng)其破損后，即會(huì)造成 電弧放電的情況，尤其是分布于下電極基板周圍的氣孔區(qū)域，更容易受到等 離子體的破壞，導(dǎo)致下電極基板使用壽命的降低，且亦會(huì)造成液晶顯示器的
報(bào)廢與微粒污染的問題。
參閱圖2，其為本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)與玻璃基板的相關(guān)位置示意 圖。如圖中所示，玻璃基板220配置于蝕刻機(jī)臺(tái)的下電極230上方，而在下 電極230的周圍的氣孔210由于較易受到等離子體的破壞，且其表面的保護(hù) 層亦較脆弱，以致于容易裸露內(nèi)部的金屬基板，而產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象。
參閱圖1，其示出本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖中所示， 本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)包含有電極基板110，其上形成有氣孔170，而 氣孔170之中則安裝有陶瓷通氣環(huán)160。而每一陶瓷通氣環(huán)160優(yōu)選地包含 有至少一個(gè)開口形成于其中。此外，通過陶瓷通氣環(huán)160的配置，電極基板 IIO可提供氣體，以冷卻蝕刻機(jī)臺(tái)上的玻璃基板。此氣體可以是氮?dú)饣蛘呷?何可以用來(lái)冷卻玻璃基板的氣體，其均不脫離本發(fā)明的范圍與精神。
電極基板IIO可以利用鋁金屬或其合金所構(gòu)成，而其表面則優(yōu)選形成有 一表面處理層，表面處理層進(jìn)一步形成于氣孔內(nèi)的電極基板表面，因此當(dāng)設(shè) 置陶瓷通氣環(huán)于氣孔之后，部分表面處理層介于陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之 間，亦即，氣孔內(nèi)的表面處理層將完全被陶瓷通氣環(huán)所遮蔽或保護(hù)；本發(fā)明 的表面處理層優(yōu)選例如是陽(yáng)極處理層120。而電極基板110上還可包含有第 一陶瓷層130與第二陶瓷層150，以用來(lái)保護(hù)電極基板110。而第一陶瓷層 130與第二陶瓷層150之間則還可以形成金屬層140，在本實(shí)施例中的金屬 層140優(yōu)選例如是金屬鎢層。
參閱圖3，其示出本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)的制作流程圖。如圖中所 示，首先執(zhí)行步驟310，提供電極基板，接著執(zhí)行步驟320，形成多個(gè)氣孔 于此電極基板中。然后，執(zhí)行步驟330，表面處理電極基板，在本發(fā)明的優(yōu) 選實(shí)施例中形成表面處理層，此表面處理層進(jìn)一步形成于氣孔內(nèi)的電極基板 表面；執(zhí)行步驟340，形成第一陶瓷層于電極基板上，在優(yōu)選實(shí)施例中，第 一陶瓷層形成于表面處理層之上；執(zhí)行步驟350，形成金屬層于電極基板上， 在優(yōu)選實(shí)施例中，金屬層形成于第一陶瓷層之上；執(zhí)行步驟360，形成第二 陶瓷層于電極基板上，在優(yōu)選實(shí)施例中，第二陶瓷層形成于金屬層之上。接 著，步驟370，將陶瓷通氣環(huán)設(shè)置于氣孔之中，用以完全遮蔽或保護(hù)氣孔中 的表面處理層。在本發(fā)明中并不限定執(zhí)行步驟330至步驟370的順序，本發(fā) 明的其它實(shí)施例也可以是例如先執(zhí)行步驟370將陶瓷通氣環(huán)置入氣孔之中，
再執(zhí)行步驟360形成第二陶瓷層。
因此，通過本發(fā)明的陶瓷通氣環(huán)的設(shè)置，可有效地保護(hù)氣孔周圍的電極 基板的表面處理層，避免產(chǎn)生電弧放電的現(xiàn)象，且更進(jìn)一步避免了金屬微粒 污染生產(chǎn)中的液晶顯示器基板，不僅提高電極的使用壽命，更可以提高液晶 顯示器生產(chǎn)的合格率，同時(shí)降低液晶顯示器生產(chǎn)的成本。
如本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解的，以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已， 并非用以限制本發(fā)明的范圍。凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的 等效改變或修飾，均應(yīng)包含在后附的權(quán)利要求書所界定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，至少包含電極基板，具有多個(gè)氣孔；以及多個(gè)陶瓷通氣環(huán)，安裝于所述氣孔之中。
2. 如權(quán)利要求1所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含表面 處理層，該表面處理層部分介于所述陶瓷通氣環(huán)與該電極基板之間。
3. 如權(quán)利要求1所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板可為包含鋁 材質(zhì)的電極基板。
4. 如權(quán)利要求2所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該表面處理層包含陽(yáng)極 處理層。
5. 如權(quán)利要求2所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該表面處理層之上的第一陶瓷層。
6. 如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該第一陶瓷層之上的金屬層。
7. 如權(quán)利要求6所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該電極基板還包含位于 該金屬層之上的第二陶瓷層。
8. 如權(quán)利要求6所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，其中該金屬層包含鎢。
9. 一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，至少包含 提供電極基板；形成多個(gè)氣孔于該電極基板；以及 設(shè)置陶瓷通氣環(huán)于所述氣孔之中。
10. 如權(quán)利要求9所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成表面處理 層于該電極基板表面，且該表面處理層進(jìn)一步形成于所述氣孔內(nèi)的該電極基 板表面。
11. 如權(quán)利要求IO所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成第一陶瓷 層于該表面處理層之上。
12. 如權(quán)利要求11所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成金屬層于 該第一陶瓷層之上。
13. 如權(quán)利要求12所述的蝕刻機(jī)臺(tái)電極制作方法，還包含形成第二陶瓷 保護(hù)層于該金屬層之上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)及其制作方法，其中該蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)包含有電極基板具有多個(gè)氣孔，以及多個(gè)陶瓷通氣環(huán)分別安裝于氣孔之中。電極基板之上，還可形成表面處理層、陶瓷層以及金屬鎢層，以保護(hù)此電極基板。本發(fā)明的蝕刻機(jī)臺(tái)電極結(jié)構(gòu)，可以利用陶瓷通氣環(huán)，有效地改善蝕刻等離子體破壞下電極氣孔的情況，以使電極及顯示器面板報(bào)廢的情況有效地被降低。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK101111121SQ20071014002
公開日2008年1月23日 申請(qǐng)日期2007年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月7日
發(fā)明者江泓慶, 洪國(guó)展, 游庭權(quán) 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司