專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種基板檢查裝置，特別是關(guān)于一種用于基板檢查中的治具的探測器框(prober frame )的更換，適用于在LCD的制造時所利用的 TFT陣列(array)檢查裝置。
背景技術(shù)：
作為將TFT (薄膜晶體管)呈陣列狀排列的構(gòu)成，可列舉液晶基板的 例子，其在液晶顯示器等平板顯示器(FPD)等中使用。利用TFT所構(gòu)成的液晶顯示器的基本構(gòu)成是一種液晶面板，其在形成 有TFT及透明像素(pixel)電極的一玻璃基板和形成有對向電極的另 一玻 璃基才反之間流入液晶。在形成有TFT及透明像素電極的玻璃基板(以下稱作[TFT基板]。) 的檢查中，已知有一種借由利用電子線的電壓對比度技術(shù)，而非接觸地對 基板上的各透明像素的狀態(tài)進行判定的方法(例如參照專利文獻1)。在利 用電壓對比度技術(shù)的TFT陣列檢查裝置中，受檢的TFT基板可借由運送到 高真空室內(nèi)，并在被配置于載臺上的狀態(tài)下施加檢查信號，且在此時檢測 電壓狀態(tài)而進行TFT陣列檢查。這種TFT陣列檢查裝置包括電子線產(chǎn)生源、二次電子檢測器及數(shù)據(jù)處 理裝置。電子線產(chǎn)生源對TFT基板的各透明像素照射電子線，且二次電子 檢測器對向TFT基板的各透明像素照射電子線所產(chǎn)生的二次電子進行檢 測。而且，二次電子檢測器是根據(jù)二次電子的檢測量而向數(shù)據(jù)處理裝置(計 算機系統(tǒng)等)輸出信號，其中，該信號表示與透明像素的電壓波形相對應(yīng) 的波形。數(shù)據(jù)處理裝置對二次電子檢測器的輸出信號進行解析，并檢查透 明像素的狀態(tài)，特別是透明像素有無缺陷或缺陷的內(nèi)容?；鍣z查是借由向高真空的主室內(nèi)的載臺上運送作為檢查對象的基 板，并在該基板上載置探測器框，且使基板和探測器框的各電極相接觸， 以從探測器框向基板施加;f企查信號而進行。圖15(a) 15(d)為用于說明基板檢查裝置的習(xí)知構(gòu)成的概略圖?；鍣z 查裝置101為了將作為檢查對象的基板30在主室102內(nèi)搬入搬出，而與主 室102鄰接配置負'載固定(loadlock)室103。關(guān)于主室和負載固定室的配 置，在例如專利文獻2中有所說明。作為檢查對象的基板，其基板尺寸、在基板上所形成的面板的圖案的 形狀或尺寸、在面板上所設(shè)置的電極配置等各規(guī)格有時并不一樣。為了檢 查這些各種規(guī)格的基板，需要與各規(guī)格對應(yīng)的各種探測器框。因此，要準(zhǔn) 備與這些各種基板相對應(yīng)的各種探測器框，并預(yù)先存儲在探測器框儲料器104中，且從該探測器框儲料器104中取出與檢查對象的基板相對應(yīng)的探測 器框，導(dǎo)入到主室中。在這里，是借由使可存儲多個探測器框的探測器框儲料器104與主室 102鄰接配置，并在探測器框儲料器104和主'室102之間更換探測器框20, 而將與檢查對象相稱的探測器框20向主室內(nèi)進行導(dǎo)入。另外，在負載固定室103中，可在與大氣側(cè)之間設(shè)置門閥111，并在該 負載固定室103和主室102之間設(shè)置門112,另外，在主室102和探測器框 儲料器104之間設(shè)置門閥113，而且，在主室102、負載固定室103內(nèi)可設(shè) 置用于運送基板的運送機構(gòu)，并在探測器框儲料器104內(nèi)設(shè)置用于運送探 測器框20的運送機構(gòu)。圖15 (a) ~圖15 (d)所示為探測器框更換的動作例。另外，在這里， 所示為將導(dǎo)入到主室內(nèi)的探測器框，與在探測器框儲料器內(nèi)所存儲的其它 的探測器框進行更換的例子。圖15 (a)所示為在主室102內(nèi)設(shè)置探測器框 20a，并在探測器框儲料器104中存儲探測器框20b、 20c的狀態(tài)。主室102通常處于真空狀態(tài)，所以在向主室102內(nèi)導(dǎo)入氮氣并形成大 氣壓后，打開門閥113，使探測器框20a移動到探測器儲料器104 (圖15 (b))。接著，使探測器框儲料器104移動，而使存儲有使用的探測器框20b 的層和主室102側(cè)位置對合(圖15 (c))。在使探測器框20b移動到主室 102內(nèi)后，關(guān)閉門閥113，然后將主室102內(nèi)抽成真空而形成可檢查的狀態(tài) (圖15 (d))。[專利文獻l]美國專利第5,982,190號說明書[專利文獻2 ]日本專利早期公開的特開2002 - 252155公報(段落0017、 0018、圖1)上述構(gòu)成為一種將存儲有探測器框的探測器框儲料器，與主室配置在 同一平面上且并列設(shè)置的構(gòu)成，所以存在基板檢查裝置的占據(jù)面積增大出 探測器框儲料器的設(shè)置面積的量的問題。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的是提供一種解決上述課題的基板檢查裝置，其借 由設(shè)置探觀'J器框儲料器而防止占據(jù)面積的增大。而且，借由采用將探測器框儲料器配置在負載固定室的上部或主室的 上部的構(gòu)成，并在該負載固定室和探測器框儲料器之間進行探測器框的更 換，而使對主室內(nèi)的探測器框的更換簡單化。
本發(fā)明的基一檢查裝置的第1形態(tài)，為一種在真空狀態(tài)下對基板施加檢查信號而進行基板檢查的基板檢查裝置，包括主室，其在真空狀態(tài)下 進行基板的檢查；負載固定室，其在與大氣側(cè)之間及與主室之間進行基板 的搬入搬出；探測器框儲料器，其存儲與基板進行電氣接觸并施加檢查信 號的探測器框；而且，該基板檢查裝置采用使其探測器框儲料器配置在負 載固定室上部的構(gòu)成。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)，則為一種將探測器框儲料 器配置在負載固定室上的構(gòu)成，所以探測器框儲料器所需的占據(jù)面積，可 直接利用負載固定室的占據(jù)面積。因此，不會因探測器框儲料器而使占據(jù) 面積增加，能夠防止占據(jù)面積的增大。在負載固定室的上部配置探測器框儲料器的構(gòu)成中，該負載固定室具 有室的上方的開口部分，且在該開口部分上開關(guān)自如地安裝有頂板。在該頂板的上部設(shè)置有探測器框儲料器，另一方面，在頂板的下部， 安裝有用于運送探測器框的運送機構(gòu)。因此，該頂板起到負載固定室的開 口部分的蓋部的作用，且起到對探測器框儲料器及運送機構(gòu)進行支持的基 底部分的作用。另外，頂板、探測器框儲料器及運送機構(gòu)是利用升降機構(gòu)而自如升降。 借由使該升降機構(gòu)進行上升動作，可使頂板上升而打開負載固定室，形成 一種使負載固定室內(nèi)由運送機構(gòu)所支持的探測器框可搬出的狀態(tài)，且借由 使探測器框儲料器的高度方向的位置對合，可進行使導(dǎo)入到負載固定室中 的探測器框被存儲的存儲位置的選擇，及從負載固定室所取出的探測器框 在探測器框儲料器中被存儲的存儲位置的選擇。借由利用該升降機構(gòu)的頂板、探測器框儲料器及運送機構(gòu)的升降動作， 和在頂板上所安裝的運送機構(gòu)的運送動作，可在負載固定室和探測器框儲 料器之間，進行探測器框的更換。而且，本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)，是在主室的上部具有臨時 保持探測器框的臨時置放部。該臨時置放部是在負載固定室和探測器框儲 料器之間進行探測器框的更換時，臨時保持從負載固定室所取出的探測器 框，并在此期間利用升降機構(gòu)進行探測器框儲料器的高度方向的位置對合， 且選擇在探測器框儲料器中進行存儲的存儲位置，而且，臨時保持從探測 器框儲料器所取出的探測器框，且在此期間刮用升降機構(gòu)進行探測器框儲 料器的高度方向的位置對合，并使頂板的下部所設(shè)置的運送機構(gòu)的高泉， 與臨時置放部的高度相對合。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)，則借由將用于存儲探測器 框的探測器框儲料器設(shè)置在負載固定室的上部，可減小占據(jù)面積。另外， 借由使負載固定室的頂板和該頂板上所固定的探測器框儲料器及運送機
構(gòu)，利用 一個升降機構(gòu)而自如升降，可進行探測器框?qū)ω撦d固定室的導(dǎo)入 導(dǎo)出，和探測器框?qū)μ綔y器框儲料器的存儲位置的選擇。而且，借由形成在主室上設(shè)置臨時置放部的形態(tài)，可使在負載固定室 和探測器框儲料器之間所進行的探測器框的更換容易進行。本發(fā)明的基板;險查裝置的第2形態(tài)為一種在真空狀態(tài)下對基板施加檢查信號并進行基板檢查的基板檢查裝置，包括主室，其在真空狀態(tài)下進 行基板的檢查；負載固定室，其在與大氣側(cè)之間及與主室之間進行基板的 搬入搬出；探測器框儲料器，其存儲與基板進行電氣接觸并施加檢查信號 的探測器框；而且，該基板檢查裝置釆用使其探測器框儲料器配置在主室 的上部的構(gòu)成。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)的構(gòu)成，則為一種將探測器 框儲料器配置在主室上的構(gòu)成，所以探測器框儲料器所需的占據(jù)面積可直 接利用主室的占據(jù)面積。因此，不會因探測器儲料器而使占據(jù)面積增加， 能夠防止占據(jù)面積的增大。在這種于主室的上部配置探測器框儲料器的構(gòu)成中，負載固定室具有 室部的上方的開口部分，且在該開口部分上開關(guān)自如地安裝有頂板。在該頂板的下部安裝有用于運送探測器框的運送機構(gòu)。因此，該頂板 起到負載固定室開口部分的蓋部的作用，且起到對運送機構(gòu)進行支持的基 底部分的作用。另外，頂板及運送機構(gòu)是利用升降機構(gòu)而自如升降。借由使該升降機 構(gòu)進行上升動作，可使頂板上升而打開負載固定室，形成一種使負載固定 室內(nèi)由運送機構(gòu)所支持的探測器框可搬出的^l夫態(tài)，且借由對探測器框儲料 器使高度方向的位置對合，可進行使導(dǎo)入到負載固定室中的探測器框被存 儲的存儲位置的選擇，及從負載固定室所取出的探測器框在探測器框儲料 器中被存儲的存儲位置的選擇。借由利用該升降機構(gòu)的頂板及運送機構(gòu)的升降動作，和在頂板上所安 裝的運送機構(gòu)的運送動作，可在負載固定室和探測器框儲料器之間，進行 探測器框的更換。而且，如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)，則可 不需要第1形態(tài)的臨時置放部，而在負載固定室和探測器框儲料器之間進 行探測器框的更換。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)，則借由將用于存儲探測器 框的探測器框儲料器設(shè)置在主室的上部，可減小占據(jù)面積。另外，借由使 負載固定室的頂板和運送機構(gòu)，利用一個升降機構(gòu)而自如升降，可進行探 測器框?qū)ω撦d固定室的導(dǎo)入導(dǎo)出，和探測器框?qū)μ綔y器框儲料器的存儲位 置的選擇。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置的各形態(tài)，則是在負載固定室和探測器 框儲料器之間進行探測器框的更換，且探測器框?qū)χ魇业膶?dǎo)入導(dǎo)出是在與 負載固定室之間進行，所以可使負載固定室為真空狀態(tài)，并在與主室之間 進行探測器框的更換。借此，主室可在使室內(nèi)保持真空狀態(tài)的情況下，進 行探測器框的更換。 '另外，因為沒有必要返回大氣壓狀態(tài)，所以不需要為了形成大氣壓狀 態(tài)而停止電子槍等的電源，且不需要因停止電源而再從初期狀態(tài)到驅(qū)動狀 態(tài)所需的所謂熱機時間，能夠防止檢查時間的長時間化。如利用本發(fā)明的基板檢查裝置，則在基板檢查裝置中，可防止因設(shè)置、n.， tt巧丄rr /、& 口,q "t* t:Z_ / Z_ 1 丄d "t"一 /—Z_ LAliil^TfT^ ^虧雙日'、J亡i佑四》"、日'、j》宵入。


圖l(a)、圖l(b)所示為用于說明本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)的概 略圖。圖2(a)、 2(b)所示為用于說明本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)的概略 圖。 '圖3(a) 3(c)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的,.探 測器框的移動動作例子的動作圖。圖4(a) 4(c)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的，探 測器框的移動動作例子的動作圖。圖5(a) 5(c)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的，探 觀，J器框的移動動作例子的動作圖。圖6(a)、 6(b)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的，探 觀，J器框的移動動作例子的動作圖。圖7為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的，探測器框 的移動動作例子的流程圖。 .圖8為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)中的，探測器框 的移動動作例子的流程圖。圖9(a)、 9(b)所示為用于說明本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)的概略圖。圖10(a)、 10(b)所示為用于說明本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)的概 略圖。圖11(a) ll(c)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)中的， 探測器框的移動動作例子的動作圖。圖12(a) 12(c)為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)中的， 探觀'J器框的移動動作例子的動作圖。圖13為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)中的，探測器框 的移動動作例子的動作圖。圖14為用于說明在本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)中的，探測器框的移動動作例子的流程圖。圖15(a) 15(d)為用于說明基板檢查裝置的習(xí)知構(gòu)成的概略圖。1:基板檢查裝置 3、 3a:負載固定室 5:第1運送機構(gòu) 7:第3運送^L構(gòu) 11:第1門閥 20、 20a、 20b、 20c:101 103 111 113基板檢查裝置 負載固定室 門閥 門閥探測器框2:主室4:探測器儲料器 6:第2運送機構(gòu) 8:臨時置》文部 12:第2門閥 30:基板 102:主室104:探測器框儲料器 112:門具體實施方式
以下，對本發(fā)明的實施形態(tài)參照圖示詳細地進行說明。另外，作為基 板檢查裝置的檢查對象的基板，除了液晶基板等TFT基板以外，還可應(yīng)用 于有機EL的基板、半導(dǎo)體基板等各種基板。
以下，對本發(fā)明的基板檢查的第l形態(tài)利用圖l(a)、 1(b) 圖8進行說 明，對第2形態(tài)利用圖9(a)、 9(b)~圖14進行說明。這里，第1形態(tài)為將 探測器框儲料器配置在負載固定室的上部的構(gòu)成，第2形態(tài)為將探測器框 儲料器配置在主室的上部的構(gòu)成。首先，對本發(fā)明的基板檢查裝置的第1形態(tài)進行說明。圖l(a)、 l(b)、 圖2(a)、 2(b)為用于說明本發(fā)明的基板檢查裝置的第l形態(tài)的概略說明圖。 另外，圖1 (a)所示為在本發(fā)明的基板檢查裝置的第l形態(tài)中，使頂板及 探測器框儲料器上升的狀態(tài)，圖1 (b)所示為使頂板及探測器框儲料器下 降的狀態(tài)。而且，圖2 (a)所示為在探測器框儲料器和臨時置放部之間所 進行的探測器框的移動狀態(tài)，圖2 (b)所示為在頂板上設(shè)置的運送機構(gòu)和 臨時置放部之間所進行的探測器框的移動狀態(tài)。 .本發(fā)明的基^i檢查裝置1是在真空狀態(tài)下，利用探測器框20而在基板 (未進行圖示)上施加檢查信號以進行基板檢查。在圖l(a)、 l(b)中，基板 檢查裝置l包括負載固定室3，其在與大氣側(cè)之間，及與在真空狀態(tài)下進 行基板檢查的主室2之間，進行基板的搬入搬出；探測器框儲料器4，其用 于存儲對基板施加檢查信號的探測器框20。主室2為在真空狀態(tài)下進行基板檢查的室部，包括例如電子線產(chǎn)生源、 二次電子檢測器及數(shù)據(jù)處理裝置。另外，在圖l(a)、 l(b)中，并未圖示電子 線產(chǎn)生源、二次電子檢測器及數(shù)據(jù)處理裝置。對主室2內(nèi)的載臺(未進行圖示)，通過負載固定室3運送作為檢查對 象的基板及探測器框20,并利用探測器框20而對基板施加檢查信號，且從 電子線產(chǎn)生源照射電子線。利用電子線的照射，而從基板發(fā)出與其電壓狀 態(tài)相對應(yīng)的二次電子。二次電子檢測器對該二次電子進行檢測。因為二次 電子量和電壓狀態(tài)具有關(guān)聯(lián)性，所以從所檢測的二次電子量求取電壓波形， 并對所檢測的電壓波形，和在正常狀態(tài)下施加檢查信號時所檢測到的電壓 波形進行比較。借由比較該電壓波形，可進衧基板的缺陷檢查。負載固定室3除了在與大氣側(cè)之間以及在與主室2之間，進行基板的 負載及卸載以外，還在與主室2之間進行探測器框的更換。這些基板及探 測器框的室部間的移動，可借由在各室部中所設(shè)置的運送機構(gòu)而進行。另 外，在負載固定室3和大氣側(cè)之間設(shè)置有第1門閥11，而且，在負載固定 室3和主室2之間設(shè)置有第2門閥12,且借由控制這些門閥的開關(guān)，而利 用在各室部的真空抽吸或氮等的導(dǎo)入以進行向大氣壓的壓力控制。另外，在圖l(a)、 l(b)、圖2(a)、 2(b)所示的用于對主室2及負載固定 室3進行真空抽吸的真空泵等中，省略了排氣機構(gòu)或用于向各室部內(nèi)導(dǎo)入 氮氣以返回大氣壓的氣體導(dǎo)入機構(gòu)而未進行圖示。探測器框儲料器4為用于存儲并支持多種探測器框20的部分，并利用 第2運送機構(gòu)6而進行探測器框20的搬入搬出。在本發(fā)明的基板檢查裝置1中，是將主室2和負載固定室3配置在同 一平面上，并在負截固定室3的上部配置探測器框儲料器4，且在主室2的 上部配置臨時置放部8。另外，臨時置放部8是在負載固定室2和探測器框 儲料器4之間，以探測器框20進行更換時，使探測器框20被臨時保持， 并在該期間使探測器框儲料器4沿高度方向移動而進行位置對合。本發(fā)明的負載固定室3的上端具有開口部，且該開口部利用頂板3a而 自如開關(guān)。另外，在利用頂板3a而關(guān)閉負載固定室3的上端開口部的情況 下，該頂板3a作為關(guān)閉負載固定室3的蓋部而發(fā)揮作用。在該頂板3a的上 部設(shè)置有探測器框儲料器4,另一方面，在頂板3a的下部設(shè)置有用于運送 探測器框20的第l運送機構(gòu)5。另外，在頂板3a關(guān)閉負載固定室3的狀態(tài) 下，第1運送機構(gòu)5被收納在負載固定室3內(nèi)。在頂板3a的上部所設(shè)置的探測器框儲料器4及在頂板3a的下部所設(shè)置 的第1運送機構(gòu)5;都被安裝在頂板3a上，且利用升降機構(gòu)(未進行圖示) 而一體進行升降動作。圖1 (a)所示為利用升降機構(gòu)(未進行圖示)而使頂板3a、探測器框 儲料器4及第l運送機構(gòu)5上升的狀態(tài)，圖l(b)所示為利用升降機構(gòu)(未 進行圖示)而使頂板3a、探測器框儲料器4友第1運送機構(gòu)5下降，并利 用頂板3a而關(guān)閉負載固定室3的狀態(tài)。在圖1 (a)所示的狀態(tài)下，頂板3a是利用未圖示的升降機構(gòu)而從負載 固定室3脫離并上升，使負載固定室3打開，且使在頂板3a的下部所設(shè)置 的第l運送^/L構(gòu)5，于負載固定室3的上方露出。另外，在負載固定室3內(nèi) 處于真空狀態(tài)的情況下，在使頂板3a上升之前，預(yù)先向負載固定室3內(nèi)導(dǎo) 入氮氣等，使負載固定室3內(nèi)的壓力形成大氣壓。而且，利用頂板3a的上升，第1運送機構(gòu)5形成一種在負載固定室3 的上方位置露出的狀態(tài)，借此，可將探測器框20在負載固定室3內(nèi)和大氣 側(cè)之間進行搬入搬出。另一方面，在圖1 (b)所示的狀態(tài)下，項板3a是利用未圖示的升降機 構(gòu)下降，并與負載固定室3的上端開口部抵接而關(guān)閉負載固定室3，且將在 頂板3a的下部所設(shè)置的第1運送機構(gòu)5導(dǎo)入到負載固定室3內(nèi)。在使該頂 板3a下降而關(guān)閉負載固定室3后，借由對負載固定室3內(nèi)進行真空排氣以 形成真空狀態(tài)，并打開第2門閥12，可在與真空狀態(tài)的主室2之間進行探 測器框20的更換。另外，運送機構(gòu)可利用例如滾子運送機構(gòu)。圖2 (a)所示為在探測器框儲料器和臨時置放部之間所進行的探測器 框的移動狀態(tài)。在圖2 (a)中，是利用升降機構(gòu)(未進行圖示)而使第1 升降機構(gòu)5與頂板3a—起升降，并使第l運送機構(gòu)5的高度，與主室2上 所配置的臨時置放部8在高度方面相對合。另外，臨時置放部8可具有用 于使探測器框移動的第3運送機構(gòu)。借由使該第1運送機構(gòu)5和臨時置放部8的高度對合，可使探測器框 20從第1運送機構(gòu)5向臨時置放部8,或者相反地從臨時置放部8向第1 運送機構(gòu)5進行移動。另外，該高度對合可借由利用未圖示的控制裝置對 升降機構(gòu)實施控制而進行。圖2 (b)所示為在頂板上所設(shè)置的運送機構(gòu)和臨時置放部之間所進行 的探測器框的移動狀態(tài)。在圖2 (b)中，是利用升P條機構(gòu)使探測器框儲料器4與頂板3a—起升 降，并使探測器框儲料器4的規(guī)定層的高度，與主室2上所配置的臨時置 放部8的高度相對合。另外，所說的探測器框儲料器4的規(guī)定層，在例如 從探測器框儲料器4所存儲的探測器框中選擇取出基板檢查所用的探測器 框的情況下，為存儲該探測器框的層，另一方面，在使基板檢查所用的探 測器框從負載固定室3進行移動，并返回到探測器框儲料器4的情況下， 是該探測器框20所返回的探測器框儲料器的層。借由使該探測器框儲料器4的規(guī)定層和臨時置放部8的高度對合,'可 使探測器框20從探測器框儲料器4的規(guī)定層向臨時置放部8,或者相反地
從臨時置放部8向探測器框儲料器4的規(guī)定層進行移動。另外，關(guān)于該高度對合，也可利用未圖示的控制裝置而對升降枳4勾進行控制。下面，在本發(fā)明的基板檢查裝置1中，對探測器框的移動動作例子，利用圖3(a)~3(c)~圖6(a)、 6(b)的動作圖及圖7、圖8的流程圖進行說明。另外，在這里，是對主室2處于真空狀態(tài)，負載固定室3處于大氣壓 狀態(tài)，并將在主室2中所使用的探測器框與在探測器框儲料器中所存儲的 其它探測器框進行更換的動作加以說明。在圖示的例子中，是將從主室2 所取出的探測器框作為探測器框20a (圖中的黑色部分所示)，將所更換的 探測器框作為探測器框20b (圖中的花紋部分所示)。首先，在圖3 (a)中，對負載固定室3進行真空排氣(Sl),并打開主 室2和負載固定室3之間的第2門閥12 ( S2 ),使探測器框20a從主室2向 負載固定室3內(nèi)移動(S3),且關(guān)閉第2門閥12 (S4)。利用這些S1 S4 的動作，可不使主室2返回大氣壓，而將主室2中所使用的探測器框20a 移動到負載固定室3。接著，在圖3(b)中，向負載固定室3內(nèi)導(dǎo)入氮氣并形成大氣壓后(S5 )， 使負載固定室3的頂板3a上升，并使第1運送機構(gòu)5的高度與臨時置放部 8的第3運送機構(gòu)7的高度對合(S6 )。在圖3 (c)中，利用第1運送機構(gòu)5及第3運送機構(gòu)7,使探測器框 20a移動到臨時置放部8 ( S7 )。接著，在圖4 (a)中，使探測器框儲料器4進行升降(在圖4 (a)中 是下降)，并使探測器框儲料器4的空閑位置(空閑層)的高度與臨時置放 部8的高度相對合。此時，探測器框20a形成一種在臨時置放部8上被保 持的狀態(tài)(S8)。在圖4(b)中，是利用第3運送機構(gòu)7及第2運送機構(gòu)6，使臨時置 放部8上所保持的探測器框20a移動到探測器框儲料器4的空閑位置(空 閑層)。借此，將使用的探測器框20a收納在探測器框儲料器4中(S9)。在圖4(c)中，是利用升降機構(gòu)使探測器框儲料器4升降，并使用于 存儲接著要使用的探測器框20b的層與臨時置放部8的高度對合(S10 )。接著，在圖5 (a)中，利用第2運送機構(gòu)6及第3運送機構(gòu)7,使接 著要使用的探測器框20b移動到臨時置放部8 (S11 )。在圖5 (b)中，使探測器框儲料器4升降(在圖5 (b)中是上升)， 并使第1運送機構(gòu)5的高度與臨時置放部8的高度對合。此時，探測器框 20b形成一種在臨時置》t部8上#:保持的狀態(tài)(S12 )。在圖5 (c)中，利用第3運送機構(gòu)7，使下一探測器框20b從臨時置 放部移動到第1運送機構(gòu)5 ( S13 )。接著，在圖6(a)中，使負載固定室3的頂板3a下降，將下一探測器12 框20b導(dǎo)入到負載固定室3內(nèi)。此時，探測器框20b是在由第1運送機構(gòu)5 被保持的狀態(tài)下而進行導(dǎo)入(S14)。在圖6(b)中，是在利用頂板3a關(guān)閉負載固定室3后，對負載固定室 3內(nèi)進行真空排氣，以與主室2內(nèi)形成相同的壓力(S15)，然后，打開第2 門閥12(S16),使探測器框20b移動到主室2內(nèi)，并載置在被置放于載臺 上的基板上(S17),且關(guān)閉第2門閥12。借此，完成探測器框20b的更換， 并可利用更換了的探測器框20b進行基板檢查(S18 )。另外，在利用其它的探測器框進行基板檢查的情況下，借由反復(fù)變換 前述的動作，可取代主室內(nèi)所設(shè)置的探測器框，而更換為在探測器框儲料 器中所存儲的其它的探測器框，并利用更換了的其它的探測器框進行基板 檢查。另外，當(dāng)更換作為檢查對象的基板時，是在使負載固定室3的頂板3a 下降而關(guān)閉負載固定室，且關(guān)閉第1門閥11的狀態(tài)下進行真空排氣，并打 開第2門閥12而將基板30從主室2向負載固定室3側(cè)移動且取出，并關(guān) 閉第2門閥12,然后使負載固定室3內(nèi)形成大氣壓，且打開第1門閥11而 將基板30向外部輸入取出。接著，將作為新的檢查對象的基板從第1'門閥11導(dǎo)入到負載固定室3 內(nèi)，并關(guān)閉第1門閥11,且對負載固定室3內(nèi)進行真空排氣，并打開第2 門閥12,將導(dǎo)入到負載固定室3內(nèi)的基板再導(dǎo)入到主室2內(nèi)并載置在載臺 上，且關(guān)閉第2門閥12。利用上述動作，可在主室2內(nèi)更換基板。接著，對本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)進行說明。圖9(a)、 9(b)、 圖10(a)、 10(b)為用于說明的本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)的概略說明 圖。另外，圖9 (a)所示為在本發(fā)明的基板檢查裝置的第2形態(tài)中的，使 頂板上升的狀態(tài)，圖9 (b)所示為使頂板下降的狀態(tài)。而且，圖10(a)、 (b )所示為在探測器框儲料器和頂板3a上設(shè)置的運送機構(gòu)之間所進行的探 測器框的移動狀態(tài)。第2形態(tài)中的基板檢查裝置的構(gòu)成，與利用圖l(a)、 l(b)、圖2(a)、 2(b) 所說明的第1形態(tài)相同，所以這里省略說明。'在第2形態(tài)的基板檢查裝置1中，是將主室2和負載固定室3配置在 同一平面上，并在主室2的上部配置探測器框儲料器4。另外，在第2形態(tài) 中，是利用頂板3a上所設(shè)置的第1運送機構(gòu)5,而在與探測器框儲料器之 間進行探測器框20的更換。因此，可不需要第1形態(tài)中的臨時置放部8。本發(fā)明的負載固定室3在上端具有開口部，且該開口部利用頂板3a而 自如地開關(guān)。另外，在利用頂板3a而關(guān)閉負載固定室3的上端開口部的情 況下，該頂板3a是作為關(guān)閉負載固定室3的蓋部而發(fā)揮作用。在該頂部3a 的下部，設(shè)置有用于運送探測器框20的第l運送機構(gòu)5。另外，在頂板3a 關(guān)閉負載固定室3的狀態(tài)下，第1運送機構(gòu)5被收納在負載固定室3內(nèi)。 在頂板3a的下部所設(shè)置的第l運送機構(gòu)5是利用升降機構(gòu)(未進行圖示)， 而與頂板3a —起一體地進行升降動作。圖9 (a)所示為利用升降機構(gòu)(未進行圖示)使頂板3a及第1運送機 構(gòu)5上升的狀態(tài)，圖9 (b)所示為利用升降機構(gòu)(未進行圖示)使頂板3a 及第l運送機構(gòu)5下降，并利用頂板3a而關(guān)閉負載固定室3的狀態(tài)。在圖9 (a)所示的狀態(tài)中，頂板3a利用未圖示的升降^L構(gòu)而從負載固 定室3脫離并上升，使負載固定室3打開，且使在頂板3a的下部所設(shè)置的 第l運送機構(gòu)5，于負載固定室3的上方露出，另外，在負載固定室3內(nèi)處 于真空狀態(tài)的情況下，在使頂板3a上升之前，預(yù)先向負載固定室3內(nèi)導(dǎo)入 氮氣等，使負載固定室3內(nèi)的壓力形成大氣壓。而且，利用頂板3a的上升，第1運送機構(gòu)5形成一種在負載固定室3 的上方位置露出的狀態(tài)，借此，可將探測器框20在負載固定室3內(nèi)和大氣 側(cè)之間進行搬入搬出。另一方面，在圖9 (b)所示的狀態(tài)下，頂板3a是利用未圖示的升降機 構(gòu)下降，并與負載固定室3的上端開口部抵接而關(guān)閉負載固定室3，且將在 頂板3a的下部所設(shè)置的第1運送機構(gòu)5導(dǎo)入到負載固定室3內(nèi)。在使該頂 板3a下降而關(guān)閉負載固定室3后，借由對負載固定室3內(nèi)進行真空排氣以 形成真空狀態(tài)，并打開第2門閥12,可在與真空狀態(tài)的主室2之間進行探 測器框20的更換。另外，運送機構(gòu)可利用例如滾子運送機構(gòu)。圖10 (a)所示為在頂板3a上所設(shè)置的第1運送機構(gòu)5和探測器框儲 料器4之間所進行的探測器框的移動狀態(tài)。在圖10(a)中，是利用升降機 構(gòu)(未進行圖示)而使第1升降機構(gòu)5與頂板3a —起升降，并使第1運送 機構(gòu)5的高度，與主室2上所配置的探測器框儲料器4的規(guī)定層在高度方 面相對合。另外，探測器框儲料器4可具有用于使探測器框移動的第2運 送才幾構(gòu)6。借由使該第1運送機構(gòu)5和探測器框儲料器4的規(guī)定層的高度對合， 可使探測器框20從第1運送機構(gòu)5向探測器框儲料器4的規(guī)定層，或者相 反地從探測器框儲料器4的規(guī)定層向第1運送機構(gòu)5進行移動。另外，該 高度對合可借由利用未圖示的控制裝置對升降機構(gòu)實施控制而進行。圖10 (b)所示為使頂板上所設(shè)置的第1運送機構(gòu)5與探測器框儲料器 4的其它的規(guī)定層進行位置對合的探測器框的移動狀態(tài)。在圖10 (b)中，是利用升降機構(gòu)使第1運送機構(gòu)5與頂板3a—起升 降，并與探測器框儲料器4的其它的規(guī)定層的高度進行對合。另外，所說 的探測器框儲料器4的規(guī)定層，在例如從探測器框儲料器4所存儲的探測 器框中選擇取出基板檢查所用的探測器框的情況下，為存儲該探測器框的 層，另一方面，在使基板檢查所用的探測器框從負載固定室3進行移動，并返回到探測器框儲料器4的情況下，是該探測器框20所返回的探測器框 儲料器4的層。借由該探測器框儲料器4的規(guī)定層和第1運送機構(gòu)5的高度對合，可 使探測器框20從探測器框儲料器4的規(guī)定層向第1運送機構(gòu)5，或者相反 地從第1運送機構(gòu)5向探測器框儲料器4的規(guī)定層進行移動。另外，關(guān)于 該高度對合，也可利用未圖示的控制裝置而對升降機構(gòu)進行控制。下面，在第2形態(tài)的基板檢查裝置1中，對探測器框的移動動作例子， 利用圖ll(a)~ll(c)~圖13的動作圖及圖14的流程圖進行說明。另外，在這里，是對主室2處于真空狀態(tài)，負載固定室3處于大氣壓 狀態(tài)，并將在主室2中所使用的探測器框與在探測器框儲料器中所存儲的 其它探測器框進行更換的動作加以說明。在圖示的例子中，是將從主室2 所取出的探測器框作為探測器框20a (圖中的黑色部分所示)，將所更換的 探測器框作為探測器框20b (圖中的花紋部分所示)。首先，在圖11 (a)中，對負載固定室3進行真空排氣(S21),并打開 主室2和負載固定室3之間的第2門閥12 ( S22 ),使探測器框20a從主室 2向負載固定室3內(nèi)移動(S23)，且關(guān)閉第2門閥12(S24)。利用這些S21 ~ S24的動作，可不使主室2返回大氣壓，而將主室2中所使用的探測器框 20a移動到負載固定室3。接著，在圖ll( b )中，向負載固定室3內(nèi)導(dǎo)入氮氣并形成大氣壓后(S25 ), 使負載固定室3的頂板3a上升，并使第l運送機構(gòu)5的高度與探測器框儲 料器4的空閑位置(空閑層)的第2運送機構(gòu)6的高度對合(S26)。在圖11 (c)中，利用第l運送機構(gòu)5及第2運送機構(gòu)6，使探測器框 20a移動到探測器框儲料器4的規(guī)定層(S27 )。 .接著，在圖12 (a)中，使探測器框儲料器4進行升降(在圖12 (a) 中是上升)，并使第l升降機構(gòu)5進行升降，且與用于存儲接著要使用的探 測器框20b的層的高度相對合(S28 )。接著，在圖12 (b)中，利用第2運送機構(gòu)6而使接著要使用的探測器 框20b移動到第1運送機構(gòu)5 ( S29 )。接著，在圖12(c)中，使負載固定室3的頂板3a下降，將下一探測 器框20b導(dǎo)入到負載固定室3內(nèi)。此時，探測器框20b是在由第1運送機 構(gòu)5被保持的狀態(tài)下而進行導(dǎo)入(S30 )。在圖13中，是在利用頂板3a關(guān)閉負載固定室3后，對負載固定室3 內(nèi)進行真空排氣，以與主室2內(nèi)形成相同的壓力(S31),然后，打開第2 門閥12 ( S32 ),使探測器框20b移動到主室2內(nèi)，并載置在被置放于載臺 上的基板上(S33 )，且關(guān)閉第2門閥12。借此，完成探測器框20b的更換，
并可利用更換了的探測器框20b進行基板檢查(S34 )。另外，在利用其它的探測器框進行基板檢查的情況下，借由反復(fù)變換 前述的動作，可取代主室內(nèi)所設(shè)置的探測器堆，而更換為在探測器框儲料 器中所存儲的其它的探測器框，并利用更換了的其它的探測器框進行基板 檢查。 .另外，更換作為檢查對象的基板，可與第1形態(tài)所說明的動作同樣地 進行。在上述的本發(fā)明的探測器框的更換及基板的更換的任一者中，主室2 內(nèi)都可保持真空狀態(tài)，能夠不使電子槍等的電源停止而維持驅(qū)動狀態(tài)。因 此，可節(jié)省因停止電源而使裝置再度驅(qū)動所需要的所謂的熱機時間，能夠 縮短探測器框更換時的裝置的停機時間。本發(fā)明的基板檢查裝置并不限于液晶的TFT基板的檢查，可應(yīng)用于在 真空下進行的檢查裝置，而且，還可適用于利用電子線或離子束的曝光裝 置，以及電子顯微鏡等利用真空處理室及負載固定室的裝置。
權(quán)利要求
1、一種基板檢查裝置，為一種在真空狀態(tài)下對基板施加檢查信號而進行基板檢查的基板檢查裝置，其特征在于包括主室，在真空狀態(tài)下進行基板的檢查；負載固定室，在與大氣側(cè)之間及與前述主室之間進行基板的搬入搬出；探測器框儲料器，存儲與基板進行電氣接觸并施加檢查信號的探測器框；其中前述探測器框儲料器配置在前述負載固定室的上部。
2、 如權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于其中， 前述負載固定室具有開關(guān)自如的頂板；前述頂板在上部設(shè)置有前述探測器框儲料器，在下部設(shè)置有運送前述 探測器框的運送機構(gòu)；該基板檢查裝置還具備使前述頂板和前述探測器框儲料器自如升降的 升降機構(gòu)；該基板檢查裝置是利用前述升降機構(gòu)的升降動作和前述運送機構(gòu)的運 送動作，在負載固定室和探測器框儲料器之間進行探測器框的更換。
3、 如權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于其中， 在前述主室的上部具有臨時保持探測器框的臨時置放部； 前述運送機構(gòu)是通過前述臨時置放部而進行與探測器框儲料器之間的探測器框的更換。
4、 如權(quán)利要求3所述的基板檢查裝置，其特征在于其中，前述升降機構(gòu)利用升降動作而進行前述探測器框儲料器和前述臨時置 放部的位置對合。
5、 一種基板檢查裝置，為一種在真空狀態(tài)下對基板施加檢查信號并進 行基板檢查的基板檢查裝置，其特征在于包括主室，在真空狀態(tài)下進行基板的^r查；負載固定室，在與大氣側(cè)之間及與前述主室之間進行基板的搬入搬出； 探測器框儲料器，存儲與基板進行電氣接觸并施加檢查信號的探測器框；其中前述探測器框儲料器配置在前述主室的上部。
6、 如權(quán)利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于其中， 前述負載固定室具有開關(guān)自如的頂板； 前述頂板在下部安裝有運送前述探測器框的運送機構(gòu)；　該基板檢查裝置還具有使前述頂板自如升降的升降機構(gòu)； 該基板檢查裝置是利用前述升降機構(gòu)的升降動作和前述運送機構(gòu)的運送動作，在負載固定室和探測器框儲料器之間進行探測器框的更換。
7、如權(quán)利要求6所述的基板檢查裝置，其特征在于其中，前述升降機構(gòu)利用升降動作而進行前述探測器框儲料器和前述運送機構(gòu)的位置對合。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置，其借由設(shè)置探測器框儲料器而防止占據(jù)面積的增大。該基板檢查裝置(1)包括主室(2)，其在真空狀態(tài)下進行基板的檢查；負載固定室(3)，其在與大氣側(cè)之間及與主室之間進行基板的搬入搬出；探測器框儲料器(4)，其用于存儲與基板進行電氣接觸并施加檢查信號的探測器框(20)；而且，其探測器框儲料器(4)配置在負載固定室(3)或主室(2)的上部。借由采用將探測器框儲料器(4)配置在負載固定室(3)上或主室(2)上的構(gòu)成，而使探測器框儲料器(4)所需的占據(jù)面積，可直接利用負載固定室(3)或主室(2)的占據(jù)面積，能夠防止占據(jù)面積的增大。
文檔編號G02F1/13GK101165546SQ200710123550
公開日2008年4月23日 申請日期2007年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月19日
發(fā)明者岡本英樹, 棚瀬順一郎, 黑田晉一 申請人:株式會社島津制作所