專利名稱：光阻回收系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種供應(yīng)光阻的系統(tǒng)，特別涉及能有效回收并利用光阻的回收 系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光阻是一種具有特定分子結(jié)構(gòu)的光敏物質(zhì)，它在入射光的作用下發(fā)生變化， 是半導(dǎo)體制造工藝中非常重要的材料。 一般的半導(dǎo)體制造工藝中通常包括多道 工序，其中半導(dǎo)體外部物體如晶圓的布圖需要采用光阻并對光阻進(jìn)行受控的曝 光。由于大部分的光阻為液態(tài)，因此需要將光阻由一存儲器推送至噴嘴以涂布 至晶圓上，且還需通過一過濾器，所述過濾器去除雜質(zhì)。圖1示出了一種用于在半導(dǎo)體制造工藝中供應(yīng)光阻的傳統(tǒng)供應(yīng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括 一個(gè)存儲光阻的容器l; 一個(gè)中間箱4，它真有一個(gè)檢測中間箱4中光 阻是否存在的傳感器和一個(gè)用于從此中間箱4排除氣泡的瞬間閥2和排放管3; 一個(gè)泵6，用于從中間箱4抽取光阻； 一個(gè)過濾器7，用于除去光阻的顆粒雜質(zhì)， 它具有一個(gè)用于排除帶有氣泡的光阻的排放管5; —個(gè)氣動(dòng)閥8，控制光阻的輸 出流量； 一個(gè)噴嘴9，將光阻均勻涂覆于晶圓上。在上述系統(tǒng)中，氮?dú)?N2)經(jīng)由連接器注入存儲光阻的容器l中，用以將光 阻推進(jìn)中間箱4中。通過泵6將光阻從中間箱4抽至過濾器7之后，會有2-3 毫升的光阻從過濾器7中的排放管5被排除或泄出。此排泄過程能除去光阻中 的氣泡，如果氣泡留在光阻中，半導(dǎo)體晶圓上會產(chǎn)生涂覆缺陷，排出的光阻通 常被倒入廢料桶中。相似地，當(dāng)根據(jù)中間箱4中的傳感器檢測系統(tǒng)更換了空的 光阻容器1時(shí)或中間箱4存儲飽和后，從中間箱4排出的光阻通常通過排放管3 流入廢料桶中。且在定期維護(hù)或清洗中，整個(gè)光阻供應(yīng)系統(tǒng)會有100-250毫升 的光阻被清洗掉，過濾器7中至少有500毫升光阻由于定期維護(hù)被排泄掉。上 述三種情況不可避免地浪費(fèi)了光阻，在大規(guī)模生產(chǎn)中，被浪費(fèi)的光阻可造成嚴(yán) 重的資金損耗，增加了生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種光阻回收系統(tǒng)，該光阻回收系統(tǒng)回收利用被排 出的光阻，提高光阻利用率，同時(shí)能降低生產(chǎn)成本。為了達(dá)到所述的目的，本發(fā)明提供了一種光阻回收系統(tǒng)，包括 一個(gè)存儲 容器，用于存儲光阻； 一個(gè)過濾器，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個(gè)從 過濾器排出的排放管；其中，光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過 濾器的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)中間箱，用于 從存儲容器中接收光阻； 一個(gè)泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)噴嘴，用于從 過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體； 一個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴， 以控制光阻的流量。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回收容器通過回流導(dǎo)管將光阻回流至存 儲容器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回流導(dǎo)管插入存儲容器中且位于存儲容 器的底端為齒狀。 .在上述的光阻回收系統(tǒng)中，如前所述的回收容器為至少是300毫升的容器。 本發(fā)明還提供了一種光阻回收系統(tǒng)，包括 一個(gè)存儲容器，用于存儲光阻； 一個(gè)中間箱，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個(gè)從中間箱排放光阻的排放 管； 一個(gè)過濾器，用于從中間箱接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管； 其中，光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器、中間箱的排放管 與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)泵，用于從中 間箱中將光阻抽至過濾器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)噴嘴，用于從 過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體； 一個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴， 以控制光阻的流量。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回收容器通過回流導(dǎo)管將光阻回流至存儲容器中。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，所述的回流導(dǎo)管插人存儲容器中且位于存儲容 器的底端為齒狀。在上述的光阻回收系統(tǒng)中，如前所述的回收容器為至少是300毫升的容器。 本發(fā)明由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果1. 回收利用光阻，避免光阻材料的浪費(fèi)，節(jié)約生產(chǎn)成本。2. 減少光阻中的氣泡產(chǎn)生，提高光阻的利用率。


本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)由以下的實(shí)施例及附圖l善出。圖1為一種半導(dǎo)體制造工藝中供應(yīng)光阻的傳統(tǒng)供應(yīng)系統(tǒng)示意圖；圖2為本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)示意圖；圖3為插入存儲光阻容器中的回流導(dǎo)管的局部;故大圖；具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 如圖2所示，本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)包括 一個(gè)存儲光阻的容器11; 一個(gè) 中間箱14,它具有一個(gè)檢測中間箱14中光阻是否存在的傳感器(未圖示)和用 于從此中間箱14排除氣泡的瞬間閥12和排放管13;'—個(gè)泵16,用于從中間箱 14抽取光阻； 一個(gè)過濾器17，用于除去光阻的顆粒雜質(zhì)，它具有一個(gè)用于排除 光阻中氣泡的排放管15; —個(gè)氣動(dòng)閥18，控制光阻的輸出流量； 一個(gè)噴嘴19， 將光阻均勻涂覆于外部物體如晶圓上； 一個(gè)回收容器23,它與排放管13、 15連 接，將排放管13、 15排出的帶有氣泡的光阻導(dǎo)入到回收容器23中，經(jīng)過在該 回收容器23中回收再利用后，光阻再通過回流導(dǎo)管20祐:輸送回存儲光阻的容 器ll中，它還具有一個(gè)排放管24用于排出多余的光阻； 一個(gè)單向閥22，控制 回流導(dǎo)管20中的光阻從回收容器23向存儲光阻的容器11單向流通； 一個(gè)針形 閥25,對回收容器23排出的光阻進(jìn)行流量調(diào)整。本發(fā)明光阻回收系統(tǒng)的工作原理如下氮?dú)?N2)經(jīng)由連接器注入存儲光阻的容器11中，將光阻通過導(dǎo)管21推進(jìn)中間箱14中。通過泵16將光阻從中間 箱14抽至過濾器17之后，其中帶有氣泡的光阻從過濾器17中的排放管15被 排除或定期維護(hù)時(shí)過濾器17中會有剩余的光阻，上述光阻通過排放管15被排 出到回收容器23中，最后過濾器17中剩下的光阻通過氣動(dòng)閥18從噴嘴19射 出涂覆于晶圓上。當(dāng)根據(jù)中間箱14中的傳感器檢測系統(tǒng)更換了空的光阻容器U 時(shí)或者中間箱14存儲飽和后，從中間箱14排出的光阻通常通過排放管13排出。 上述排放管13、 15排出的光阻被排出到回收容器23中，該回收容器23為至少 是300毫升，這樣可具有足夠的回收空間，且對上述光阻繼續(xù)回收利用，將上 述光阻通過針形閥25和單向閥22排出到存儲光阻的容器11中。圖3為插入存儲光阻容器中的回流導(dǎo)管的局部放大圖。如圖3所示，導(dǎo)管 21比回流導(dǎo)管20插入存儲容器11深，接近于存儲容器底部?；亓鲗?dǎo)管20的底 端26橫截面為齒狀，可減少從回收容器23回流到存儲容器11的光阻產(chǎn)生氣泡。本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)成本較低，回收利用率高，一^:情況下，可以回收 存儲光阻容器中的10°/ 光阻， 一臺利用本發(fā)明回收系統(tǒng)的機(jī)臺每月至少可以回收 整個(gè)存儲光阻容器中的光阻。十五個(gè)這樣的機(jī)臺回收的十三個(gè)存儲光阻容器中 的光阻每月可節(jié)省價(jià)值六千元的光阻材料。以上介紹的僅僅是基于本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不能以此來限定本發(fā)明的 范圍，本發(fā)明還可以應(yīng)用于其它類似液體回收系統(tǒng)。任何對本發(fā)明的光阻回收 系統(tǒng)作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的步驟的替換、組合、分立，以及對本發(fā)明實(shí)施步驟 作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的等同改變或替換均不超出本發(fā)明的揭露以及保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種光阻回收系統(tǒng)，包括一個(gè)存儲容器，用于存儲光阻；一個(gè)過濾器，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管；其特征在于光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。
2、 如權(quán)利要求1所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的光阻回收系統(tǒng) 還包括一個(gè)中間箱，用于從存儲容器中接收光阻； 一個(gè)泵，用于從中間箱中將 光阻抽至過濾器中。 '
3、 如權(quán)利要求2所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的光阻回收系統(tǒng) 還包括一個(gè)噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一 個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。
4、 如權(quán)利要求1所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回收容器通過回流導(dǎo)管將光阻回流至存儲容器中。
5、 如權(quán)利要求4所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回流導(dǎo)管插入 存儲容器中且位于存儲容器的底端為齒狀。
6、 如權(quán)利要求1或4所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回收容器 為至少是300毫升的容器。
7、 一種光阻回收系統(tǒng)，包括 一個(gè)存儲容器，用于存儲光阻；一個(gè)中間箱，用于從存儲容器接收光阻，并具有一個(gè)從中間箱排放光阻的 排放管；一個(gè)過濾器，用于從中間箱接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管； 其特征在于光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器、中間 箱的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。
8、 如權(quán)利要求7所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的光阻回收系統(tǒng) 還包括一個(gè)泵，用于從中間箱中將光阻抽至過濾器中。
9、 如權(quán)利要求8所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的光阻回收系統(tǒng) 還包括一個(gè)噴嘴，用于從過濾器接收光阻，并用于將光阻涂于一外部物體；一 個(gè)氣動(dòng)閥，它連至噴嘴，以控制光阻的流量。
10、 如權(quán)利要求7所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回收容器通 過回流導(dǎo)管將光阻回流至存儲容器中。
11、 如權(quán)利要求IO所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回流導(dǎo)管插 入存儲容器中且位于存儲容器的底端為齒狀。
12 、如權(quán)利要求7或10所述的光阻回收系統(tǒng)，其特征在于所述的回收容 器為至少是300毫升的容器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光阻回收系統(tǒng)。現(xiàn)有的光阻供應(yīng)系統(tǒng)存在光阻浪費(fèi)、沒有充分利用的問題。本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)，包括一個(gè)存儲容器，用于存儲光阻；一個(gè)中間箱，用于從存儲光阻容器接收光阻，并具有一個(gè)從中間箱排放光阻的排放管；一個(gè)過濾器，用于從中間箱接收光阻，并具有一個(gè)從過濾器排出的排放管；其中該光阻回收系統(tǒng)還包括一個(gè)回收容器，它連接在過濾器、中間箱的排放管與存儲容器之間，用于使過濾器排出的光阻回流至存儲容器中。采用本發(fā)明的光阻回收系統(tǒng)，可以回收利用光阻，提高光阻的利用率。
文檔編號G03F7/26GK101329512SQ200710042408
公開日2008年12月24日 申請日期2007年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月22日
發(fā)明者健 盧, 張建峰 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司