專利名稱：光掩模盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光掩模盒，特別是涉及可直接利用光掩模夾將光掩模取出的一種光掩模盒。
背景技術(shù)：
隨著科技的進(jìn)步，微電子工業(yè)的制造技術(shù)一日千里，其中光刻技術(shù)(photolithography technology)扮演著十分重要的角色。光刻技術(shù)簡(jiǎn)單的說(shuō)就是將設(shè)計(jì)好的線路圖形，完整且精確地復(fù)制到晶片上。設(shè)計(jì)好的圖形會(huì)制作成光掩模(photo mask)，再應(yīng)用光學(xué)成像的原理，將圖形投影至晶片上。由上可知，光掩模的好與壞，直接控制著半導(dǎo)體制作工藝的優(yōu)與劣。因此，光掩模的保護(hù)極其重要。一般在制作工藝中使用完或尚未使用的光掩模是存放于光掩模盒(mask case)中。
圖1為現(xiàn)有一種光掩模盒的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1，光掩模盒100包括下蓋102、上蓋104與前蓋106。上蓋104沿轉(zhuǎn)軸103與下蓋102樞接，使上蓋104可相對(duì)于下蓋102向上開(kāi)啟。前蓋106沿轉(zhuǎn)軸105樞接于上蓋104相對(duì)于轉(zhuǎn)軸103的另一側(cè)，使前蓋106可相對(duì)于下蓋102向前開(kāi)啟。此外，光掩模盒100還包括配置于下蓋102上的基座108與定位板110。定位板110位于下蓋102的相對(duì)二側(cè)板旁，用以固定置于光掩模盒100中的光掩模(未繪示)?；?08用以支撐光掩模。
一般來(lái)說(shuō)，在使用者對(duì)光掩模進(jìn)行目視檢查與吹除微塵的步驟之前，必須先將光掩模盒100置于光掩模移載開(kāi)啟機(jī)中，通過(guò)機(jī)臺(tái)將光掩模盒100開(kāi)啟，并取出光掩模，將光掩模置于拖盤上，才利用光掩模夾取出光掩模。這是由于一般常見(jiàn)的光掩模夾受限于光掩模盒100外型設(shè)計(jì)的關(guān)系，使得使用者無(wú)法直接將光掩模夾伸入光掩模盒100中取出光掩模。然而，在光掩模由光掩模盒100移送至拖盤的過(guò)程中，往往會(huì)導(dǎo)致光掩模受到污染或損壞，且光掩模的移動(dòng)過(guò)程也較為繁瑣。此外，光掩模移載開(kāi)啟機(jī)的價(jià)格過(guò)高，也造成了生產(chǎn)成本的增加。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種光掩模盒，可以直接利用光掩模夾將光掩模盒中的光掩模取出。
本實(shí)用新型提出一種光掩模盒，此光掩模盒包括盒體、上蓋與前蓋。盒體包括底板、第一側(cè)板、第二側(cè)板、第三側(cè)板、第一定位板與第二定位板。第一側(cè)板與第二側(cè)板相對(duì)配置于底板上。第三側(cè)板配置于底板上且連接第一側(cè)板與第二側(cè)板。第一定位板與第二定位板配置于第一側(cè)板與第二側(cè)板之間的底板上，且分別位于第一側(cè)板與第二側(cè)板旁。第一定位板具有第一溝槽，而第二定位板具有第二溝槽。第二溝槽與第一溝槽相對(duì)，且第一溝槽與第二溝槽的延伸方向垂直于底板。上蓋與盒體樞接。前蓋與上蓋樞接。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，更可以有多個(gè)基座，配置于底板上。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的基座的材料例如為聚醚醚酮(PEEK)。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，更可以有多個(gè)第三定位板，配置于底板上，且位于第二側(cè)板旁。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的第三定位板的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的底板的材料例如為鋁。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的上蓋的材料例如為透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的前蓋的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述的第一溝槽與第二溝槽的寬度例如為35mm。
依照本實(shí)用新型實(shí)施例所述的光掩模盒，上述第一側(cè)板與第二側(cè)板的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，該光掩模盒于相對(duì)的兩個(gè)側(cè)板上分別設(shè)置相對(duì)的兩個(gè)溝槽，因此使用者可以直接將光掩模盒打開(kāi)并使用光掩模夾將光掩模盒中的光掩模取出，進(jìn)行光掩模目視檢查與吹除微塵的步驟，而不需要將光掩模盒先置于光掩模移載開(kāi)啟機(jī)中，然后通過(guò)光掩模移載開(kāi)啟機(jī)將光掩模置于拖盤上，再使用光掩模夾將光掩模取出，因此避免了在光掩模由光掩模盒移送至拖盤的過(guò)程中，使光掩模受到污染或損壞，且簡(jiǎn)化了光掩模的移動(dòng)過(guò)程。此外，由于不需要使用到光掩模移載開(kāi)啟機(jī)，也因此降低了耗費(fèi)在光掩模移載開(kāi)啟機(jī)上的生產(chǎn)成本。
為讓本實(shí)用新型之上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1為現(xiàn)有一種光掩模盒的示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所繪示的光掩模盒的示意圖；圖3A為左右?jiàn)A取式的光掩模夾的示意圖；圖3B為前后夾取式的光掩模夾的示意圖。
主要元件符號(hào)說(shuō)明100、200光掩模盒102下蓋103、105、203、205轉(zhuǎn)軸104、204上蓋106、206前蓋108、216基座110、218、220、222定位板202盒體208底板210、212、214側(cè)板211、213溝槽300a、300b光掩模夾302、304、312、314夾取部306、316夾取開(kāi)關(guān)308、310固定部
具體實(shí)施方式
圖2為依照本實(shí)用新型實(shí)施例所繪示的光掩模盒的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，光掩模盒200包括盒體202、上蓋204與前蓋206。上蓋204沿轉(zhuǎn)軸203與盒體202樞接，使上蓋204可相對(duì)于盒體202向上開(kāi)啟，而前蓋206沿轉(zhuǎn)軸205樞接于上蓋204相對(duì)于轉(zhuǎn)軸203的另一側(cè)，使前蓋206可相對(duì)于盒體202向前開(kāi)啟。上蓋204一般為透明材料，例如為透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。前蓋206的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2，盒體202包括底板208、側(cè)板210、212、214與定位板218、220、222。底板208的材料例如為鋁。側(cè)板210、212、214的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。定位板218、220、222的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
側(cè)板210與側(cè)板212相對(duì)配置于底板208上。側(cè)板214配置于底板208上且連接側(cè)板210與側(cè)板212。
定位板218與定位板220配置于側(cè)板210與側(cè)板212之間的底板208上，且定位板218位于側(cè)板210旁，而定位板220位于側(cè)板212旁，用以固定置于光掩模盒200中的光掩模(未繪示)。定位板222位于側(cè)板214旁，使得光掩模置于光掩模盒200中時(shí)，光掩模與側(cè)板214之間保留有空隙，使光掩模夾可以伸入空隙中而將光掩模取出。
此外，定位板218具有溝槽211，而定位板220具有溝槽213。溝槽213與溝槽211相對(duì)，且溝槽211與溝槽213的延伸方向垂直于底板208。溝槽211、213的寬度例如為35mm，其可以容納一般常見(jiàn)的光掩模夾的尺寸，使光掩模夾可以經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中將光掩模取出。
由于定位板218與定位板220分別具有溝槽211與溝槽213，因此當(dāng)使用者欲取出光掩模盒200中的光掩模時(shí)，可以直接將上蓋204與前蓋206打開(kāi)，然后經(jīng)由溝槽211與溝槽213，將光掩模夾伸入盒體202中取出光掩模，以進(jìn)行后續(xù)的光掩模目視檢查與吹除微塵。由于不需要先將光掩模盒200置于光掩模移載開(kāi)啟機(jī)(未繪示)中，再通過(guò)光掩模移載開(kāi)啟機(jī)將光掩模盒200開(kāi)啟并將光掩模置于拖盤(未繪示)上，因此避免了光掩模經(jīng)由光掩模移載開(kāi)啟機(jī)移送至拖盤的過(guò)程中受到污染或損壞，并且也簡(jiǎn)化了光掩模的移送過(guò)程。
另外，在底板208上還可以配置有基座216。基座216的材料例如為聚醚醚酮?；?16可以在光掩模置于光掩模盒200中時(shí)，用以支撐光掩模，使光掩模不會(huì)與底板208相接觸而產(chǎn)生損壞或污染。
特別一提的是，由于溝槽211與溝槽213位于盒體202的相對(duì)兩個(gè)定位板218、220上，因此當(dāng)使用者取出光掩模時(shí)，可以使用任何一種常用的光掩模夾，例如是左右?jiàn)A取式的光掩模夾(請(qǐng)參照?qǐng)D3A)或是前后夾取式的光掩模夾(請(qǐng)參照?qǐng)D3B)。
以下分別以左右?jiàn)A取式的光掩模夾與前后夾取式的光掩模夾為例說(shuō)明夾取光掩模盒中的光掩模的步驟。
當(dāng)使用者持左右?jiàn)A取式的光掩模夾300a來(lái)取出光掩模時(shí)，先將光掩模夾300a的夾取部302、304分別經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中。然后，按下夾取開(kāi)關(guān)306，使夾取部302、304夾住光掩模而直接將光掩模取出(請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2與圖3A)。
當(dāng)使用者持前后夾取式的光掩模夾300b來(lái)取出光掩模時(shí)，先將光掩模夾300b的固定部308、310分別經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中，以及將夾取部312經(jīng)由定位板222與側(cè)板214之間的空隙伸入盒體202中。然后，推動(dòng)夾取開(kāi)關(guān)316，使夾取部314向光掩模移動(dòng)，利用固定部308、310固定光掩模以及夾取部312、314夾住光掩模而直接將光掩模取出(請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2與圖3B)。
綜上所述，本實(shí)用新型的光掩模盒于相對(duì)的兩個(gè)側(cè)板上分別設(shè)置相對(duì)的兩個(gè)可以容納任何一種熟知的光掩模夾的溝槽，因此使用者可以直接打開(kāi)光掩模盒，將光掩模夾經(jīng)由溝槽取出盒體中的光掩模，而不需要將光掩模盒先置于光掩模移載開(kāi)啟機(jī)中，通過(guò)光掩模移載開(kāi)啟機(jī)開(kāi)啟光掩模盒并將光掩模置于拖盤上，再使用光掩模夾將光掩模取出，避免了在光掩模由光掩模盒移送至拖盤的過(guò)程中受到污染或損壞，且簡(jiǎn)化了光掩模的移動(dòng)過(guò)程。此外，由于使用者是直接將光掩模盒打開(kāi)并取出光掩模，不需要使用到昂貴的光掩模移載開(kāi)啟機(jī)，也因此降低了生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.一種光掩模盒，該光掩模盒包括一盒體；一上蓋，與該盒體樞接；以及一前蓋，與該上蓋樞接，其特征在于，該盒體包括一底板；一第一側(cè)板與一第二側(cè)板，相對(duì)配置于該底板上；一第三側(cè)板，配置于該底板上且連接該第一側(cè)板與該第二側(cè)板；以及一第一定位板與一第二定位板，配置于該第一側(cè)板與該第二側(cè)板之間的該底板上，且分別位于該第一側(cè)板與該第二側(cè)板旁，其中該第一定位板具有一第一溝槽，而該第二定位板具有一第二溝槽，該第二溝槽與該第一溝槽相對(duì)，且該第一溝槽與該第二溝槽的延伸方向垂直于該底板。
2.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，還包括多個(gè)基座，配置于該底板上。
3.如權(quán)利要求2所述的光掩模盒，其特征在于，該基座的材料包括聚醚醚酮。
4.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，還包括多個(gè)第三定位板，配置于該底板上，且位于該第二側(cè)板旁。
5.如權(quán)利要求4所述的光掩模盒，其特征在于，該第三定位板的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
6.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該底板的材料包括鋁。
7.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該上蓋的材料包括透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
8.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該前蓋的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
9.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該第一溝槽與該第二溝槽的寬度為35mm。
10.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該第一側(cè)板與該第二側(cè)板的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種光掩模盒，此光掩模盒包括盒體、上蓋與前蓋。盒體包括底板、第一側(cè)板、第二側(cè)板、第三側(cè)板、第一定位板與第二定位板。第一側(cè)板與第二側(cè)板相對(duì)配置于底板上。第三側(cè)板配置于底板上且連接第一側(cè)板與第二側(cè)板。第一定位板與第二定位板配置于第一側(cè)板與第二側(cè)板之間的底板上，且分別位于第一側(cè)板與第二側(cè)板旁。第一定位板具有第一溝槽，而第二定位板具有第二溝槽。第二溝槽與第一溝槽相對(duì)，且第一溝槽與第二溝槽的延伸方向垂直于底板。上蓋與盒體樞接。前蓋與上蓋樞接。
文檔編號(hào)G03F1/66GK2924591SQ20062012132
公開(kāi)日2007年7月18日 申請(qǐng)日期2006年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者朱福盛, 杜德洪 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司