專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)半導(dǎo)體基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板等(以下簡稱為“基板”)實(shí)施處理的基板處理裝置，尤其涉及對(duì)利用純水完成了清洗處理的基板實(shí)施的干燥處理的改良。
背景技術(shù)：
一直以來，公知有以下的基板處理裝置(例如，專利文獻(xiàn)1)在基板的制造工序中，依次進(jìn)行利用氫氟酸(HF)等藥液的處理和利用純水的清洗處理之后，從純水中提出基板，并向基板周邊供給異丙醇(以下稱為“IPA”)等有機(jī)溶劑的蒸汽來對(duì)基板進(jìn)行干燥處理。該基板處理裝置將附著在基板表面上的水分置換為IPA蒸汽之后，通過對(duì)處理腔室內(nèi)的環(huán)境進(jìn)行減壓，從而能夠高效地干燥基板。
專利文獻(xiàn)1JP特許第3585199號(hào)公報(bào)在此，伴隨著電子設(shè)備更小型和輕量化、高速化、以及高性能化的要求，形成在基板表面上的圖案也進(jìn)一步要求微細(xì)化以及高密度化。例如，對(duì)于形成在基板表面上的孔結(jié)構(gòu)，孔深度相對(duì)孔寬度的深寬比進(jìn)一步增大。
在這種情況下，IPA的濃度較低時(shí)，若純水進(jìn)入到孔結(jié)構(gòu)內(nèi)部，則該進(jìn)入到孔結(jié)構(gòu)內(nèi)部的純水與IPA蒸汽之間的置換性能會(huì)降低。其結(jié)果，當(dāng)利用專利文獻(xiàn)1的基板處理裝置時(shí)，會(huì)產(chǎn)生干燥時(shí)間變長、干燥性能降低這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠?qū)鍖?shí)施良好的干燥處理的基板處理裝置。
為了解決所述問題，本發(fā)明的第一方案是對(duì)基板進(jìn)行干燥處理的基板處理裝置，其特征在于，該裝置包括處理腔室，其用于容置基板；干燥氣體供給部，其設(shè)置在所述處理腔室內(nèi)，向所述處理腔室內(nèi)供給干燥氣體；第一生成部，其用于生成干燥氣體；第二生成部，其用于生成干燥氣體；載氣供給路徑，其用于向所述第一生成部以及第二生成部供給載氣；干燥氣體供給路徑，其向所述干燥氣體供給部供給在所述第一生成部中生成的干燥氣體以及在所述第二生成部中生成的干燥氣體，所述第一生成部包括第一存積槽，其用于存積干燥液；加熱部，其對(duì)存積在所述第一存積槽中的干燥液進(jìn)行加熱；第一載氣導(dǎo)入路徑，其與所述載氣供給路徑相連接，將從所述載氣供給路徑供給的載氣導(dǎo)入到存積在所述第一存積槽中的干燥液內(nèi)，其中，使從所述第一載氣導(dǎo)入路徑導(dǎo)入的載氣與在所述第一存積槽內(nèi)產(chǎn)生的干燥液的蒸汽相混合而生成干燥氣體，所述第二生成部包括第二存積槽，其用于存積干燥液；氣體混合室，其用于容置所述第二存積槽；提取部，其將在所述第一存積槽中被加熱的干燥液提取到所述第二存積槽中；第二載氣導(dǎo)入路徑，其與所述載氣供給路徑相連接，將從所述載氣供給路徑供給的載氣導(dǎo)入到所述氣體混合室中，其中，使從所述第二載氣導(dǎo)入路徑導(dǎo)入的載氣與在所述第二存積槽內(nèi)產(chǎn)生的干燥液的蒸汽相混合而生成干燥氣體。
此外，本發(fā)明的第二方案是如第一方案所述的基板處理裝置，其特征在于，該裝置還包括切換閥，其設(shè)置在所述第一載氣導(dǎo)入路徑上；控制部，其對(duì)所述切換閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制，從而控制向所述第一存積槽供給的載氣的供給量。
此外，本發(fā)明的第三方案是如第二方案所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制部根據(jù)形成在基板表面上的器件結(jié)構(gòu)對(duì)所述切換閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制。
根據(jù)所述本發(fā)明的第一～第三方案，第一生成部通過對(duì)存積在第一存積槽中的干燥液進(jìn)行加熱，同時(shí)使其起泡，來生成干燥氣體。此外，第二生成部通過在混合室內(nèi)混合從第二存積槽蒸發(fā)的干燥液的蒸汽和載氣，能夠生成干燥氣體。
這樣，通過在多個(gè)生成部里生成干燥氣體，從而使供給到處理腔室內(nèi)的干燥氣體的量增大，處理腔室內(nèi)的干燥氣體的濃度提高。從而，能夠縮短基板的干燥時(shí)間，并能夠提高基板的干燥性能。而且，通過縮短干燥時(shí)間，能夠提高整個(gè)基板處理裝置的生產(chǎn)率。
尤其根據(jù)本發(fā)明的第二方案，打開切換閥時(shí)，第一以及第二生成部生成的干燥氣體供給到處理腔室內(nèi)；關(guān)閉切換閥，第二生成部生成的干燥氣體供給到處理腔室內(nèi)。因此，通過對(duì)切換閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制，能夠控制供給到處理腔室的干燥氣體的量，并能夠根據(jù)成為干燥對(duì)象的基板的狀況，控制處理腔室內(nèi)的干燥氣體的濃度。
尤其根據(jù)本發(fā)明的第三方案，控制部根據(jù)形成在基板表面上的器件結(jié)構(gòu)，能夠?qū)η袚Q閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制，并能夠根據(jù)該器件結(jié)構(gòu)對(duì)處理腔室內(nèi)的干燥氣體濃度進(jìn)行控制。因此，能夠根據(jù)形成在基板表面上的器件結(jié)構(gòu)來執(zhí)行干燥處理。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的基板處理裝置整體結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的立體圖。
圖2是表示減壓干燥部的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖3是表示將兩個(gè)干燥氣體生成部的外觀結(jié)構(gòu)的一部分切去的正視圖。
圖4是用于說明IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度與切換閥的開閉狀況之間的關(guān)系圖。
圖5是用于說明決定切換閥開閉狀況的方法流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
<1.濕法臺(tái)的結(jié)構(gòu)>
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中濕法臺(tái)1的整體結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的立體圖。該濕法臺(tái)1是一次處理多張基板W的“批量式”基板處理裝置。對(duì)容置在裝載盒C中的多張(例如26張)基板W，利用藥液和純水實(shí)施清洗處理以及實(shí)施干燥處理。
如圖1所示，濕法臺(tái)1主要包括碼放部2、取出部3、處理部4～9、減壓干燥部10、搬送機(jī)械手11。在此，如圖1所示，本實(shí)施方式中，碼放部2、取出部3、處理部4～9以及減壓干燥部10沿規(guī)定的處理部的排列方向a呈直線狀配置。
碼放部2對(duì)兩裝載盒裝載(例如數(shù)量為52張)的基板W的朝向進(jìn)行調(diào)整。取出部3將由碼放部2調(diào)整朝向后的基板W從裝載盒C中一并取出。處理部4～9對(duì)由取出部3從裝載盒中取出的基板W利用藥液或純水實(shí)施處理。即，在各處理部4～9的內(nèi)部，配置有可存積例如氨(NH3)、氫氟酸(HF)、以及硫酸(H2SO4)等藥液或純水的處理槽(省略圖示)。從而，當(dāng)將基板W一并浸漬在存積有藥液或純水的處理槽內(nèi)，則基板W的表面就會(huì)被清洗，從而能夠除去基板W表面上的顆粒等。
減壓干燥部10利用純水對(duì)多張基板W一并進(jìn)行清洗的同時(shí)使之減壓干燥。此外，對(duì)于減壓干燥部10的詳細(xì)說明，將在后面敘述。
如圖1所示，搬送機(jī)械手11設(shè)置在取出部3、處理部4～9、以及減壓干燥部10的上方，并可以沿處理部的排列方向a移動(dòng)。搬送機(jī)械手11具有一并保持多張基板W的保持卡盤12。該保持卡盤12可沿處理部的排列方向a進(jìn)行開閉，且相對(duì)于搬送機(jī)械手11可自由升降。
由此，搬送機(jī)械手11能夠下降到處理部4～9、以及減壓干燥部10的內(nèi)部來進(jìn)行基板W的交接，并能夠在取出部3與減壓干燥部10之間一并搬送多張基板W。
如圖1所示，控制部860具有存儲(chǔ)程序或變量等的存儲(chǔ)器861和執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器861中的程序來進(jìn)行控制的CPU862。因此，CPU862按照存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器861中的程序，在給定的時(shí)刻執(zhí)行干燥氣體供給閥821、氮?dú)夤┙o閥843、以及切換閥846(參照圖2)的開閉控制、利用減壓泵31(參照圖2)進(jìn)行的排氣控制、以及利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60進(jìn)行的導(dǎo)向件40(參照圖2)的升降控制等。
<2.減壓干燥部的機(jī)構(gòu)>
圖2是表示減壓干燥部10的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3為表示將第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830的外觀結(jié)構(gòu)的一部分切去的正視圖。減壓干燥部10利用純水清洗基板W，并利用含有IPA蒸汽的氣體(以下稱為“干燥氣體”)使基板W干燥。如圖2所示，減壓干燥部10主要具有處理腔室20、導(dǎo)向件40、處理槽80、噴出管140、減壓泵31、干燥氣體供給機(jī)構(gòu)800。
導(dǎo)向件40設(shè)置在處理腔室20內(nèi)，將多張基板W保持為直立姿勢。此外，導(dǎo)向件40可以通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60進(jìn)行升降。因此，通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的驅(qū)動(dòng)，導(dǎo)向件40在與搬送機(jī)械手11交接基板W的交接位置、和將基板W浸漬于處理槽80內(nèi)所存積的純水中的清洗位置之間進(jìn)行升降。處理槽80設(shè)置在處理腔室20內(nèi)，可存積純水。基板W通過浸漬于處理槽80內(nèi)所存積的純水中而進(jìn)行清洗。
噴出管140設(shè)置在處理腔室20內(nèi)，為向該處理腔室20內(nèi)噴出干燥氣體(混合有IPA蒸汽和氮?dú)獾臍怏w)的干燥氣體供給部。噴出管140為細(xì)長的構(gòu)件，由PFA(Tetra-fluoro-ethylene·perfluoro-alkyl-vinylether copolymer四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物)等樹脂構(gòu)成，并具有噴出干燥氣體的多個(gè)噴出口141。
因此，在使利用純水完成了清洗處理的基板W從處理槽80上升的同時(shí)，從噴出管140向處理腔室20內(nèi)噴出干燥氣體，則附著在基板W表面上的水滴與干燥氣體中所含的IPA蒸汽發(fā)生置換。由此，水滴從基板W的表面除去，并且基板W的表面由IPA蒸汽覆蓋。
減壓泵31為對(duì)處理腔室20內(nèi)進(jìn)行排氣而使之成為減壓環(huán)境的減壓部。若在基板W表面由IPA蒸汽覆蓋著的狀態(tài)下對(duì)處理腔室20內(nèi)進(jìn)行減壓，則基板W表面上的IPA液就會(huì)蒸發(fā)，從而基板W表面被干燥。
干燥氣體供給機(jī)構(gòu)800是向處理腔室20內(nèi)供給干燥氣體的機(jī)構(gòu)，如圖2所示，主要具有干燥氣體供給路徑820、第一干燥氣體生成部870、以及第二干燥氣體生成部830。
干燥氣體供給路徑820將第一干燥氣體生成部870以及第二干燥氣體生成部830所生成的干燥氣體供給到噴出管140。如圖2所示，干燥氣體供給路徑820的一端與噴出管140相連接，另一端分別與第一干燥氣體導(dǎo)入路徑820a以及多個(gè)(在本實(shí)施方式中為兩個(gè))第二干燥氣體導(dǎo)入路徑820b相連接。
另外，如圖2所示，在干燥氣體供給路徑820中，自上游側(cè)開始從第一干燥氣體生成部870以及第二干燥氣體生成部830朝向噴出管140依次安裝有干燥氣體供給閥821、和除去干燥氣體中的顆粒等異物的過濾器811。因此，通過控制干燥氣體供給閥821的開閉狀況，就能夠?qū)膰姵龉?40噴出的干燥氣體進(jìn)行控制而控制干燥氣體的噴出。
如圖3所示，第一干燥氣體生成部870主要具有加熱槽(第一存積槽)871、加熱器871a、將氮?dú)?載氣)導(dǎo)入到加熱槽871內(nèi)的第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a。
加熱槽871內(nèi)部可存積作為干燥液使用的IPA液。加熱器871a為對(duì)存積在加熱槽871內(nèi)的IPA液進(jìn)行加熱的加熱部，如圖3所示，加熱器871a被設(shè)置在加熱槽871的底部附近。
在此，本實(shí)施方式中，存積在加熱槽871內(nèi)的IPA液被加熱到溫度T0(60～80℃)以上。因此，所存積的IPA液的一部分變?yōu)镮PA蒸汽，并存在于加熱槽871的內(nèi)部空間871b中。
第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a將氮?dú)鈱?dǎo)入到存積在加熱槽871內(nèi)的IPA液中。如圖3所示，第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a的一端連接到加熱槽871內(nèi)，另一端與氮?dú)夤┙o路徑841相連接。此外，如圖2所示，在氮?dú)夤┙o路徑841上，自上游側(cè)開始從氮?dú)夤┙o源840向加熱槽871依次安裝有檢測氮?dú)夤┙o量的流量計(jì)842、氮?dú)夤┙o閥843、除去顆粒等異物的過濾器844。并且，如圖2以及圖3所示，在第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a上安裝有切換閥846。
因此，若打開氮?dú)夤┙o閥843以及切換閥846，則從氮?dú)夤┙o源840供給的氮?dú)獗粚?dǎo)入到加熱槽871內(nèi)，通過起泡作用而產(chǎn)生IPA蒸汽。因起泡作用而產(chǎn)生的IPA蒸汽、以及因所存積的IPA液蒸發(fā)而產(chǎn)生的IPA蒸汽、和從第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a導(dǎo)入的氮?dú)?，在加熱?71的內(nèi)部空間871b中混合在一起，從而生成干燥氣體。即，控制部860通過控制氮?dú)夤┙o閥843以及切換閥846的開閉動(dòng)作，能夠?qū)┙o到加熱槽871的氮?dú)膺M(jìn)行控制而控制氮?dú)獾墓┙o，并能夠?qū)Ω稍餁怏w生成部870所生成的干燥氣體進(jìn)行控制而控制干燥氣體的生成。
此外，在內(nèi)部空間871b內(nèi)生成的干燥氣體，隨著由第一氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a導(dǎo)入的氮?dú)獾牧鲃?dòng)而移動(dòng)，經(jīng)由第一干燥氣體導(dǎo)入路徑820a而供給到干燥氣體供給路徑820。此外，存積在加熱槽871內(nèi)的IPA液被加熱到溫度T0(60～80℃)以上，因此生成的干燥氣體的溫度較高。
如圖3所示，第二干燥氣體生成部830主要具有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為兩個(gè))氣體混合室831、設(shè)置在各氣體混合室831內(nèi)的IPA蒸汽產(chǎn)生槽(第二存積槽)832、IPA提取部872、與各氣體混合室831相連通的第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b。
IPA提取部872將存積在加熱槽871內(nèi)的IPA液引導(dǎo)到各IPA蒸汽產(chǎn)生槽832中。如圖3所示，IPA提取部872主要具有IPA汲取部873、波紋管泵(bellows pump)874、吸入口875、噴出口876、IPA分配路徑877。
IPA汲取部873向加熱槽871的上方延伸，其一端連接到加熱槽871內(nèi)、另一端與波紋管泵874的吸入口875相連接。IPA分配路徑877以從正面觀察時(shí)被波紋管泵874隱藏的方式而配置，且向下方延伸。如圖3所示，IPA分配路徑877的一端與波紋管泵874的噴出口876相連接，另一端分支成多個(gè)(在本實(shí)施方式中為兩個(gè))。而且，另一端的各端部通到所對(duì)應(yīng)的IPA蒸汽產(chǎn)生槽832中。
由此，若驅(qū)動(dòng)波紋管泵874，則存積在加熱槽871中的IPA液，經(jīng)由IPA汲取部873而被吸入到波紋管泵874中。而且，被吸入到波紋管泵874中的IPA液，經(jīng)由噴出口876、以及IPA分配路徑877供給到各IPA蒸汽產(chǎn)生槽832中。供給到IPA蒸汽產(chǎn)生槽832的IPA液，在IPA蒸汽產(chǎn)生槽832內(nèi)蒸發(fā)而成為IPA蒸汽。
第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b將氮?dú)鈱?dǎo)入到氣體混合室831內(nèi)。如圖2所示，第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b的一端連接到各氣體混合室831內(nèi)，另一端連接到氮?dú)夤┙o路徑841。
因此，若打開氮?dú)夤┙o閥843，則將氮?dú)鈴牡獨(dú)夤┙o源840經(jīng)由氮?dú)夤┙o路徑841、第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b導(dǎo)入到各氣體混合室831。而且，導(dǎo)入到各氣體混合室831的氮?dú)夂驮贗PA蒸汽產(chǎn)生槽832中產(chǎn)生的IPA液體的蒸汽，在氣體混合室831內(nèi)混合，從而生成干燥氣體。
此外，在各氣體混合室831內(nèi)生成的干燥氣體，隨著由第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b導(dǎo)入的氮?dú)獾牧鲃?dòng)而移動(dòng)，經(jīng)由對(duì)應(yīng)的第二干燥氣體導(dǎo)入路徑820b而供給到干燥氣體供給路徑820。此外，從加熱槽871供給到IPA蒸汽產(chǎn)生槽832的IPA液，被加熱到溫度T0(60～80℃)以上，因此生成的干燥氣體的溫度較高。
<3.IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度與切換閥的開閉動(dòng)作之間的關(guān)系>
圖4是用于說明IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度與切換閥846的開閉動(dòng)作之間的關(guān)系的圖。在此，以IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度為指標(biāo)，來比較在第二干燥氣體生成部830生成干燥氣體時(shí)的干燥處理、和在第一干燥氣體生成部870以及第二干燥氣體生成部830生成干燥氣體時(shí)的干燥處理。
在此，IPA蒸汽的產(chǎn)生溫度(單位℃)為產(chǎn)生IPA蒸汽的IPA液的溫度，是指存積在加熱槽871中的IPA液的溫度。此外，IPA消耗量(單位g/分)是指在處理腔室20內(nèi)使用干燥氣體對(duì)基板W進(jìn)行干燥處理時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)所消耗的IPA量。此外，IPA蒸汽的濃度(單位％)是指處理腔室20內(nèi)的環(huán)境中的IPA蒸汽的濃度。而且，執(zhí)行這些干燥處理時(shí)，干燥氣體供給閥821以及氮?dú)夤┙o閥843都被打開。
在切換閥846關(guān)閉的狀態(tài)(圖4的“No.”＝“1”以及“2”時(shí))下，來自氮?dú)夤┙o源840的氮?dú)獗还┙o到第二干燥氣體生成部830，從而在第二干燥氣體生成部830生成干燥氣體。這時(shí)，IPA蒸汽的產(chǎn)生溫度越高(即，“No.”＝“2”時(shí))，IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度就越高。
此外，在切換閥846打開的狀態(tài)下(圖4的“No.”＝“3”時(shí))，來自氮?dú)夤┙o源840的氮?dú)庀虻谝桓稍餁怏w生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方供給，在第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方中生成干燥氣體。這時(shí)，IPA蒸汽的產(chǎn)生溫度相同，與切換閥846關(guān)閉的情況(圖4的“No.”＝“2”時(shí))相比較，IPA消耗量以及IPA蒸汽的濃度變大。
這樣，在本實(shí)施方式中，若打開干燥氣體供給閥821、氮?dú)夤┙o閥843、以及切換閥846，則在第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方都生成干燥氣體，在處理腔室20內(nèi)消耗的IPA量增加，且處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽的濃度變高。因此，基板W上的水滴和IPA蒸汽之間的置換速度提高，基板W的干燥時(shí)間被縮短。
此外，在本實(shí)施方式中，例如，即使在基板W上形成有深寬比高的溝槽時(shí)，進(jìn)入到該溝槽中的純水也能良好地與IPA蒸汽進(jìn)行置換，因而可以提高置換性能。因此，即使形成在基板W上的圖案進(jìn)一步微細(xì)化以及高密度化，也能抑制產(chǎn)生水印(水、氧、基板的硅之間反應(yīng)所產(chǎn)生的干燥不良)等，從而提高干燥性能。
在此，對(duì)通過減壓干燥部10進(jìn)行的干燥處理的順序進(jìn)行說明。另外，在開始干燥處理前的時(shí)刻，基板W被浸漬在存積于處理槽80里的純水中而進(jìn)行清洗。
若基板W的清洗處理結(jié)束，則將氮?dú)夤┙o到處理腔室20內(nèi)，處理腔室20內(nèi)的氧氣濃度降低。然后，打開干燥氣體供給閥821、氮?dú)夤┙o閥843以及切換閥846，向處理腔室20內(nèi)供給在第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方中生成的干燥氣體。由此，處理腔室20內(nèi)成為包含IPA蒸汽的環(huán)境。
當(dāng)開始向處理腔室20內(nèi)供給干燥氣體并經(jīng)過給定時(shí)間之后，保持多張基板W的導(dǎo)向件40在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的驅(qū)動(dòng)下從處理槽80上升，從而將基板W從處理槽80內(nèi)的純水中提起。在提起時(shí)，附著在基板W表面上的水滴與處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽發(fā)生置換，從而IPA覆蓋基板W的表面。
然后，若通過驅(qū)動(dòng)減壓泵31對(duì)處理腔室20內(nèi)的環(huán)境進(jìn)行減壓，則覆蓋基板W表面的IPA蒸發(fā)，從而基板W的表面被干燥。而且，干燥處理結(jié)束后，則處理腔室20內(nèi)恢復(fù)到大氣壓。
<4.切換閥的開閉動(dòng)作和器件結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系>
圖5是用于說明決定切換閥846開閉狀況的方法的流程圖。在本實(shí)施方式中，對(duì)形成在基板W上的器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行判斷，基于該判斷結(jié)果，根據(jù)器件結(jié)構(gòu)控制切換閥846的開閉狀況。
在此，在本實(shí)施方式中，所謂器件結(jié)構(gòu)不僅指形成在基板W上的圖案的三維結(jié)構(gòu)，還包括形成圖案的材料、以及材料的物理性質(zhì)等的概念。此外，濕法臺(tái)1的使用者可以按照以下的步驟進(jìn)行該開閉狀況的判斷，也可以預(yù)先將涉及器件結(jié)構(gòu)的信息數(shù)據(jù)化(數(shù)值化)，然后控制部860基于該數(shù)據(jù)進(jìn)行判斷。
在決定切換閥846開閉狀況的方法中，首先，對(duì)成為干燥對(duì)象的基板W的器件結(jié)構(gòu)是否為立體的情況進(jìn)行判斷(步驟S101)。例如，在基板W上形成有深寬比很大的溝槽，而必須提高水滴與IPA蒸汽之間的置換性能時(shí)，進(jìn)入到步驟S102。
另一方面，如形成在基板W上的圖案為平面時(shí)，即使處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽的濃度不增加也能夠維持水滴與IPA蒸汽之間的置換性能的情況下，進(jìn)到步驟S105。
然后，對(duì)成為干燥對(duì)象的基板W表面的潤濕性進(jìn)行判斷(步驟S102)。例如，成為干燥對(duì)象的基板W整個(gè)表面或者一部分由具有親水性的材料形成，在基板W表面存在潤濕性較高的部分時(shí)，由于需要提高水滴與IPA蒸汽之間的置換性能，因而進(jìn)入到步驟S103。另一方面，在基板W整個(gè)表面由具有疏水性的材料形成時(shí)，進(jìn)到步驟S105。
然后，對(duì)于成為干燥對(duì)象的基板W的器件結(jié)構(gòu)是否具有耐IPA性進(jìn)行判斷(步驟S103)。在此，所謂耐IPA性是指器件結(jié)構(gòu)相對(duì)IPA所具有的耐受性，例如包括對(duì)IPA的耐腐蝕性等。在器件結(jié)構(gòu)相對(duì)IPA具有較高耐受性時(shí)，進(jìn)入到步驟S104。另一方面，器件結(jié)構(gòu)的耐IPA性低時(shí)，進(jìn)入步驟S105。
而且，在器件結(jié)構(gòu)為立體的情況下(S101)，基板W表面的潤濕性高(S102)，且器件結(jié)構(gòu)相對(duì)IPA的耐受性高時(shí)(S103)，控制部860打開切換閥846，將氮?dú)夤┙o到第一以及第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841a、841b(S104)。由此，在第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方生成干燥氣體，從而處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽的濃度提高。
相對(duì)于此，在沒有滿足步驟S101～S103的任意一項(xiàng)時(shí)，即，在干燥處理中不需要使處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽的濃度增加時(shí)，控制部860關(guān)閉切換閥846，僅向第二氮?dú)鈱?dǎo)入路徑841b供給氮?dú)?S104)。由此，僅在第二干燥氣體生成部830生成干燥氣體。從而，在本實(shí)施方式中，根據(jù)器件結(jié)構(gòu)而抑制處理腔室20內(nèi)的IPA蒸汽的濃度，降低IPA的使用量。
<5.本實(shí)施方式的濕法臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)>
如上所述，本實(shí)施方式的濕法臺(tái)1通過打開干燥氣體供給閥821、氮?dú)夤┙o閥843以及切換閥846，能夠在第一干燥氣體生成部870、第二干燥氣體生成部830雙方中生成干燥氣體。由此，能夠使在處理腔室20內(nèi)所消耗的IPA量增加，使處理腔室20內(nèi)IPA蒸汽的濃度增加。因此，能夠提高基板W上的水滴與IPA蒸汽之間的置換速度，能夠縮短基板W的干燥時(shí)間。
此外，本實(shí)施方式的濕法臺(tái)1例如即使在基板W上形成有深寬比很高的溝槽時(shí)，也能夠使進(jìn)入到該溝槽中的純水與IPA蒸汽良好地發(fā)生置換，從而提高置換性能。因此，即使在基板W上形成的圖案進(jìn)一步微細(xì)化以及高密度化時(shí)，也能夠抑制水印(水、氧氣、基板的硅之間發(fā)生反應(yīng)而產(chǎn)生的干燥不良)等的產(chǎn)生，從而能夠提高干燥性能。
<6.變形例>
以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不限于所述實(shí)施方式，而可以進(jìn)行各種的變形。
(1)在本實(shí)施方式中，使用IPA液作為干燥液，但是干燥液并不限定于此，例如，只要是親水性的有機(jī)溶劑、水溶性的有機(jī)溶劑即可。更具體來說，干燥液也可以為酮類(丙酮、二乙基甲酮等)、醚類(甲醚、乙醚等)、多元醇(乙二醇等)。其中，若從在市面上大多提供含有少量金屬等雜質(zhì)的干燥液來看，最好如本實(shí)施方式那樣使用IPA液。
(2)而且，在本實(shí)施方式中，在判斷基板W上所形成的器件結(jié)構(gòu)時(shí)，依次執(zhí)行如下判斷，即器件結(jié)構(gòu)是否為立體的判斷(S101)，基板W表面潤濕性的判斷(S102)，以及器件結(jié)構(gòu)對(duì)IPA的耐受性的判斷(S103)，但是執(zhí)行順序并不限定于此。即，可以按照圖5所示的順序以外的任一種順序來執(zhí)行(總計(jì)5種)。
(3)進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，使用氮?dú)庾鳛檩d氣來進(jìn)行說明，但是載氣并不限定于此。載氣例如相對(duì)基板W或干燥液為惰性物質(zhì)即可，除氮?dú)庵庖部梢允菤鍤饣蚝狻?br> 權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其對(duì)基板進(jìn)行干燥處理，其特征在于，該裝置包括處理腔室，其用于容置基板；干燥氣體供給部，其設(shè)置在所述處理腔室內(nèi)，向所述處理腔室內(nèi)供給干燥氣體；第一生成部，其用于生成干燥氣體；第二生成部，其用于生成干燥氣體；載氣供給路徑，其用于向所述第一生成部以及第二生成部供給載氣；干燥氣體供給路徑，其向所述干燥氣體供給部供給在所述第一生成部中生成的干燥氣體以及在所述第二生成部中生成的干燥氣體，所述第一生成部包括第一存積槽，其用于存積干燥液；加熱部，其對(duì)存積在所述第一存積槽中的干燥液進(jìn)行加熱；第一載氣導(dǎo)入路徑，其與所述載氣供給路徑相連接，將從所述載氣供給路徑供給的載氣導(dǎo)入到存積在所述第一存積槽中的干燥液內(nèi)，其中，使從所述第一載氣導(dǎo)入路徑導(dǎo)入的載氣與在所述第一存積槽內(nèi)產(chǎn)生的干燥液的蒸汽相混合而生成干燥氣體，所述第二生成部包括第二存積槽，其用于存積干燥液；氣體混合室，其用于容置所述第二存積槽；提取部，其將在所述第一存積槽中被加熱的干燥液提取到所述第二存積槽中；第二載氣導(dǎo)入路徑，其與所述載氣供給路徑相連接，將從所述載氣供給路徑供給的載氣導(dǎo)入到所述氣體混合室中，其中，使從所述第二載氣導(dǎo)入路徑導(dǎo)入的載氣與在所述第二存積槽內(nèi)產(chǎn)生的干燥液的蒸汽相混合而生成干燥氣體。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，該裝置還包括切換閥，其設(shè)置在所述第一載氣導(dǎo)入路徑上；控制部，其對(duì)所述切換閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制，從而控制向所述第一存積槽供給的載氣的供給量。
3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制部根據(jù)形成在基板表面上的器件結(jié)構(gòu)對(duì)所述切換閥的開閉動(dòng)作進(jìn)行控制。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠?qū)鍒?zhí)行良好的干燥處理的基板處理裝置。噴出管設(shè)置在處理腔室內(nèi)，噴出干燥氣體。減壓泵對(duì)處理腔室內(nèi)進(jìn)行排氣而使之成為減壓環(huán)境。干燥氣體供給路徑將在第一干燥氣體生成部、第二干燥氣體生成部中生成的干燥氣體供給到噴出管。第一干燥氣體生成部通過用氮?dú)馐勾娣e在加熱槽中的IPA液起泡來生成干燥氣體。第二干燥氣體生成部通過將在IPA蒸汽產(chǎn)生槽中蒸發(fā)的IPA蒸汽與氮?dú)庀嗷旌蟻砩筛稍餁怏w。這樣，將在多個(gè)干燥氣體生成部生成的干燥氣體供給到處理腔室內(nèi)，能夠提高處理腔室內(nèi)的IPA蒸汽的濃度。因此，能夠縮短干燥時(shí)間，提高干燥性能。
文檔編號(hào)G03F1/82GK101047116SQ20071009140
公開日2007年10月3日 申請日期2007年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月31日
發(fā)明者基村雅洋 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社