專利名稱：具有對準單元的基板接合裝置以及使用該裝置對準基板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于接合基板的裝置，更具體地，涉及一種具 有對準單元的基板接合裝置以及使用該裝置對準基板的方法，其中 對準單元能夠使用多個致動器實現(xiàn)六自由度對準。
背景技術(shù)：
基板接合裝置用于將薄膜顯示裝置的兩個基板彼此接合(bond)。薄膜顯示裝置的實例包括TFT-LCD面板、PDP、 OLED 等。這些薄膜顯示裝置以這樣的方式制造TFT基板與濾色片基板 接合，使得它們彼此相對并在其間具有幾微米的間隙。TFT基板設(shè) 置有以矩陣形式形成的多個TFT (薄膜晶體管)，并且濾色片基板 由濾色片、遮光薄膜等形成?；褰雍贤ㄟ^按壓兩個基4反來完成。因此，基板接合裝置包括 第一腔以及與第一腔隔開的第二腔。每個腔均設(shè)置有其上附有基板 的表面板(surface plate )。然后，第一腔在精確地保持兩個表面板 ;f皮此平4亍的同時下降。在基4反-波此更加靠近之后，4丸行兩個基4反的 接合。同時，如果沒有嚴格地保持兩個表面板之間的對齊，在基板接 合的對準操作期間就會產(chǎn)生對準誤差。因此，在處理之前，必須完 成安裝于腔的表面板的精確對準。
在這種情況下，通過使用 一個或多個螺栓將表面板緊固在聽上 來完成表面^^的對準。通常，通過^f吏用^fe平器以及水平調(diào)節(jié)工具手 動完成這種對準工作。發(fā)明內(nèi)容在傳統(tǒng)的表面^反對準的情況下，由4支術(shù)工人來調(diào)節(jié)平坦性和平 行度。因此，需要花費大量時間來進行表面板的調(diào)節(jié)，并且根據(jù)工 人^支術(shù)的不同^f吏得完成的對準也不同。此外，由于基板接合裝置^皮重復使用，所以可能會石皮壞表面板 的對準狀態(tài)。因此，需要定期調(diào)節(jié)表面板的對準狀態(tài)。此外，在使 用多個表面板以接合大面積基板的情況下，難以將所有的表面板對 準成為同一^J"準4犬態(tài)。因此，本發(fā)明致力于解決現(xiàn)有4支術(shù)中出現(xiàn)的上述問題，并且本 發(fā)明的目的在于提供一種具有能夠?qū)崿F(xiàn)六自由度對準的對準單元 的基板接合裝置。本發(fā)明的另 一 目的在于提供一種使用這種基板接合裝置對準 基板的方法。為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于接合基板的裝 置。該裝置包括第一腔，該第一腔具有其上放置有第一基板的第一 表面板。第二腔與第一腔隔開設(shè)置。該第二腔具有放置有第二基板 的第二表面板。第二基板與第一基板接合。對準單元安裝于第一和 第二腔中的至少 一 個。對準單元適于在第 一 與第二基板之間執(zhí)行六 自由度2寸準。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種調(diào)節(jié)用于接合第一和第二基 板的裝置中的第 一基板與第二基板之間的距離的方法。該方法包括
以下步驟測量彼此相對的第一與第二基板之間的距離；以及根據(jù) 測量結(jié)果，通過使用具有多個致動器的六自由度對準單元來調(diào)節(jié)第 一與第二基板之間的距離。根據(jù)本發(fā)明的基板接合裝置和基板對準方法，能夠以六自由度 自動對準并調(diào)節(jié)兩個表面4反的水平狀態(tài)及其間的間3巨。因此，與傳 統(tǒng)的手動調(diào)節(jié)表面板之間的間隔相比較，能夠?qū)崿F(xiàn)改進的對準效率。此外，通過基才反4妄合裝置和基才反對準方法，能夠以更有效的方 式執(zhí)行對基板接合裝置的維修，并且能夠不斷地并自動地執(zhí)行表面 板之間的間距的調(diào)節(jié)，從而進一 步提高基板接合的產(chǎn)率。


通過以下結(jié)合附圖對本發(fā)明優(yōu)選實施例的詳細描述，本發(fā)明的 上述和其它目的、特4正和優(yōu)點將變得更加明顯，附圖中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基板接合裝置的示意性截 面圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的對準單元的放大透視圖；圖3是解釋4艮據(jù)本發(fā)明第一實施例的基板接合裝置中的基板對 準方法的流程圖；圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的基板接合裝置的 截面圖；圖5是示意性地示出才艮據(jù)本發(fā)明第三實施例的基板接合裝置的 截面圖； 圖6是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第四實施例的基板接合裝置的 截面圖；圖7是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第五實施例的基板接合裝置的 截面圖；圖8是示意性地示出才艮據(jù)本發(fā)明第六實施例的基板4妄合裝置的 截面圖；以及圖9是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第七實施例的基板接合裝置的 截面圖。
具體實施方式
現(xiàn)在，參照附圖，將詳細描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。 第一實施例圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以100表示。參照圖1，基板接合裝置包 才舌第一腔110、第二腔130、以及對準單元150。第一腔110與第二 月空130之間形成有處理空間la,在該處理空間，第一基4反S1和第 二基板S2彼此接合。第一和第二基板Sl和S2可以是TFT基板或 濾色片基板。第一腔110 i殳置有其上》文置有第一基4反Sl的第一表面板111。 第一表面板111設(shè)置有用于連接第一基板S1的第一^)^盤113。第一 表面板111與第一""^盤113之間安裝有用于使第一-^盤113結(jié)合于 第一表面才反111的第一-^盤4反115。
第二腔130設(shè)置有其上放置有第二基板S2的第二表面板131。 第二表面板131設(shè)置有用于連接第二基板S2的第二卡盤133。第二 表面^反131與第二卡盤133之間安裝有用于4吏第二卡盤133結(jié)合于 第二表面4反131的第二卡盤纟反135。第一和第二表面^反ill和131中的^f壬意一個i殳置有用于測量第 一表面板111與第二表面板131之間的間距的間距傳感器117。間 距傳感器117安裝于多個不同的位置。例如，四個間距傳感器117 可分別安裝于第一表面板111的每個角，以指向第二表面板131。 間距傳感器117可采用無觸點傳感器，例如激光傳感器或超聲波傳 感器。第一和第二卡盤113和133可采用靜電卡盤(ESC ),該靜電卡 盤通過4吏用靜電力能夠附上第一和第二基板S1和S2。靜電卡盤以 這樣的方式配置正負電極設(shè)置在具有期望厚度的絕緣體的內(nèi)部， 并且電力施加于這些電才及，以產(chǎn)生靜電力。即，由于電介質(zhì)4及4b, 基板表面顯示出人造極性，從而產(chǎn)生靜電力。照相機171安裝于第一腔110的上側(cè)部，用于拍下形成在提供 的第一和第二基板Sl和S2(以下稱為兩個基才反)中的對準標記(未 示出)。在第二腔130的下側(cè)部i殳置有照明裝置173，用于照亮照相 機171側(cè)，使得照相機171能夠拍下對準標記(未示出)。此外， 在第一力空110與第二月空130之間形成有照相孔171a，其可穿過第一 腔110與第一"^盤113之間，并且在第一腔110與第二腔130之間 形成有照明孔173a，其可穿過第二腔130與第二卡盤113之間。第一腔110被安裝成由升降驅(qū)動單元190支撐。升降驅(qū)動單元 190被設(shè)置成，當接合兩個基板Sl和S2時，第一腔110下降以封 閉(seal)處理空間la。在兩個基板Sl和S2接合之前和之后，第
一腔110上升，以打開處理空間la,從而便于兩個基才反Sl和S2 的運輸。另一方面，盡管未示出，第一腔110和第二腔130可設(shè)置有排 氣泵(未示出)以及供氣泵(未示出)。排氣泵用于在接合兩個基 板Sl和S2時將處理空間la變成真空狀態(tài)。供氣泵用于將處理氣 體提供到處理空間la中，以便于向兩個基板S1和S2力口壓。此夕卜， 第一和第二腔110和130可i殳置有升降銷(未示出)以及升降驅(qū)動 單元(未示出)，用于引導被引入處理空間la的兩個基板S1和S2， 使其進入第一"^"盤113和第二卡盤133。另一方面，第一表面一反》于準單元150a i殳置在第一月空110與第 一表面板111之間，并且第二表面板對準單元150b設(shè)置在第二腔 130與第二表面才反131之間。第一表面4反對準單元150a和第二表面 板對準單元150b被配置成能夠進行六自由度對準。參照圖1，第一表面才反對準單元150a設(shè)置在第一腔110與第一 表面板111之間，并且第二表面板對準單元150b i殳置在第二腔130 與第二表面板131之間。但是，作為可選擇的，可以設(shè)置第一和第 二表面^反對準單元150a和150b中的4壬意一個。下面，為了方〗更解釋和理解，將通過示出第二表面4反對準單元 150b來解釋本發(fā)明。應(yīng)當注意到，第一表面板對準單元150a與第 二表面々反對準單元150b相似。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第 一 實施例的對準單元的放大透視圖。 第二表面板對準單元150b包括連接板151、支撐板152、以及多個 致動器153。連4妾4反151連4妻于第二表面4反131的底部，并且支撐 板152連接于第二腔130的內(nèi)側(cè)。致動器153設(shè)置在連接板151與
支撐板152之間。致動器的上側(cè)部連接于連接板，并且致動器的下 側(cè)部連接于支撐板152。致動器可通過萬向接頭分別連接于連接纟反151和支撐板152。 此外，單個的致動器可直4妄連4妄于第二腔130。在多個致動器中，首先第一致動器153a和第二致動器153b成 對i殳置并安裝，以形成"V"形。此外，第三致動器153c和第四致 動器153d成對i殳置，以形成"V"形。而且，第五致動器153e寺口 第六致動器153f以"V"形成對設(shè)置。下面，將更加詳細地解釋第二表面板對準單元150b的操作。 第二表面4反對準單元150b能夠進4亍六自由度乂于準，即，X、 Y、 Z 軸方向，和滾動、俯仰以及偏轉(zhuǎn)對準操作。在第二表面才反對準單元150b中，X軸方向?qū)侍?作通過改變 多個致動器153的延長程度來完成。即，第六致動器153f最低程度 ;也延伸，并且第一和第五致動器153a和153e比第六致動器153f 延伸得更長。第二和第四致動器153b和153d比第一和第五致動器 153a和153e延伸得更長，并且第三致動器153c最大禾呈度地延伸。 這樣，第二表面^反131沿著圖中X軸正方向移動，并^皮對準。相反，如果多個致動器153以與上述相反的方式延伸，第二表 面^反131就沿著X軸負方向^皮對準。此外，滾動對準，即圍繞X軸旋轉(zhuǎn)，以這樣的方式執(zhí)行通過 -故固定的第三和第六致動器153c和153f,第一和第二至丈動器153a 和153b延伸，并且第四和第五致動器153d和153e收縮，反之亦然。
另一方面，Y軸方向?qū)什艈鬃魍瓿扇缦隆＜?，第四致動?53d 最4氐程度地延伸，然后第三和第五致動器153c和153e比第四致動 器153d延伸得更長。第二和第六致動器153b和153f比第三和第 五致動器153c和153e延伸得更長，并且第一致動器153a最大程度 地延伸。這樣，第二表面板131沿著圖中Y軸正方向移動，并被對 準。相反，如果多個致動器153以與上述相反的方式延伸，第二表 面4反131就沿著Y軸負方向^皮對準。此外，俯仰對準，即圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，以這樣的方式^l行通過 被固定的第一和第四致動器153a和153d，第五和第六致動器153e 和153f延伸，并且第二和第三致動器153b和153c收縮，反之亦然。另一方面，Z軸方向?qū)?上升或下降第二表面板131的操作) 通過延伸或收縮多個致動器153來執(zhí)行。以致動器153 —起延伸或 收縮預(yù)定量的方式來獲得偏轉(zhuǎn)對準。4吏用上述六自由度對準，為了更津青確地對準第二表面4反131, 兩個或多個方向的對準能夠同時地并聯(lián)鎖地執(zhí)^亍。這樣，能夠以有 效的方式實現(xiàn)第一和第二表面板111和131之間的更加迅速并精確 的^t準。下面，在根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基板接合裝置中，將解釋對 準基板的方法。圖3是解釋根據(jù)本發(fā)明第一實施例的基板接合裝置 中的基板對準方法的流程圖。參照圖3，在開始4妻合過程之前，間 距傳感器117測量i殳置在4皮此相對的第一和第二腔110和130中的 第一和第二表面才反ill和131之間的間3巨。如果測量了第一和第二表面板111和131之間的間距，接合裝 置100中的控制單元(未示出)就比較由設(shè)置在不同位置的不同的 間距傳感器117測到的值。即，參照間距傳感器117中的任意一個 測得的值，控制單元(未示出)操作對準單元150,直到所有間3巨 傳感器117測量出的所有的值變成相同的值。如果間距傳感器獲得相同的值，控制單元(未示出)就確定第 一和第二表面板ill和131被對準了起且其間具有均勻的距離。另一方面，作為第一和第二表面才反111和131的對準的另一實 施例，輸入預(yù)定的間距值。然后，操作第一和第二表面板對準單元 150a和150b,直到所有的間距傳感器檢測輸入的間距值。這樣， 分別安裝于第一和第二腔110和130的第一和第二表面板111和131 能夠被調(diào)節(jié)，以具有均勻的間距并變?yōu)樗?。除了第一和第二表面?11和131之間的間3巨之外，X軸或Y 軸方向的對準能夠通過使用照相機171來執(zhí)行。即，在放置兩個基 板Sl和S2的情況下，形成在兩個基板Sl和S2中的對準標記(未 示出)能夠被用來執(zhí)行X軸或Y軸方向的對準。但是，在沒有》文置兩個基板Sl和S2的情況下，在照相機171 中沒有探測到對準標記。從而，第一和第二表面板111和131的X 軸和Y軸對準能夠通過測量照相才幾171中接收到的光量來纟丸行。即， 在第一和第二表面一反lll和131沒有沿X軸和Y軸方向完全對準的 情況下，不同的照相機171將接收到不同的光強度。例如， 一些照相才幾171將因為照明孑L 173a和照相孔171a略孩史 地偏離而接收到較大量的光。 一些其它的照相機171將因為照明孔 173a和照相孔171a才及大地偏離而4妄收到4交少量的光。在這種情況 下，各個照相機的光強度能夠被比較并被控制，以變?yōu)榕R界值以內(nèi)， 乂人而能夠扭j于X軸和Y軸對準。 這時，照相機171可以采用電荷耦合裝置(CCD )或互補金屬 氧化物半導體(CMOS)圖像傳感器。在CCD和CMOS圖像傳感 器中，通過計算接通像素的數(shù)量能夠測量光強度。這樣，基板接合裝置100執(zhí)行第一和第二表面板111和131的 對準，使得放置在第一和第二表面板111和131上的第一和第二基 斥反SI禾口 S2能句多沖目乂于于4皮^匕;也只于〉t。這里，將參照附圖解釋本發(fā)明的其它實施例。在本發(fā)明的其它 實施例的描述中，與第一實施例相似的元件用相同的術(shù)語表示，并 且這里將不重復其細節(jié)。從而，在以下實施例中未被解釋的元件將 參照第一實施例。第二實施例圖4是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以200表示。參照圖4，基板接合裝置200 包括分別設(shè)置有多個第一表面板211和多個第二表面板231的第一 腔210以及第二腔230。因此，多個第一表面^^對準單元250ai殳置 在第一月空210與各個表面才反211之間，并且多個第二表面才反對準單 元250b i殳置在第二腔230與各個表面板231之間。此夕卜，每個單 獨的第一表面板211 (或者每個單獨的第二表面板231)設(shè)置有多 個間距傳感器217。安裝于第一表面板211 (或者第二表面板231)的多個間距傳 感器217測量并比較第一和第二表面板之間的間距值。根據(jù)測量和 比專交結(jié)果，第一表面玲反對準單元250a和第二表面4反對準單元250b 相對于第一和第二表面板211和231執(zhí)行六自由度對準，從而能夠 調(diào)節(jié)第 一和第二表面板211和231的水平狀態(tài)及其間的間距。 第三實施例圖5是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第三實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以參考標號300表示。參照圖5,對準單 元350設(shè)置在第二腔330的下方，而該第二腔放置在第一腔310的 下方。對準單元350被安裝成以這樣的方式支撐第二腔330:對準 單元350的連4妄凈反351附于第二腔330的底部，并且支撐纟反352附 于安裝基板接合裝置300的底4反。安裝于第一表面板311 (或者第二表面板331)的多個間距傳 感器317測量并比較第一和第二表面板之間的間距值。才艮據(jù)測量和 比較結(jié)果，對準單元350相對于第二腔330執(zhí)行六自由度對準，從 而能夠調(diào)節(jié)第一和第二表面4反311和331的水平狀態(tài)及其間的間 距。在根據(jù)本發(fā)明第三實施例的基板接合裝置300中，可省略升降 馬區(qū)動單元3卯。取而代之，第二腔330可通過對準單元350而進行 上升或下降，乂人而封閉或打開處理空間lc。第四實施例圖6是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第四實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以400表示。參照圖6,基底框架10a安 裝在第一和第二腔410和430周圍。對準單元450 i殳置在第一腔410 的上方，而該第一腔方文置在第二腔430的上側(cè)部。對準單元450安 裝于基底框架10a,使得以這樣的方式支撐第一腔對準單元450 的連4妄4反451連4妻于第一月空410的頂部，并且只于準單元450的支撐 板452連4妄于基底框架10a的內(nèi)側(cè)。安裝于第一表面板411 (或者第二表面板431)的多個間距傳 感器417測量并比較第一與第二表面板之間的間距值。根據(jù)測量和
比較結(jié)果，對準單元450相對于第一腔410執(zhí)行六自由度對準，從 而能夠調(diào)節(jié)第一和第二表面才反411和431的水平狀態(tài)及其間的間距。
在根據(jù)本發(fā)明第四實施例的基板接合裝置400中，可省略升降 驅(qū)動單元490。取而^之，第一腔410可通過對準單元450而進4亍 上升或下降，乂人而去于閉或打開處理空間ld。
第五實施例圖7是示意性地示出才艮據(jù)本發(fā)明第五實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以500表示。參照圖7，對準單元550設(shè) 置在第二腔530的下方，而該第二腔設(shè)置在第一腔510的下方。對 準單元550以這樣的方式被安裝對準單元550的連接板551附于 第二表面板531的底部，同時多個致動器553穿過第二腔530，并 且對準單元550的支撐纟反552附于安裝基4反接合裝置500的底4反。安裝于第一表面板511 (或者第二表面板531)的多個間距傳 感器517測量并比較第一與第二表面板之間的間距值。根據(jù)測量和 比較結(jié)果，對準單元550相對于第二表面板531執(zhí)行六自由度對準， 乂人而能夠調(diào)節(jié)第一和第二表面^反511和531的水平狀態(tài)及其間的間 距。第五實施例的基板接合裝置500設(shè)置有用于密封多個致動器 553以及第二月空530的通孑L 539a的波紋管539, /人而在用于接合兩 個基板Sl和S2的過程期間保持了處理空間le的氣密性。波紋管 539被構(gòu)造成在相對于第二表面板531的六自由度對準期間展開或 收縮。
第六實施例圖8是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第六實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以600表示。參照圖8，基底框架10b安 裝在第一和第二月空610和630周圍。對準單元650i殳置在第一月空610 的上方，而該第一腔》文置在第二腔630的上側(cè)部。對準單元650以 這樣的方式被安裝對準單元650的連接板651附于第一表面板611 的頂部，同時多個致動器653穿過第一月空610，并且只于準單元650 的支撐板652附于基底框架10b的內(nèi)側(cè)。安裝于第一表面板611 (或者第二表面板631)的多個間距傳 感器617測量并比較第一與第二表面板之間的間距值。4艮據(jù)測量和 比較結(jié)果，對準單元650相對于第一表面板611執(zhí)行六自由度對準， 乂人而能夠調(diào)節(jié)第 一和第二表面4反611和631的水平狀態(tài)及其間的間 距。第六實施例的基板接合裝置600設(shè)置有用于密封多個致動器 653以及第一腔610的通孑L 619a的波紋管619，從而在用于接合兩 個基板Sl和S2的過程期間保持了處理空間lf的氣密性。波紋管 619 ^皮構(gòu)造成在相^J"于第一表面^反611的六自由度3于準期間展開或 收縮。第七實施例圖9是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第七實施例的基板接合裝置的 截面圖，其中該裝置通常以700表示。參照圖9,第一-^盤才反對準 單元750a i殳置在第一表面4反711與第一^^盤4反715之間，并且第 二卡盤外反對準單元750b安裝在第二表面4反731與第二卡盤4反737 之間。
在圖9中，第一-^盤^L對準單元750a i殳置在第一表面^反711 與第一^^盤4反715之間，并且第二卡盤^反對準單元750b i殳置在第 二表面板731與第二卡盤板737之間。作為可選擇的，可以只設(shè)置 第一和第二卡盤外反對準單元750a和750b中的4壬意一個。下面，為了方《更解釋和理解，將解釋第二卡盤板對準單元750b。 應(yīng)當理解到，第一^^盤^L對準單元750a面對并對應(yīng)于第二卡盤4反 對準單元750b。第二表面板731 -沒置在單個板中。第二卡盤板735可凈皮分成多 個卡盤板，并且設(shè)置在單個的第二表面板731中。此外，第二卡盤 733可相對于一個第二卡盤板735 ^皮分成多個第二卡盤。因此，對應(yīng)于第二卡盤板735的數(shù)量，第二卡盤板對準單元 750b可設(shè)置在第二表面板731與第二卡盤板735之間。這樣，各個 第二卡盤一反對準單元750b纟皮安裝成以這樣的方式相對于第二表面 一反731支撐第二卡盤才反735:每個對準單元的連4妾板751連接于第 二卡盤板735的底部，并且支撐板752附于第二表面板731。另一方面，第二表面板731、第二卡盤板735、以及第二卡盤 733被安裝成分別面對第一表面板711、第一-^盤板715、以及第一 卡盤713,并且在凄t量上相互只寸應(yīng)。乂人而，多個間3巨傳感器717可 安裝于第一和第二卡盤713和733中的任意一個。安裝于第一卡盤713 (或者第二卡盤733)的多個間距傳感器 717測量并比較間距值。根據(jù)測量和比較結(jié)果，第二卡盤板對準單 元750b相對于每個第二卡盤板735執(zhí)行六自由度對準，從而能夠 調(diào)節(jié)第一和第二卡盤713和733的水平狀態(tài)及其間的間距。如上所述，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板接合裝置使用能夠進行六 自由度對準的對準單元，從而能夠以有效的方式實現(xiàn)兩個基板的對準。對準單元可#:部分地改進以及以不同的方式安裝。此外，對準 單元的各致動器可通過電》茲力的電》茲操作或4吏用滾J朱螺桿和電動 才幾的枳4成:操作，由空氣或液壓驅(qū)動。雖然已參照特定的示例性實施例描述了本發(fā)明，^旦本發(fā)明并不 被實施例限制，而是僅由所附權(quán)利要求限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以 理解，在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的前提下，可以對實施例進行 改變或1奮改。
權(quán)利要求
1. 一種用于接合基板的裝置，所述裝置包括第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；第二腔，與所述第一腔隔開設(shè)置，所述第二腔具有其上 放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板與所述第一基板 接合；以及對準單元，安裝于所述第一和第二腔中的至少一個，所 述對準單元適于在所述第一與第二基板之間執(zhí)行六自由度對 準。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述對準單元包括連接板，適于可根據(jù)所述六自由度對準而移位； 支撐板，與所述連接板隔開設(shè)置；以及多個致動器，安裝在所述連接板與所述支撐板之間，所 述致動器的一端樞轉(zhuǎn)連接于所述連接板，并且所述致動器的另 一端樞轉(zhuǎn)連接于所述支撐板。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述多個致動器包括第一 致動器、第二致動器、第三致動器、第四致動器、第五致動器、 以及第六致動器，這些所述致動器安裝于不同的位置，以便于 能夠彼此協(xié)同操作。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元設(shè)置在所述 第一腔與所述第一表面板之間，并且所述連4妄4反結(jié)合于所述第 一表面板，所述支撐板結(jié)合于所述第一腔。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元設(shè)置在所述 第二腔與所述第二表面板之間，并且所述連接板結(jié)合于所述第二表面板，所述支撐板結(jié)合于所述第二腔。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元被設(shè)置成支 撐所述第一腔，并且所述連接板結(jié)合于所述第一腔。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元被設(shè)置成支 撐所述第二腔，并且所述連接板結(jié)合于所述第二腔。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元被設(shè)置成以 這樣的方式支撐所述第一表面板所述連接板連接于所述第一 表面板，并且所述多個致動器穿過所述第一腔。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，波紋管安裝在所述多個致 動器的周圍，以密封所述致動器以及所述第 一腔的通孔。
10. 才艮據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述對準單元^皮i殳置成以 這樣的方式支撐所述第二表面板所述連接板連接于所述第二 表面板，并且所述多個致動器穿過所述第二腔。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的裝置，其中，波紋管安裝在所述多個 致動器的周圍，以密封所述致動器以及所述第二腔的通孔。
12. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述第一表面板設(shè)置有用 于將所述第一基板附于其上的多個第一^^盤以及用于將所述 第一"^盤結(jié)合于所述第 一表面板的多個第一卡盤板。
13， 根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中，所述對準單元設(shè)置在所 述第一"^^盤板與所述第一")^盤之間，并且所述連接板結(jié)合于所 述第一-^盤，所述支撐板結(jié)合于所述第一"|^盤板。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中，所述第二表面板設(shè)置有 用于將所述第二基板附于其上的多個第二卡盤以及用于將所 述第二卡盤結(jié)合于所述第二表面板的多個第二卡盤板。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中，所述對準單元設(shè)置在所 述第二卡盤板與所述第二卡盤之間，并且所述連接板結(jié)合于所述第二卡盤，所述支撐板結(jié)合于所述第二卡盤板。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中，所述第一和第二卡盤中 的至少一個i殳置有間距傳感器，所述間距傳感器用于測量所述 第一與第二卡盤之間的距離。
17. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，設(shè)置多個所述第一表面板， 并且所述對準單元設(shè)置在各個所述第 一表面板與所述第 一腔 之間。
18. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，設(shè)置多個所述第二表面板， 并且所述對準單元設(shè)置在各個所述第二表面板與所述第二腔 之間。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一表面板設(shè)置有間 距傳感器，所述間距傳感器用于測量乂人所述第一表面板到所述 第二表面板的距離。
20. —種調(diào)節(jié)用于接合第 一和第二基板的裝置中的第 一基板與第 二基板之間的距離的方法，所述方法包括以下步驟測量彼此相對的所述第 一 與第二基板之間的距離；以及根據(jù)測量結(jié)果，通過使用具有多個致動器的六自由度對 準單元來調(diào)節(jié)所述第 一與第二基板之間的距離。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中，所述測量步驟包括通過 間距傳感器測量第 一表面板與第二表面板之間的距離的步驟， 所述間距傳感器安裝于其上分別放置有所述第一和第二基板 的所述第 一和第二表面板中的至少一個。
22. 才艮據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述第一表面板設(shè)置有 用于將所述第一基板附于其上的多個第一^^盤以及用于固定 所述第一^^盤的多個第一"^1^盤板，所述第二表面板設(shè)置有用于 將所述第二基板附于其上的多個第二卡盤以及用于固定所述 第二卡盤的多個第二卡盤板，并且所述間距傳感器安裝于所述 第 一和第二卡盤板中的至少 一個，從而測量所述第 一和第二卡盤板之間的距離。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述調(diào)節(jié)步驟進一步包 括比較由所述間距傳感器測量出的值的步驟。
全文摘要
本公開是一種具有對準單元的基板接合裝置以及使用該裝置對準基板的方法。該裝置包括具有放置第一基板的第一表面板的第一腔。第二腔與第一腔隔開設(shè)置。第二腔具有放置第二基板的第二表面板。第二基板與第一基板接合。對準單元安裝于第一和第二腔中的至少一個。對準單元能夠在第一與第二基板之間執(zhí)行六自由度對準。因此，兩個基板的水平狀態(tài)及其間的間距能夠被自動調(diào)節(jié)，從而實現(xiàn)改進的表面板對準效率。
文檔編號G02F1/1333GK101144926SQ200710138798
公開日2008年3月19日 申請日期2007年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月25日
發(fā)明者樸時玄 申請人:愛德牌工程有限公司