專利名稱：中間基座、xy工作臺、密封劑涂敷裝置及液晶面板的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及中間基座、將該中間基座作為X/Y工作臺的XY工作臺、利用該XY工作臺將密封劑涂敷到基板上的密封劑涂敷裝置、采用該密封劑涂敷裝置制造液晶面板的液晶面板制造方法。
背景技術：
在制造液晶面板的過程中使用密封劑涂敷裝置。該密封劑涂敷裝置包括基臺、載置在該基臺上的XY工作臺、通過支柱設在上述基臺上的Z工作臺、安裝在該Z工作臺上的分配噴嘴、以及將密封劑供給該分配噴嘴的密封劑供給部。
在構(gòu)成XY工作臺的基板臺上載置玻璃基板，驅(qū)動Z工作臺、使分配噴嘴下降，把噴嘴前端的噴出口與玻璃基板之間的間隔保持為預定尺寸。然后，使XY工作臺和分配噴嘴相對于玻璃基板在X方向和Y方向相對移動，同時，從分配噴嘴的噴出口供出密封劑、將其涂敷到玻璃基板上。
專利文獻1公開了密封劑供給裝置，該密封劑供給裝置備有測定分配噴嘴與玻璃基板之間間隔的間隔傳感器、和根據(jù)該間隔傳感器的測定信號在Z方向驅(qū)動噴嘴而將間隔保持為一定值的線性促動器，即使玻璃基板產(chǎn)生翹曲，也能高速度地并且以連續(xù)的形狀涂敷密封劑。
專利文獻1日本特開平10-137655號公報發(fā)明內(nèi)容此種密封劑涂敷裝置，要求能高速地涂敷密封劑，并且要求能夠涂敷微量的密封劑。但是，在高速涂敷時，裝置本身發(fā)生振動，即使裝置發(fā)生了微小的振動，玻璃基板與分配噴嘴之間的間隔也將產(chǎn)生變動。因此，容易出現(xiàn)涂敷變細而導致質(zhì)量降低。另外，在密封劑的微量涂敷時，也容易出現(xiàn)前述的涂敷飛白。
即使采用上述專利文獻1的密封劑涂敷裝置將密封劑涂敷到玻璃基板上，在從X方向朝Y方向的方向變換部分即角部，也必須要急劇地進行XY工作臺的加減速。另外，從Y方向朝X方向變換的角部，也同樣要急劇地進行加減速，由該影響而產(chǎn)生大的力，裝置可能會產(chǎn)生振動。
具體地說，例如在XY工作臺的移動速度為100mm/s、角部的曲率半徑R為0.5mm的情況下涂敷密封劑時，在角部，XY工作臺所需的加速度是2G。
即使X工作臺高速移動，在到達了角部后的0.5mm間，必須急劇減速、在角部拐彎、然后停止。另一方面，Y工作臺與X工作臺的急減速相應地前進，在起動后的0.5mm間，在角部拐彎，然后必須急劇加速、加速到100mm/s移動。
實際上，用有限元法來模擬在已往的XY工作臺中用2G的加速度使中間基座移動時產(chǎn)生的變形方式、并進行觀察。其結(jié)果如圖10(A)(B)所示。在圖10(C)中，用陰影線、圖標種類來分別表示實際的變位數(shù)值。
圖中最上層是載置玻璃基板用的基板臺1，該基板臺1由頂板2支撐著。在頂板2的下面，通過實現(xiàn)運動直線性的若干個LM導引件3，設置著中間基座4。在中間基座4的下面大致中央部，設有與圖未示的滾珠絲杠螺紋接合的螺母部5。
圖10(A)表示基板臺1從Y方向拐過角部后，中間基座4朝X方向(圖中面前側(cè))急加速時的變形狀態(tài)，(U)表示朝上方向的最大變位，(D)表示朝下方向的最大變位，(M)表示最大與最小的中間變位。因此，從中間變位(M)到最大變位(U)，其變位經(jīng)過若干階段增大，從中間變位(M)到最小變位(D)，其變位經(jīng)過若干個階段減小。
借助滾珠絲杠變位的中間基座4隨著朝X方向急加速，基板臺1的面前側(cè)角部a成為最大變位(U)，轉(zhuǎn)到最上邊。另一方面，X方向相反側(cè)的角部b成為最小變位(D)，是最下位的變形。圖10(B)是從Y方向看的圖，所以，基板臺1的圖中左側(cè)角部a是最大變位(U)，右側(cè)角部b是最小變位(D)。
如圖10(A)所示，中間基座4是Y方向長的橫長矩形，基板臺1的最大變形部位是設在中間基座4下面的若干個LM導引件(圖中是LM螺母)6之中的、中央2個LM導引件6相互之間的中間區(qū)域部分。
在該中間區(qū)域產(chǎn)生慣性力，該慣性力與中間基座4、頂板2、基板臺1、沿Y方向的滾珠絲杠、滾珠絲杠的驅(qū)動源、若干個LM導引件3等載置在中間基座4上的全部零件(包含中間基座4)的總質(zhì)量對應。
因此，中間區(qū)域的變形比兩側(cè)區(qū)域的大，結(jié)果，基板臺1本身變形而傾斜，載置在基板臺1上的上述玻璃基板、和與該玻璃基板相向的分配噴嘴之間的間隔產(chǎn)生變動，從而成為密封劑涂敷不良的原因。
本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的是提供中間基座、XY工作臺、密封劑涂敷裝置和使用該密封劑涂敷裝置提高生產(chǎn)率的液晶面板制造方法。本發(fā)明提供的中間基座，以作用于預定區(qū)域的慣性力比作用于其它區(qū)域的慣性力大為前提，抑制該預定區(qū)域的變形量，可提高可靠性。本發(fā)明提供的XY工作臺，將上述中間基座作為X工作臺或Y工作臺使用，可提高質(zhì)量。本發(fā)明提供的密封劑涂敷裝置備有上述XY工作臺，能進行高速涂敷和微量涂敷。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的中間基座是橫長矩形的板體，備有第一滾珠絲杠和若干個第一LM導引件；第一滾珠絲杠設在下面的大致中央部，沿著與長度方向正交的方向且從兩側(cè)端緣伸出地設置，在端部連接著驅(qū)動機構(gòu)；若干個第一LM導引件在上述第一滾珠絲杠的兩側(cè)部沿著軸方向并行地設置著，實現(xiàn)運動的直線性；備有至少一根第三LM導引件和若干個孔部；當把在第一LM導引件之中的中央部的2根第一LM導引件相互間設置著第一滾珠絲杠的部位作為區(qū)域A、把該區(qū)域A的兩側(cè)部位作為區(qū)域B時，第三LM導引件設在上述區(qū)域A中的接近上述第一滾珠絲杠的位置；若干個孔部沿著長度方向設在區(qū)域B中的板厚方向，在與長度正交的方向相互并行。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的XY工作臺將中間基座作為XY工作臺，備有通過第一滾珠絲杠和第一LM導引件支撐的基臺、沿著長度方向載置在中間基座上并且端部連接著驅(qū)動機構(gòu)的第二滾珠絲杠、沿著第二滾珠絲杠的軸方向并行設置著的若干個第二LM導引件、和由第二滾珠絲杠及第二LM導引件支撐并作為Y/X工作臺的頂板。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的密封劑涂敷裝置備有XY工作臺、分配噴嘴、和密封劑供給部；上述XY工作臺備有載置玻璃基板的頂板；上述分配噴嘴，其前端噴出口朝向載置在上述XY工作臺上的玻璃基板；上述密封劑供給部，將密封劑供給到該分配噴嘴，從前端噴出口將密封劑涂敷在基板上。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的液晶面板的制造方法，采用密封劑涂敷裝置，使分配噴嘴和XY工作臺沿著玻璃基板的面在X方向和Y方向相對移動，將密封劑涂敷到玻璃基板上，制造液晶面板。
根據(jù)本發(fā)明，可提供抑制預定區(qū)域的變形量而提高可靠性的中間基座、把該中間基座作為X/Y工作臺而提高質(zhì)量的XY工作臺、備有該XY工作臺而能實現(xiàn)高速涂敷和微量涂敷的密封劑涂敷裝置、和使用該密封劑涂敷裝置而提高生產(chǎn)率的液晶面板制造方法。


圖1是本發(fā)明一個實施方式中的、液晶面板制造中使用的密封劑涂敷裝置的概略立體圖。
圖2是上述實施方式中的、說明密封劑涂敷工序的圖。
圖3是上述實施方式中的、XY工作臺的立體圖。
圖4是上述實施方式中的、從圖3中的XY工作臺上卸下基板臺的立體圖。
圖5是上述實施方式中的、從圖4中的XY工作臺上卸下頂板的立體圖。
圖6是上述實施方式中的、從圖5中的XY工作臺上卸下中間基座的立體圖。
圖7是上述實施方式中的中間基座的立體圖。
圖8是變型例中的XY工作臺的立體圖。
圖9是本發(fā)明實施方式中的、采用有限元法模擬的XY工作臺的變形圖和變位量的說明圖。
圖10是已往的、采用有限元法模擬的XY工作臺的變形圖和變位量的說明圖。
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實施方式。
圖1是密封劑涂敷裝置10的概略立體圖。圖2是說明將密封劑涂敷到玻璃基板11上的、液晶面板制造中的中間工序的立體圖。
如圖1所示，液晶面板制造中采用的密封劑涂敷裝置10，包括有基臺12、載置在該基臺12上的XY工作臺20、通過支柱13設在上述基臺12上的Z工作臺14、安裝在該Z工作臺14上的分配噴嘴15、將密封劑供給該分配噴嘴15的密封劑供給部16。
在構(gòu)成上述XY工作臺20的基板臺21上，載置著玻璃基板11。驅(qū)動Z工作臺14，使分配噴嘴15下降，將其前端供給口15a與玻璃基板11之間的間隔保持為預定尺寸。
然后，如圖2所示，使XY工作臺20和分配噴嘴15沿著玻璃基板11的面在X方向和Y方向相對移動，同時，從密封劑供給部16向分配噴嘴15供給密封劑，從分配噴嘴1 5的前端噴出口15a涂敷到玻璃基板11上。
把另一個玻璃基板貼合在涂敷了密封劑的玻璃基板11上，然后，從密封劑的非涂敷部分，把液晶材料供給到玻璃基板11相互之間。再經(jīng)過其它各工序，制造成液晶面板。
圖3是上述XY工作臺20的立體圖。圖4是從圖3的狀態(tài)卸下了基板臺21后的XY工作臺20的立體圖。圖5是從圖4的狀態(tài)卸下了頂板22后的XY工作臺20的立體圖。圖6是從圖5的狀態(tài)卸下了中間基座23后的XY工作臺20的立體圖。
圖中，25是具有預定板厚的矩形基臺，其X方向的長度與Y方向的長度大致相同。在該基臺25的Y方向兩側(cè)端部，沿X方向全長鋪設著第一LM導引件26。另外，以基臺25的Y方向中央部為基準，在距Y方向兩側(cè)預定間隔的位置，也鋪設著第一LM導引件26。因此，在基臺25上共設有4根第一LM導引件26。
如圖6所示，在全部第一LM導引件26的長度方向(X方向)大致中央部，設有LM螺母26a。在上述第一LM導引件26之中的、中央2根第一LM導引件26之間、且在中央部，沿基臺25的X方向全長設有第一滾珠絲杠27。該第一滾珠絲杠27的一端部由軸承部28支撐著，在另一端部連接著驅(qū)動馬達(驅(qū)動機構(gòu))29。
在上述第一滾珠絲杠27的軸方向的大致中央部，設有螺母部27a。該螺母部27a的位置、和構(gòu)成第一LM導引件26的LM螺母26a的位置，在基臺25的X方向的大致中央部。
在上述第一滾珠絲杠27的一側(cè)部，設有與第一滾珠絲杠27并行的第三LM導引件30。在隔著第一滾珠絲杠27的與第三LM導引件30相反側(cè)的側(cè)部，設有并行的線性標尺32。構(gòu)成第三LM導引件30的LM螺母30a的位置，與第一LM導引件26的LM螺母26a在同一位置對齊。
在構(gòu)成上述第一、第三LM導引件26、30的LM螺母26a、30a以及第一滾珠絲杠27的螺母部27a上，如圖5所示，載置著中間基座23。該中間基座23的Y方向長度與基臺25的Y方向長度大致相同，其X方向長度，是為了把中間基座23安裝在各第一、第三LM導引件的LM螺母26a、30a及第一滾珠絲杠的螺母部27a上所需的最小長度。
換言之，中間基座23是Y方向長、X方向短的橫長矩形板，通過第一LM導引件26、第三LM導引件30和第一滾珠絲杠27支撐在基臺25上。第一、第三LM導引件26、30和第一滾珠絲杠27，都從中間基座23的X方向兩側(cè)緣伸出。
通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動第一滾珠絲杠27，中間基座23與第一滾珠絲杠27的旋轉(zhuǎn)方向相應地沿著X方向進退移動。這時，第一LM導引件26和第三LM導引件30實現(xiàn)中間基座23的運動直線性。
上述的線性標尺32具有計測中間基座23的X方向變位量的功能。把線性標尺32設在盡量接近第一滾珠絲杠27的位置，由此可以高度保持線性標尺32對中間基座23的計測精度。
在上述中間基座23上的X方向兩側(cè)部、沿著Y方向全長，安裝著第二LM導引件33。因此，上述第二LM導引件33共有2根。
在中間基座23上的X方向的大致中央部、沿著Y方向全長，安裝著第二滾珠絲杠35。在該第二滾珠絲杠35的一端部設有軸承部36，在另一端部連接著驅(qū)動馬達(驅(qū)動機構(gòu))37。另外，還設有與上述第二滾珠絲杠35并行的線性標尺(圖未示)。該線性標尺也具有計測頂板22的Y方向變位量的功能。
在圖5中表示了構(gòu)成第二滾珠絲杠35的螺母部35a，但未示出第二LM導引件33的LM螺母。如圖4所示，頂板22沿著這些螺母部35a和LM螺母安裝。
因此，通過驅(qū)動旋轉(zhuǎn)第二滾珠絲杠35，頂板22與第二滾珠絲杠35的旋轉(zhuǎn)方向相應地沿Y方向進退移動，這時，第二LM導引件33實現(xiàn)中間基座23的直線運動性。
在上述中間基座23上設有減輕局部重量用的孔部38，關于這一點將在后面說明。
如圖3所示，在上述頂板22上載置著基板臺21，由它們構(gòu)成了XY工作臺20。若驅(qū)動旋轉(zhuǎn)第一滾珠絲杠27，則中間基座23與第二LM導引件33及第二滾珠絲杠35一起，在載置著頂板22和基板臺21的狀態(tài)下在X方向移動變位。另外，若驅(qū)動旋轉(zhuǎn)第二滾珠絲杠35，則頂板22和基板臺21在Y方向移動變位。
對于該XY工作臺20的中間基座23，把第一LM導引件26之中的中央部的2根第一LM導引件26之間設置著第一滾珠絲杠27的部位，稱為區(qū)域A。把該區(qū)域A兩側(cè)的部位稱為區(qū)域B。
在上述區(qū)域A中的接近第一滾珠絲杠27的位置，設有與第一滾珠絲杠27并行的第三LM導引件30。與區(qū)域A中的第一滾珠絲杠27相鄰地設有上述線性標尺32。該線性標尺32隔著第一滾珠絲杠27、沿著第三LM導引件30的相反側(cè)的側(cè)部設置。
由于在區(qū)域A安裝著第一滾珠絲杠27，所以，中間基座23、第二LM導引件33、第二滾珠絲杠35、驅(qū)動馬達37、頂板22、基板臺21等位于中間基座23上的全部零件(包含中間基座23)的總質(zhì)量，作為慣性力作用。而在區(qū)域B中，頂板22和基板臺21的總質(zhì)量，作為慣性力作用。
由于區(qū)域A中的零件總質(zhì)量比區(qū)域B中的零件總質(zhì)量大得多，所以，作用在區(qū)域A上的慣性力比作用在區(qū)域B上的慣性力大得多。
如圖7所示，在中間基座23的區(qū)域B的部分設有上述孔部38，這里的孔部是圓孔(兩側(cè)部是長圓形)。這些圓孔38設在中間基座23的區(qū)域B的板厚方向，沿著中間基座23的長度方向即Y方向設置，在與長度方向正交的方向即X方向相互并行。
由此，中間基座23的區(qū)域A是不進行任何加工的實心狀，而中間基座23的兩側(cè)的區(qū)域B設有若干個圓孔38，所以，能減輕中間基座23的重量。
即，如圖10(A)(B)(C)所述，在已往構(gòu)造的XY工作臺中，可動部的質(zhì)量成為工作臺驅(qū)動時的慣性力，是使XY工作臺局部變形的力。但是，單純地減輕重量會導致剛性降低，所以，必須要在極力抑制剛性降低的前提下減輕重量。
減輕重量的基本設想是，將板體截面積減半，比較這時的截面慣性矩。
1.以寬度尺寸為b、板厚尺寸為h、截面積S＝b·h的板體作為基準，該板體的截面慣性矩是I＝b·h3/12。
2.寬度尺寸b不變、將板厚減半(h/2)時的截面慣性矩為Ia＝b·h3/96＝(1/8)I，截面慣性矩為原來的1/8，所以，寬度尺寸不變、只減薄厚度，對于剛性非常不利。
3.板厚尺寸為h，采用分割的板體，每個分割板體的寬度尺寸為bB，總的寬度尺寸為上述方案1中板體寬度尺寸的一半，用非常細的板將這些分割的板結(jié)合起來，其截面慣性矩為Ib＝b·h3/24＝(1/2)I，截面慣性矩為原來的1/2。
4.寬度尺寸為b不變，采用2塊板厚尺寸為h/4的極薄板體，用非常細的板將它們結(jié)合起來，其截面慣性矩為Ic＝7·b·h3/96＝(1/1.14)I，截面慣性矩僅為原來的0.875倍，與截面積減半(相當于質(zhì)量減少)相比，能保持剛性。
但是，在方案4中，必須用非常細的板將寬度尺寸為b的板體相互連接、構(gòu)成XY工作臺20，這是不現(xiàn)實的。為此，在方案4的基礎上提出了方案5，在該方案5中，板的寬度尺寸為b，板厚尺寸為h，在板體上設有n個直徑為d的圓孔。
5.在圓孔直徑d為板厚尺寸h的3/4時，截面慣性矩ID＝(1/12-9/512)·bh3＝(1/1.27)·I＝0.789·I，截面慣性矩為原來的1/1.27(0.789)倍，縮小了截面積，確保了剛性。
密集地配置圓孔、使之成為蜂窩狀，可以理解方案5的有效性。另外，在零件的制作中，使用深孔鉆可以加工深孔。由于是圓孔，所以可減低應力集中的可能性，這樣，為了減輕上述中間基座23的區(qū)域B的重量，設置圓孔作為孔部38。
兩側(cè)部的孔部38是長圓形，這是為了使設置孔部后的板體截面積為設置孔部前的板體截面積的1/2、將2個圓孔的一部分相互重疊而加工成的。因此，通過重新設定板體的截面積或圓孔直徑，使截面積為1/2，可以設置與上述的截面慣性矩數(shù)值相應的圓孔。
再如圖10(A)(B)所示，在驅(qū)動第一滾珠絲杠、使包含中間基座4在內(nèi)的頂板2和基板臺1在X方向急劇加速的狀態(tài)下，引起頂板2的X方向的面前側(cè)角部a往上變位、相反側(cè)角部b往下變位的發(fā)生較大變形的部分是中央2根LM導引件6之間的區(qū)域。
為此，在本發(fā)明的實施方式中，在盡可能接近區(qū)域A中的第一滾珠絲杠27的側(cè)部，增設沿著該側(cè)部的第三LM導引件30。第三LM導引件30對第一滾珠絲杠27的作用沒有任何干擾，而且盡可能地設在區(qū)域A的中央部。
在備有這樣構(gòu)成的XY工作臺20的密封劑涂敷裝置10中，由于在相對于中間基座23的區(qū)域A增設新的第三LM導引件30，所以能抑制區(qū)域A中的變形。另外，由于在區(qū)域B設置了若干個圓孔38，所以，能減輕區(qū)域B的重量，減小作用在區(qū)域B的慣性力，使截面慣性矩的減小保持為最小限度，可以抑制區(qū)域A的變形。
另外，由于對區(qū)域A作用的慣性力大，所以，在區(qū)域A不設置減輕重量用的孔部。對頂板22也與中間基座23同樣地，設置孔部以減輕重量。
如上所述，減輕中間基座23和頂板22的重量以降低加減速時的慣性力，并且在中間基座23的最容易變形的部位增設第三LM導引件30，這樣，可提高剛性，減小角部涂敷時的XY工作臺20的變形和基板臺21的傾斜。
圖9(A)(B)表示用有限元法模擬求出的XY工作臺20的變形圖。從圖中可知，區(qū)域A和區(qū)域B的變位量大致相等，如圖9(C)所示，變位量的絕對值是已往圖10(C)中的大致一半，是能實現(xiàn)平衡的設計。
因此，在液晶面板的制造方法中，在把密封劑涂敷到玻璃基板11上的工序中，可以實現(xiàn)更高速、更微量的密封劑涂敷。
在上述實施方式中，沿著第一滾珠絲杠27的側(cè)部設置線性標尺32，但并不限定于此，當不需要線性標尺32時，在線性標尺32的位置可以設置第三LM導引件30。
因此，在設置了線性標尺32時，中間基座23由5根LM導引件26、30支撐著，如果用第三LM導引件30代替線性標尺32，則中間基座23由6根LM導引件26、30支撐。
或者，也可以如圖8所示，在線性標尺32與中央部的第一LM導引件26之間，設置第三LM導引件30。如前所述，在設置了線性標尺32時，設在盡可能接近第一滾珠絲杠27的位置，這樣，可以提高線性標尺32對中間基座23的計測精度。
本發(fā)明不限定于上述實施方式，在實施階段，在不脫離本發(fā)明要旨的范圍內(nèi)，可以對構(gòu)成要素作出變形、具體化。也可以將上述實施方式中揭示的若干構(gòu)成要素進行適當?shù)慕M合來形成各種發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種中間基座，是橫長矩形的板體，其特征在于，備有第一滾珠絲杠和若干個第一LM導引件；第一滾珠絲杠在下面大致中央部，沿著與長度方向正交的方向且從兩側(cè)端緣伸出地設置，在端部連接著驅(qū)動機構(gòu)；若干個第一LM導引件在上述第一滾珠絲杠的兩側(cè)部，沿著其軸方向并行地設置著，實現(xiàn)運動的直線性；備有至少一根第三LM導引件和若干個孔部；當把在上述第一LM導引件中的中央部的兩根第一LM導引件相互間設置著上述第一滾珠絲杠的部位作為區(qū)域A、把該區(qū)域A的兩側(cè)部位作為區(qū)域B時，上述第三LM導引件設在上述區(qū)域A中的接近上述第一滾珠絲杠的位置，實現(xiàn)運動直線性；上述若干個孔部沿著長度方向設在上述區(qū)域B中的板厚方向，在與長度方向正交的方向相互并行。
2.如權(quán)利要求1所述的中間基座，其特征在于，與上述區(qū)域A中的上述第一滾珠絲杠相鄰地設有線性標尺。
3.如權(quán)利要求2所述的中間基座，其特征在于，與上述第一滾珠絲杠的一側(cè)部相鄰地配置上述線性標尺，與第一滾珠絲杠的另一側(cè)部相鄰地配置上述第三LM導引件。
4.如權(quán)利要求2或3所述的中間基座，其特征在于，隔著上述線性標尺，在該一側(cè)部配置另外的第三LM導引件。
5.如權(quán)利要求1所述的中間基座，其特征在于，上述孔部是圓孔。
6.一種XY工作臺，其特征在于，備有基臺、中間基座、第二滾珠絲杠、若干個第二LM導引件和頂板；上述中間基座，是由權(quán)利要求1至5中任一項記載的上述第一滾珠絲杠和第一LM導引件支撐在上述基臺上的X工作臺或Y工作臺；上述第二滾珠絲杠，沿著中間基座的長度方向載置在該中間基座上，其端部連接著驅(qū)動機構(gòu)；上述若干個第二LM導引件，沿著上述第二滾珠絲杠的軸方向并行地設置，實現(xiàn)運動直線性；上述頂板，是由上述第二滾珠絲杠及第二LM導引件支撐著的Y工作臺或X工作臺。
7.一種密封劑涂敷裝置，用于將密封劑涂敷在基板上，其特征在于，備有權(quán)利要求6記載的上述XY工作臺、分配噴嘴和密封劑供給部；上述XY工作臺備有載置上述基板的頂板；上述分配噴嘴，其前端噴出口與載置在上述XY工作臺上的基板相向；上述密封劑供給部，將密封劑供給到上述分配噴嘴，從前端噴出口將密封劑涂敷在基板上。
8.一種液晶面板的制造方法，其特征在于，用權(quán)利要求7記載的上述密封劑涂敷裝置，使上述分配噴嘴和上述XY工作臺沿著玻璃基板的面在X方向和Y方向相對移動，將密封劑涂敷到玻璃基板上，制造液晶面板。
全文摘要
本發(fā)明提供能抑制預定區(qū)域的變形、提高可靠性的中間基座、采用該中間基座的XY工作臺、采用該XY工作臺的密封劑涂敷裝置、和采用該密封劑涂敷裝置的液晶面板的制造方法。中間基座(23)是橫長矩形的板體，在下面大致中央部備有沿著與長度方向正交的方向的第一滾珠絲杠(27)，該第一滾珠絲杠(27)從中間基座(23)的兩側(cè)端緣伸出，在其端部連接著驅(qū)動馬達(29)。還備有在第一滾珠絲杠(27)的兩側(cè)部沿著軸方向并行設置的若干個第一LM導引件(26)。當把在中央部的2根第一LM導引件相互間設置著第一滾珠絲杠的部位作為區(qū)域(A)、把該區(qū)域(A)的兩側(cè)部位作為區(qū)域(B)時，在區(qū)域(A)中的接近第一滾珠絲杠的位置增設至少一根第三LM導引件(30)，在區(qū)域(B)中的板厚中、沿長度方向設有若干個圓孔(38)，這些圓孔(38)在與長度方向正交的方向相互并行。
文檔編號G02F1/1333GK101082742SQ20071010817
公開日2007年12月5日 申請日期2007年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月30日
發(fā)明者高橋良一 申請人:株式會社東芝